JPH04125568U - ウエーハ用ピンセツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウェーハを安定して移動し得るピンセットを
提供する。 【構成】 幅広の二又部材２とその先端にウェーハ１の
中央部を挟持する挟持部３とその左右に側部を挟持する
側部挟持部５，６とを設けて構成することにより、少な
くとも３ヶ所でウェーハ１を挟持するとともに全部の指
で握るようにしたから安定してウェーハ１を移動するこ
とができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ウェーハを取り扱うのに用いられるピンセットに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来から製作されるトランジスタやＩＣなどのウェーハは、シリコン単結晶を 薄い板状にスライスして両面をラップしたもので、通常の厚さは 400μm 程度で 直径は15cm程度の円形の板であるが、これを取り扱う際には汚れを防ぐため素手 で持たず、必ずピンセットが用いられる。このようなピンセットは、たとえば図 ２に示すように、ウェーハ１を挟持する細い二又部材２の先端に対向して設けら れた挟持部３，３′を有し、そのほぼ中間に指のすべり止め４が設けられたもの が一般的である。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、このような従来のピンセットは細くて２本の指でしか取り扱う ことができず、またウェーハを挟む支点が１ヶ所のみであることから安定が悪く 、また心理的に不安定感があるため、緊張のため手が震えて移動する際にウェー ハを落下するとか、カセットに収納するとき溝に入れにくいなどの問題があり、 また落下を防ぐべく強く握ろうとすると割れる恐れがある。本考案はこのような 課題を解決したウェーハ用ピンセットを提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案は、幅広の二又部材と、この二又部材の先端の中央部とその左右側部の 少なくとも３ヶ所にウェーハを挟持するように対向して設けられる挟持部とから なることを特徴とするウェーハ用ピンセットである。

【０００５】

【作 用】

本考案のピンセットによれば、二又部材の握り部の幅を広くして全部の指で握 れるようにするとともにウェーハを挟む支点を少なくとも３点にしたので、ウェ ーハを手が震えることなく安定して挟むことができるから、楽にウェーハを移動 をすることができる。

【０００６】

【実施例】

図１は本考案の実施例を示す平面図である。図に示すように、本考案のピンセ ットはたとえばステンレスなどの材料で構成される二又部材２を幅広にし、その 先端には従来の中央部の挟持部３を中心にしてその左右にウェーハ側部の挟持部 ５，６を設けて構成する。なお、二又部材２の表面には従来のようにすべり止め ４が刻まれている。

【０００７】 このようにピンセットを大きくすることにより全部の指で握ることができ、ま たウェーハの挟持部を３ヶ所にすることによりウェーハの面を安定して挟むこと ができ、これによってウェーハを楽に移動させることができる。なお、挟持部３ ，５，６のウェーハ１との接触面にウェーハ１の溝に沿うようなＲを付けるよう にすれば、さらにウェーハ１を確実に挟むことができる。また、挟持部の数は３ 個以上としてもよい。

【０００８】

【考案の効果】

本考案のピンセットによれば、ウェーハを少なくとも３ヶ所で挟持するので安 定性が向上するとともに全部の指でしっかり握ることができるから心理的に安定 感も得られ、落下したりしてウェーハを割る恐れがなく安定してかつ短時間でウ ェーハを移動させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す平面図である。

【図２】ピンセットの従来例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ ウェーハ ２ 二又部材 ３ 中央部挟持部 ４ 滑り止め ５，６ 側部挟持部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 幅広の二又部材と、この二又部材の先
   端の中央部とその左右側部の少なくとも３ヶ所にウェー
   ハを挟持するように対向して設けられる挟持部とからな
   ることを特徴とするウェーハ用ピンセット。