JPH04113926U

JPH04113926U - ゴム板構造の真空加圧式接着装置

Info

Publication number: JPH04113926U
Application number: JP1676791U
Authority: JP
Inventors: 稔廣木; 勝義磯崎; 康彦石田
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1991-03-20
Filing date: 1991-03-20
Publication date: 1992-10-06

Abstract

(57)【要約】【目的】大面積の接着面を高精度に均一接着層のもとに
接着させる接着技術である、その為柔軟な接着部分に均
一な加圧力が与えられるかが課題であり、均一な加圧力
を得る真空加圧式接着構造達成がその目的である。【構成】図１より、真空容器３は下ゴム板４の内側に格
子状の突起部を有したものと一体と成っており、その部
に接着部材１０，１１を載せ、次に上ゴム板１の内側面
に格子状の突起部を有するものと一体の蓋部材５をＯリ
ング９を介して載せて固定する、尚真空容器３には真空
排管８，圧力計６，真空ポンプ７が接続された構成と成
っており、真空排気されると接着部材１０，１１の上下
面部に形成される格子状の真空排気空間２に対し均一に
分散した加圧力Ｐが掛かることが特徴と成っている。【効果】(1）均一加圧の達成で、接着層の厚みが高精度
に保持され平面度の高い接着が可能。(2）大面積の接着
が平坦度（２０μｍ／４００mmカク）と高精度と成り複
合異材のベース製作や軽量化が可能と成る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

大面積のＸＹテーブルを高精度に制御させる精密構造部は、計測機器や、半導体製造装置などがその利用分野であり、動向としては、高性能化，制御のスピード化，経済性等があげられ、その手段として接着構造採用による複合材構造のテーブルの軽量化、及び、制御のスピード化が期待できる。

【０００２】

【従来の技術】

図３に従来の厚板治具加圧方式のゴム板構造真空加圧式接着装置を示す。

【０００３】図より、接着部材１０，１１は下ゴム板４Ｂの下面加圧部を有する真空容器３内の厚板治具１５上にセットし、その上に上部加圧の為の厚板治具１５を載せ、次に上ゴム板１Ｂの上面加圧部を有する蓋部材５をＯリング９を介して図の様に真空容器３上に固定する。

【０００４】尚、真空容器３は、真空排管８より真空ポンプ７により排気されその時の圧力が真空圧力計６に表示される。

【０００５】以上のような真空容器３で真空排気が行われると、図より、内部の真空排気空間２は、圧力が低下し外部雰囲気(大気圧)とに圧力差が生じＰの圧力１kg／cm² が加圧力としてゴム板１Ｂ，４Ｂに掛る、従って、上下面の厚板治具１５の周囲のみ、つまり図示の真空排気空間２の部位のゴム板のみが強く加圧される。

【０００６】尚、その時厚板治具１５の周囲近傍の上下ゴム板１Ｂ，４Ｂは厚板に密着してしまいそれにより周囲付近に密着部Ａ範囲ができ其の結果密着部Ａより中央側のゴム板内部は真空排気されず、大気圧に近い圧力状態のままの為、その中央部は全く加圧されないこととなる。

【０００７】従って、接着部材１０，１１に掛かる加圧力は、厚板治具１５の周囲に掛る圧力Ｐが厚板治具１５全体分の分割した押し圧ｐとなつて掛るだけとなる。

【０００８】従って、充分な加圧力が掛った状態とはなっていない。

【０００９】

【考案が解決しようとする課題】

図２は、加圧用ゴム板に於ける気密シール現象による加圧されない部分が発生する例を表したものである。

【００１０】図によると、円板１２の中央にリング１３を載せそれをゴム板１４で覆い矢印のごとく真空排気した場合、円板周囲の部分の真空排気空間２は、大気圧との圧力差により加圧力Ｐ(１kg／cm²）が掛るが、一方円板１２とゴム板１４との面接触部は、円板１２周囲部分の加圧力によりゴム板１４が押しつけられリング１３周囲付近の部分で密着状態Ａとなり、リング１３によりゴム板１４が押し上げられ形成されている空間は、排気されず大気圧に近い圧力Ｐ₀と成っている。

【００１１】つまり、圧力差が生じないため加圧力も掛らない状態にある。

【００１２】従って、本考案は、円板１２及びリング１３部に対し、均一な加圧力が掛るようにするために均一に分散した真空排気空間２を形成出来る加圧部構造を考案し外部の大気圧とに圧力差を生じさせ、其の結果、均一に分散した加圧力を得ることを目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】

接着部材の加圧表面は、平面あるいは凹凸を有する場合が予想されるため、加圧部材と成るゴム板の内側、即ち、接着部材の加圧面接触側に格子状の突起部を設け、必ず、ゴム板と接着部材の加圧面間に真空排気空間が分散して形成されるような、格子状突起部付きゴム板構造の真空加圧式接着法を採用した。

【００１４】

【作用】

接着部材に均一で充分な加圧を掛けるためには、接着部材全体に均一な加圧が掛るような、分散した真空排気空間を作り、ゴム板外部の大気圧側とに圧力差を発生させる構造とする必要がある。

【００１５】即ち、図３の実施例によれば、加圧部と成る上下ゴム板１，４の内側面に格子状の突起部を設けることにより、真空容器３内が真空排気されると、接着部材１０，１１と上下ゴム板１，４間に格子状に分散した真空排気空間２が形成され、その部と外気圧との圧力差による加圧力Ｐが接着部材全体に掛り効果的な真空加圧式接着法が達成される。

【００１６】

【実施例】

図１に実施例のゴム板内側面に格子状の突起部を有した真空加圧式接着装置の構造図を示す。

【００１７】図より、接着部材１０，１１は格子状の突起部を有した下ゴム板４と一体の真空容器３にセットし上部より同様に突起部付きの上ゴム板１と一体の蓋部材５をシール用Ｏリング９を介して、図の様に真空容器３上にセットし外部雰囲気と機密遮断させた物と成っている。

【００１８】尚、接着部材１０，１１をセットした真空容器３は、真空排管８より真空ポンプ７により排気されその時の到達圧力は、圧力計６に表示される。

【００１９】以上の様な、真空容器３部が真空排気されると、図より接着部材１０，１１の周囲及び、上下面に接したゴム板１，４の格子状突起部には真空排気空間２が形成され、外部雰囲気の大気圧とに圧力差が生じ、図で示すような分散した加圧力Ｐが、形成された真空排気空間２の空間断面の大きさに応じて押し圧と成って掛ることと成る。

【００２０】即ち、接着部材１０，１１の上下面全体に格子状の突起部が接しており均一な真空排気空間２が分散して存在することにより、均一な加圧力が掛かるものと成っている。

【００２１】従って、特に大面積の接着時に高精度な均一接着層が達成出来る。

【００２２】

【考案の効果】

本考案の効果を下記に示す。

【００２３】 (1）均一な加圧力達成により大面積の接着が平坦度（２０μｍ／４００mmカク）と高精度 (2）高精度接着の達成により異種材同志での高精度なベース，ＸＹテーブル等が製作可能。

【００２４】 (3）異種材組合せの複合接着部材の採用により軽量化が図られ動作制御のスピードアップ化、および経済性が期待出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のゴム板内側面に格子状の突起部を有し
た真空加圧式の接着装置を示す図である。

【図２】加圧用ゴム板部に於いて、気密シール現象によ
り加圧されない部分が発生する例を表した図である。

【図３】従来の厚板治具を介したゴム板構造の真空加圧
式接着装置を示す図である。

【符号の説明】

１…上ゴム板、２…真空排気空間、３…真空容器、４…
下ゴム板、５…蓋部材、６…圧力計、７…真空ポンプ、
８…排管、９…Ｏリング、１０，１１…接着部材、１２
…円板、１３…リング、１４…ゴム板、１５…厚板治
具、１Ｂ…上ゴム板、４Ｂ…下ゴム板、Ａ…密着部、Ｐ
…加圧力（大気圧）、Ｐ₀…弱い加圧力、ｐ…分割圧
力。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】ゴム板構造の真空加圧式接着装置に於い
て、ゴム板部の内側面に格子状の突起部を設ける事によ
り、その突起部が接着部材の上下面との接触部に格子状
の真空排気空間を形成させ、其の結果真空排気空間部と
外部大気圧との圧力差によって接着部材を均一に加圧出
来ることを特徴とするゴム板構造の真空加圧式接着装
置。