JPH04128399A - メッキ槽の洗浄装置 - Google Patents
メッキ槽の洗浄装置Info
- Publication number
- JPH04128399A JPH04128399A JP24920590A JP24920590A JPH04128399A JP H04128399 A JPH04128399 A JP H04128399A JP 24920590 A JP24920590 A JP 24920590A JP 24920590 A JP24920590 A JP 24920590A JP H04128399 A JPH04128399 A JP H04128399A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- plating tank
- cleaning
- wall
- tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
メッキ槽の洗浄装置に関し、
メッキ工程中にメッキ槽の内壁に析出した不要な析出物
が容易に除去でき、メッキ槽内が容易に洗浄できる装置
を目的とし、 メッキ液を収容するメッキ槽内の内壁に、メッキ工程中
に析出して付着する不要な析出物を物理的、かつ化学的
に洗浄除去する手段を備え、前記析出物の洗浄除去手段
が、上記メッキ槽の内壁に沿って設けられ、前記析出物
の洗浄液を圧送し、かつ前記析出物の洗浄液をメッキ槽
内に噴射する噴射孔を備えた洗浄液の圧送用配管と、該
配管内に前記析出物の洗浄液を圧送する加圧ポンプと、
前記析出物の洗浄液を収容する収容容器で構成する。
が容易に除去でき、メッキ槽内が容易に洗浄できる装置
を目的とし、 メッキ液を収容するメッキ槽内の内壁に、メッキ工程中
に析出して付着する不要な析出物を物理的、かつ化学的
に洗浄除去する手段を備え、前記析出物の洗浄除去手段
が、上記メッキ槽の内壁に沿って設けられ、前記析出物
の洗浄液を圧送し、かつ前記析出物の洗浄液をメッキ槽
内に噴射する噴射孔を備えた洗浄液の圧送用配管と、該
配管内に前記析出物の洗浄液を圧送する加圧ポンプと、
前記析出物の洗浄液を収容する収容容器で構成する。
本発明はプリント基板のメッキ工程に用いるメッキ槽の
洗浄装置に関する。
洗浄装置に関する。
プリント基板を製造する場合、スルーホール内やランド
パターンに導体層を無電解銅メッキ法、或いは電解銅メ
ッキ法で形成する工程があり、このようなメッキ工程が
プリント基板の製造工程り用いられている。
パターンに導体層を無電解銅メッキ法、或いは電解銅メ
ッキ法で形成する工程があり、このようなメッキ工程が
プリント基板の製造工程り用いられている。
このようなプリント基板は、益々窩密度で、力つ高多層
化が要求され、またスルーホール内にメッキ工程で形成
されるスルーホール内導体層も渭品質のメッキが要求さ
れている。
化が要求され、またスルーホール内にメッキ工程で形成
されるスルーホール内導体層も渭品質のメッキが要求さ
れている。
そのため、メ・ンキ液の管理やメッキ槽の管理も高度な
注意を払うことが要求されている。
注意を払うことが要求されている。
従来、第2図に示すように無電解銅メッキ処理に用いる
メッキ工程中等には、メッキ処理を長時間行うにつれて
、メッキ槽の内壁に無電解銅メッキの触媒として用いる
錫や、パラジウムが異常に析出する傾向や、無電解銅メ
ッキ以前の工程からの薬品をメッキ槽内に持ち込んで発
生する析出物があり、これらの析出物2を完全に洗浄除
去することが、無電解銅メッキ液の安定性を保つ上がら
も望ましい。
メッキ工程中等には、メッキ処理を長時間行うにつれて
、メッキ槽の内壁に無電解銅メッキの触媒として用いる
錫や、パラジウムが異常に析出する傾向や、無電解銅メ
ッキ以前の工程からの薬品をメッキ槽内に持ち込んで発
生する析出物があり、これらの析出物2を完全に洗浄除
去することが、無電解銅メッキ液の安定性を保つ上がら
も望ましい。
或いは、無電解銅メッキ液を建浴する際に用いる水の中
の有機物がぬめりとなったり、或いはスルーホールの開
口の際のガラスエポキシ樹脂の切り籾屑が前記メッキ槽
1の内壁に付着する。
の有機物がぬめりとなったり、或いはスルーホールの開
口の際のガラスエポキシ樹脂の切り籾屑が前記メッキ槽
1の内壁に付着する。
そのため、このようなメッキ槽1の内壁LAの析出物2
を除去するために、例えば銅が析出すると、この銅の洗
浄液として過硫酸アンモニウムを、またパラジウムや錫
が析出するとこれらの洗浄液としての硝酸を、メッキ槽
内に流入してメッキ槽内を循環洗浄したり、或いはこの
洗浄液をメッキ槽内に収容した状態で、メッキ槽内の内
壁をブラシで摩擦して析出物を擦り落としたりしている
。
を除去するために、例えば銅が析出すると、この銅の洗
浄液として過硫酸アンモニウムを、またパラジウムや錫
が析出するとこれらの洗浄液としての硝酸を、メッキ槽
内に流入してメッキ槽内を循環洗浄したり、或いはこの
洗浄液をメッキ槽内に収容した状態で、メッキ槽内の内
壁をブラシで摩擦して析出物を擦り落としたりしている
。
然し、このような洗浄液の循環洗浄や、ブラシによる摩
擦洗浄では、槽内の洗浄に多大の時間を要する難点があ
る。
擦洗浄では、槽内の洗浄に多大の時間を要する難点があ
る。
本発明は上記した問題点を解決し、メッキ槽の内壁に付
着する異物の析出物が容易に、かつ確実に短時間に除去
できるようにしたメッキ槽の洗浄装置の捷供を目的とす
る。
着する異物の析出物が容易に、かつ確実に短時間に除去
できるようにしたメッキ槽の洗浄装置の捷供を目的とす
る。
上記目的を達成する本発明のメッキ槽の洗浄装置は、第
1図に示すようにメッキ液を収容するメッキ[1内の内
壁に、メッキ工程中に析出して付着する不要な析出物を
物理的、がっ化学的に洗浄除去する手段を備え、前記析
出物の洗浄除去手段が、上記メッキ槽1の内壁1Aに沿
って設けられ、前記析出物の洗浄液工2を圧送し、がっ
前記析出物の洗浄液12をメッキ槽1内に噴射する噴射
孔13を備えた洗浄液12の圧送用の配管11と、該配
管内に前記析出物の洗浄液12を圧送する加圧ポンプ1
5と、前記析出物の洗浄液12を収容する収容容器14
で構成されている。
1図に示すようにメッキ液を収容するメッキ[1内の内
壁に、メッキ工程中に析出して付着する不要な析出物を
物理的、がっ化学的に洗浄除去する手段を備え、前記析
出物の洗浄除去手段が、上記メッキ槽1の内壁1Aに沿
って設けられ、前記析出物の洗浄液工2を圧送し、がっ
前記析出物の洗浄液12をメッキ槽1内に噴射する噴射
孔13を備えた洗浄液12の圧送用の配管11と、該配
管内に前記析出物の洗浄液12を圧送する加圧ポンプ1
5と、前記析出物の洗浄液12を収容する収容容器14
で構成されている。
(作 用〕
本発明のメッキ槽の洗浄装置は、第1図に示すように、
メッキ槽lの内壁1Aに沿って上側と下側に洗浄液12
を圧送する配管11を設け、この配管11内に圧送され
た洗浄液12が噴射する噴射孔13を設ける。そしてこ
の配管11内にメッキ槽1に析出した異物の析出物の洗
浄液12を加圧ポンプI5で圧送する。
メッキ槽lの内壁1Aに沿って上側と下側に洗浄液12
を圧送する配管11を設け、この配管11内に圧送され
た洗浄液12が噴射する噴射孔13を設ける。そしてこ
の配管11内にメッキ槽1に析出した異物の析出物の洗
浄液12を加圧ポンプI5で圧送する。
このようにすると、洗浄液12がメッキ槽lの内壁に噴
射して当たるようになり、メッキ槽1の内壁に付着した
異物の析出物が洗浄液12に溶解する化学的な方法、お
よび析出物が洗浄液12の噴射の衝撃によって飛散する
物理的方法によって除去されるため、従来の方法に比べ
て短時間で異物の析出物の除去ができる。
射して当たるようになり、メッキ槽1の内壁に付着した
異物の析出物が洗浄液12に溶解する化学的な方法、お
よび析出物が洗浄液12の噴射の衝撃によって飛散する
物理的方法によって除去されるため、従来の方法に比べ
て短時間で異物の析出物の除去ができる。
また従来は異物の析出物を除去する洗浄液12を、析出
物の除去作業の都度調合してメッキ槽1内に一杯に成る
迄充填する必要があったが、その必要もなく、また従来
のようにブラシの届がないメッキ槽Iの箇所は洗浄が不
可能であるといった欠点も除去できる。
物の除去作業の都度調合してメッキ槽1内に一杯に成る
迄充填する必要があったが、その必要もなく、また従来
のようにブラシの届がないメッキ槽Iの箇所は洗浄が不
可能であるといった欠点も除去できる。
以下、図面を用いて本発明の一実施例につき詳細に説明
する。
する。
第1図は本発明のメッキ槽の洗浄装置の模式図である。
図示するように、メッキ槽1の内壁1Aに沿って、上側
と下側に析出物の洗浄液を圧送する配管11が設けられ
、この配管には析出物の洗浄液12を噴射する噴射孔1
3がメッキ槽の内壁に対向して設けられている。またメ
ッキ槽1の外部には洗浄液の収容容器14が設置され、
この洗浄液を加圧して圧送する加圧ポンプ15が洗浄液
の圧送用の配管11の途中に設けられている。
と下側に析出物の洗浄液を圧送する配管11が設けられ
、この配管には析出物の洗浄液12を噴射する噴射孔1
3がメッキ槽の内壁に対向して設けられている。またメ
ッキ槽1の外部には洗浄液の収容容器14が設置され、
この洗浄液を加圧して圧送する加圧ポンプ15が洗浄液
の圧送用の配管11の途中に設けられている。
このような洗浄装置を用いて、例えば無電解銅メッキ槽
を洗浄する場合には、30〜50重量%の硝酸の洗浄液
12を配管11内に圧送してメッキ槽1内に付着したパ
ラジウムや、錫の付着物を洗浄除去している。
を洗浄する場合には、30〜50重量%の硝酸の洗浄液
12を配管11内に圧送してメッキ槽1内に付着したパ
ラジウムや、錫の付着物を洗浄除去している。
なお、本実施例では洗浄液の圧送用の配管11をメッキ
槽1の上側と下側に二段に設けたが、更に多数段構造に
設けても良く、また洗浄液はメンキ槽1に析出する析出
物の種類に応して、該析出物を熔解する化学薬品を適宜
変化させて用いても良い。
槽1の上側と下側に二段に設けたが、更に多数段構造に
設けても良く、また洗浄液はメンキ槽1に析出する析出
物の種類に応して、該析出物を熔解する化学薬品を適宜
変化させて用いても良い。
また本発明の構成は、メンキ後のプリント基板を水洗す
る水洗槽にも適用できることは熱論であり、この場合は
洗浄液の代わりに純水を用いると良い。
る水洗槽にも適用できることは熱論であり、この場合は
洗浄液の代わりに純水を用いると良い。
また本実施例では被メンキ物をプリント基板としたが、
被メッキ物はプリント基板に限らない。
被メッキ物はプリント基板に限らない。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、メッキ
槽の洗浄が簡単にかつ確実に短時間で実施でき、メッキ
液がメッキ槽内に付着した析出物によって影響されない
ために、高品質なメッキを行うことかできる効果がある
。
槽の洗浄が簡単にかつ確実に短時間で実施でき、メッキ
液がメッキ槽内に付着した析出物によって影響されない
ために、高品質なメッキを行うことかできる効果がある
。
第1図は本発明の装置を示す模式図、
第2図は従来のメッキ槽に於ける不都合な状態回である
。 図において、 1はメッキ槽、1Aはメッキ槽の内壁、11は配管、1
2は洗浄液、13は噴射孔、14は収容容器、15は加
圧ポンプを示す。
。 図において、 1はメッキ槽、1Aはメッキ槽の内壁、11は配管、1
2は洗浄液、13は噴射孔、14は収容容器、15は加
圧ポンプを示す。
Claims (2)
- (1)メッキ液を収容するメッキ槽(1)の内壁(1A
)に、メッキ工程中に析出して付着する不要な析出物を
物理的、かつ化学的に洗浄除去する手段を備えたことを
特徴とするメッキ槽の洗浄装置。 - (2)前記析出物の洗浄除去手段が、上記メッキ槽(1
)の内壁(1A)に沿って設けられ、前記析出物の洗浄
液(12)を圧送し、かつ前記析出物の洗浄液(12)
をメッキ槽(1)内に噴射する噴射孔(13)を備えた
洗浄液(12)の圧送用の配管(11)と、該配管(1
1)内に前記析出物の洗浄液(12)を圧送する加圧ポ
ンプ(15)と、前記析出物の洗浄液(12)を収容す
る収容容器(14)で構成されていることを特徴とする
請求項(1)記載のメッキ槽の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24920590A JPH04128399A (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 | メッキ槽の洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24920590A JPH04128399A (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 | メッキ槽の洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04128399A true JPH04128399A (ja) | 1992-04-28 |
Family
ID=17189479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24920590A Pending JPH04128399A (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 | メッキ槽の洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04128399A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110791800A (zh) * | 2019-12-05 | 2020-02-14 | 永进电镀(深圳)有限公司 | 一种清洁型金属表面处理装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0344480A (ja) * | 1989-07-10 | 1991-02-26 | Hitachi Aic Inc | 無電解めっき槽 |
| JPH04104871A (ja) * | 1990-08-21 | 1992-04-07 | Fujitsu Ltd | 水洗槽 |
-
1990
- 1990-09-18 JP JP24920590A patent/JPH04128399A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0344480A (ja) * | 1989-07-10 | 1991-02-26 | Hitachi Aic Inc | 無電解めっき槽 |
| JPH04104871A (ja) * | 1990-08-21 | 1992-04-07 | Fujitsu Ltd | 水洗槽 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110791800A (zh) * | 2019-12-05 | 2020-02-14 | 永进电镀(深圳)有限公司 | 一种清洁型金属表面处理装置 |
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