JPH04118655U - 蛍光ｘ線分析装置の自動運転制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】蛍光Ｘ線分析において、分析終了から次回の分
析開始までの操作を自動化することにより、オペレータ
の負担を軽くするとともに、適正なエージングを行う。 【構成】その日の分析業務の終了が近づくと、オペレー
タは、設定器15を介して、分析 (測定) 終了までに測定
する分析内容、Ｘ線管21の休止状態および次回の分析開
始時刻の設定を行う。第１制御手段11は、分析内容に応
じて測定器20を作動させ、所定の分析を行わせる。この
分析終了後、第２制御手段は、休止状態信号ｂと終了信
号ｃに基づいて、Ｘ線発生装置22を所定の休止状態に切
り替える。設定された次回の運転開始時刻になると、第
３制御手段13は測定器20を運転状態にし選択手段17で選
択されたエージング状態に合わせて、Ｘ線管21の管電圧
および管電流を時間とともに徐々に上昇させエージング
を行う。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、分析終了から次回の分析開始までの間の蛍光Ｘ線分析装置の運転 を制御する自動運転制御装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

蛍光Ｘ線分析装置は、Ｘ線管から分析試料に一次Ｘ線を照射して、分析試料か ら発生する蛍光Ｘ線をＸ線検出器で測定し、このＸ線検出器での測定値に基づい て分析試料の元素分析を行うものである。 近年の蛍光Ｘ線分析装置は、予め設定された分析内容に応じて、複数の分析試 料の分析を自動的に行えるようになっており、これにより、オペレータの負担を 軽くしている。 また、蛍光Ｘ線分析装置は、一般に、昼間において使用され、夜間はＸ線管の 管電圧および管電流を最低負荷またはオフ状態、つまり休止状態にしておく。こ れにより、Ｘ線管の寿命が長くなり、かつ、消費電力の節約が図られる。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、上記従来技術では、当日の分析業務の終了にあたり、オペレータは分 析装置の分析が終了するのを待ってから、上記Ｘ線管を休止状態にする。したが って、オペレータの負担を今一つ軽減できない。

【０００４】 また、翌日の立上げ時には、分析業務の開始前に、Ｘ線管の管電圧および管電 流を、図２のように、徐々に上げるエージングを行う必要がある。このエージン グは、Ｘ線管の休止時間および休止状態に応じて、適正な管電圧および管電流の 上昇過程を選択する必要がある。 しかし、上記従来技術では、各オペレータが前回の分析作業の終了日時を把握 し、当日の分析業務の開始時刻までの休止時間などから、適宣、エージング状態 を設定して、この図に示すようなエージングを行っている。そのため、オペレー タの負担は、今一つ軽減されていない。

【０００５】 また、オペレータが休止時間を勘違いしてエージング状態を誤ったり、あるい は、休止時間や休止状態に対応するエージング状態の選択を誤るおそれもある。 このように正しいエージングが行われないと、Ｘ線管の寿命を短くしたり、分析 誤差が生じるなどの問題がある。

【０００６】 この考案は、上記従来の問題に鑑みてなされたもので、分析終了から次回の分 析開始までの操作を自動化することにより、オペレータの負担を軽くするととも に、適正なエージングを行い得る蛍光Ｘ線分析装置の自動運転制御装置を提供す ることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、この考案は、第１ないし第３制御手段と、終了検 知手段と、選択手段とを備えている。 上記第１制御手段は、測定器を制御して、設定された分析試料の蛍光Ｘ線の測 定を行わせる。上記終了検知手段は運転終了の時刻を検知する。上記第２制御手 段は、設定された休止状態に測定器を運転終了後に切り替える。上記選択手段は 、終了検知手段で検知された運転終了時刻から次回の運転開始時刻までの休止時 間、ならびに、上記測定器の休止状態に基づいて、次回の分析前におけるＸ線管 のエージング状態を選択する。上記第３制御手段は、測定器を運転状態にし、選 択手段で選択されたエージング状態に合わせて、次回の分析開始前に、測定器に Ｘ線管のエージングを行わせる。

【０００８】

【作用】

この考案によれば、第２制御手段が運転終了後において設定された休止状態に 測定器を切り替え、第３制御手段が測定器を運転状態にし、分析開始前に測定器 にＸ線管のエージングを行わせるので、分析作業の終了操作および開始操作を自 動的に行うことができる。しかも、終了検知手段で運転終了時刻を検知し、この 運転終了から設定された運転開始までの休止時間に基づいて、選択手段がエージ ング状態を選択するので、オペレータが勘や記憶によりエージング状態を選択す るのと異なり、適正なエージング状態を選択することができる。

【０００９】

【実施例】

以下、この考案の一実施例を図面にしたがって説明する。 図１において、蛍光Ｘ線分析装置は、制御装置10と、この制御装置10によって 制御される測定器20とを備えている。 測定器20は、ターゲット（図示せず）に電子を衝突させて一次Ｘ線を発生する Ｘ線管21と、このＸ線管21に電圧を印加するとともに電流を供給するＸ線発生装 置22を有する。このＸ線発生装置22は、図示しない管電圧および管電流検出器を 備えている。Ｘ線管21は、分析試料 (図示せず) に一次Ｘ線を照射する。この照 射により分析試料から発生する蛍光Ｘ線は、Ｘ線検出器23によって測定される。

【００１０】 上記Ｘ線管21は、冷却装置24によって冷却され、所定範囲の温度に保たれる。 冷却装置24は、Ｘ線管21を冷却する二次冷却水25を送水装置28によりＸ線管21に 供給するものである。この冷却装置24は、上記二次冷却水25を冷却する一次冷却 水26を送水装置28内に取り込んでおり、この一次冷却水26の供給を停止するバル ブ27を備えている。

【００１１】 上記制御装置10は、第１ないし第４制御手段11〜14、設定器15、終了検知手段 16および選択手段17を備えている。設定器15からは、自動運転制御の内容として 、以下のような設定項目がオペレータにより入力される。 １）分析（測定）終了までに測定する分析内容 ２）分析（測定）終了後のＸ線管21の休止状態 ３）次回の分析（測定）開始時刻（日，時） ４）点検動作の選択 なお、点検動作としては、Ｘ線検出器23からの波高値（パルス信号のパルスの 高さ) を所定の試料について一定値に調整する波高値の自動調整や、測定強度の ドリフトを補正するための標準化試料の測定 (装置のドリフト較正定数の更新) や、組成を正しく分析できるか否かを確認する精度管理試料などの分析がある。

【００１２】 第１制御手段11は、設定器15からの分析内容信号ａを入力とし、分析動作信号 a1を測定器20に出力して、設定された分析試料の蛍光Ｘ線の測定を測定器20に測 定 (分析) 終了まで行わせる。終了検知手段16は測定器20からの終了信号ｃによ り運転終了の時刻を検知する。

【００１３】 第２制御手段12は、設定器15からの休止状態信号ｂと、測定器20からの終了信 号ｃを入力とし、休止信号ｈを出力して測定器20を制御することで、設定された 休止状態に測定器20を運転終了後に切り替える。休止状態としては、Ｘ線管21の 負荷を最低負荷（20kV, ２mA程度）にする状態と、Ｘ線管21の管電圧および管電 流をオフにするオフ状態と、測定器20全体を休止状態にする方式などが考えられ る。なお、オフ状態に設定した場合は、送水装置28のバルブ27が閉止して、一次 冷却水26の送水を停止し、漏水事故の防止やランニングコストの低減が図られる 。

【００１４】 選択手段17は、設定器15からの運転開始時刻信号ｄと、終了検知手段16からの 運転終了時刻信号ｅを入力とし、両信号ｄ，ｅを比較することにより、運転終了 から次回の運転開始までの時間、つまり休止時間を演算する。この選択手段17は 、休止状態信号ｂを入力とし、上記休止時間と測定器20の休止状態に基づいて定 められるエージング状態のマップを有しており、休止時間および休止状態に基づ いて、次回の分析前におけるＸ線管のエージング状態を選択する。なお、エージ ング状態とは、図２のような時間に対する管電圧・管電流の値および上昇のさせ 方をいう。

【００１５】 図１の第３制御手段13は、選択手段17からのエージング信号ｆを入力とし、設 定器15に入力した運転開始時刻になると、運転信号f1を測定器20に出力して、Ｘ 線管21をオン状態にしたり、測定器20内の他の電源をオンにした運転状態に切り 替える。さらに、この第３制御手段13は、選択手段17で選択されたエージング状 態に合わせて、エージング動作信号f2を出力し、次回の分析開始前に、Ｘ線発生 装置22にＸ線管21のエージングを行わせる。第４制御手段14は、設定器15からの 点検項目信号ｇを入力とし、点検動作信号g1を出力して、設定された点検動作を 上記エージング終了後に測定器20に行わせる。

【００１６】 つぎに、上記構成の動作を説明する。 まず、その日の分析業務の終了が近づくと、オペレータは、設定器15を介して 、分析 (測定) 終了までに測定する分析内容、測定器20の休止状態および次回の 分析開始時刻の設定や点検項目の選択を行う。第１制御手段11は、上記分析内容 に応じて測定器20を作動させ、所定の分析を行わせる。

【００１７】 この分析が終了した後、第２制御手段12は、休止状態信号ｂと終了信号ｃに基 づいて、測定器20を所定の休止状態に切り替える。なお、Ｘ線発生装置22がＸ線 管21の管電圧および管電流をオフ状態にした場合は、バルブ27が連動して閉じ、 一次冷却水26が遮断される。

【００１８】 設定された次回の運転開始時刻になると、第３制御手段13は運転信号f1を測定 器20に出力して、測定器20を運転状態に切り替え、さらに選択手段17で選択され たエージング状態に合わせて、Ｘ線管21の管電圧および管電流を図２のように時 間とともに徐々に不連続的に上昇させて、所定のエージングが行われる。このエ ージング後、図１の第４制御手段14は、所定の点検動作を測定器20に行わせる。 なお、Ｘ線管21の管電圧および管電流がオフ状態になっていた場合は、エージン グ開始と同時に、バルブ27が開になり、一次冷却水26が送水される。

【００１９】 このように、この自動運転制御装置では、分析終了後において測定器20が設定 された休止状態に自動的に保持され、かつ、分析開始前に測定器20がＸ線管21の エージングおよび点検動作を自動的に行うので、分析作業の終了操作および開始 操作を自動的に行うことができる。したがって、オペレータの負担が軽減される 。

【００２０】 しかも、終了検知手段16で運転終了時刻を検知し、この運転終了から設定され た運転開始までの休止時間と休止状態に基づいて、選択手段17がエージング状態 を選択するので、オペレータが勘や記憶によりエージング状態を選択するのと異 なり、適正なエージング状態を選択することができる。したがって、適正なエー ジングを行うことができる。

【００２１】 なお、この実施例では、設定器15は、運転開始時刻信号ｄを記憶する機能を内 蔵しているが、この機能を制御装置10の外部に設けてもよい。この機能を制御装 置10の外部に設ければ、休止状態においては、制御装置10の電源をオフにするこ ともでき、測定器20も含めて全て休止状態とすることが可能となる。

【００２２】

【考案の効果】

以上説明したように、この考案によれば、分析終了後において測定器を所定の 休止状態に自動的に切り替えるとともに、次回の分析開始前にＸ線管のエージン グを自動的に行うので、オペレータの負担が軽くなる。また、終了検知手段で運 転終了時刻を検知し、この運転終了から設定された運転開始までの休止時間と休 止状態に基づいて、選択手段がエージング状態を選択するので、オペレータが勘 や記憶によりエージング状態を選択するのと異なり、適正なエージング状態を選 択することができ、したがって、適正なエージングを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の自動運転制御装置の一実施例を示す
概略構成図である。

【図２】エージング状態を示す特性図である。

【符号の説明】

10…制御装置、11…第１制御手段、12…第２制御手段、
13…第３制御手段、16…終了検知手段、17…選択手段、
20…測定器、21…Ｘ線管。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ線管から分析試料に一次Ｘ線を照射し
   て、上記分析試料から発生する蛍光Ｘ線を測定し分析す
   る蛍光Ｘ線分析装置の自動運転制御装置であって、測定
   器を制御して、設定された分析試料の蛍光Ｘ線の測定を
   行わせる第１制御手段と、上記測定器の運転終了時刻を
   検知する終了検知手段と、設定された休止状態に上記測
   定器を運転終了後に切り替える第２制御手段と、上記終
   了検知手段で検知された運転終了時刻から設定された次
   回の運転開始時刻までの休止時間、ならびに、上記測定
   器の上記休止状態に基づいて、次回の分析前における上
   記Ｘ線管のエージング状態を選択する選択手段と、上記
   測定器を運転状態にし、上記選択手段で選択されたエー
   ジング状態に合わせて、上記次回の分析開始前に、上記
   測定器にＸ線管のエージングを行わせる第３制御手段と
   を備えた蛍光Ｘ線分析装置の自動運転制御装置。