JPH0412645U - - Google Patents

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JPH0412645U
JPH0412645U JP5295390U JP5295390U JPH0412645U JP H0412645 U JPH0412645 U JP H0412645U JP 5295390 U JP5295390 U JP 5295390U JP 5295390 U JP5295390 U JP 5295390U JP H0412645 U JPH0412645 U JP H0412645U
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cassette
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air
cassette storage
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例であるウエハーカセ
ツトダム装置の使用状態を概略的に示す説明図で
あり、第２図は同装置の斜視図であり、第３図は
同装置の駆動系統の要部を示す側面の断面説明図
であり、第４図はコンベヤチエーンによるカセツ
ト搭載棚の支持状態を示す側面の断面説明図であ
り、第５図は同装置の要部を拡大して示す正面の
断面説明図であり、第６図は第５図の一部を更に
拡大して示す断面図である。第７図は同装置のコ
ンベヤチエーンに対するカセツト搭載棚の取付状
態を示す拡大斜視図であり、第８図は同装置の保
管対象とされるウエハーカセツトを示す一部切欠
拡大斜視図である。第９図は従来装置を示す第４
図に対応する図である。 １０……本体ケース、１２……側隔壁、１４…
…底隔壁、１６……カセツト収納空間、１８……
駆動部収容空間、２０……下部空間、２６，３０
……コンベヤチエーン、４２……カセツト搭載棚
、４４……ウエハーカセツト、５２……支持ロツ
ド、５４……リンクバー、５６……環状スリツト
、７０……カセツト出入口、７８……開口部、８
４，８６……スリツト、８８……吸気フアン、９
６……クリーンルーム、９８……吹出口。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 ケース内空間を隔壁でカセツト収納空間と一対
    の駆動部収容空間に仕切り、各駆動部収容空間内
    にそれぞれ配した一対のコンベヤチエーンで搭載
    棚の両端側を保持させて、該搭載棚を所定の環状
    軌跡に沿つて循環運動させ、該搭載棚に搭載した
    ウエハーカセツトを前記カセツト収納空間内にお
    いて前記ケースのカセツト出入口に順次循環移送
    させるようにしたウエハーカセツトダム装置にお
    いて、 前記カセツト収納空間の天井壁に空気流入口を
    形成すると共に、該カセツト収納空間の前壁及び
    後壁にそれぞれ空気流出口を形成し、前記空気流
    入口から該カセツト収納空間内に流入された空気
    がそれら空気流出口及び前記カセツト出入口から
    外部に流出するように成したことを特徴とするウ
    エハーカセツトダム装置。
JP5295390U 1990-05-21 1990-05-21 ウェハーカセットダム装置の内部空気浄化構造 Expired - Lifetime JPH0719153Y2 (ja)

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JPH0412645U true JPH0412645U (ja) 1992-01-31
JPH0719153Y2 JPH0719153Y2 (ja) 1995-05-01

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