JPH04109542A - 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 - Google Patents
高周波誘導結合プラズマ質量分析計Info
- Publication number
- JPH04109542A JPH04109542A JP2227109A JP22710990A JPH04109542A JP H04109542 A JPH04109542 A JP H04109542A JP 2227109 A JP2227109 A JP 2227109A JP 22710990 A JP22710990 A JP 22710990A JP H04109542 A JPH04109542 A JP H04109542A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- gas flow
- mass spectrometer
- coupled plasma
- sensitivity
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、高周波誘導結合プラズマ質量分析計（以下、
ＩＣＰ−ＭＳと略す）に関し、更に詳しくは、加熱気化
導入装置で試料を気化させるときに最大信号が得られる
ようにしたＩＣＰ−ＭＳに関する。
ＩＣＰ−ＭＳと略す）に関し、更に詳しくは、加熱気化
導入装置で試料を気化させるときに最大信号が得られる
ようにしたＩＣＰ−ＭＳに関する。
〈従来の技術〉
ＩＣＰ−ＭＳは高性能元素分析装置として広く知られて
おり、高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起させ
、生じたイオンをノズルとスキマからなるインターフェ
イスを介して質量分析計に導いて電気的に検出し該イオ
ン量を精密に測定することにより、試料中の被測定元素
を高精度に分析するように構成されている。
おり、高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起させ
、生じたイオンをノズルとスキマからなるインターフェ
イスを介して質量分析計に導いて電気的に検出し該イオ
ン量を精密に測定することにより、試料中の被測定元素
を高精度に分析するように構成されている。
Claims (1)
- 高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起させ、生じ
たイオンをノズルとスキマーからなるインターフェイス
を介して質量分析計に導いて電気的に検出し該イオン量
を精密に測定することにより、試料中の被測定元素を高
精度に分析する高周波誘導結合プラズマ質量分析計にお
いて、分析時のガス流量を感度調整時のガス流量よりも
一定値αだけ小とするコントローラを設けたことを特徴
とする高周波誘導結合プラズマ質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2227109A JPH04109542A (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2227109A JPH04109542A (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04109542A true JPH04109542A (ja) | 1992-04-10 |
Family
ID=16855621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2227109A Pending JPH04109542A (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04109542A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2537914A (en) * | 2015-04-30 | 2016-11-02 | Thermo Fisher Scient (Bremen) Gmbh | Flow reduction system for isotope ratio measurements |
-
1990
- 1990-08-29 JP JP2227109A patent/JPH04109542A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2537914A (en) * | 2015-04-30 | 2016-11-02 | Thermo Fisher Scient (Bremen) Gmbh | Flow reduction system for isotope ratio measurements |
| JP2016212101A (ja) * | 2015-04-30 | 2016-12-15 | サーモ フィッシャー サイエンティフィック （ブレーメン） ゲーエムベーハー | 同位体比測定のための流れ低減システム |
| GB2537914B (en) * | 2015-04-30 | 2019-03-20 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Flow reduction system for isotope ratio measurements |
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