JPH0411389B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0411389B2
JPH0411389B2 JP56101029A JP10102981A JPH0411389B2 JP H0411389 B2 JPH0411389 B2 JP H0411389B2 JP 56101029 A JP56101029 A JP 56101029A JP 10102981 A JP10102981 A JP 10102981A JP H0411389 B2 JPH0411389 B2 JP H0411389B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
thermal energy
sectional area
liquid path
cross
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP56101029A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS581569A (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP10102981A priority Critical patent/JPS581569A/ja
Priority to GB08217867A priority patent/GB2104452B/en
Priority to DE19823224081 priority patent/DE3224081A1/de
Publication of JPS581569A publication Critical patent/JPS581569A/ja
Priority to US07/008,068 priority patent/US4752787A/en
Publication of JPH0411389B2 publication Critical patent/JPH0411389B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1601Production of bubble jet print heads
    • B41J2/1604Production of bubble jet print heads of the edge shooter type
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14016Structure of bubble jet print heads
    • B41J2/14032Structure of the pressure chamber
    • B41J2/1404Geometrical characteristics
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1631Manufacturing processes photolithography
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1632Manufacturing processes machining
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1637Manufacturing processes molding
    • B41J2/1639Manufacturing processes molding sacrificial molding

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野] 本発明は、飛翔液滴を形成して記録を行う液体
噴射記録法に適用されるもので、液体噴射用発熱
体を直状部分に備えているほぼ直状の液路を基板
上に有する記録ヘツド特有の発明に関する。 [従来の技術] ノンインパクト記録法は、記録時に於ける騒音
の発生が無視し得る程度に極めて小さいという点
に於いて、最近関心を集めている。その中でも、
高速記録が可能であり、而も所謂普通紙に定着と
いう特別な処理を必要とせずに記録の行える所謂
インクジエツト記録法(液体噴射記録法)は、極
めて有用な記録法であつて、これ迄にも様々な方
式が考案され、改良が加えられて商品化されたも
のもあれば、現在も尚実用化への努力が続けられ
ているものもある。 この様な液体噴射記録法は、所謂インクと称さ
れる記録液体の液滴(ドロツプレツト)を飛翔さ
せ、被記録部材に付着させて記録を行うものであ
つて、この記録液体の液滴の発生法及び発生され
る液滴の飛翔方向を制御する為の制御方法によつ
て幾つかの方式に大別される。 その中で、例えば、米国特許3683212、米国特
許3946398等の公報に記載されてある液体噴射記
録法は、記録信号に応じて、吐出オリフイスより
液滴を吐出飛翔させ、該液滴を被記録部材表面に
付着させて記録を行う、所謂オン−デマンド記録
法であつて、記録に必要な液滴のみしか吐出しな
いので、記録に不要である吐出液体の回収又は処
理の為の特別な手段を設ける必要がなく装置自体
を簡素化、小型化し得る事、吐出オリフイスより
吐出される液滴の飛翔方向を制御する必要がない
事、多色記録が容易に行える事等の為の昨今、殊
に注目を集めている。 更に別には、上記の液体噴射記録法とは、液滴
形成原理の全く異なる液体噴射記録法が、特開昭
54−59936号公報に於いて開示されている。 この液体噴射記録法は、上記のオン−デマンド
記録法に極めて有効に適用されるばかりではなく
フルラインタイプで高密度マルチオリフイス化し
た記録ヘツドを容易に実現出来るので、高解像
度、高品質の画像を高速で得られるという特徴を
有している。 これ等の液体噴射記録法に適用される記録ヘツ
ドは各々の記録法の特徴を最大限に発揮し得る様
に、その構造が設計され、必要な手段が設けてあ
るが、以下の様な基本的構成は共通に有してい
る。 即ち、これ等の記録法に適用されるヘツドは、
液体を吐出するために利用されるエネルギーが液
体に付与される領域であるエネルギー作用領域、
該エネルギー作用領域と前記液室からの液体の導
入口との間の液体導入領域、及び前記エネルギー
作用領域と液体を吐出する吐出口との間の液体吐
出領域、さらには吐出口に連通した直状部分を具
備し該直状部分に熱エネルギーを作用させる発熱
体を有する液路、とを有している。 エネルギー作用領域には、たとえば、米国特許
3683212や米国特許3946398等に開示された記録法
では、ピエゾ素子等の電気・機械変換体が機械的
結合関係の下に設けられる。該変換体に記録信号
を入力することによつて発生する圧力エネルギー
(圧力波)によつて、液滴を吐出、飛翔させて記
録するものである。 また、特開昭54−59936号公報に開示された記
録法の中の1つの記録法では、エネルギー作用領
域には電気・熱変換体が設けられる。該変換体に
記録信号を入力することで発生される熱エネルギ
ーによつて、液滴を吐出、飛翔させて記録する。 或いは、又、この特開昭54−59936号公報に開
示された別の記録法では、エネルギー作用領域に
特別な手段は設けず、該作用領域にレーザ等の電
磁波を照射して、そこにある液体に吸収させて発
熱させ、該発熱による作用で液滴を吐出、飛翔さ
せて記録する。 この特開昭54−59936号公報に開示された記録
法では、上記した様に熱エネルギーを液体に作用
させて、液滴吐出の為の原動力を得るが、更に詳
述すれば、熱エネルギーの作用を受けた液体は急
峻な体積の増大を伴う状態変化を起し、該状態変
化に基く作用力によつて液体が吐出、飛翔して被
記録部材に付着し記録が行われる。 [発明が解決しようとする問題点] ところが、特開昭55−59976号公報に記載され
ている屈曲液路に熱エネルギー発生素子を備えた
記録ヘツドとは異り、液体噴射用発熱体を直状部
分に備えているほぼ直状の液路を基板上に有する
記録ヘツドに於いては、液体の供給性に異る傾向
がみられた。 ところで、特開昭55−132273号公報、特開昭55
−132275号公報、特開昭56−46769号公報には、
上記熱エネルギーを用いた記録ヘツドに関して、
一定断面積の液路における液室から液路の発熱体
までの液体導入領域の距離を検討した実施例が記
載されている。この公報の中でも、特開昭56−
46769号公報は、比較的高い記録周波数である1K
Hz以上の周波数特性を得られ、連続的吐出に好適
な記録ヘツドを開示している。この優れた記録ヘ
ツドは、液体導入領域の距離が95μm以上2.76mm
以下であるが、安定吐出を達成する駆動条件の幅
に余裕がなかつた。 これは、ほぼ直状の液路であるために、液体の
再充填(リフイル)において高速記録において、
追従できない場合が発生したのである。従つて、
上記液路の利点を生かせるヘツドが要求される。 [発明の概要] 本発明は、ほぼ直状の液路特有の技術的課題に
鑑み成されたものであつて、長時間に亘り連続し
た液滴形成特性が安定化し、同時に液滴形成周波
数も向上した液体噴射記録ヘツドを提供すること
を目的とする。 本発明は、上述した従来の液滴噴射記録ヘツド
に対して、従来では着目されていなかつた液路の
断面積に注目し、液滴噴射として一般的な長さを
有する液体導入領域と熱エネルギー作用領域の関
係に発明を求めたものである。 本発明は上記目的を達成するもので、液滴を吐
出するために液体に気泡を形成するための熱エネ
ルギーを発生する液滴噴射用発熱体を備える基板
平面上に、液室と、該液室に連通し端部に吐出口
を有すると共に該発熱体が設けられている直状部
分を有する液路と、該直状部分内にあつて該液滴
噴射用発熱体に対応する熱エネルギー作用領域と
該液室との間の区間である液体導入領域と、を有
する液滴噴射記録ヘツドにおいて、上記基板平面
上における上記液路の幅の中心軸に対して垂直で
上記基板平面に対して垂直な液路断面積に関し
て、上記熱エネルギー作用領域の該液路断面積の
平均値S1が上記液体導入領域の該液路断面積の
平均値S2に対して3≧S2/S1>1を満足してお
り、上記液体導入領域の該液路断面積は上記熱エ
ネルギー作用領域に向かつて小さくなつているこ
とを特徴とする液滴噴射記録ヘツドである。 本発明の評価において使用される電圧マージン
とは、所望の液滴吐出を安定して達成できる許容
電圧値で、この値の最大と最小の差を電圧マージ
ン幅と称する。この電圧マージン幅が大きいこと
は、マルチ液路の駆動時に瞬間的にかかる電圧変
動や製造時のバラツキに対して安定した記録を達
成せしめる効果がある。 本発明は上記構成において、3≧S2/S1>1
を満足する事で、吐出用気泡形成時における溶存
気泡の影響で吐出不安定になり、結果として吐出
不良をもたらすという不都合を解決し、熱作用部
から溶存気泡を効率よく長期的に吐出に影響を与
えない程度に抑えることができる。本発明の好ま
しい構成は、3≧S2/S1≧1.3である。 本発明は、この様に記録ヘツドが設計製造され
るときには、長時間に亘る連続した液滴形成能が
安定に維持され、又、液滴形成周波数も著しく向
上する。つまり、本発明によれば、記録画像の品
質を上げ、高速記録が行える条件の、記録ヘツド
による安定した長時間、連続的繰返し液滴吐出が
実行されること、又、記録ヘツドの液滴形成周波
数(単位時間当りに形成される液滴の個数=単位
時間当りの液滴形成頻度)の向上や液滴形成特性
の安定化が満足できたのである。 [実施態様例] 以下、本発明を図面を用いた実施態様例に従つ
て説明する。 第2図に本発明の好適な実施態様例の1つを示
す。 予め、記録ヘツドの熱エネルギー作用部設置基
板は第6図に示す様に、10mm×20mmの長方形で厚
さ1mmのアルミナ基板601にSiO2層607を
スパツタリングによつて3μmの厚さに形成し、
発熱体603としてHfB2を1000〓、電極として
Alを5000〓夫々、スパツタリングした後、選択
エツチングして、巾50μm長さ300μmの発熱体6
03と巾50μmお電極608と609とを形成し
続いて、SiO2層を厚さ5000〓、スパツタリング
して被覆することにより形成された。 次に、厚さ1mmの感光性ガラスをフオトエツチ
ングにて吐出口206の寸法が75μm×75μmで
導入口205に向つて溝幅が広くなる様に形成し
た深さが75μmで一定した溝板202を第6図示
様基板201に発熱体203を溝が覆う様に接着
し、端面を研摩した。次に、ガラス板を適当な大
きさに切断し、それを接着剤で導入口205側に
貼り付けて液室204を形成した。 尚、図中、211は液体吐出領域、212はエ
ネルギー作用領域、213は液体導入領域を示
し、これ等3者を併せてほぼ直状の液路が構成さ
れる。又、液室204には、図示の様に、インク
供給管210が接続してある。 また、第3図は本発明の好適な実施態様の他の
例であり、基板および共通液室は第2図に示すと
同様の方法で形成したものであるが液吐出部の形
成方法として厚さ2mmのガラスにダイヤモンド切
断砥石を用いて深さ1mm、巾75μmの溝を入れた
後溝深さがオリフイス側で浅くなる様に傾斜させ
て研摩し、オリフイス部の溝深さを75μmとした
溝板302を溝が発熱体303を覆う様に基板3
01に接着し、端面を研摩する方法をとつたもの
である。 第1図は従来例であり、第2図および第3図の
実施態様例で述べた方法と類似の方法で製作可能
である。 本発明者らは前記従来例及び前記実施態様例と
して述べた記録ヘツドニついて、液体噴射用発熱
体からの熱エネルギーが液体に付与される領域で
ある熱エネルギー作用領域の液路直状部分におけ
る中心軸に対して垂直な断面積の平均値S1と、液
室と液路とが連通する液体導入口の液体導入領域
の該基板に垂直な断面積の平均値S2との比、S2
S1を色々に変えたヘツドを多数設計し製作した。 そして、各ヘツドについて107パルス以上安定
して液滴形成が可能な電圧マージンを測定したと
ころ、S1に比してS2が大きく、液路における断面
積が吐出口側程小さいものでは電圧マージンが広
い結果が得られたが、S1=S2となるもの(第1図
のヘツド)では3×105パルスほどで吐出が停止
した。 また、液滴形成周波数限界も、S1に比してS2
大きく、液路における断面積が吐出口側程小さい
ものでは高くなると言う結果が得られた。 下表は、その一例として、S2/S1が、夫々、1
(第1図のヘツド)、1.3、1.5、2、3(以上は第
2図のヘツド)となるヘツドに就いて、1KHzに
て106パルス迄液滴形成が安定な電圧マージン巾、
及び液滴形成周波数限界をまとめて示したもので
ある。
【表】 以上の様に本発明によれば、電圧マージン巾が
増加することによる液滴の吐出の信頼性向上、エ
ネルギー作用部のドライブ回路設計の容易化およ
び小型化などの大きな利点があり、更に周波数限
界が向上して高速記録が可能になるという利点が
ある。 尚、叙上の検討に於いて、インクとしては以下
に示す組成物を混合溶解しフイルタで濾過したも
のを用いた。 水 50部 ジエチレングリコール 48部 黒色染料 2部 また、発熱体の抵抗値は150Ωであり、これに、
5μsec(45V)の矩形パルスを加えて液滴を吐出さ
せた。 第4図、第5図は同様に本発明の実施態様の他
の例であり、上記液路における断面積が吐出口に
向かつて断続的に小さくなつている例を示してい
る。図中、下2桁の符号が第2図と共通する場合
は同一の構成要素を意味する。これらのものも第
2図、第3図に示す、上記液路における断面積が
吐出口に向かつて連続的に小さくなつている実施
態様例のものとほぼ同様の効果が認められた。 また、第3図、第5図に示す実施態様に記録ヘ
ツドを構成した場合は、同一ヘツド内に多数の液
吐出部を形成してマルチヘツドとする場合に10
本/mm程度の高密度にまですることが可能で高解
像の記録が得られ、また、更に本発明による液滴
形成周波数の改善効果と合わせて記録ヘツドの小
型化に非常に大きな利点がある。 [発明の効果] 以上詳述した様に、本発明の液体噴射記録ヘツ
ドによれば、長時間安定して連続的に繰返し液体
を吐出させることができ、且つ液滴形成周波数を
向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の記録ヘツドの構造を示す為にそ
の要部を切断して模式的に描いた斜視図、第2図
乃至第5図は、夫々、本発明の記録ヘツドの好適
な実施態様例を説明する為にその要部を切断して
模式的に描いた斜視図、第6図は、発熱体を有す
る基板の構造を示す為の模式的斜視図である。 図に於いて、101,201,301,40
1,501,601は熱エネルギー作用部設置基
板、102,202,302,402,502は
溝板、103,203,303,403,50
3,603は発熱体、104,204,304,
404,504は液室、105,205,30
5,405,505は導入口、106,206,
306,406,506は吐出口、111,21
1,311,411,511は液体吐出領域、1
12,212,312,412,512はエネル
ギー作用領域、113,213,313,41
3,513は液体導入領域である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 液滴を吐出するために液体に気泡を形成する
    ための熱エネルギーを発生する液滴噴射用発熱体
    を備える基板平面上に、液室と、該液室に連通し
    端部に吐出口を有すると共に該発熱体が設けられ
    ている直状部分を有する液路と、該直状部分内に
    あつて該液滴噴射用発熱体に対応する熱エネルギ
    ー作用領域と該液室との間の区間である液体導入
    領域と、を有する液滴噴射記録ヘツドにおいて、 上記基板平面上における上記液路の幅の中心軸
    に対して垂直で上記基板平面に対して垂直な液路
    断面積に関して、上記熱エネルギー作用領域の該
    液路断面積の平均値S1が上記液体導入領域の該
    液路断面積の平均値S2に対して3≧S2/S1>1
    を満足しており、上記液体導入領域の該液路断面
    積は上記熱エネルギー作用領域に向かつて小さく
    なつていることを特徴とする液滴噴射記録ヘツ
    ド。 2 上記液体導入領域の該液路断面積は上記熱エ
    ネルギー作用領域に向かつて連続的に小さくなつ
    ている特許請求の範囲第1項に記載の液滴噴射記
    録ヘツド。 3 上記液体導入領域の該液路断面積は上記熱エ
    ネルギー作用領域に向かつて段階的に小さくなつ
    ている特許請求の範囲第1項に記載の液滴噴射記
    録ヘツド。
JP10102981A 1981-06-29 1981-06-29 液体噴射記録ヘツド Granted JPS581569A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10102981A JPS581569A (ja) 1981-06-29 1981-06-29 液体噴射記録ヘツド
GB08217867A GB2104452B (en) 1981-06-29 1982-06-21 Liquid jet recording head
DE19823224081 DE3224081A1 (de) 1981-06-29 1982-06-28 Fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopf
US07/008,068 US4752787A (en) 1981-06-29 1987-01-13 Liquid jet recording head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10102981A JPS581569A (ja) 1981-06-29 1981-06-29 液体噴射記録ヘツド

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS581569A JPS581569A (ja) 1983-01-06
JPH0411389B2 true JPH0411389B2 (ja) 1992-02-28

Family

ID=14289749

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10102981A Granted JPS581569A (ja) 1981-06-29 1981-06-29 液体噴射記録ヘツド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS581569A (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59138460A (ja) * 1983-01-28 1984-08-08 Canon Inc 液体噴射記録装置
DE3313156A1 (de) * 1983-04-12 1984-10-18 Nixdorf Computer Ag, 4790 Paderborn Piezoelektrisch betriebener schreibkopf fuer tintenmosaikschreibeinrichtungen
JPH064330B2 (ja) * 1984-11-22 1994-01-19 キヤノン株式会社 インクジェットヘッド
JPS62152860A (ja) * 1985-12-27 1987-07-07 Canon Inc 液体噴射記録ヘツド
JPH01190459A (ja) * 1988-01-26 1989-07-31 Ricoh Co Ltd 液体噴射記録ヘッド

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5574888A (en) * 1978-12-04 1980-06-05 Canon Inc Liquid injector
JPS5559976A (en) * 1978-10-31 1980-05-06 Canon Inc Liquid injection recorder
JPS55128465A (en) * 1979-03-28 1980-10-04 Canon Inc Recording head

Also Published As

Publication number Publication date
JPS581569A (ja) 1983-01-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4317124A (en) Ink jet recording apparatus
AU647653B2 (en) Method of manufacturing a high density ink jet printhead array
JPS6280054A (ja) インクジェット式印字ヘッド及びその製造方法
JP2715001B2 (ja) 2つのu字型チャンネル駆動装置を持つ高密度インクジェットプリンタヘッド
JPH0411389B2 (ja)
JPH0462157A (ja) インクジェット記録装置
JP3320137B2 (ja) インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置
JP3248808B2 (ja) インク噴射装置
JP3197338B2 (ja) インクジェットヘッドの駆動方法
JPS59138472A (ja) 液体噴射記録ヘッド
JPH0957966A (ja) インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置
JP3069155B2 (ja) 液体噴射記録ヘッドの駆動方法
JPH04329145A (ja) マルチノズルインクジェットヘッド
JPH02297445A (ja) インクジェットプリンタのインク吐出装置
JP2866261B2 (ja) インクジェット記録ヘッド
JP3455415B2 (ja) インクジェット記録装置
JP3236736B2 (ja) 圧電式インクジェットプリンタ用印字ヘッド
JPS59124863A (ja) 液体噴射記録ヘッド
JP3143918B2 (ja) インクジェットヘッド
JPS6241111B2 (ja)
JPS59138470A (ja) 液体噴射記録法
JP2902137B2 (ja) インク飛翔記録装置
JPH0530629B2 (ja)
JPH0462064A (ja) インクジェット記録ヘッドおよび該記録ヘッドを用いるインクジェット記録装置
JPS6317624B2 (ja)