JPH0395181U - - Google Patents
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- JPH0395181U JPH0395181U JP98990U JP98990U JPH0395181U JP H0395181 U JPH0395181 U JP H0395181U JP 98990 U JP98990 U JP 98990U JP 98990 U JP98990 U JP 98990U JP H0395181 U JPH0395181 U JP H0395181U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- window
- windows
- lighting
- illumination window
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Description
第１図及び第２図はこの考案の一実施例を示す
もので、第１図は照明用の窓を概略的に示す断面
図、第２図は内部観測用の窓を概略的に示す断面
図、第３図は照明用の窓の他の実施例を概略的に
示す断面図、第４図及び第５図は従来の電子ビー
ム加工機を示すもので、第４図は外観図、第５図
は第４図の−線に沿つた断面図である。 図において１……真空チヤンバ、４……加工テ
ーブル、７……電子ビーム発生装置、１４，２８
……窓ガラス、１５，２９……固定金具、１７，
３５……ランプホルダー、１８……照明ランプ、
２２……照明用の窓、２３，３２……軸、２４，
３３……シヤツター、２５，３４……ハンドル、
４１……フアンである。なお、図中、同一符号は
同一または相当部分を示す。
もので、第１図は照明用の窓を概略的に示す断面
図、第２図は内部観測用の窓を概略的に示す断面
図、第３図は照明用の窓の他の実施例を概略的に
示す断面図、第４図及び第５図は従来の電子ビー
ム加工機を示すもので、第４図は外観図、第５図
は第４図の−線に沿つた断面図である。 図において１……真空チヤンバ、４……加工テ
ーブル、７……電子ビーム発生装置、１４，２８
……窓ガラス、１５，２９……固定金具、１７，
３５……ランプホルダー、１８……照明ランプ、
２２……照明用の窓、２３，３２……軸、２４，
３３……シヤツター、２５，３４……ハンドル、
４１……フアンである。なお、図中、同一符号は
同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 被加工物を真空チヤンバ内に収容して加工する
ようにしたものにおいて、真空チヤンバに照明用
の窓及び内部観測用の窓を夫々設け、上記照明用
の窓の外側に真空チヤンバの内部を照明する照明
装置を設けると共に、上記各窓の内側に窓を遮蔽
することができるシヤツターを設けたことを特徴
とする真空チヤンバを有する加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP98990U JPH0395181U (ja) | 1990-01-10 | 1990-01-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP98990U JPH0395181U (ja) | 1990-01-10 | 1990-01-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0395181U true JPH0395181U (ja) | 1991-09-27 |
Family
ID=31504922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP98990U Pending JPH0395181U (ja) | 1990-01-10 | 1990-01-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0395181U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009041548A (ja) * | 2007-08-13 | 2009-02-26 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | 真空ポンプ排気逆流防止装置 |
-
1990
- 1990-01-10 JP JP98990U patent/JPH0395181U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009041548A (ja) * | 2007-08-13 | 2009-02-26 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | 真空ポンプ排気逆流防止装置 |
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