JPH039623B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH039623B2 JPH039623B2 JP60178226A JP17822685A JPH039623B2 JP H039623 B2 JPH039623 B2 JP H039623B2 JP 60178226 A JP60178226 A JP 60178226A JP 17822685 A JP17822685 A JP 17822685A JP H039623 B2 JPH039623 B2 JP H039623B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- probe
- light
- printed wiring
- card body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体ウエハに形成された多数の集
積回路の電気的特性を測定するために使用される
プローブカードに係り、特に光から電気および電
気から光に変換する変換部を有するプローブカー
ドに関する。
積回路の電気的特性を測定するために使用される
プローブカードに係り、特に光から電気および電
気から光に変換する変換部を有するプローブカー
ドに関する。
従来の技術
一般に半導体ウエハに形成された多数の集積回
路の電気的特性を測定する際には、半導体ウエハ
面上の一つの枡目に当たるチツプの表面に設けら
れた電極の位置に対応して配設された探針を有す
るプローブカードが用いられている。
路の電気的特性を測定する際には、半導体ウエハ
面上の一つの枡目に当たるチツプの表面に設けら
れた電極の位置に対応して配設された探針を有す
るプローブカードが用いられている。
第２図はその構成を示す断面図で、図において
プリント配線基板２１の中央には開口部２２が設
けられると共に、開口部２２の裏面側には嵌合部
２３が形成されている。嵌合部２３には傾斜面を
有する絶縁リング２３が嵌着され、この傾斜面上
には複数の探針２５が放射状に配置され絶縁性合
成樹脂２６にて固着されている。さらに、プリン
ト配線基板２１の表裏面には、絶縁リング２４近
傍から外に向かつてプリント配線２７が放射状に
伸び、このプリント配線２７の絶縁リング２４側
の端部に前記の探針２５が半田付によつて接続さ
れている。なお、図例では表面側に設けられたプ
リント配線２７については省略している。
プリント配線基板２１の中央には開口部２２が設
けられると共に、開口部２２の裏面側には嵌合部
２３が形成されている。嵌合部２３には傾斜面を
有する絶縁リング２３が嵌着され、この傾斜面上
には複数の探針２５が放射状に配置され絶縁性合
成樹脂２６にて固着されている。さらに、プリン
ト配線基板２１の表裏面には、絶縁リング２４近
傍から外に向かつてプリント配線２７が放射状に
伸び、このプリント配線２７の絶縁リング２４側
の端部に前記の探針２５が半田付によつて接続さ
れている。なお、図例では表面側に設けられたプ
リント配線２７については省略している。
そして図外のプローバと呼ばれる測定装置にこ
のプローブカードを接続し、探針２５を半導体チ
ツプに設けられた電極の表面に接触させることに
より電気的特性の測定を行う。
のプローブカードを接続し、探針２５を半導体チ
ツプに設けられた電極の表面に接触させることに
より電気的特性の測定を行う。
発明が解決しようとする問題点
ところが、このプローブカードを使用して電気
的特性を測定する場合、半導体チツプ上の電極と
プローバとは探針２５およびプリント配線２７を
介して信号のやりとりを行う必要がある。このと
き、探針２５およびプリント配線２７により形成
されるインダクタンス成分およびキヤパシタンス
成分が半導体チツプ上の電極とプローバ間に必然
的に挿入されることになり、これら成分の影響に
よつて高周波動作時には、インピーダンスが不整
合になるという問題があつた。またプリント配線
２７にはシールドを施すことが難しく、その結果
誘導される雑音成分が測定波形に与える影響が大
きくなり、測定値の信頼性が低下するという問題
があつた。
的特性を測定する場合、半導体チツプ上の電極と
プローバとは探針２５およびプリント配線２７を
介して信号のやりとりを行う必要がある。このと
き、探針２５およびプリント配線２７により形成
されるインダクタンス成分およびキヤパシタンス
成分が半導体チツプ上の電極とプローバ間に必然
的に挿入されることになり、これら成分の影響に
よつて高周波動作時には、インピーダンスが不整
合になるという問題があつた。またプリント配線
２７にはシールドを施すことが難しく、その結果
誘導される雑音成分が測定波形に与える影響が大
きくなり、測定値の信頼性が低下するという問題
があつた。
本発明は上記事情に鑑みて創案されたもので、
インダクタンス成分およびキヤパシタンス成分を
形成する要素を探針のみにとどめることによつて
インピーダンスの不整合を少なくし、又同時に誘
導される雑音成分を少なくすることにより、高周
波動作時においても信頼性の高い測定値を得るこ
とが可能なプローブカードを提供することを目的
としている。
インダクタンス成分およびキヤパシタンス成分を
形成する要素を探針のみにとどめることによつて
インピーダンスの不整合を少なくし、又同時に誘
導される雑音成分を少なくすることにより、高周
波動作時においても信頼性の高い測定値を得るこ
とが可能なプローブカードを提供することを目的
としている。
問題点を解決するための手段
本発明によるプローブカードは、プローブカー
ド本体の中央開口部片面に取付けられた絶縁リン
グの傾斜面上に放射状に配設された複数の探針
と、プローブカード本体の片面上に設けられ探針
数よりも少ない複数の変換部と、変換部から測定
装置であるプローバを接続する光伝送ケーブルを
具備しており、且つ前記変換部は光から電気およ
び電気から光に変換する機能を有するものであつ
て前記プローバと前記探針間に接続されるもので
あり、且つ変換部はプローブカード本体の表裏面
に配設されたプリント配線により電力を供給され
るようにしたことを特徴としている。
ド本体の中央開口部片面に取付けられた絶縁リン
グの傾斜面上に放射状に配設された複数の探針
と、プローブカード本体の片面上に設けられ探針
数よりも少ない複数の変換部と、変換部から測定
装置であるプローバを接続する光伝送ケーブルを
具備しており、且つ前記変換部は光から電気およ
び電気から光に変換する機能を有するものであつ
て前記プローバと前記探針間に接続されるもので
あり、且つ変換部はプローブカード本体の表裏面
に配設されたプリント配線により電力を供給され
るようにしたことを特徴としている。
作 用
測定装置より半導体チツプへ信号を送る場合、
測定装置から出た光信号が光伝送ケーブルを通つ
て変換部に入り、電気信号に変換され、探針を伝
わつて半導体チツプに供給される。半導体チツプ
からの信号を測定装置で受ける場合、半導体チツ
プからの電気信号が探針を伝わつて変換部に入
り、光信号に変換され、光伝送ケーブルを通つて
測定装置に達する。
測定装置から出た光信号が光伝送ケーブルを通つ
て変換部に入り、電気信号に変換され、探針を伝
わつて半導体チツプに供給される。半導体チツプ
からの信号を測定装置で受ける場合、半導体チツ
プからの電気信号が探針を伝わつて変換部に入
り、光信号に変換され、光伝送ケーブルを通つて
測定装置に達する。
実施例
第１図は本発明の一実施例を示す要部断面側面
図である。図において、プローブカード１は矩形
又は円形のプローブカード本体２を有し、プロー
ブカード本体２の中央には開口部３が設けられ、
さらにこの開口部３の裏面には嵌合部４が形成さ
れている。嵌合部４には例えばセラミツク等から
なる絶縁リング５が取り付けられ、絶縁リング５
の下面には例えばダングステンあるいはリン青銅
合金等からなる探針７が放射状に配され絶縁性合
成樹脂等６によつて固定されている。探針７の一
端は、スルーホール１２を介してプローブカード
本体２の上側面に取り付けられている変換部８に
接続され、変換部８と半導体チツプ上の電極とは
探針７を介して電気信号のやりとりをするように
なつている。プローブカード本体２の下面にはス
ルーホール１２の近傍を除いた部分に例えば銅合
金等からなる金属箔１４が被着されている。上面
にはプリント配線１０が施され、変換部８はこの
プリント配線１０と、スルーホール１３を介して
接続されている金属箔１４とにより電力を供給さ
れ動作する。探針７が接触する半導体チツプ上の
電極が出力である場合には変換部は例えば高速の
スイツチング素子と高速にて光の断続が可能な発
光素子からなり、前記電極が入力である場合には
例えば光の高速の断続に追従可能な受光素子およ
び高速のスイツチング素子で変換部は構成されて
いる。又前記電極が半導体チツプへの電力供給の
ための電極である場合には変換部は例えば半導体
チツプが消費する電流を充分の余裕をもつて流す
ことが可能なスイツチング素子および受光素子か
ら構成されるか、あるいは変換部８に電力を供給
するプリント配線１０もしくは金属箔１４を探針
７に直接に接続することにより、プリント配線１
０又は金属箔１４を通して半導体チツプに必要な
電力を供給するようになつている。又変換部８に
は光伝送ケーブル９が接続され、光伝送ケーブル
９は、中間部で支持具１３によりプローブカード
本体２の上面に固定されている。そして先端部に
取り付けられたコネクタ１１を介して図示されて
いない測定装置と信号のやりとりをする。
図である。図において、プローブカード１は矩形
又は円形のプローブカード本体２を有し、プロー
ブカード本体２の中央には開口部３が設けられ、
さらにこの開口部３の裏面には嵌合部４が形成さ
れている。嵌合部４には例えばセラミツク等から
なる絶縁リング５が取り付けられ、絶縁リング５
の下面には例えばダングステンあるいはリン青銅
合金等からなる探針７が放射状に配され絶縁性合
成樹脂等６によつて固定されている。探針７の一
端は、スルーホール１２を介してプローブカード
本体２の上側面に取り付けられている変換部８に
接続され、変換部８と半導体チツプ上の電極とは
探針７を介して電気信号のやりとりをするように
なつている。プローブカード本体２の下面にはス
ルーホール１２の近傍を除いた部分に例えば銅合
金等からなる金属箔１４が被着されている。上面
にはプリント配線１０が施され、変換部８はこの
プリント配線１０と、スルーホール１３を介して
接続されている金属箔１４とにより電力を供給さ
れ動作する。探針７が接触する半導体チツプ上の
電極が出力である場合には変換部は例えば高速の
スイツチング素子と高速にて光の断続が可能な発
光素子からなり、前記電極が入力である場合には
例えば光の高速の断続に追従可能な受光素子およ
び高速のスイツチング素子で変換部は構成されて
いる。又前記電極が半導体チツプへの電力供給の
ための電極である場合には変換部は例えば半導体
チツプが消費する電流を充分の余裕をもつて流す
ことが可能なスイツチング素子および受光素子か
ら構成されるか、あるいは変換部８に電力を供給
するプリント配線１０もしくは金属箔１４を探針
７に直接に接続することにより、プリント配線１
０又は金属箔１４を通して半導体チツプに必要な
電力を供給するようになつている。又変換部８に
は光伝送ケーブル９が接続され、光伝送ケーブル
９は、中間部で支持具１３によりプローブカード
本体２の上面に固定されている。そして先端部に
取り付けられたコネクタ１１を介して図示されて
いない測定装置と信号のやりとりをする。
なお本考案は上記実施例に限定されず、半導体
ウエハのチツプ上の複数の電極のうちで、高周波
動作をしない電極に接続される探針については、
探針とプローバとをプリント配線により接続する
ことが可能である。
ウエハのチツプ上の複数の電極のうちで、高周波
動作をしない電極に接続される探針については、
探針とプローバとをプリント配線により接続する
ことが可能である。
発明の効果
上記のようにプローブカードを構成したのでイ
ンダクタンス成分およびキヤパンタンス成分を形
成する要素は探針のみとなり、これらの成分によ
つて起こるインピーダンスの不整合は少なくな
る。又プリント配線を電気信号が流れないことか
ら誘導される雑音成分が少なくなつて、高周波動
作時にも信頼性の高い測定値を得ることが可能な
プローブカードを提供することができる。
ンダクタンス成分およびキヤパンタンス成分を形
成する要素は探針のみとなり、これらの成分によ
つて起こるインピーダンスの不整合は少なくな
る。又プリント配線を電気信号が流れないことか
ら誘導される雑音成分が少なくなつて、高周波動
作時にも信頼性の高い測定値を得ることが可能な
プローブカードを提供することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す要部断面側面
図であり、第２図は従来のプローブカードの構成
を示す断面図である。 １……プローブカード、２……プローブカード
本体、５……絶縁リング、７……探針、８……変
換部、９……光伝送ケーブル。
図であり、第２図は従来のプローブカードの構成
を示す断面図である。 １……プローブカード、２……プローブカード
本体、５……絶縁リング、７……探針、８……変
換部、９……光伝送ケーブル。
Claims (1)
- １ プローブカード本体の中央開口部片面に取付
けられた絶縁リングの傾斜面上に放射状に配設さ
れた複数の探針と、プローブカード本体の片面上
に設けられ探針数より少ない複数の変換部と、変
換部から測定装置であるプローバを接続する光伝
送ケーブルを具備しており、且つ前記変換部は光
から電気および電気から光に変換する機能を有す
るものであつて前記プローバと前記探針間に接続
されるものであり、且つ変換部はプローブカード
本体の表裏面に配設されたプリント配線により電
力を供給されるようにしたことを特徴とするプロ
ーブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60178226A JPS6237940A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | プロ−ブカ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60178226A JPS6237940A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | プロ−ブカ−ド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237940A JPS6237940A (ja) | 1987-02-18 |
| JPH039623B2 true JPH039623B2 (ja) | 1991-02-08 |
Family
ID=16044795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60178226A Granted JPS6237940A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | プロ−ブカ−ド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237940A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999040446A1 (fr) * | 1998-02-05 | 1999-08-12 | Advantest Corporation | Procede de mesure du courant, detecteur de courant et testeur ci utilisant ledit detecteur |
| CN1129798C (zh) * | 1998-02-05 | 2003-12-03 | 株式会社爱德万测试 | 光驱动型驱动器、光输出型电压传感器、及使用这两者的ic试验装置 |
| JP5230280B2 (ja) * | 2008-06-16 | 2013-07-10 | 新光電気工業株式会社 | プローブカード及び回路試験装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5149688A (ja) * | 1974-10-25 | 1976-04-30 | Seiko Instr & Electronics | |
| JPS5340192A (en) * | 1976-09-24 | 1978-04-12 | Toshiba Corp | Separate type protection device |
-
1985
- 1985-08-12 JP JP60178226A patent/JPS6237940A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6237940A (ja) | 1987-02-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |