JPH04118252A - サーマルヘッド - Google Patents
サーマルヘッドInfo
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- JPH04118252A JPH04118252A JP23954690A JP23954690A JPH04118252A JP H04118252 A JPH04118252 A JP H04118252A JP 23954690 A JP23954690 A JP 23954690A JP 23954690 A JP23954690 A JP 23954690A JP H04118252 A JPH04118252 A JP H04118252A
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- Japan
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- heating resistor
- thermal
- resistor
- thermal head
- heating
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- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 48
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 13
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000011195 cermet Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 208000005107 Premature Birth Diseases 0.000 description 1
- 206010036590 Premature baby Diseases 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005338 heat storage Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野〕
本発明は、サーマルプリンタに使用されるサーマルヘッ
ドに係り、特に低電力駆動を可能にしたサーマルヘッド
に関する。
ドに係り、特に低電力駆動を可能にしたサーマルヘッド
に関する。
整列配置された複数の発熱抵抗体を有し、いずれかの発
熱抵抗体に選択的に通電を行なうことにより、感熱記録
紙を部分的に発色したり、あるいはインクリボンのイン
クを部分的に溶融して記録紙に転写したりして印字を行
なうサーマルヘッドは広く知られている。
熱抵抗体に選択的に通電を行なうことにより、感熱記録
紙を部分的に発色したり、あるいはインクリボンのイン
クを部分的に溶融して記録紙に転写したりして印字を行
なうサーマルヘッドは広く知られている。
まず、このようなサーマルヘッドの従来のものを第2図
により説明する。
により説明する。
第2図において、アルミナなどからなる絶縁性基板1上
にガラスなどからなる蓄熱のためのグレーズ層2が焼付
けなどにより積層されている。このグレーズ層2上には
、高い比抵抗を石する材料からなる複数の発熱抵抗体3
が、全体的に積層された後にフォ]ヘリソグラフィ技術
のエツチングを行なうことにより直線状に整列するよう
に形成されている。これらの各発熱抵抗体3の両側の上
面には、各発熱抵抗体3に対して通電するための共通N
極4Aおよび個別電極4Bがそれぞれ形成されており、
これらの共通電極4Aおよび個別電極4B間において露
出している部位の発熱抵抗体3が、印字に実際に寄与す
る発熱ドツト3Aとされている。なお、これらのグレー
ズ層2、発熱抵抗体3および共通電極4A、個別型i4
Bの上方は保護層5により被覆されている。
にガラスなどからなる蓄熱のためのグレーズ層2が焼付
けなどにより積層されている。このグレーズ層2上には
、高い比抵抗を石する材料からなる複数の発熱抵抗体3
が、全体的に積層された後にフォ]ヘリソグラフィ技術
のエツチングを行なうことにより直線状に整列するよう
に形成されている。これらの各発熱抵抗体3の両側の上
面には、各発熱抵抗体3に対して通電するための共通N
極4Aおよび個別電極4Bがそれぞれ形成されており、
これらの共通電極4Aおよび個別電極4B間において露
出している部位の発熱抵抗体3が、印字に実際に寄与す
る発熱ドツト3Aとされている。なお、これらのグレー
ズ層2、発熱抵抗体3および共通電極4A、個別型i4
Bの上方は保護層5により被覆されている。
前述した従来のり=マルヘッドを使用する熱転写プリン
タにおいては、このサーマルヘッドをインクリボンを介
して記録紙に圧接させ、所定の印字情報に基づいて所望
の発熱抵抗体3に対応する個別電極4Bに通電すること
により、その発熱抵抗体3を発熱させ、前記インクリボ
ンのインクを部分的に溶融して前記記録紙に転写するこ
とにより、2鉦紙上に所定の印字を行なうことができる
。
タにおいては、このサーマルヘッドをインクリボンを介
して記録紙に圧接させ、所定の印字情報に基づいて所望
の発熱抵抗体3に対応する個別電極4Bに通電すること
により、その発熱抵抗体3を発熱させ、前記インクリボ
ンのインクを部分的に溶融して前記記録紙に転写するこ
とにより、2鉦紙上に所定の印字を行なうことができる
。
前述した従来のサーマルヘッドにお(プる発熱抵抗体3
の膜厚は、1000〜3000人(オンゲス1〜ローム
)程度が一般的であったが、サーマルプリンタがそれほ
ど高速駆動されない場合は、このような膜厚の発熱抵抗
体3で」分であり、また、このような膜厚であれば、成
膜時間も短かく早産のだめには好都合であった。
の膜厚は、1000〜3000人(オンゲス1〜ローム
)程度が一般的であったが、サーマルプリンタがそれほ
ど高速駆動されない場合は、このような膜厚の発熱抵抗
体3で」分であり、また、このような膜厚であれば、成
膜時間も短かく早産のだめには好都合であった。
ところが、近年、サーマルプリンタは高速化の方向にあ
り、これを達成するには、前述した第2図の構成では不
十分であった。
り、これを達成するには、前述した第2図の構成では不
十分であった。
すなわち、高速化するためには、十ノーマルヘッドの発
熱トッド3Aが、通電されてから類n間で所定の温度ま
で上背することが必要であるが、第2図のものでは、発
熱抵抗体3の膜厚が茗いため、発熱トッド3Aにおいて
発生した熱が下方のグレーズ層2に容易に逃げてしまい
、発熱トッド3への表面が印字に適する温度にまで上背
するのに多くの時間を要していた。また、これを防止づ
るためには、発熱抵抗体3に供給するエネルギの型を多
くしなければならないが、エネルギの「を多くすると、
消費電力が増大し、エネルギ効率が悪化するという問題
点かあった。
熱トッド3Aが、通電されてから類n間で所定の温度ま
で上背することが必要であるが、第2図のものでは、発
熱抵抗体3の膜厚が茗いため、発熱トッド3Aにおいて
発生した熱が下方のグレーズ層2に容易に逃げてしまい
、発熱トッド3への表面が印字に適する温度にまで上背
するのに多くの時間を要していた。また、これを防止づ
るためには、発熱抵抗体3に供給するエネルギの型を多
くしなければならないが、エネルギの「を多くすると、
消費電力が増大し、エネルギ効率が悪化するという問題
点かあった。
本発明は、このような従来のものにおける問題点を克服
し、低電力で駆動しても高速化にス・1応することがで
きるリーマルヘッドを目的とする。
し、低電力で駆動しても高速化にス・1応することがで
きるリーマルヘッドを目的とする。
(3題を解決するための手段〕
前述した目的を達成するため本発明に係るサーマルヘッ
ドは、グレーズ層上に複数の発熱抵抗体を整列配置し、
これらの発熱抵抗体に通電するための電極を発熱抵抗体
上に積層してなるサーマルヘッドにおいて、前記発熱抵
抗体の材質を面記グレース層より熱伝導率の小さな材料
により形成するとともに、発熱抵抗体のlA厚を300
0−8000Aとしたことを特徴としている。
ドは、グレーズ層上に複数の発熱抵抗体を整列配置し、
これらの発熱抵抗体に通電するための電極を発熱抵抗体
上に積層してなるサーマルヘッドにおいて、前記発熱抵
抗体の材質を面記グレース層より熱伝導率の小さな材料
により形成するとともに、発熱抵抗体のlA厚を300
0−8000Aとしたことを特徴としている。
(作 用〕
前述した構成からなる本発明によれば、発熱抵抗体の材
質かグレーズ層より熱伝導率の小さな材料により形成さ
れており、しがも、発熱抵抗体のm厚が厚いので、発熱
抵抗体の発熱ドツトの上部において発生した熱が熱伝S
率の小さな材料がうなる発熱抵抗体自体によりブロック
されることによりグレーズ層の方へ逃げないので、熱効
率を向上して低電力駆動により高速化に対応することが
できる。
質かグレーズ層より熱伝導率の小さな材料により形成さ
れており、しがも、発熱抵抗体のm厚が厚いので、発熱
抵抗体の発熱ドツトの上部において発生した熱が熱伝S
率の小さな材料がうなる発熱抵抗体自体によりブロック
されることによりグレーズ層の方へ逃げないので、熱効
率を向上して低電力駆動により高速化に対応することが
できる。
以下、本発明を図面に示す実施例【こより説明する。な
お、前述した従来のものと同一・ないしは相当する構成
については、図面中に同一の符号を付し、要部のみにつ
いて説明する。
お、前述した従来のものと同一・ないしは相当する構成
については、図面中に同一の符号を付し、要部のみにつ
いて説明する。
第1図は、本発明に係るサーマルヘッドの実施例を示す
ものであり、本実施例において、ガラスからなるグレー
ズB2の上方に形成されている発熱抵抗体3は、グレー
ズ層2より熱伝導率の小さな材料、具体的には、Ta−
8i○ 、Cr −3102なとのリーメッ1〜により
形成されている。
ものであり、本実施例において、ガラスからなるグレー
ズB2の上方に形成されている発熱抵抗体3は、グレー
ズ層2より熱伝導率の小さな材料、具体的には、Ta−
8i○ 、Cr −3102なとのリーメッ1〜により
形成されている。
また、前記発熱抵抗体3の膜jワは、従来のものにあけ
る発熱抵抗体3の膜厚が1000〜300OAであった
のに対し、このINより厚い3000〜8000人に形
成されている。このように発熱抵抗体3のyA厚を30
00〜8000八とした根拠については後述する。
る発熱抵抗体3の膜厚が1000〜300OAであった
のに対し、このINより厚い3000〜8000人に形
成されている。このように発熱抵抗体3のyA厚を30
00〜8000八とした根拠については後述する。
なお、このような膜厚の厚さの発熱抵抗体3の被膜をグ
レーズ層2上に形成するには、例えば、サーメットの金
属成分を少なくしたターゲット材旧を用いたスパッタを
行なえばよい。また、この被膜をエツチングして発熱抵
抗体3のパターニングを行なうには、サーメットが例え
ば−r a −sO2系であれば、CF4+02系のド
ライエツヂング(RIE>を使用し、かつ、マス4ング
として薄いAf)Eを用いることにより可能どなる。こ
のAf層はCF4系ではエツチング1ii449がある
。
レーズ層2上に形成するには、例えば、サーメットの金
属成分を少なくしたターゲット材旧を用いたスパッタを
行なえばよい。また、この被膜をエツチングして発熱抵
抗体3のパターニングを行なうには、サーメットが例え
ば−r a −sO2系であれば、CF4+02系のド
ライエツヂング(RIE>を使用し、かつ、マス4ング
として薄いAf)Eを用いることにより可能どなる。こ
のAf層はCF4系ではエツチング1ii449がある
。
さらに、各発熱抵抗体3の両側の上面には、各発熱抵抗
体3に対して通電するための共通型If!4Aおよび個
別電極/lBがそれぞれ形成されている。
体3に対して通電するための共通型If!4Aおよび個
別電極/lBがそれぞれ形成されている。
つぎに、前)ホした組成からなる本実施例の作用につい
て説明する。
て説明する。
発熱抵抗体3の発熱トッド3Aを発熱するため共通電極
4Aおよび個別電極4Bを介して発熱抵抗体3に通電を
行なうと、共通電極4Aおよび個別電極4Bは発熱抵抗
体3の子側に配設されているため、電流は膜厚の厚い発
熱抵抗体3の上部に多く流れること(こなる。この結果
、この発熱抵抗体3への通電により発熱トッド3Aにお
いて発生した熱は、その上部はど温度が上背するような
温度分布をなすことになるが、発熱抵抗体3△は、グレ
ーズFI2より熱伝導率の小さな材料により形成されて
いるので、発熱抵抗体3Aの上部において発生した熱は
、発熱抵抗体3そのものより下方への熱の移動を阻什さ
れることになる。このような現象により熱効率が良好と
なり、発熱トッド3Aの表面が印字に適した温度にまで
上背するのに短かい時間で済み、高速化に対応すること
ができる。
4Aおよび個別電極4Bを介して発熱抵抗体3に通電を
行なうと、共通電極4Aおよび個別電極4Bは発熱抵抗
体3の子側に配設されているため、電流は膜厚の厚い発
熱抵抗体3の上部に多く流れること(こなる。この結果
、この発熱抵抗体3への通電により発熱トッド3Aにお
いて発生した熱は、その上部はど温度が上背するような
温度分布をなすことになるが、発熱抵抗体3△は、グレ
ーズFI2より熱伝導率の小さな材料により形成されて
いるので、発熱抵抗体3Aの上部において発生した熱は
、発熱抵抗体3そのものより下方への熱の移動を阻什さ
れることになる。このような現象により熱効率が良好と
なり、発熱トッド3Aの表面が印字に適した温度にまで
上背するのに短かい時間で済み、高速化に対応すること
ができる。
第3図は、供給エネルギが一定であるとした場合の発熱
抵抗体3の膜厚とサーマルヘッドの表面温度との関係を
示すグラフであり、この図より明らかなように、発熱抵
抗体3の膜厚を厚くして熱効率を向上した方が、サーマ
ルヘッドの表面温亀も高温まで上背できることになり、
高速化に対応しやすくなる。
抵抗体3の膜厚とサーマルヘッドの表面温度との関係を
示すグラフであり、この図より明らかなように、発熱抵
抗体3の膜厚を厚くして熱効率を向上した方が、サーマ
ルヘッドの表面温亀も高温まで上背できることになり、
高速化に対応しやすくなる。
この第3図のグラフによれば、発熱抵抗体3の膜厚が3
000A程度まではサーマルヘッドの表面温度の立上り
は大きいが、発熱抵抗体3のII!厚が3000人程度
を越えると、サーマルヘッドの表面温度の立十りは鈍化
し、熱効率的には大きな差がなくなる。ところで、発熱
抵抗体3の膜17が厚くなればなるほど、発熱抵抗体3
のバターニングが困難になるので、発熱抵抗体3の膜厚
としては3000へ一8000Aが望ましい。
000A程度まではサーマルヘッドの表面温度の立上り
は大きいが、発熱抵抗体3のII!厚が3000人程度
を越えると、サーマルヘッドの表面温度の立十りは鈍化
し、熱効率的には大きな差がなくなる。ところで、発熱
抵抗体3の膜17が厚くなればなるほど、発熱抵抗体3
のバターニングが困難になるので、発熱抵抗体3の膜厚
としては3000へ一8000Aが望ましい。
このJ、うに本実施例によれば、熱効率を向上すること
により低電力駆動にもかかわらず、高速化に対応するこ
とができる。
により低電力駆動にもかかわらず、高速化に対応するこ
とができる。
なお、本考案は、前述した実施例に限定されるものでは
なく、必要に応じて種々の変更が可能である。
なく、必要に応じて種々の変更が可能である。
以上説明したように本発明によれば、低電力で駆動して
も高速化に対応することができるという実用的な効果を
奏する。
も高速化に対応することができるという実用的な効果を
奏する。
第1図は本発明に係るサーマルヘッドの実施例を示す概
略縦断面図、第2図は従来のサーマルヘッドを示す概略
縦断面図、第3図は発熱抵抗体の股厚どサーマルヘッド
の膜厚との関係を示すグラフである。 1・・・絶縁性基板、2・・・グレーズ層、3・・・発
熱抵抗体、3△・・・発熱ドラ1〜.4A・・・共通電
極、4B・・・個別電極、5・・・保護層。
略縦断面図、第2図は従来のサーマルヘッドを示す概略
縦断面図、第3図は発熱抵抗体の股厚どサーマルヘッド
の膜厚との関係を示すグラフである。 1・・・絶縁性基板、2・・・グレーズ層、3・・・発
熱抵抗体、3△・・・発熱ドラ1〜.4A・・・共通電
極、4B・・・個別電極、5・・・保護層。
Claims (1)
- グレーズ層上に複数の発熱抵抗体を整列配置し、これら
の発熱抵抗体に通電するための電極を発熱抵抗体上に積
層してなるサーマルヘッドにおいて、前記発熱抵抗体の
材質を前記グレース層より熱伝導率の小さな材料により
形成するとともに、発熱抵抗体の膜厚を3000〜80
00Åとしたことを特徴とするサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23954690A JPH04118252A (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 | サーマルヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23954690A JPH04118252A (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 | サーマルヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04118252A true JPH04118252A (ja) | 1992-04-20 |
Family
ID=17046422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23954690A Pending JPH04118252A (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 | サーマルヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04118252A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5798368A (en) * | 1980-12-10 | 1982-06-18 | Mitsubishi Electric Corp | Thin film type thermal head |
| JPS58224763A (ja) * | 1982-06-23 | 1983-12-27 | Mitsubishi Electric Corp | サ−マルヘツド |
| JPS59169872A (ja) * | 1983-03-17 | 1984-09-25 | Mitsubishi Electric Corp | サ−マルヘツド及びその製造方法 |
| JPH02192959A (ja) * | 1989-01-20 | 1990-07-30 | Ricoh Co Ltd | サーマルヘッド |
-
1990
- 1990-09-10 JP JP23954690A patent/JPH04118252A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5798368A (en) * | 1980-12-10 | 1982-06-18 | Mitsubishi Electric Corp | Thin film type thermal head |
| JPS58224763A (ja) * | 1982-06-23 | 1983-12-27 | Mitsubishi Electric Corp | サ−マルヘツド |
| JPS59169872A (ja) * | 1983-03-17 | 1984-09-25 | Mitsubishi Electric Corp | サ−マルヘツド及びその製造方法 |
| JPH02192959A (ja) * | 1989-01-20 | 1990-07-30 | Ricoh Co Ltd | サーマルヘッド |
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