JPH04101501U - レーザ光分割ミラー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】光軸ずれを起すことなく、リアルタイムにレー
ザ光の分割比率を変える。 【構成】レーザ光分割ミラーの線対称軸を中心に、その
右半分と左半分でそれぞれレーザ光透過率（分割比率）
を異ならしめ、パルスモータにしてレーザ光分割ミラー
を回転させてミラーの右半分と左半分のいずれか一方を
選択せしめてレーザ光の分割比率を変える。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はレーザ光分割ミラーに関する。

【０００２】

【従来の技術】

入射光に一部を透過し残余を反射する従来のレーザ光分割ミラーは、図３に示 すように、レーザ光入射面に対して所望の分割比率（透過率）を有する誘電体多 層膜３をガラス基板２に蒸着し、裏面には無反射コート５を施したものが使用さ れ、一般的には、図４に示すように蒸着面がレーザ光６の光軸に対し４５°の角 度となる位置にミラー取付治具１０で固定される。

【０００３】 この時、透過レーザ光７ａと反射レーザ光７ｂの比率（分割比率）を変換しよ うとする場合には、所望の分割比率を有する誘電体多層膜を蒸着したレーザ光分 割ミラー９と交換して使用される。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

この従来のレーザ光分割ミラー９では、レーザ光分割比率を変えようとする場 合、所望の分割比率を有するレーザ光分割ミラーに交換しなければならないが、 レーザ光分割ミラーを交換した後では、レーザ光光軸がずれているのが通常で、 光軸調整時間を要するため、リアルタイムに分割比率を変えられないという問題 点があった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案のレーザ光分割ミラーは、ガラス基板の線対称軸に対し右半分は表面に 左半分は裏面にそれぞれ相異なる分割比率を有する一誘電体多層膜からなる蒸着 層を備えている。

【０００６】

【実施例】 次に本考案について図面を参照して説明する。図１は本考案の一実施例のレー ザ光分割ミラー１の断面図で、ガラス基板２の線対称軸に対し右半分の表面と左 半分の裏面に相異なる分割比率を有する誘電体多層膜３，４を蒸着し、それぞれ 反対面には無反射コート層５を蒸着して成る。図２は図１で示したレーザ光分割 ミラー１の使用例を示す図で、パルスモータ８により所望の分割比率を有する蒸 着層を選択し、入射レーザ光６が透過光７ａと反射光７ｂに所望の比率で分割さ れる。

【０００７】 本構成によれば分割比率の異なる蒸着層３あるいは蒸着層４がパルスモータ８ によりリアルタイムに選択出来、分割後のレーザ光の光軸はずれることなく再現 される。

【０００８】

【考案の効果】

以上説明したように本考案は同一ガラス基板上に分割比率の異なる誘電体多層 膜が回転対称の位置に蒸着してあるため、補助手段としてパルスモータを使用す ることにより、リアルタイム（１００ｍｓ以内）に分割比率が変えられ、再度レ ーザ光光軸調整する必要がないという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例のレーザ光分割ミラーの断面
図。

【図２】図１に示したレーザ光分割ミラーの使用例を示
す図。

【図３】従来のレーザ光分割ミラーの断面図。

【図４】図３に示したレーザ光分割ミラーの使用例を示
す図。

【符号の説明】

１ レーザ光分割ミラー ２ ガラス基板 ３ 誘電体多層膜 ４ 誘電体多層膜 ５ 無反射コート膜 ６ 入射レーザ光 ７ａ 透過レーザ光 ７ｂ 反射レーザ光 ８ パルスモータ ９ レーザ光分割ミラー １０ レーザ分割ミラー取付治具

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラス基板に誘電体多層膜を蒸着して成
   り、誘電体多層を透過する光と誘電体多層膜で反射する
   光に所望の分割比率でレーザ光を分割するレーザ光分割
   ミラーにおいて、前記ガラス基板の線対称軸に対し右半
   分の表面と左半分の裏面にそれぞれ相異なる分割比率を
   有する誘電体多層膜を蒸着したことを特徴とするレーザ
   光分割ミラー。