JPS6237940A - プロ−ブカ−ド - Google Patents
プロ−ブカ−ドInfo
- Publication number
- JPS6237940A JPS6237940A JP60178226A JP17822685A JPS6237940A JP S6237940 A JPS6237940 A JP S6237940A JP 60178226 A JP60178226 A JP 60178226A JP 17822685 A JP17822685 A JP 17822685A JP S6237940 A JPS6237940 A JP S6237940A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- probe card
- printed wiring
- light
- semiconductor chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産１土迎ＪＩ３Ｕ」
本発明は、半導体ウェハに形成された多数の集積回路の
電気的特性を測定するために使用されるプローブカード
に係り、特に光から電気および電気から光に変換する変
換部を有するプローブカードに関する。
電気的特性を測定するために使用されるプローブカード
に係り、特に光から電気および電気から光に変換する変
換部を有するプローブカードに関する。
苅し刺夏罷
一般に半導体うエバに形成された多数の集積回路の電気
的特性を測定する際には、半導体ウェハ面上の一つの折
目に当たるチップの表面に設けられた電極の位置に対応
して配設された探針を有するプローブカードが用いられ
ている。
的特性を測定する際には、半導体ウェハ面上の一つの折
目に当たるチップの表面に設けられた電極の位置に対応
して配設された探針を有するプローブカードが用いられ
ている。
第２図はその構成を示す断面図で、図においてプリント
配線基板２１の中央には開口部２２が設けられると共に
、開口部２２の裏面側には嵌合部２３が形成されている
。嵌合部２３には傾斜面を有する絶縁リング２４が嵌着
され、この傾斜面上には複数の探針２５が放射状に配置
され絶縁性合成樹脂２６にて固着されている。さらに、
プリント配線基板２１の表裏面には、絶縁リング２４近
傍から外に向かってプリント配線２７が放射状に伸び、
このプリント配線２７の絶縁リング２４例の端部に前記
の探針２５が半田付によって接続されている。なお、図
例では表面側に設けられたプリント配線２７については
省略している。
配線基板２１の中央には開口部２２が設けられると共に
、開口部２２の裏面側には嵌合部２３が形成されている
。嵌合部２３には傾斜面を有する絶縁リング２４が嵌着
され、この傾斜面上には複数の探針２５が放射状に配置
され絶縁性合成樹脂２６にて固着されている。さらに、
プリント配線基板２１の表裏面には、絶縁リング２４近
傍から外に向かってプリント配線２７が放射状に伸び、
このプリント配線２７の絶縁リング２４例の端部に前記
の探針２５が半田付によって接続されている。なお、図
例では表面側に設けられたプリント配線２７については
省略している。
そして図外のプローハと呼ばれる測定装置にこのプロー
ブカーｌＳを接続し、探針２５を半導体チップに設＆Ｊ
られた電極の表面に接触させることにより電気的特性の
測定を行う。
ブカーｌＳを接続し、探針２５を半導体チップに設＆Ｊ
られた電極の表面に接触させることにより電気的特性の
測定を行う。
発明が！Ｉｌｌゑ！、、１聾Ｙ者Ｊ−る一問題点ところ
が、このプローブカードを使用して電気的特性を測定す
る場合、半導体チノプトの電極とブローハとは探釧２５
およびプリント配線２７を介して信号のやりとりを行う
必要がある。このとき、探多１２５およびプリント配線
２７により形成されるインダクタンス成分およびキャパ
シタンス成分が半導体チップｌ−の電極とプローハ間に
必然的に挿入されることになり、これら成分の影響によ
って高周波動作時には、インピーダンスが不整合になる
という問題があった。またプリント配線２７にはシール
１′を施ずことがｙ＃シく、その結果誘導される雑音成
分が測定波形に与える影響が太き（なり、測定値の信１
１ｉｎ ？！＋が低下するという問題があった。
が、このプローブカードを使用して電気的特性を測定す
る場合、半導体チノプトの電極とブローハとは探釧２５
およびプリント配線２７を介して信号のやりとりを行う
必要がある。このとき、探多１２５およびプリント配線
２７により形成されるインダクタンス成分およびキャパ
シタンス成分が半導体チップｌ−の電極とプローハ間に
必然的に挿入されることになり、これら成分の影響によ
って高周波動作時には、インピーダンスが不整合になる
という問題があった。またプリント配線２７にはシール
１′を施ずことがｙ＃シく、その結果誘導される雑音成
分が測定波形に与える影響が太き（なり、測定値の信１
１ｉｎ ？！＋が低下するという問題があった。
本発明はト記事情に鑑みて創案されたもので、インダク
タンス成分およびキャパシタンス成分を形成する要素を
探針のみにとどめることによってインピーダンスの不整
合を少なくし、又同時に誘導される雑音成分を少なくす
るごとにより、高周波動作時においても信頼性の高い測
定値を１７ることか可能なプローブカーｌを提供するこ
とを目的としている。
タンス成分およびキャパシタンス成分を形成する要素を
探針のみにとどめることによってインピーダンスの不整
合を少なくし、又同時に誘導される雑音成分を少なくす
るごとにより、高周波動作時においても信頼性の高い測
定値を１７ることか可能なプローブカーｌを提供するこ
とを目的としている。
間Ｂ嘉奎解決１Ａ火汝−の］段
本発明によるプローブカー１′は探針とプＩ：Ｊ−ハと
の間の信号のやりとりを光によって行い、そのため光か
ら電気および電気から光に変換する複数の変換部と複数
の光伝送ケーブルを備え、この変換部の電気側端子には
探組を接続し、他方の先側端子には光伝送ケーブルを接
続する。
の間の信号のやりとりを光によって行い、そのため光か
ら電気および電気から光に変換する複数の変換部と複数
の光伝送ケーブルを備え、この変換部の電気側端子には
探組を接続し、他方の先側端子には光伝送ケーブルを接
続する。
］乍ｍ
５ 測定装置より半導体チップへ信号を送る場合、測
定装置から出た光信号が光伝送ケーブルをｊｍって変換
部に入り、電気信号に変換され、探針を伝わって半導体
チップに供給される。半導体チップからの信号を測定装
置で受ける場合、半導体千ノブからの電気信号が探針を
伝わって変換部に入り、光信号に変換され、光伝送ケー
ブルを１ｆｆ１って測定装置に達する。
定装置から出た光信号が光伝送ケーブルをｊｍって変換
部に入り、電気信号に変換され、探針を伝わって半導体
チップに供給される。半導体チップからの信号を測定装
置で受ける場合、半導体千ノブからの電気信号が探針を
伝わって変換部に入り、光信号に変換され、光伝送ケー
ブルを１ｆｆ１って測定装置に達する。
実Ｊ缶例
第１図は本発明の一実施例を示す要部断面側面図である
。図において、プローブカード１は矩形又は円形のプロ
ーブカード本体２を有し、プローブカー１一本体２の中
央には開口部３が設けられ、さらにこの開口部３の裏面
には嵌合部４が形成されている。嵌合部４には例えばセ
ラミック等からなる絶縁リング５が取り付けられ、絶縁
リング５の下面には例えばタングステンあるいはリン青
銅合金等からなる探針７が放射状に配され絶縁性合成樹
脂等６によって固定されている。探針７の一端は、スル
ーホール１２を介してプローブカード本体２の上側面に
取り付けられている変換部８に接続され、変換部８と半
導体チップ上の電極とは探針７を介して電気信号のやり
とりをするようになっている。プローブカード本体２の
下面にはスルーホール１２の近傍を除いた部分に例えば
銅合金等からなる金属箔１４が被着されている。上面に
はプリント配線１０が施され、変換部８はこのプリント
配線１０と、スルーホール１３を介して接続されている
金属箔１４とにより電力を供給され動作する。探針７が
接触する半導体チップ上の電極が出力である場合には変
換部は例えば高速のスイッチング素子と高速にて光の断
続が可能な発光素子からなり、前記電極が入力である場
合には例えば光の高速の断続に追従可能な受光素子およ
び高速のスイッチング素子で変換部は構成されている。
。図において、プローブカード１は矩形又は円形のプロ
ーブカード本体２を有し、プローブカー１一本体２の中
央には開口部３が設けられ、さらにこの開口部３の裏面
には嵌合部４が形成されている。嵌合部４には例えばセ
ラミック等からなる絶縁リング５が取り付けられ、絶縁
リング５の下面には例えばタングステンあるいはリン青
銅合金等からなる探針７が放射状に配され絶縁性合成樹
脂等６によって固定されている。探針７の一端は、スル
ーホール１２を介してプローブカード本体２の上側面に
取り付けられている変換部８に接続され、変換部８と半
導体チップ上の電極とは探針７を介して電気信号のやり
とりをするようになっている。プローブカード本体２の
下面にはスルーホール１２の近傍を除いた部分に例えば
銅合金等からなる金属箔１４が被着されている。上面に
はプリント配線１０が施され、変換部８はこのプリント
配線１０と、スルーホール１３を介して接続されている
金属箔１４とにより電力を供給され動作する。探針７が
接触する半導体チップ上の電極が出力である場合には変
換部は例えば高速のスイッチング素子と高速にて光の断
続が可能な発光素子からなり、前記電極が入力である場
合には例えば光の高速の断続に追従可能な受光素子およ
び高速のスイッチング素子で変換部は構成されている。
又前記電極が半導体チップへの電力供給のための電極で
ある場合には変換部は例えば半導体チップが消費する電
流を充分の余裕をもって流すことが可能なスイッチング
素子および受光素子から構成されるか、あるいは変換部
８に電力を供給するプリント配線１０もしくは金属箔１
４を探針７に直接に接続することにより、プリント配線
１０又は金属箔１４をｊｍシて半導体チップに必要な電
力を供給するようになっている。又変換部８には光伝送
ケーブル９が接続され、光伝送ケーブル９は、中間部で
支持具１３によりプローブカード本体２の上面に固定さ
れている。そして先端部に取り付けられたコネクタ１１
を介して図示されていない測定装置と信号のやりとりを
する。
ある場合には変換部は例えば半導体チップが消費する電
流を充分の余裕をもって流すことが可能なスイッチング
素子および受光素子から構成されるか、あるいは変換部
８に電力を供給するプリント配線１０もしくは金属箔１
４を探針７に直接に接続することにより、プリント配線
１０又は金属箔１４をｊｍシて半導体チップに必要な電
力を供給するようになっている。又変換部８には光伝送
ケーブル９が接続され、光伝送ケーブル９は、中間部で
支持具１３によりプローブカード本体２の上面に固定さ
れている。そして先端部に取り付けられたコネクタ１１
を介して図示されていない測定装置と信号のやりとりを
する。
なお本考案は上記実施例に限定されず、半導体ウェハの
チップ上の複数の電極のうちで、高周波動作をしない電
極に接続される探針については、探針とブローハとをプ
リント配線により接続することが可能である。
チップ上の複数の電極のうちで、高周波動作をしない電
極に接続される探針については、探針とブローハとをプ
リント配線により接続することが可能である。
発−明−Ｑ−効果
上記のようにプローブカードを構成したのでインダクタ
ンス成分およびキャパシタンス成分を形成する要素は探
針のみとなり、これらの成分によって起こるインピーダ
ンスの不整合は少なくなる。
ンス成分およびキャパシタンス成分を形成する要素は探
針のみとなり、これらの成分によって起こるインピーダ
ンスの不整合は少なくなる。
又プリント配線を電気信号が流れないことから誘導され
る雑音成分が少なくなって、高周波動作時にも信頼性の
高い測定値を得ることが可能なプローブカードを提供す
るごとができる。
る雑音成分が少なくなって、高周波動作時にも信頼性の
高い測定値を得ることが可能なプローブカードを提供す
るごとができる。
第１図は本発明の一実施例を示す要部断面側面図であり
、第２図は従来のプローブカードの構成を示す断面図で
ある。 ■・・・プローブカード、２・・・プローブカード本体
、５・・・絶縁リング、７・・・探釧、８・・・変換部
、９・・・光伝送ケーブル。
、第２図は従来のプローブカードの構成を示す断面図で
ある。 ■・・・プローブカード、２・・・プローブカード本体
、５・・・絶縁リング、７・・・探釧、８・・・変換部
、９・・・光伝送ケーブル。
Claims (1)
- （１）試料の電気的入出力部と測定装置の光学的入出力
部とを接続する光から電気および電気から光に変換する
複数の変換部および複数の光伝送ケーブルと、プローブ
カード本体の中央開口部片面に取り付けられた絶縁リン
グの傾斜面上に放射状に配設されかつ一端が前記変換部
に接続されている複数の探針とを有することを特徴とす
るプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60178226A JPS6237940A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | プロ−ブカ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60178226A JPS6237940A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | プロ−ブカ−ド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237940A true JPS6237940A (ja) | 1987-02-18 |
| JPH039623B2 JPH039623B2 (ja) | 1991-02-08 |
Family
ID=16044795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60178226A Granted JPS6237940A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | プロ−ブカ−ド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237940A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999040446A1 (fr) * | 1998-02-05 | 1999-08-12 | Advantest Corporation | Procede de mesure du courant, detecteur de courant et testeur ci utilisant ledit detecteur |
| WO1999040449A1 (en) * | 1998-02-05 | 1999-08-12 | Advantest Corporation | Optically driven driver, optical output type voltage sensor, and ic testing equipment using these devices |
| JP2009300333A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Shinko Electric Ind Co Ltd | インターポーザ、プローブカード及び回路試験装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5149688A (ja) * | 1974-10-25 | 1976-04-30 | Seiko Instr & Electronics | |
| JPS5340192A (en) * | 1976-09-24 | 1978-04-12 | Toshiba Corp | Separate type protection device |
-
1985
- 1985-08-12 JP JP60178226A patent/JPS6237940A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5149688A (ja) * | 1974-10-25 | 1976-04-30 | Seiko Instr & Electronics | |
| JPS5340192A (en) * | 1976-09-24 | 1978-04-12 | Toshiba Corp | Separate type protection device |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999040446A1 (fr) * | 1998-02-05 | 1999-08-12 | Advantest Corporation | Procede de mesure du courant, detecteur de courant et testeur ci utilisant ledit detecteur |
| WO1999040449A1 (en) * | 1998-02-05 | 1999-08-12 | Advantest Corporation | Optically driven driver, optical output type voltage sensor, and ic testing equipment using these devices |
| GB2339918A (en) * | 1998-02-05 | 2000-02-09 | Advantest Corp | Optically driven driver, optical output type voltage sensor, and ic testing equipment using these devices |
| GB2340233A (en) * | 1998-02-05 | 2000-02-16 | Advantest Corp | Current measuring method,current sensor,and IC tester using the same current sensor |
| GB2339918B (en) * | 1998-02-05 | 2002-11-27 | Advantest Corp | Optical driver, optical output type voltage sensor and IC testing apparatus using them |
| US6586953B1 (en) | 1998-02-05 | 2003-07-01 | Advantest Corporation | Optically driven driver, optical output type voltage sensor, and IC testing equipment using these devices |
| JP2009300333A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Shinko Electric Ind Co Ltd | インターポーザ、プローブカード及び回路試験装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH039623B2 (ja) | 1991-02-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |