JPH0412648U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0412648U
JPH0412648U JP5447190U JP5447190U JPH0412648U JP H0412648 U JPH0412648 U JP H0412648U JP 5447190 U JP5447190 U JP 5447190U JP 5447190 U JP5447190 U JP 5447190U JP H0412648 U JPH0412648 U JP H0412648U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cassette
support rod
wafer
shelves
conveyor chains
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5447190U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0719154Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP5447190U priority Critical patent/JPH0719154Y2/ja
Publication of JPH0412648U publication Critical patent/JPH0412648U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0719154Y2 publication Critical patent/JPH0719154Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例であるウエハーカセ
ツトダム装置のカセツト搭載棚及びその取付構造
を示す要部斜視図であり、第２図は同装置と従来
装置とのカセツト搭載棚の配設ピツチ関係を説明
するための説明図であり、第３図は同装置の外観
を示す斜視図であり、第４図は同装置のコンベヤ
チエーンに対するカセツト搭載棚の配設状態を示
す側面断面説明図であり、第５図は同装置の駆動
系統の要部を示す側面断面説明図であり、第６図
は同装置の要部を拡大して示す正面の断面説明図
であり、第７図は第６図の一部を更に拡大して示
す断面図であり、第８図は同装置の保管対象とさ
れるウエハーカセツトを示す一部切欠拡大斜視図
である。第９図は従来装置を示す第４図に対応す
る図であり、第１０図は同装置の駆動系統を概略
的に示す説明図であり、第１１図は同装置の第１
図に対応する図であり、第１２図は同装置のカセ
ツト搭載棚同士の干渉とカセツト搭載棚の配設ピ
ツチとの関係について説明するための説明図であ
る。 ２０……第一のコンベヤチエーン、２２……第
二のコンベヤチエーン、３８……カセツト搭載棚
、４０……リンクバー、４２……ウエハーカセツ
ト、４３……カセツト搭載面、４４……受け皿、
４６……受け皿保持ロツド、４８……サポートア
ーム、５０……支持ロツド、５２……環状スリツ
ト、５６……ガイドスプロケツト、６５……カセ
ツト出入口、７０……下傾部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 互いに上下にずれた上下方向に長い長手環状の
    軌跡に沿つて循環運動するように第一及び第二の
    一対のコンベヤチエーンを配する一方、ウエハー
    カセツトを搭載するためのカセツト搭載部をサポ
    ートアームで支持ロツドに支持させた構造の複数
    のカセツト搭載棚を、各支持ロツドの一端側で前
    記第二のコンベヤチエーンに連結させると共に、
    各支持ロツドの他端側でリンク部材を介して前記
    第一のコンベヤチエーンに連結させて、それら第
    一及び第二のコンベヤチエーン間に互いに等ピツ
    チで配設し、それらコンベヤチエーンの同期回転
    により、前記搭載部を一定の姿勢に保持させつつ
    それらカセツト搭載棚を環状の軌跡に沿つて循環
    運動させて、それらの搭載部に搭載したウエハー
    カセツトをカセツト出入口に順次循環移送させる
    ようにしたウエハーカセツトダム装置において、 前記カセツト搭載部のカセツト搭載面を前記支
    持ロツドの軸心よりも一定寸法下方に設け、前記
    コンベヤチエーンに対するカセツト搭載棚の配設
    ピツチを可及的に小さく抑制しつつ、前記カセツ
    ト搭載棚の環状軌跡の方向転換部におけるカセツ
    ト搭載棚同士の相互干渉を回避するように為した
    ことを特徴とするウエハーカセツトダム装置。
JP5447190U 1990-05-24 1990-05-24 ウェハーカセットダム装置 Expired - Lifetime JPH0719154Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5447190U JPH0719154Y2 (ja) 1990-05-24 1990-05-24 ウェハーカセットダム装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5447190U JPH0719154Y2 (ja) 1990-05-24 1990-05-24 ウェハーカセットダム装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0412648U true JPH0412648U (ja) 1992-01-31
JPH0719154Y2 JPH0719154Y2 (ja) 1995-05-01

Family

ID=31576564

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5447190U Expired - Lifetime JPH0719154Y2 (ja) 1990-05-24 1990-05-24 ウェハーカセットダム装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0719154Y2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0719154Y2 (ja) 1995-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3370928B2 (ja) 噛合いチェーンを用いた昇降装置
HU207256B (en) Apparatus for storing and feeding tote boxes
US4524863A (en) Conveyor apparatus
JPS58104822A (ja) 卵の移送装置
JPS622161Y2 (ja)
JPS5921131Y2 (ja) 移送装置におけるフレ−ム構造体
JPS6312087Y2 (ja)
JPS6235840Y2 (ja)
JPS638653Y2 (ja)
JP2529357Y2 (ja) 立体面で循環移動する載荷台の水平保持装置
JPS6331824Y2 (ja)
JPH07144729A (ja) 伸縮ローラコンベヤ
JPH0716853Y2 (ja) 水平循環式駐車装置
JPS6392511A (ja) 入出庫装置
JPH0714567Y2 (ja) 縦列型垂直循環式駐車装置
JP2521975Y2 (ja) 循環式棚
JP3012200U (ja) 機械式駐車装置のパレット移送装置
JPS6141690Y2 (ja)
JP2535844Y2 (ja) シャッタ装置
JPH0323995Y2 (ja)
JPH0719154Y2 (ja) ウェハーカセットダム装置
JPH0683620U (ja) キャリヤトレイ型搬送装置
Saulnier Compte-rendu de machine development
JPH03100259U (ja)
JPH044072U (ja)