JPH04135155A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JPH04135155A JPH04135155A JP25379190A JP25379190A JPH04135155A JP H04135155 A JPH04135155 A JP H04135155A JP 25379190 A JP25379190 A JP 25379190A JP 25379190 A JP25379190 A JP 25379190A JP H04135155 A JPH04135155 A JP H04135155A
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- JP
- Japan
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- polishing
- polished
- lens
- polishing member
- disk
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Graft Or Block Polymers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野Ｊ
本発明は研磨装置、特に回転する被研磨物に当接した研
磨用部材を揺動させる方式の研磨装置に関するものであ
る。
磨用部材を揺動させる方式の研磨装置に関するものであ
る。
［従来の技術］
従来レンズ等の曲面を研磨する研磨装置としては、第５
図に示す如きものがある。
図に示す如きものがある。
即ち、レンズホルダ１に被研磨物であるレンズ２を取付
け、該レンズ２には凹曲面を有する研磨用部材３をＷの
押圧力によって押圧する。
け、該レンズ２には凹曲面を有する研磨用部材３をＷの
押圧力によって押圧する。
而して、レンズホルダ１を回転させつつ、研磨用部材３
を揺動させて、レンズ２の研磨を行う。
を揺動させて、レンズ２の研磨を行う。
［発明が解決しようとする課題］
ところか、上記した従来のものでは、凹曲面を有する研
磨用部材を揺動させて研磨するので、被研磨物表面は完
全な球面のものに限られ、第６図に示す様な非球面のも
のは研磨することかできなかった。
磨用部材を揺動させて研磨するので、被研磨物表面は完
全な球面のものに限られ、第６図に示す様な非球面のも
のは研磨することかできなかった。
又、被研磨物表面か球面であっても、研磨前加工で加工
誤差を有する場合に、この誤差を修正すべき微妙な研磨
を行うことはできなかった。
誤差を有する場合に、この誤差を修正すべき微妙な研磨
を行うことはできなかった。
本発明は斯かる実情に鑑み、技研＠物か非球面であって
も研磨可能で且誤差修正も自在に行える研磨装置を提供
しようとするものである。
も研磨可能で且誤差修正も自在に行える研磨装置を提供
しようとするものである。
［課題を解決するための手段１
本発明は、回転する被研磨物表面に研磨用部材を当接さ
せ、該研磨用部材を揺動させつつ研磨する研磨装置に於
いて、研磨用部材を円盤研磨用部材とし、該円盤研磨用
部材を被研磨物回転軸心と直交する軸心を中心に回転さ
せると共に該被研磨物回転軸心と直交する方向に揺動可
能に支持したことを特徴とするものである６［作 用
］ 回転している技研＠物表面に回転する円盤研磨用部材を
当接させることで、被研磨物表面を一点に於いて研磨す
る。更に、円盤研磨用部材を揺動させることで研磨点が
被研磨物表面全域に亘って移動して、全面か研磨される
。又、揺動速度を制御することで、各研磨点での研磨量
が変化し、研磨量の制御を行える。
せ、該研磨用部材を揺動させつつ研磨する研磨装置に於
いて、研磨用部材を円盤研磨用部材とし、該円盤研磨用
部材を被研磨物回転軸心と直交する軸心を中心に回転さ
せると共に該被研磨物回転軸心と直交する方向に揺動可
能に支持したことを特徴とするものである６［作 用
］ 回転している技研＠物表面に回転する円盤研磨用部材を
当接させることで、被研磨物表面を一点に於いて研磨す
る。更に、円盤研磨用部材を揺動させることで研磨点が
被研磨物表面全域に亘って移動して、全面か研磨される
。又、揺動速度を制御することで、各研磨点での研磨量
が変化し、研磨量の制御を行える。
［実 施 例］
以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を説明する。
筐体７の上面に設けられた、ベースプレート８にレンズ
ホールドユニット９を設けると共に研磨用部材駆動ユニ
ット１０を設ける。
ホールドユニット９を設けると共に研磨用部材駆動ユニ
ット１０を設ける。
前記ホールドユニット９は、被研磨物であるレンズ２か
固定されるレンズホルダ１を有し、該レンズホルタ１は
鉛直軸心を中心に回転自在に設けられており、該レンズ
ホルダ１の回転軸下端には被駆動プーリ１１か設けであ
る。又、筐体７の内部にはレンズホルタ１の回転用のモ
ータ１２か設けてあり、該モータ１２の出力軸に設けた
駆動プーリ１３と前記被駆動プーリ１１とはベルト１４
により連結されている。
固定されるレンズホルダ１を有し、該レンズホルタ１は
鉛直軸心を中心に回転自在に設けられており、該レンズ
ホルダ１の回転軸下端には被駆動プーリ１１か設けであ
る。又、筐体７の内部にはレンズホルタ１の回転用のモ
ータ１２か設けてあり、該モータ１２の出力軸に設けた
駆動プーリ１３と前記被駆動プーリ１１とはベルト１４
により連結されている。
前記研磨用部材駆動ユニット１０はカイトロッド１５に
沿って昇降自在に設けられていると共に該ガイドロッド
１５と平行に設けられた螺子ロッド１６に螺合している
。該螺子ロッド１６は前記ベースプレート８を回転自在
に貫通し、該螺子ロッド１６の下端に従動傘歯車１７か
固着されている。
沿って昇降自在に設けられていると共に該ガイドロッド
１５と平行に設けられた螺子ロッド１６に螺合している
。該螺子ロッド１６は前記ベースプレート８を回転自在
に貫通し、該螺子ロッド１６の下端に従動傘歯車１７か
固着されている。
該螺子ロッド１６と直交する手動回転軸１８は前記筐体
７の側面を貫通し、該手動回転軸１８の内端には前記従
動傘歯車１７と噛合する入力傘歯車１９を固着し、手動
回転軸１８の外端にはハンドル４２を固着しである。
７の側面を貫通し、該手動回転軸１８の内端には前記従
動傘歯車１７と噛合する入力傘歯車１９を固着し、手動
回転軸１８の外端にはハンドル４２を固着しである。
以下、研磨用部材駆動ユニット１０について説明する。
前記カイトロッド１５に摺動自在に嵌合し、且前記螺子
ロッド１６に螺合する軸箱２０には減速機２１を介して
サーボモータ２２が取付けられている。
ロッド１６に螺合する軸箱２０には減速機２１を介して
サーボモータ２２が取付けられている。
又、該軸箱２０には揺動軸２３が水平に回転自在に設け
られ、該揺動軸２３のレンズホールドユニット１１１１
１＠部に揺動アーム２４を固着する。該揺動アーム２４
と前記減速機２１の出力軸とは図示しない歯車列によっ
て連結されている４ 前記揺動アーム２４にはスライドガイド２５を介してス
ライドプレート２６が昇降自在に設けである。該スライ
ドプレート２６の上端には、軸受ブロック２７を介して
調整螺子２８を回転自在に取付け、該詭整螺子２８は前
記スライドプレート２６に固着した図示しないナツトブ
ロックに螺合しである。又、該調整螺子２８の上端には
調整ハンド４１か嵌着されている。
られ、該揺動軸２３のレンズホールドユニット１１１１
１＠部に揺動アーム２４を固着する。該揺動アーム２４
と前記減速機２１の出力軸とは図示しない歯車列によっ
て連結されている４ 前記揺動アーム２４にはスライドガイド２５を介してス
ライドプレート２６が昇降自在に設けである。該スライ
ドプレート２６の上端には、軸受ブロック２７を介して
調整螺子２８を回転自在に取付け、該詭整螺子２８は前
記スライドプレート２６に固着した図示しないナツトブ
ロックに螺合しである。又、該調整螺子２８の上端には
調整ハンド４１か嵌着されている。
前記スライドプレート２６の前記レンズホールドユニッ
ト９に対峙する面に、スライドガイド２９を介して浮動
プレート３０を昇降自在に取付ける。該浮動プレート３
０にスピンドルユニット３１を取付け、該スピンドルユ
ニット３１は前記レンズホルダ１の回転軸と直交するス
ピンドル軸３２を有している。又、該スピンドル軸３２
の先端には円盤研磨用部材３３を嵌着する。
ト９に対峙する面に、スライドガイド２９を介して浮動
プレート３０を昇降自在に取付ける。該浮動プレート３
０にスピンドルユニット３１を取付け、該スピンドルユ
ニット３１は前記レンズホルダ１の回転軸と直交するス
ピンドル軸３２を有している。又、該スピンドル軸３２
の先端には円盤研磨用部材３３を嵌着する。
前記浮動グレート３０のスピンドルユニット３１の上側
にスピンドル駆動モータ３４を取付け、該スピンドル駆
動モータ３４の出力軸（図示せず）と前記スピンドル軸
３２の基端とはベルト（図示せず）によって連結する。
にスピンドル駆動モータ３４を取付け、該スピンドル駆
動モータ３４の出力軸（図示せず）と前記スピンドル軸
３２の基端とはベルト（図示せず）によって連結する。
前記スライドプレート２６の両側端面にそれぞれガイド
３５を設け、該ガイド３５にバランスウェイト３６を摺
動自在に設け、又スライドプレート２６の上端には滑車
３７を回転自在に設ける。前記浮動プレート３０に１端
を係着したワイヤ３８を前記滑車３７に掛回し、該ワイ
ヤ３８の他端を前記バランスウェイト３６に係着する。
３５を設け、該ガイド３５にバランスウェイト３６を摺
動自在に設け、又スライドプレート２６の上端には滑車
３７を回転自在に設ける。前記浮動プレート３０に１端
を係着したワイヤ３８を前記滑車３７に掛回し、該ワイ
ヤ３８の他端を前記バランスウェイト３６に係着する。
而して、該バランスウェイト３６と浮動プレート３０及
び該浮動プレート３０に取付けられたユニット等とを重
量バランスさせる。
び該浮動プレート３０に取付けられたユニット等とを重
量バランスさせる。
又、前記スライドプレート２６の上端に浮動プレート３
０側に張出す庇板３９を設け、該庇板３９にエアシリン
ダ４０を取付け、該エアシリンダ４０のロッド先端を前
記浮動プレート３０に固着する。
０側に張出す庇板３９を設け、該庇板３９にエアシリン
ダ４０を取付け、該エアシリンダ４０のロッド先端を前
記浮動プレート３０に固着する。
次に、第３図に於いて研磨用部材駆動ユニット１０につ
いての制御系について説明する。
いての制御系について説明する。
サーボモータ２２は主制御器４３からの指令により、モ
ータ制御器４４を介して駆動される様になっており、該
モータ制御器４４にはサーボモータ２２に設けた回転検
出器４５からの回転速度信号か入力されると共に、揺動
アーム２４の揺動角を検出する揺動角検出器４６からの
揺動角信号が入力される櫟になっている。
ータ制御器４４を介して駆動される様になっており、該
モータ制御器４４にはサーボモータ２２に設けた回転検
出器４５からの回転速度信号か入力されると共に、揺動
アーム２４の揺動角を検出する揺動角検出器４６からの
揺動角信号が入力される櫟になっている。
尚、第３図中、４７は研磨条件等を入力する為の操作盤
、４８は研磨条件或は研磨状態を表示する為の表示器で
ある。
、４８は研磨条件或は研磨状態を表示する為の表示器で
ある。
以下、作動について説明する。
先ず、研磨を開始する前に前記操作盤４７より、研磨条
件を前記主制御器４３に入力する。
件を前記主制御器４３に入力する。
研磨条件としては、レンズの曲面形状、揺動角、エアシ
リンダ４０の空気圧、各揺動角に於ける研＠量、或は研
磨前の測定により得られた仕上曲面に対する誤差等か埜
げられる。
リンダ４０の空気圧、各揺動角に於ける研＠量、或は研
磨前の測定により得られた仕上曲面に対する誤差等か埜
げられる。
レンズ２のセツティング後、調整ハンドル４１を回し、
円盤研磨用部材３３の揺動半径、即ちレンズ２の基準曲
面半径に合せてスライドグレート２６と揺動アーム２４
との位置関係を大体に合せる。前記モータ１２により駆
動プーリ粍、ベルト１４、被駆動プーリ１１を介してレ
ンズ２を回転させ、レンズ２か回転している状態で、又
スピンドル駆動モータ３４を駆動し、スピンドル軸３２
を介して円盤研磨用部材３３を回転した状態で、ハンド
ル４２を回し、円盤研磨用部材３３をレンズ２に当接さ
せ、更に研磨用部材駆動ユニット１０の高さ調整、即ち
、スピンドル軸３２と揺動軸２３との距離を調整する。
円盤研磨用部材３３の揺動半径、即ちレンズ２の基準曲
面半径に合せてスライドグレート２６と揺動アーム２４
との位置関係を大体に合せる。前記モータ１２により駆
動プーリ粍、ベルト１４、被駆動プーリ１１を介してレ
ンズ２を回転させ、レンズ２か回転している状態で、又
スピンドル駆動モータ３４を駆動し、スピンドル軸３２
を介して円盤研磨用部材３３を回転した状態で、ハンド
ル４２を回し、円盤研磨用部材３３をレンズ２に当接さ
せ、更に研磨用部材駆動ユニット１０の高さ調整、即ち
、スピンドル軸３２と揺動軸２３との距離を調整する。
該スピンドル軸３２と揺動軸２３との距離が、円盤研磨
用部材３３の揺動半径となる。
用部材３３の揺動半径となる。
次に、エアシリンダ４０に圧縮空気を供給し、該エアシ
リンダ４０によって円盤研磨用部材３３をレンズ２に押
圧させる。
リンダ４０によって円盤研磨用部材３３をレンズ２に押
圧させる。
該円盤研磨用部材３３のレンズ２の接触圧は、円盤研磨
用部材３３を支持している支持機構物かバランスウェイ
ト３６によってバランスされている為、前記エアシリン
ダ４０の加圧力のみとなる。
用部材３３を支持している支持機構物かバランスウェイ
ト３６によってバランスされている為、前記エアシリン
ダ４０の加圧力のみとなる。
前記サーボモータ２２を駆動し、揺動軸２３、揺動アー
ム２４を介してスライドプレート２６を揺動させる。該
スライドプレート２６の揺動によって前記円盤研磨用部
材３３がレンズ２に当接しつつ揺動し、研磨点が半径方
向に移動することでレンズ２の表面を所望の曲面に研磨
してゆく。
ム２４を介してスライドプレート２６を揺動させる。該
スライドプレート２６の揺動によって前記円盤研磨用部
材３３がレンズ２に当接しつつ揺動し、研磨点が半径方
向に移動することでレンズ２の表面を所望の曲面に研磨
してゆく。
斯かる研磨の過程でレンズ２の半径方向の任意な点での
、研磨量Ｑは、 Ｑ−η・Ｐ−Ｖ−Ｔ である。
、研磨量Ｑは、 Ｑ−η・Ｐ−Ｖ−Ｔ である。
ここで、η：減耗度
Ｐ：研磨用部材の接触圧
ｖニレンズ研磨点での周速度
Ｔ：時間
従って、レンズ２の回転速度、円盤研磨用部材３３の回
転速度、エアシリンダ４０の空気圧を所定の値に保持し
ておけば、時間Ｔを制御することで、レンズ曲面を所望
の状態に研磨することができる。
転速度、エアシリンダ４０の空気圧を所定の値に保持し
ておけば、時間Ｔを制御することで、レンズ曲面を所望
の状態に研磨することができる。
而して、時間Ｔは、揺動角検出器４６によって検出した
揺動角に於けるサーボモータ２２の揺動速度を、回転検
出器４５からの検出信号をモータ制御器４４にフィード
バックしてモータの速度制御を行う。
揺動角に於けるサーボモータ２２の揺動速度を、回転検
出器４５からの検出信号をモータ制御器４４にフィード
バックしてモータの速度制御を行う。
又、前記支持機構物３０．３１・・・とバランスウェイ
ト３６との関係を、第４図に於いて説明する。
ト３６との関係を、第４図に於いて説明する。
スライドプレート２６が揺動し、揺動角θになったとす
る。この時、支持機構物３０．３１・・・の重量Ｗとバ
ランスウェイト３６の重量のＷのレンズ表面に対する直
角方向の重量成分を考えると、それぞれｗ ＣＯ３θ、
Ｗ ｃｏｓθとなる。更に、支持機構物３０．３１・・
・の摺動抵抗、バランスウェイト３６の摺動抵抗の差か
ないとすると、ｗ＝Ｗより、 ｗｃＯ３θ＝ｗ ｃｏｓθ 従って、スライドプレート２６の揺動状態の如何に拘ら
ず、円盤研磨用部材３３のレンズ２への接触圧は、前記
エアシリンダ２０による接触圧のみとなる。
る。この時、支持機構物３０．３１・・・の重量Ｗとバ
ランスウェイト３６の重量のＷのレンズ表面に対する直
角方向の重量成分を考えると、それぞれｗ ＣＯ３θ、
Ｗ ｃｏｓθとなる。更に、支持機構物３０．３１・・
・の摺動抵抗、バランスウェイト３６の摺動抵抗の差か
ないとすると、ｗ＝Ｗより、 ｗｃＯ３θ＝ｗ ｃｏｓθ 従って、スライドプレート２６の揺動状態の如何に拘ら
ず、円盤研磨用部材３３のレンズ２への接触圧は、前記
エアシリンダ２０による接触圧のみとなる。
而して、レンズ２表面の全面に亘って均一な接触圧とな
るので、前記した様に揺動速度の制御のみで所望の曲面
に研磨することができる。
るので、前記した様に揺動速度の制御のみで所望の曲面
に研磨することができる。
尚、研磨用部材の加圧手段として、スプリング等を用い
てもよいことは言う迄もない。
てもよいことは言う迄もない。
又、上記実施鋼中研磨用部材としては砥石、或は合成皮
革、フェルト、ウレタン、ピッチ等で作られるポリシャ
ーが挙げられる。
革、フェルト、ウレタン、ピッチ等で作られるポリシャ
ーが挙げられる。
［発明の効果］
以上述べた如く本発明によれば、円盤研磨用部材を用い
て、−点に於いて研磨し、該研磨点を半径方向に移動さ
せることで被研＠物の表面を研磨するので、被研磨面が
非球面であっても研磨することか可能であると共に各研
磨点での研磨量を制御することかでき、所望の非球面に
研磨することができ、又誤差修正も容易に行うことがで
きるという優れた効果を発揮する。
て、−点に於いて研磨し、該研磨点を半径方向に移動さ
せることで被研＠物の表面を研磨するので、被研磨面が
非球面であっても研磨することか可能であると共に各研
磨点での研磨量を制御することかでき、所望の非球面に
研磨することができ、又誤差修正も容易に行うことがで
きるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は同前
側面図、第３図は該実施例に於ける制御ブロック図、第
４図はバランスウェイトの作動説明図、第５図は従来例
の説明図、第６図は非球面レンズの説明図である。 ２、はレンズ、２２はサーボモータ、２４は揺動アーム
、２６はスライドプレート、３０は揺動プレート、３１
はスピンドルユニット、３３は円盤研磨用部材、４３は
主制御器、４４はモータ制御器、４５は回転検出器、４
６は揺動角検出器を示す。 特 許 出 願 人 株式会社ドブコン
側面図、第３図は該実施例に於ける制御ブロック図、第
４図はバランスウェイトの作動説明図、第５図は従来例
の説明図、第６図は非球面レンズの説明図である。 ２、はレンズ、２２はサーボモータ、２４は揺動アーム
、２６はスライドプレート、３０は揺動プレート、３１
はスピンドルユニット、３３は円盤研磨用部材、４３は
主制御器、４４はモータ制御器、４５は回転検出器、４
６は揺動角検出器を示す。 特 許 出 願 人 株式会社ドブコン
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）回転する被研磨物表面に研磨用部材を当接させ、該
研磨用部材を揺動させつつ研磨する研磨装置に於いて、
研磨用部材を円盤研磨用部材とし、該円盤研磨用部材を
被研磨物回転軸心と直交する軸心を中心に回転させると
共に該被研磨物回転軸心と直交する方向に揺動可能に支
持したことを特徴とする研磨装置。 ２）円盤研磨用部材の揺動速度を制御可能にした請求項
第１項記載の研磨装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25379190A JPH04135155A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 研磨装置 |
| CA 2051966 CA2051966A1 (en) | 1990-09-21 | 1991-09-20 | Core-shell polymer and it's use |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25379190A JPH04135155A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04135155A true JPH04135155A (ja) | 1992-05-08 |
Family
ID=17256201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25379190A Pending JPH04135155A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 研磨装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04135155A (ja) |
| CA (1) | CA2051966A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010172976A (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Nikon Corp | 研磨装置 |
| JP5700604B1 (ja) * | 2014-03-20 | 2015-04-15 | 西部自動機器株式会社 | 加工ヘッド移動装置 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP25379190A patent/JPH04135155A/ja active Pending
-
1991
- 1991-09-20 CA CA 2051966 patent/CA2051966A1/en not_active Abandoned
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010172976A (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Nikon Corp | 研磨装置 |
| JP5700604B1 (ja) * | 2014-03-20 | 2015-04-15 | 西部自動機器株式会社 | 加工ヘッド移動装置 |
| US9676074B2 (en) | 2014-03-20 | 2017-06-13 | Seibu Jido Kiki Co., Ltd. | Working head moving device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA2051966A1 (en) | 1992-03-22 |
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