JPH04130006A - 珪素炭窒化物の製造法 - Google Patents

珪素炭窒化物の製造法

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JPH04130006A
JPH04130006A JP25009290A JP25009290A JPH04130006A JP H04130006 A JPH04130006 A JP H04130006A JP 25009290 A JP25009290 A JP 25009290A JP 25009290 A JP25009290 A JP 25009290A JP H04130006 A JPH04130006 A JP H04130006A
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JP
Japan
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silicon
silicon nitride
powder
nitrogen
compd
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Application number
JP25009290A
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Yasuhiko Kamitoku
神徳 泰彦
Tsuneo Shimamura
島村 常夫
Takeshi Kita
北 毅
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Ube Corp
Original Assignee
Ube Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、珪素炭窒化物の新規な製造法に関する。
(従来の技術及びその問題点) 窒化珪素、炭化珪素は、強度・靭性において優れたエン
ジニアリングセラミックスであり、耐熱機械部品として
自動車用エンジン部品、ガスタービン用部品を目指した
開発が進められている。
近年、窒化珪素をマトリックスとして炭化珪素を複合化
することによって窒化珪素の強度・靭性を改善しうろこ
とが報告されている。
この珪素の炭窒化物の製造法としては、従来、(イ)結
晶性又は非晶質の含窒素シラン化合物を粉末状炭素とと
もに熱処理して珪素の炭窒化物を得る方法(特公昭62
−25604号、特開昭62−212206号) (ロ)有機珪素化合物を熱処理して珪素の炭窒化物を得
る方法(特開昭60−200812号)(ハ)シリコン
アルコキシドと炭素粉末の混合物の加水分解によってシ
リカ−炭素複合粉末を得、これを不活性雰囲気下で熱処
理することによって珪素の炭窒化物を得る方法(特開昭
62−297204号)が知られているが、粉末状炭素
を用いる方法は、原料の各成分を十分に均一に混合する
ことが難しく、複合粉末中の各成分の偏析を解消するこ
とに限界があった。また、有機珪素化合物やシリコンア
ルコキシドを用いる方法は、原料が高価であるという欠
点があった。
(発明の目的) 本発明の目的は、前記欠点を解決し、複合粉末中の各成
分が均一であり、安価に珪素の炭窒化物を製造できる方
法を提供するものである。
(問題点を解決するための技術的手段)本発明は、含窒
素シラン化合物及び/又は非晶質窒化珪素粉末と脂肪族
化合物及び/又は芳香族化合物との混合物を不活性ガス
雰囲気下1450〜1900℃で熱処理することを特徴
とする珪素炭窒化物の製造法に関する。
本発明において、炭窒化物とは、炭化物と窒化物の固溶
体を意味する。ただし、炭化物としては微量の窒化物を
固溶したもの、窒化物としては微量の炭化物を固溶した
ものも含むものとする。
本発明で使用される含窒素シラン化合物としては、シリ
コンジイミド、シリコンテトラアミド、シリコンニトロ
ゲンイミド等が挙げられる。これらの含窒素シラン化合
物は、公知の方法、例えば、珪素のハロゲン化物とアン
モニアとを気相で反応させる方法、液状の上記ハロゲン
化珪素と液体アンモニアとを反応させる方法によって調
製することができる。
また、本発明で使用される非晶質窒化珪素粉末は、前記
含窒素シラン化合物を熱分解する方法、珪素のハロゲン
化物とアンモニア又はヒドラジンとの高温気相反応によ
り調製することができ、通常のX線回折によって明確な
回折現象が現れない、いわゆる非晶質の粉末である。ま
た、この非晶質窒化珪素粉末は、珪素原子、窒素原子の
他に水素原子、酸素原子を含有してもよい。
本発明における脂肪族化合物及び/又は芳香族化合物と
しては、窒化珪素と炭素の反応によって炭化珪素が生成
する温度において炭素として存在するものであればどの
ような化合物でもよく、例えば、パラフィン、ポリブタ
ジェン等の飽和あるいは不飽和脂肪族化合物、ナフタレ
ン、アントラセン等の芳香族化合物が用いられる。また
、脂肪族化合物及び/又は芳香族化合物は2種以上の化
合物を混合して用いてもよい。
含窒素シラン化合物及び/又は非晶質窒化珪素粉末と脂
肪族化合物及び/又は芳香族化合物との混合は、含窒素
シラン化合物及び/又は非晶質窒化珪素粉末が、酸素又
は水分に対して極めて敏感であるので、窒素、アルゴン
等の不活性ガス雰囲気下で行う必要がある。また、混合
を均一に行うために、脂肪族化合物及び/又は芳香族化
合物を適当な有機溶剤、例えば、ベンゼン、トルエン、
キシレン、アルコール類等に溶解し、これに含窒素シラ
ン化合物及び/又は非晶質窒化珪素粉末を添加して混合
した後、得られるスラリーを加熱して有機溶剤を除去す
る方法を用いてもよい。
次いで、得られた混合物を不活性ガス雰囲気下1450
〜1900℃で熱処理する。
熱処理によって、脂肪族化合物及び/又は芳香族化合物
から炭素が生成し、含窒素シラン化合物及び/又は非晶
質窒化珪素粉末から結晶質窒化珪素が生成する。さらに
、炭素と窒化珪素の反応により炭化珪素が生成する。
熱処理温度は、1450〜1900℃である。
この範囲より温度が低い場合には、反応の進行が遅く実
用的でない。また、この範囲より温度が高い場合には、
生成物中に窒化珪素の分解による金属珪素が含まれる。
(発明の効果) 本発明によれば、炭化珪素源として有機珪素化合物やシ
リコンアルコキシドを用いずとも種々の炭化水素類が利
用できるため、安価に珪素炭窒化物を得ることができる
。得られる珪素炭窒化物は、粒子レベルで炭化珪素と窒
化珪素が複合している微粉末状であるので、高温高強度
焼結体の原料として好適である。
(実施例) 以下に実施例を示す。
実施例1 非晶質窒化珪素粉末52g、ポリブタジェン19g及び
キシレン250戚を窒素雰囲気下ボールミルによって混
合した。次いで、得られたスラリーヲロータリーエバポ
レータで乾燥してキシレンを除去し、さらに、真空下1
20℃で加熱して完全に乾燥させた。
得られた混合物を1気圧の窒素流通下、1600℃で4
時間熱処理して、珪素炭窒化物を得た。
得られた珪素炭窒化物は、92%の窒化珪素、7%の炭
化珪素を含んでいた。
実施例2〜6 実施例1において、有機化合物及び熱処理温度を第1表
に示すように変えたほかは、実施例1と同様にして珪素
炭窒化物を得た。結果を第1表に示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 含窒素シラン化合物及び/又は非晶質窒化珪素粉末と脂
    肪族化合物及び/又は芳香族化合物との混合物を不活性
    ガス雰囲気下1450〜1900℃で熱処理することを
    特徴とする珪素炭窒化物の製造法。
JP25009290A 1990-09-21 1990-09-21 珪素炭窒化物の製造法 Pending JPH04130006A (ja)

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