JPH04116439A - 外囲器のスローリーク測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、蛍光表示管、ＣＲＴ、プラズマデイスプレィ
等の表示素子の外囲器及び電球、蛍光灯、水銀ランプ等
の光源の外囲器のスローリークの測定方法に関するもの
である。

［従来技術］ 前述の外囲器は、一般にガラスで形成されたものが多く
、又外囲器内は、高真空や所定の雰囲気を有しているの
で真空度を保持したり、雰囲気を維持するためリーク量
は、非常に小さいのが一般的である。

一般に、密閉した外囲器への気体の漏れ、すなわちリー
ク量を測定する方法の一つにプローブガス法がある。そ
して該プローブガス法は外囲器の内部を真空にして、外
部からヘリウムガスを吹付けて、外囲器内部に漏れるヘ
リウムを検出する真空法又は外部注入式と称する方法と
、外囲器の内部にヘリウムガスを封入し、外部に漏れ出
てくるヘリウムガスを検出する加圧法又は内圧式と称す
る方法がある。

前記真空法には、外囲器にヘリウムガスを吹付ける方法
により、真空吹付法、真空フード法、真空積分法等に分
類されるが、いずれも外囲器の一部に排気孔を設け、こ
の排気孔にヘリウムリークディテクタの導管のＯリング
や金属ガスケット等を接触させて、外囲器の外側から外
囲器に向かってヘリウムを吹付は外囲器内部に漏れるヘ
リウムを検出する方法である。

又、前記加圧法も加圧吸込法、加圧積分法、吸盤法、真
空容器法、浸漬法等に分類されるが、いずれの方法にお
いても外囲器に設けた排気孔から外囲器内部にヘリウム
ガスを吹付けて外囲器の外側のフード内へ漏れるヘリウ
ムをヘリウムリークディテクタで検出する方法であるが
、排気孔とガス導入管の間には０リングが介在して接触
している。また、外囲器の外側にあるフードとヘリウム
リークディテクタを接続する部分にもＯリングやバルブ
を介して接続されている。

［発明が解決しようとする課題］ 従来のスローリーク量の測定方法の真空法等に於てはＯ
リングを介して外囲器の排気孔にヘリウムリークディテ
クタの導管が接続されて、外囲器内に漏れたヘリウムを
ヘリウムリークディテクタで検出する方法であるが、前
記０リングは真空度が高くなるとリークすることが周知
である。このリーク速度は約Ｉ　Ｘ　１０　”Ｔｏｒｒ
、Ｉ／ｓｅｃ位の小さな値であるがこのリーク量が測定
するり−ク量に加算されるので、この値以下のリーク速
度は検出不可能になる。

又、前記加圧法においても、外囲器内部にヘリウムを導
入する導入管と外囲器の間にも０リングが介在しＣいる
のでヘリウムの圧力が高くなってくると、Ｏリング部分
から漏れ゛Ｃ外囲器を囲んでいるフード内に流出してし
まう。このリーク量−は、外囲器に押し付ける導入管の
圧力により違ってくるが、前述のように外囲器がガラス
で形成されているものが多いために高い圧力を加えられ
ない。したがって、真空に引くときと同等の１、Ｘ　１
０　”Ｔｏｒｒ、１／ｓｅｃ位かそれ以上大きいリーク
速度が生じることになる。

さらに又、バルブを使用している場合はバルブからのリ
ークも当然考えられる。

そして、リークしたヘリウムを測定するヘリウムリーク
ディテクタも０リングやバルブ等を使用しているので検
出限界は１〜５Ｘ１０　”Ｔｏｒｒ、１／ｓｅｃのリー
ク速度である。

しかしながら、正常な蛍光表示管の外囲器に於ける微少
リーク速度は、前記検出限界より小さく、ｌＸｌ０−１
２Ｔｏｒｒ、１／ｓｅｅ以下であった。

したがって、従来の測定法ではスローリークによる不良
品か又はスローリークのない正常晶かの正しい判断がで
きないという問題点を有していた。

そこで本発明ｌよ前記問題点を解決し、従来より検出限
界がより小さいスローリーク量の外囲器でも測定可能な
測定方法を提供することを目的とするものである。

［課題を解決するだめの手段］ 本発明は、封止した外囲器を真空加圧容器内のヘリウム
の加圧雰囲気に所定時間浸漬した後、前記外囲器を真空
加圧容器から取り出して真空容器内に載置し、真空雰囲
気内で前記外囲器を破壊して、真空容器内にリークした
ヘリウムをヘリウムリークディテクタで計測する外囲器
のスローリークの測定方法である。

［作用］ 本発明の測定法において、外囲器は、製造工程により封
止されＯリング等は使用していないので、従来のように
Ｏリング部分からヘリウムが入ることも、漏れることも
ない。又、外囲器を真空加圧容器内で加圧されたヘリウ
ム雰囲気に長時間浸漬させるのでヘリウムガスのリーク
量も加速度的に増加する。そしてこの増加したヘリウム
ガスを外囲器を破壊して、−度に測定するので、従来の
ヘリウムリークディテクタでも充分に測定することが可
能な範囲である。

［実施例］ 以下、本発明の外囲器のスローリークの測定方法の一実
施例について図面を参照しながら説明する。

第１図は、外囲器をヘリウム雰囲気に浸漬させる工程を
示す断面図であり、第２図は、リークしたヘリウムを溜
めた外囲器を真空容器中で破壊して、ヘリウムを計測す
る工程を示す断面図である。

図中１は、スローリークを測定する外囲器である。外囲
器１は、蛍光表示管、ＣＲＴ、プラズマデイスプレィ等
の表示素子用及び電球、蛍光灯、水銀ランプ等の光源用
と各種形状は異なっているが、外囲器の材料がガラスに
よって形成されてぃるものが多い。したがって、本発明
の測定方法の要件である外囲器を破壊することは可能で
ある。

以下、蛍光表示管の外囲器の実施例で本発明を説明する
。蛍光表示管の外囲器は、ガラス板による基板と、基板
の周囲に立設した側面板と、側面板上で、前記基板と対
面する前面板とをガラス接着材により接着して偏平箱形
の外囲器１を形成している。外囲器の一部に排気孔が形
成され、この排気孔にガラス管によるチップ管を設け、
このチップ管を封止するタイプと、排気孔を金属蓋で封
止するタイプがある。いずれのタイプの場合であっても
外囲器内は高真空状態を保つようにチップ管を溶融［２
て密閉したり、金属蓋を接着して密閉している。このよ
うに封止した外囲器を第１図に示すように、真空加圧容
器２中に入れる。真空加圧容器２は、容器部３と密閉蓋
４とから構成され、容器部３には、容器部３内の気体を
排気する排気バルブ５と、ヘリウムガスを導入する導入
バルブ６が配設されている。又密閉蓋４は、容器部３内
の真空度が保てるようにＯリングやバッキングが配設さ
れると共に所定の圧力に保つようにボルトとナツトのよ
うな固着手段が設けられている。

前述のような真空加圧容器２に外囲器１を入れた後密閉
蓋Ａにより真空加圧容器２を密封した後、真空ポンプ７
により排気バルブ５から真空加圧容器２内の空気を排気
し、真空状態（数ｔｏｒｒ）にした後排気バルブ５を締
め、次いで導入バルブ６を開けてヘリウムガスポンベ８
よりヘリウムガスを真空加圧容器２内に導入し、ヘリウ
ム雰囲気を形成する。

このヘリウム雰囲気は、１．０〜２．０気圧の範囲で加
圧されたヘリウム雰囲気である。このようなヘリウム雰
囲気で所定時間、例えば１０〜５０日間外囲器をヘリウ
ムの加圧雰囲気に浸漬させる。外囲器１が微少リークす
る部分があれば、外囲器１内に漏れ侵入してくる。そし
て所定の浸漬時間に侵入してくるので、侵入するヘリウ
ム量は加速され次第に外囲器内に溜まり増えてくる。

所定時間浸漬した後、外囲器１を真空加圧容器２から取
り出し、第２図に示す真空容器９内に載置する。この真
空容器９は、容器部１０と密閉蓋１１から構成されてい
る。容器部１０には、排気バルブ１２を介して真空ポン
プ１３が配設され、真空容器９内の気体を排気して真空
状態を形成することができる。さらに容器部１０には、
バルブ１４を介して、ヘリウムリークディテクタ１５が
配設されている。

又、密閉蓋１１と対面する容器部１０の面にはＯリング
が設けられ、真空容器９内を真空に保つように構成され
ている。一方密閉蓋１１には透孔が設けられ、この透孔
にベローズ１６がＯリングを介して取り付けられている
。ベローズ１６は伸縮自在であり伸びると真空容器９内
の外囲器］に接触できるように形成されている。

前述のように構成された真空容器９に、前記真空加圧容
器２から取り出した外囲器１を載置し、密閉蓋１１を締
め、排気バルブ１２より、真空容器９内の空気を真空ポ
ンプ１３により排気して真空雰囲気を形成する。排気す
るときにバルブ１４は締めておく。次に、真空雰囲気内
でベローズ１６内に設けた破壊手段１７により、機械的
に外囲器１を破壊して、外囲器１内に溜まっていたヘリ
ウムを、パルブ１４を開けてヘリウムリークディテクタ
で検出し、計測する。

次に具体的な計測例を説明する。

正常な蛍光表示管をヘリウム雰囲気１．３気圧、浸漬時
間を３０日間その後外囲器を破壊してヘリウム量を計測
したら、８．３　Ｘ　１Ｏ−７Ｔｏｒｒ、１であった。

３０日間を秒で表すと、２．５９　Ｘ　１０６秒である
のでヘリウムリーク速度は ８．３Ｘ１０−７＋２．５９Ｘ１０６Ｘ１．３＝２．５
Ｘ１０−１３Ｔｏｒｒ、１／ｓｅｅとなる。

又空気のリーク速度は、 ２．５Ｘ１０−１３＋２．７＝９．３Ｘ１０−１４Ｔｏ
ｒｒ、１／ｓｅｅとなる。

［効果１ 以上説明したように、本発明は、テストする外囲器を封
止した状態で加圧したヘリウム雰囲気中に長時間浸漬さ
せて、外囲器内にヘリウムを蓄積させる。その後外囲器
を真空容器中で破壊して、外囲器中のヘリウムを計測す
る加速評価方法であるので次のような効果がある。

■　ヘリウムは外囲器内に蓄積されるのでＯリングやバ
ルブ等によってリークする量に比較し多量のヘリウム量
が計測される。したがって、Ｏリング等からのリーク量
は誤差として問題なくなり、計算により従来の検出限界
以下のリーク速度が測定できるという効果を有する。

■　従来の検出限界以下のリーク量が測定できるので、
従来外囲器における微少リークによる不良品か正常品か
の正しい判別が抜きとり試験により判別できるという効
果がある。

■　外囲器の材料や、製造方法等を変えた場合に従来の
正常品との微少リークに関して良くなるか、悪くなるか
の判断のデータを出すことが従来の測定法では非常に困
難であったが本発明の測定方法では、正常品のリーク速
度も算出できるので、前述のデータを出すことは容易に
できるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の測定方法に使用する真空加圧容器の
断面図、第２図は、本発明の測定方法に使用する真空容
器の断面図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 封止した外囲器を真空加圧容器内のヘリウムの加圧雰囲
   気中に所定時間浸漬した後、前記外囲器を真空加圧容器
   から取り出して真空容器内に載置し、真空雰囲気中で前
   記外囲器を破壊して、真空容器内のヘリウムをヘリウム
   リークディテクタで計測する外囲器のスローリーク測定
   方法。