JPH0412638U - - Google Patents

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JPH0412638U
JPH0412638U JP5328190U JP5328190U JPH0412638U JP H0412638 U JPH0412638 U JP H0412638U JP 5328190 U JP5328190 U JP 5328190U JP 5328190 U JP5328190 U JP 5328190U JP H0412638 U JPH0412638 U JP H0412638U
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JP
Japan
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pellet
suction nozzle
die bonding
nozzle
spring
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JP5328190U
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例１を示す断面図、第２
図ａ，ｂ，ｃは動作図、第３図は本考案の実施例
２を示す断面図、第４図ａ，ｂは従来及び本考案
のダイボンデイングアームの動作チヤート、第５
図は従来のダイボンデイングヘツドを示す断面図
、第６図ａ，ｂ，ｃは動作図である。 １……ガイドブロツク、２……貫通孔、３……
ペレツト吸着ノズル、４……圧縮バネ、５……エ
アブロー穴、６……ブラケツト、７……粘着テー
プ、８……ペレツト、９……リードフレーム、１
０……導電性ペースト、１１……アイランド、１
２……電磁石。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ガイドブロツクと、ペレツト吸着ノズルと
    、バネと、高圧エア機構とを有するダイボンデイ
    ング装置のダイボンデイングヘツドであつて、 ガイドブロツクは、ペレツト吸着ノズルを上下
    スライド可能に支持するものであり、 ペレツト吸着ノズルは、下端フラツト部に半導
    体ペレツトを真空吸着するものであり、 バネは、ペレツト吸着ノズルを下方に付勢する
    ものであり、 高圧エア機構は、ペレツト吸着ノズルに高圧エ
    アを吹付けて圧下することにより、バネ力を受け
    て上下スライドする際に該ペレツト吸着ノズルに
    生ずる振動を抑止するものであることを特徴とす
    るダイボンデイング装置のダイボンデイングヘツ
    ド。 (2) ガイドブロツクと、ペレツト吸着ノズルと
    、バネと、電磁石とを有するダイボンデイング装
    置のダイボンデイングヘツドであつて、 ガイドブロツクは、ペレツト吸着ノズルを上下
    スライド可能に支持するものであり、 ペレツト吸着ノズルは、下端フラツト部に半導
    体ペレツトを真空吸着するものであり、 バネは、ペレツト吸着ノズルを下方に付勢する
    ものであり、 電磁石は、ペレツト吸着ノズルを磁気力でホー
    ルドすることにより、バネ力を受けて上下スライ
    ドする際に該ペレツト吸着ノズルに生ずる振動を
    抑止するものであることを特徴とするダイボンデ
    イング装置のダイボンデイングヘツド。
JP5328190U 1990-05-22 1990-05-22 Pending JPH0412638U (ja)

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JP5328190U JPH0412638U (ja) 1990-05-22 1990-05-22

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JP5328190U JPH0412638U (ja) 1990-05-22 1990-05-22

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JPH0412638U true JPH0412638U (ja) 1992-01-31

Family

ID=31574333

Family Applications (1)

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JP5328190U Pending JPH0412638U (ja) 1990-05-22 1990-05-22

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JP (1) JPH0412638U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5162490A (ja) * 1974-11-27 1976-05-31 Atsuji Tekko Kk Junkanshikisandoburasutoki

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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