JPH0410765B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、圧電材料製の本体を具え、その一表
面上に少なくとも１個のアポダイズされた櫛形電
極アレーから成る音響表面波トランスデユーサを
形成し、前記アレイの第１組の電極及び第２組の
電極を２つの対向する母線の対応する各々にそれ
ぞれ接続して、動作時に少なくとも一方の母線は
接地されずに、この母線の電圧が前記音響表面波
トランスデユーサの近傍における前記本体の電極
支持表面領域の上又はその周りに設定されるほぼ
一定の大地電位に対して信号周波数で変化し得る
ようになして、音響表面波伝播方向に沿つて向け
られた音響表面波を音響表面波トランスデユーサ
の通信端を介して伝播又は受信可能とし、各接地
されない母線の、音響表面波トランスデユーサの
通信端に隣接する部分は、前記アポダイズされた
アレーのほぼ中心軸線まで音響表面波ビームの開
口内へと内側に向け、前記トランスデユーサがさ
らに、前記櫛形アレーの電極に平行で且つ接地さ
れる母線に接続されたダミー電極を具える音響表
面波伝播速度補正領域も含み、この速度補正領域
の外側通信端が音響表面波伝播方向に対して直角
となるようにした音響表面波装置に関するもので
ある。

前述した種類の音響表面波装置はドイツ国特許
第2854072号の第２図に開示されており、これは
例えば1978年にシユプリンガー社から刊行された
Ａ、Ａ、Oliner編「Acoustic Surface Waves」
の第71頁の第３，８図に示されているようにフイ
ルタ装置で使用できるアポダイズされた櫛形トラ
ンスデユーサの一般的形態を発展させたものであ
り、アポダイズされた送信側トランスデユーサが
多重細条カプラを介してアポダイズされた受信側
トランスデユーサと結合されている。この例で各
重細条カプラを用いることはこれまた櫛形電極ア
レーにより発信させられたバルク波を介する不所
望な信号転送を小さくするないし実効的に除去す
ることを可能にする。多重細条カプラはまた送信
側及び受信側トランスデユーサを所望とあらばア
ポダイズさせて対称的な配置を形成することがで
きる。

この種類の音響表面波フイルタは計算すること
ができ、理想的な条件の下で、フーリエ合成及び
計算機の最適化を用いる技術により所定の近似内
で所望の帯域幅応答を満足させる。このようにし
てトランスデユーサに沿つてのトランスデユーサ
要素の必要な分布及び強さを規定する計算機のプ
ログラムが既に考案されている。アポダイズされ
た櫛形アレーでは、このような要素は実際には
各々の組が２個の対向する母線の対応する一つに
接続されている２個の重なり合う組の櫛形電極の
各々から一つをとつて隣接する電極を重なり合わ
せることにより実現できる。各要素の変換の大き
さは、考察する要素の大きさに依存して端効果及
び最近傍電極の影響も考慮に入れねばならない
が、主として上記重なり合いの音響表面波伝播方
向に直角な長さの関数である。

アポダイズされたトランスデユーサに沿つての
重なり合いの分布は、便宜上、櫛形アレーに沿つ
ての隣接する電極間の重なり合いの夫々の端を追
つて描かれた一対の線を具える重なり合い外側線
により略式表示できる。波の伝播方向に直角な方
向での重なり合いの外側線の外側限界はトランス
デユーサの音響開口の境界を画成するのに使用さ
れる。

いくつかの場合では、側面の母線からアレーの
中心軸線へ延在する可成り長く細い導体が短い重
なり合いにより形成される小さな変換要素に直列
に混乱させる量の抵抗を導入することが判明して
いるが、英国特許第1430725号及び第1512686号は
発射された音響表面波の波頭を歪ませることなく
この直列抵抗分を減らせる配置を記載している。

実際に音響表面波フイルタを作るに当つては、
混乱させる信号が発生し、これが送信側トランス
デユーサから受信側トランスデユーサへの主信号
の直接の通過に対して遅れることが判明してお
り、またフーリエ変換の考察から明らかなように
このような信号が加わるとフイルタの位相及び周
波数特性が計算された理想からはずれる。

これらの不所望な遅延信号の多くは原因がよく
理解されており、これらの効果を小さくする解決
策が既に提案されている。例えば、個々の電極の
境界での反射の効果は二重電極及びダミー電極を
使用することにより小さくさせられており、トラ
ンスデユーサの後の表面密度の変化による不所望
な後方への波の反射の効果は例えば英国特許願第
GB2000932A号に開示されているように補正によ
り又は英国特許第1574062号明細書に開示されて
いるように波頭に対し斜めの境界セツトを有する
吸収材料を塗布することにより小さくさせられて
おり、圧電体の縁からの反射の効果は、縁を波頭
に対して斜めに形成し且つ縁とトランスデユーサ
との間の表面に吸収材料を塗布することにより小
さくされている。もう一つの不所望な遅延の源は
音響表面波の速度と異なる速度を有するバルク波
モードのような別のモードを介するエネルギーの
伝播である。しかし、トラツクの切り替えに対す
る多重細条カプラの使用及び圧電体を形成する結
晶ウエハの下側を粗くしたり、溝を設ける技術に
よりこのバルク波の効果も小さくさせられてい
る。

別の形態の不所望な遅延は容量性結合による電
気的な誤点孤（break through）によるものであ
る。これは普通の表面波伝播遅延に対する負の遅
延とみなすことができる。この電気的な誤点孤は
レイアウトと設計を注意深く行い且つアースに接
続された適当なスクリーンを設けることにより小
さくすることができる。

しかし、これらの注意を全て尽くした時でさ
え、不所望な遅延信号が生じ、通過帯域内に或る
量の群遅延リツプルが生じ、この量が、例えば、
放送カラーテレビジヨン装置におけるような或る
種の厳しい用途に対しては受け容れ難い程大き
い。この効果はドイツ国特許第285407号で同定さ
れており、ストリツプ電極のトランスデユーサの
端、主として外側境界縁の部分（これは互に重な
り合わず、ここでは縁要素と称する）により形成
される不所望なトランスデユーサ要素により作ら
れる、送信信号に対する付加によるものであると
されている。ドイツ国特許第2854072号の第２図
はトランスデユーサの通信端で接地されていない
母線をアレーの中心軸線の方へ内側に向け、この
内側に向けられた母線に近接するアレー電極に平
行なダミー電極の速度補正領域を設けることによ
りこの困難を克服する方法を提案している。

しかし、遺憾ながらここに開示されている装置
は期待する程に群遅延リツプルを低下させないこ
とが判明している。

本発明の目的は１個又は複数個のアポダイズさ
れた櫛形電極アレーの形態をした音響表面波トラ
ンスデユーサを採用する改良された音響表面波装
置を提供するにある。

本発明によれば、前述した種類の音響表面波装
置において、接地される母線部分を音響表面波ビ
ーム開口内に位置する前記接地されない母線の前
記内側に向けられた部分に隣接して位置させ、こ
の接地される母線部分を音響表面波伝播方向に前
記接地されない母線部分からほぼ均一な距離だけ
離間させ、前記トランスデユーサの音響表面波ビ
ーム開口内に位置する前記接地されない母線部分
と接地される母線部分の互いに隣接する部分の対
向する境界縁を音響表面波伝播方向に直角な方向
に対して傾斜させて、前記各それぞれの境界縁の
最内側端と最外側端とを互に音響表面波伝播方向
にて少なくとも0.8λだけ変位させ、前記いずれも
の境界縁の傾きが、音響表面波伝播方向に0.8λだ
け変位させる前記接地されない母線部分と接地さ
れる母線部分における対応するいずれもの最内側
点と最外側点とを結ぶ直線の傾きよりも大きくな
り、音響表面波ビーム開口内に位置する母線の前
記対向する境界縁により形成される音響表面波ト
ランスデユーサ要素により発生させられ、又は受
信される不所望な音響表面波に対する主応答ロー
ブが音響表面波伝播方向に対して斜めに向けられ
るようにしたことを特徴とする。

このような本発明は内側に向けられた接地され
ていない母線部の外側縁とドイツ国特許第
2854072号の第２図の装置内のダミー電極の最も
近い接地された導電縁との間に形成される不所望
なトランスデユーサ要素が実は主として母線の傾
けられた縁に垂直な方向には変換せず、可成り大
きなトランスデユーサ軸に平行な成分を有し、こ
れが接地されたダミー電極の、伝播方向に対し直
角で、接地されていない母線部の傾斜する隣接縁
から延在する電界に直接さらされる縁部に由来す
ることを自覚し、音響表面開口両端間で加え合わ
された全効果は群遅延応答の重要な不利な混乱を
ひき起すことを認識したことに基づいている。進
歩した解決策は、接地された導体の、内側に向け
られた信号母線部の外側の縁にすぐ近接する縁が
全ての点で前記外側縁として伝播軸線に垂直な方
向に同じような傾きを有し、うまいことに接地さ
れた母線であり、これに速度補正領域を形成する
少なくともいくつかの接地されたダミー電極を直
接電気的に接続することにより上述した不利な効
果を克服することを提案している。

このようにして本発明に係る音響表面波装置で
は、接地されていない信号母線部と接地された母
線との夫々の対向する境界縁により形成される不
所望なトランスデユーサ要素を所望の波の伝播方
向に対して傾いている方向に向けるように又は音
響表面波に応答するように配置し、アレーにとつ
ての伝播方向では相当に小さくなるように又はで
きるだけ小さい応答をするようにし、他方所望の
音響表面波ビームは波頭がほとんど歪まないよう
にして所望の方向に沿つて伝播するようにする。

このようにして主アレー信号に先立つ音響表面
波トランスデユーサアレーの前部、即ち通信端か
ら出る縁要素信号は大きさが相当に小さくなる。
アレーの後方端面から同じように発生し、主アレ
ー信号に対して遅延させられる縁要素信号も後述
するように小さくできる。

好適な通信方向を有するトランスデユーサの後
部の対応する縁要素からの同じような混乱させる
効果は信号で駆動される母線の各々の後部をトラ
ンスデユーサの通信端に隣接する内側に向けられ
た母線部の対向する境界縁の点で規定された少な
くとも最少量の傾きでアレーの中心軸縁の方に内
側に向けることにより小さくすることができる。

後部の境界要素による効果を小さくできる代り
の装置はダミー電極を用いてトランスデユーサを
後方に伸ばし、これらのダミー電極を音響表面波
吸収材料で覆い、不所望な応答を減衰させるもの
である。通常の計算機プログラムはいくつかの最
近傍要素を考慮に入れるから、このアレーの後方
への延長はアレーの通信端、即ち速度補正領域に
いくつかのダミー電極を付加し、アレーの対称性
を保ち、従つて、周波数と共に変わる位相の遅延
の線形性を保つことが必要なこともある。

外側縁要素が真直ぐな場合は、通常のsinx／ｘ応 答が起こり、要素の端が伝播通路に沿つて距離λ
だけ離れている傾きが伝播方向に沿つて応答の最
初のゼロを向ける。このゼロは狭い。そして比較
的狭い帯域幅の装置の場合は通過帯域の適当な側
で0.8λの最小距離を用いれば十分であるが、広い
帯域の装置は第10番目又はそれ以上のゼロが伝播
方向に沿つて向けられているような大きな傾斜角
を採用した方が好適であろう。蓋し、減衰させら
れた応答はゼロの存在よりもサイドローブの低く
されたピークに依存する必要があるからである。

また、実際の装置では対向する境界縁が伝播軸
線に対して余りに小さい角を張らないようにする
ことが望ましい。それ故、伝播方向に対する垂線
に対しての傾きが５度ないし80度の範囲に入るよ
うにすると好適である。

本発明の好適例では、音響表面波伝播方向に平
行な方向において、内側に向けられた接地されな
い母線部分を横切る距離と、隣接する接地される
母線部分の対応する個所を横切る距離との和を音
響表面波ビーム開口内で一定にする。

さらに本発明の他の好適例では、音響表面波伝
播方向に平行な方向において、内側に向けられた
接地されない母線部分を横切る距離と、隣接する
接地される母線部分の対応する個所を横切る距離
との和のこれら両者間の間隔に対する比を音響表
面波アレーにおける電極幅の間隔に対する平均比
率と同一にする。

トランスデユーサの通信開口とは音響表面波伝
播方向に沿つて向けられた任意の音響表面波が多
重細条カプラのような装置の他の要素と相互に作
用するように発射でき、又はこのような要素（多
重細条カプラ若しくは他のトランスデユーサ）に
より発射される時は、外側境界縁要素を含むトラ
ンスデユーサの任意のトランスデユーサ要素と相
互に作用できるようなトランスデユーサに関連す
る幅の寸法を意味するものとここでは理解すべき
である。

接地されていない信号母線はその端の方向に向
つてテーパをつけ、例えばアレーの端電極に接続
されている時伝播方向に対して直角に走る端境界
の一切の不所望な部分をできるだけ短く又は除去
するようにすることができる。

本発明に係る音響表面波フイルタ装置では、各
トランスデユーサを対称的にし、受信側トランス
デユーサも送信側トランスデユーサと同じように
対称的にし、位相遅延が一層容易に線形になり、
群遅延が一層一定になるようにすると好適であ
る。両方のトランスデユーサをアポダイズすれ
ば、両者は多重細条カプラにより結合しなければ
ならないことになる。このようにして単一の端で
送信側トランスデユーサ又は受信側トランスデユ
ーサへ信号接続する場合は、接地された組の電極
に接続される母線を同じように内側にアレーの中
心軸線の方向へ向け、速度補正領域の隣接する端
での対応する母線を同じように接地された信号電
極の母線から離し、対称性を保つようにする。

図面につき本発明の実施例を詳細に説明する。

既知の形態の音響表面波フイルタを第１図に示
すが、これは圧電体１を具える。これは、例えば
回転させられたＹ−カツト、Ｘ−伝播のニオブ酸
リチウム結晶のウエハの表面にアポダイズされた
櫛形の送受信アレー２，３を設け、これらを多重
細条カプラ５により結合したものである。夫々の
櫛形電極対の重なり合う外側線には符号８及び９
を付した。アレー２により多重細条カプラ５から
離れる方向に発射された不所望な音響表面波は少
なくとも一部アレー２の端と縁６との間の表面に
塗布されている減衰剤１０により吸収される。表
面波伝播方向１１及び１２に沿つて縁６及び７に
入射する音響表面波エネルギーは縁６及び７を表
面波伝播方向１１及び１２に対し傾けてあること
により斜に反射される。

送信トランスデユーサ２に短い入力信号パルス
を加えた時受信トランスデユーサ３から得られる
出力信号は第２図のグラフに示した形態をとる。
時刻t₀のパルス２０は電気的な誤点孤を示し、遅
延テスト時に人為的に大きくして時刻ゼロ基準を
与える。送信トランスデユーサ２により発射さ
れ、受信トランスデユーサ３により受信された主
信号は符号２１で示した。明らかに後信号２２の
多くは主信号２１に対して振幅が十分低いが、そ
れでもかなり目立つピーク２３が主信号に先立つ
て現われ、主信号の後に一層低いピーク２４が続
き、その後に生ずる２つの別の信号２５もはつき
り認めることができる。一方は右方向に、他方は
左方向に伝播する。

アレー２の後側の信号駆動電極の縁１９′によ
り別の波が発生する。これは一部第２の不所望な
応答２４の原因となる。

適当な電気信号により駆動された時任意のトラ
ンスデユーサ要素が音響表面波を送信できるか
ら、音響表面波の通過に応答して電気信号を発生
させ、検出することもできる。明らかに、送信側
トランスデユーサ２の中心で発生した主パルス
は、受信側トランスデユーサ３の通信端で対応す
る外側境界壁要素により予め検出されるが、これ
は検出器アレーの中心部で主応答２１が発生する
前であり、応答２３に貢献する。主パルスは受信
側アレー３の遠方の端も通過して伝播するから、
対応する後方境界縁要素によりもう一度検出され
応答２４に寄与する。

２個の別の不所望な応答２５も振幅が下がる
が、これらは夫々一方の場合は第１図で送信側ア
レー２で左方に伝播し、送信側アレー２の後側で
反射され、その後で受信側トランスデユーサ３に
走行する送信側アレー２からの主信号によるもの
であり、他方の場合は主応答２１を発生した後、
主信号が受信側トランスデユーサの右側の端で反
射され、アレーを通して戻つてくるものによる。
しかし、図示した例ではこれらの小さな応答２５
はよく制御される。蓋し、母線の両端は互に近づ
けられて電極接続部を短くし、アレーの後側でト
ランスデユーサ要素を小さくし、またウエハの表
面に減衰剤１０を設けてあるからである。

本発明の一実施例を第３図に示すが、ここでは
送信側トランスデユーサ３２、受信側トランスデ
ユーサ３３及び通常の多重細条カプラ５を圧電
体、できれば回転させられたＹ−カツト、Ｘ−伝
播ニオブ酸リチウムの結晶ウエハ１の表面上に形
成してある。トランスデユーサ３２，３３及び多
重細条カプラを金属の蒸着層からホトリトグラフ
イにより形成すると好適である。

送信側トランスデユーサ３２は２組の電極のア
ポダイズされた櫛形のアレーを具え、各組の電極
は２個の対向する母線４４，４５の対応する一方
に接続され、これらの母線は夫々端末接続部４
８，４９を有する。本例では母線４４が動作時に
信号電圧源に接続され、母線４５が接地される。
しかし、所望とあらば、夫々の組の電極及び対応
する母線４４，４５を信号電圧源により逆相で駆
動することができる。しかし、この場合は直接的
な電気的な誤点孤を下げるスクリーンとして接地
された別の導電性材料パターンを母線４５に隣接
させることができる。

アレーの長さに比較して幅とスペースとが狭い
ためアポダイズされた櫛形アレーを作る２組の
各々の電極は詳細に示していないが、長さに重み
をつけられた、即ちアポダイズされたトランスデ
ユーサ要素のアレーの重なり合う外側線は線８に
より示されている。1972年10月のIEEEの超音波
シンポジウムのプロシーデイングスにのつている
T.W.Bristol他の「Applications of double
electrodes in acoustic surface wave device
design」と題する論文にのつているように、個々
の電極を二重電極として構成し、電極からの悪い
反射作用を小さくすると好適である。所定の組の
電極どうしの間の空間はこの組の電極と同一の母
線に接続されたダミー電極で充たすことができ
る。これについては1971年12月１日発行の
Applied Physics Letters、第19巻第11号（11月
号）の第456ないし459頁に記載されている。

ドイツ国特許勾報第2854072号の第２図に開示
されているように、母線４４の、送信側トランス
デユーサ３２の通信端３４に近接する部分４４′
は、アポダイズされたアレーのほぼ中心軸接１１
まで音響開口（この境界を一点鎖線５５，５６で
示す）内へと内側に向ける。また速度補正領域３
６を設けるが、これは送信側トランスデユーサ３
２を形成する櫛形アレーの電極と平行で接地され
ているダミー電極３７を具える。

本発明によれば、ダミー電極３７が接続されて
いる接地された母線３８を接地されていない母線
４４の内側に向いている部分４４′に近接して設
け、信号母線の縁３５と接地された母線３８の近
接する縁との間のスペースを音響表面波伝播方向
にほぼ一様にする。母線部４４′と近接する接地
された母線３８の対応する距離の和の信号母線の
縁３５と接地された母線３８の近接する縁との間
のスペースに対する比を、全ての距離を音響表面
波の伝播方向で測るものとして、電極の幅の送信
側アレー内のスペースに対する平均の比と同じに
すると好適である。

母線の部分４４′はその端３９に向つてテーパ
をつけ、伝播方向に直角な不所望の端境界を有す
る接続部を必要とせずに、短い電極４０を装着で
きるようにすると好適である。母線部４４′にテ
ーパをつける時、接地された母線３８の対応する
部分には逆向きのテーパをつけ、音響表面波方向
での２個の母線４４′，３８の距離の和が音響開
口内でいたるところ同一であるようにする必要が
ある。

接地されていない母線部４４′の隣接する部分
の対向する境界縁、即ち３５と、接地された母線
３８の対向する境界縁とは、夫々音響波ビーム開
口５５，５６内にだけ位置するのではなく、トラ
ンスデユーサの全通信開口５７，５８内にも位置
し、軸線１１に沿う音響表面波の伝播方向に対し
直角な横方向へ各々傾むかせ、その量はいずれも
トランスデユーサの通信開口内に位置する夫々の
内側の端、例えば３９と対応する外側の端、例え
ば５０が音響表面波伝播方向で距離ａだけ互にず
れ、この距離ａが装置の通過帯域内では少なくと
も0.8λであり、広い通過帯域が必要な時はこの量
の数倍にするようにする。

実際の装置では、横方向への傾き角は５度以下
から80度迄の範囲に入れることができる。80度よ
り大きくすると伝播方向での信号母線部４４′の
縁と、接地された母線３８の縁との間の距離を所
定の値に保つことに困難を生ずる。

前述したように、各場合で選択される角度は装
置の必要な帯域幅に依存する。狭い帯域の装置で
はsinx／ｘ応答の中央帯域零方向（mid−band null direction）に対応し、広い帯域の装置では適
当
に減縮されたsinx／ｘサイドローブ振幅に対応する。

このようにして、この角度は一般に開口帯域幅積
に依存する。実際の装置で採用される傾き角は約
50度であり、こうすると対向する境界縁により形
成される縁要素により発生した不所望の音響表面
波は斜めに走り、軸線１１に沿う音響表面波伝播
方向からはずれる。

前述したように、櫛形アレーの対称性を保ち、
線形の位相−周波数応答を保つようにすると好適
である。このようにして本例では、接地された母
線４５の外側境界縁４１がこれまた大地電位にあ
る取り巻く要素と組んで音響表面波トランスデユ
ーサ要素を形成することはできないが、それにも
かかわらず母線４５の端４５′を母線４４の端４
４′に対して対称的に形成し、第４図に示すよう
に接地された母線３８が対応する態様で音響開口
の残りの部分を横切り続けるようにすると好適で
ある。この時接地された母線３８は橋絡部４２を
介して導電的に母線４５に結合し、他方前方に向
つてアレーの縁と平行に延在し、速度補正領域の
残りの電極３７′が接続される部分４３を形成す
る。

所望とあらば、接地された母線４５の前部を異
なるように配設することもできる。但し、発射さ
れた音響表面波の波頭が軸線１１と一点鎖線５６
とにより限られる音響開口の下部に亘つてこれに
より歪まず、且つ、装置が位相−周波数応答が装
置に対し設定された所望の限界外に落ちることが
ないことが判明していることを条件とする。

２個の母線４４及び４５に対し逆相信号による
駆動を与えたい時は、第３図に示した装置を採用
する必要がある。但し、橋絡部４２はこわす。蓋
し、この場合は両方の母線４４と４５が大地電位
に対する信号電圧により駆動されるからである。

本例では、信号で駆動される母線４４の後部４
４′を内側にほぼアポダイズされた櫛形アレーの
中心軸線１１の方向に向け、外側境界縁４６を縁
３５と類似の態様で音響表面波伝播方向に垂直な
方向に傾け、境界４６に沿つて形成される音響表
面波縁要素により発生した不所望の音響表面波エ
ネルギーを音響表面波伝播方向に対し斜めに向け
る。前方境界３５の場合にように、最小の傾きは
実際には当該装置の開口−帯域幅積に依存する。
しかし、伝播方向に沿つての各縁の夫々の内端と
外端との間の距離a′，ｂ，b′は少なくとも0.8λと
する。

トランスデユーサ３２の後部のウエハ１の表面
に音響表面波減衰剤１０を塗る。製造時に櫛形電
極の重なり合う部分により占められる領域に食い
込む危険を伴なわずにトランスデユーサに近づけ
るように閉じると好適である。

接地された母線４５も中心軸線１１の方に向
け、軸線１１につき対称的な構成にする。

第３図の装置にも多重細条カプラ５及び受信側
トランスデユーサ３３を設ける。受信側トランス
デユーサは、装置の対称性のため、送信側トラン
スデユーサ３２に類似する態様で構成できる。そ
して同じように対応する接地されていない母線の
前方及び後方外側境界で対応する境界縁要素によ
り発生した父所望な信号応答を小さくする。ま
た、送信側及び受信側のトランスデユーサ上の両
方の母線の後部の斜めの境界は半メタライズ層と
自由な表面との変り目で反射された任意の音響表
面波エネルギーを音響表面波伝播方向から離れさ
せるように向け、散乱されると共にウエハ表面の
縁の周りに塗られた減衰剤１０により吸収される
ようにする。

第６図は第３図に示した実施例の変形例を形成
する送信側トランスデユーサの前端部と後端部の
拡大した詳細図である。この変形された装置は他
の点では第３，４及び５図と同じである。第６図
では、送信側アレーの後端にある縁要素の効果が
異なる態様で小さくなつている。

信号母線４４及び接地された母線４５は後方に
延在させられ、送信側アレーを所望の送信方向と
は反対の方向に延長するように構成されている対
応するダミー電極５２に接続させられる。ダミー
電極５２は両側の母線４４，４５から中心軸線１
１の方に延在させられるが、音響表面波減衰剤１
０でカバーされる。この減衰剤は櫛形電極の送信
側アレー３２の後部に向う重なり合わない部分に
も塗ると好適である。こうすると、最も後部のダ
ミー電極５２′の後縁により発射された不所望な
音響表面波で音響表面波伝播方向に向うものは送
信側アレーの自由な伝播領域に到達する前に後部
に塗られている減衰剤１０により殆んど減衰させ
られてしまう。

第６図の装置で、送信側アレーの後部にダミー
電極を付加することは12個もの最近接要素を具え
得る各アレー要素の計算を僅かながら混乱させ
る。このためアレーの電気的対称性を保つために
は、速度補正領域３６の手前に数個の余分なダミ
ー電極３７″を設けることが望まれる。

この場合も受信側トランスデユーサは送信側ト
ランスデユーサと同一形態とし、装置の対称性を
保つと共に、後部縁要素の作用を小さくすること
ができる。

ここに記載した装置では音響表面波トランスデ
ユーサが各々単一のアポダイズされた櫛形電極ア
レーで形成されているが、本発明によれば、他方
のトランスデユーサがアポダイズされたトランス
デユーサの音響開口にまたがつて延在する電極が
同一長さを有するように形成され、一様なトラン
スデユーサの端電極が接地されているならば、多
重細条カプラを欠くように構成することができ
る。

駆動又は信号回路とのインピーダンス整合のた
め及び／又は指電極に沿つての直列抵抗損失を小
さくするため狭い櫛形アレーを電気的に並列に接
続することが時として望まれる。これは本発明装
置の場合は第４図及び第５図又は第４図及び第６
図に示したような２個以上の同じ櫛形アレーを共
通多重細条カプラの方に向う平行な通路に沿つて
の方向で並んで配置することにより簡単に実行す
ることができる。

上述した実施例は音響表面波が一方向にだけ送
信され及び／又は受信されることを必要とする装
置に関するものであるが、本発明は音響表面波が
少なくとも１個のアポダイズされた櫛形アレーを
具えるトランスデユーサにより２個の互に反対向
きの方向に送信され及び／又は受信されることを
必要とする装置にも等しく適用できる。このよう
な場合はトランスデユーサの両端を第４図に示し
たように形成することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は既知の形態の音響表面波フイルタ装置
の略式説明図、第２図は第１図の装置の受信応答
を表わす線図、第３図は本発明を用いる音響表面
波フイルタ装置の説明図、第４図は第３図の装置
の一部の拡大図、第５図は第３図の装置の別の部
の拡大図、第６図は本発明の変形実施例の２個の
部分の拡大図である。 １……圧電体、２，３……送受信アレー（２…
…送信トランスデユーサ、３……受信トランスデ
ユーサ）、５……多重細条カプラ、６，７……縁、
８，９……外側線、１０……減衰剤、１１，１２
……表面波伝播方向、１４〜１７……母線、１
８，１８′……前方境界縁、１９，１９′……後方
境界縁、２０……誤点孤のパルス、２１……主信
号、２２……後信号、２３……意義のあるピー
ク、２４……一層低いピーク、２５……後に生ず
るパルス、３２……送信側トランスデユーサ、３
３……受信側トランスデユーサ、３４……通信
端、３５……信号母線の縁、３６……速度補正領
域、３７……ダミー電極、３８……接地された母
線、３９……母線の部分４４′の端、４０……短
い電極、４２……橋絡部、４３……電極３７′が
接続される部分、４４，４５……母線（４４……
信号母線、４５……接地された母線）、４４′……
通信端に近接する部分（母線４４の端）、４５′…
…母線４５の端、４８，４９……端末接続部、５
０……端３９に対応する外側の端、５２……ダミ
ー電極、５５，５６……音響開口の境界、５７，
５８……通信開口。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 圧電材料製の本体を具え、その一表面上に少
   なくとも１個のアポダイズされた櫛形電極アレー
   から成る音響表面波トランスデユーサを形成し、
   前記アレイの第１組の電極及び第２組の電極を２
   つの対向する母線４４，４５の対応する各々にそ
   れぞれ接続して、動作時に少なくとも一方の母線
   ４４は接地されずに、この母線４４の電圧が前記
   音響表面波トランスデユーサの近傍における前記
   本体の電極支持表面領域の上又はその周りに設定
   されるほぼ一定の大地電位に対して信号周波数で
   変化し得るようになして、音響表面波伝播方向に
   沿つて向けられた音響表面波を音響表面波トラン
   スデユーサの通信端３４を介して伝播又は受信可
   能とし、各接地されない母線４４の、音響表面波
   トランスデユーサの通信端３４に隣接する部分４
   ４′は、前記アポダイズされたアレーのほぼ中心
   軸線まで音響表面波ビームの開口内へと内側に向
   け、前記トランスデユーサがさらに、前記櫛形ア
   レーの電極に平行で且つ接地される母線４５に接
   続されたダミー電極３７を具える音響表面波伝播
   速度補正領域３６も含み、この速度補正領域３６
   の外側通信端が音響表面波伝播方向１１に対して
   直角となるようにした音響表面波装置において、
   接地される母線部分３８を音響表面波ビーム開口
   内に位置する前記接地されない母線４４の前記内
   側に向けられた部分４４′に隣接して位置させ、
   この接地される母線部分３８を音響表面波伝播方
   向に前記接地されない母線部分４４′からほぼ均
   一な距離だけ離間させ、前記トランスデユーサの
   音響表面波ビーム開口内に位置する前記接地され
   ない母線部分４４′と接地される母線部分３８の
   互いに隣接する部分の対向する境界縁を音響表面
   波伝播方向１１に直角な方向に対して傾斜させ
   て、前記各それぞれの境界縁の最内側端と最外側
   端とを互に音響表面波伝播方向にて少なくとも
   0.8λだけ変位させ、前記いずれもの境界縁の傾き
   が、音響表面波伝播方向に0.8λだけ変位させる前
   記接地されない母線部分４４′と接地される母線
   部分３８における対応するいずれもの最内側点と
   最外側点とを結ぶ直線の傾きよりも大きくなり、
   音響表面波ビーム開口内に位置する母線の前記対
   向する境界縁により形成される音響表面波トラン
   スデユーサ要素により発生させられ、又は受信さ
   れる不所望な音響表面波に対する主応答ローブが
   音響表面波伝播方向１１に対して斜めに向けられ
   るようにしたことを特徴とする音響表面波装置。 ２ 前記音響表面波ビーム開口内に位置する前記
   両母線部分４４′，３８の対向する境界縁を真直
   ぐにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載の音響表面波装置。 ３ 前記音響表面波ビーム開口内に位置する前記
   両母線部分４４′，３８の対向する境界縁を音響
   表面波伝播方向に直角な方向に対し、少なくとも
   ５度、多くとも80度の角度で傾けたことを特徴と
   する特許請求の範囲第１項又は第２項記載の音響
   表面波装置。 ４ 音響表面波伝播方向に平行な方向において、
   内側に向けられた接地されない母線部分を横切る
   距離と、隣接する接地される母線部分の対応する
   個所を横切る距離との和を音響表面波ビーム開口
   内で一定にしたことを特徴とする特許請求の範囲
   前記各項のいずれか一項に記載の音響表面波装
   置。 ５ 音響表面波伝播方向に平行な方向において、
   内側に向けられた接地されない母線部分を横切る
   距離と、隣接する接地される母線部分の対応する
   個所を横切る距離との和のこれら両者間の間隔に
   対する比を音響表面波アレーにおける電極幅の間
   隔に対する平均比率と同一にしたことを特徴とす
   る特許請求の範囲前記各項のいずれか一項に記載
   の音響表面波装置。 ６ 音響表面波トランスデユーサがトランスデユ
   ーサの一端を介してだけ通信する必要がある特許
   請求の範囲前記各項のいずれか一項に記載の音響
   表面波装置において、各接地されない母線の、音
   響表面波トランスデユーサの非通信端に隣接する
   部分がアポダイズされたアレーのほぼ中心軸線ま
   で内側に向けられ、その外側境界縁を、少なくと
   もトランスデユーサの通信端に隣接する内側に向
   けられた母線部の対向する境界縁について特定化
   した最少量だけ、音響表面波伝播方向に対し垂直
   な方向に傾けたことを特徴とする音響表面波装
   置。 ７ 音響表面波トランスデユーサがトランスデユ
   ーサの一端を介してだけ通信する必要がある特許
   請求の範囲第１、２、３、４及び５項のいずれか
   一項に記載の音響表面波装置において、音響表面
   波トランスデユーサを前記通信端とは反対側の端
   で複数個のダミー電極分だけ延長させ、アレーの
   この非通信端にあるダミー電極部に音響表面波吸
   収材料の層を被着したことを特徴とする音響表面
   波装置。 ８ 前記各接地されない母線の、内側に向けられ
   ている部分をアポダイズされたアレーの中心軸線
   の方にテーパをつけたことを特徴とする特許請求
   の範囲前記各項のいずれか一項に記載の音響表面
   波装置。