JPH04144299A - セラミック多層配線基板のスルーホール構造 - Google Patents

セラミック多層配線基板のスルーホール構造

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JPH04144299A
JPH04144299A JP26891590A JP26891590A JPH04144299A JP H04144299 A JPH04144299 A JP H04144299A JP 26891590 A JP26891590 A JP 26891590A JP 26891590 A JP26891590 A JP 26891590A JP H04144299 A JPH04144299 A JP H04144299A
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  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はセラミック多層配線基板に関し、特にそのスル
ーホールの構造に関する。
〔従来の技術〕
従来、セラミック多層配線基板におけるスルーホールの
構造は、第2図に示したように単一の大きさのスルーホ
ール、即ち電源・接地スルーホール21と信号スルーホ
ール22を有している構造であった。
例えば基板の大きさを150X150mmとすると、シ
ート全体のスルーホール数は計約2000個であり、こ
のうち各種の論理回路信号用の約1000本と残りの電
源及び接地用の約1000本はスルーホールの直径が0
.25mmで同一の大きさである。これらが第2図のよ
うに2.55mmの千鳥状格子に乗った設計になってい
る。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来のセラミック多層配線基板は、さらなる高密度化、
特に信号用スルーホールの数を増やす必要性がある。し
かしこのままスルーホール間に新しく同一径のスルーホ
ールを設けると、グリーンシートへのストレスが増大し
形成が困難になる。
またマイグレーション効果等による絶縁不良を起こす恐
れがあり、信頼性上の問題がある。これを解決するには
スルーホールの径を小さくすることが考えられるが、信
号用スルーホールに比較して電源及び接地用スルーホー
ルはある程度の電流容量が必要であり、これ以上径を小
さくできない状況にある。
換言すると上述した従来の単一の大きさのスルーホール
構造のまま、基板表面の実装密度をさらに大きくするた
めスルーホールの数を増やすには、グリーンシートへの
スルーホール形成時のストレス等の影響を考慮し径を小
さくすることが必要である。しかしこの方法は電源や接
地スルーホールの導通抵抗が大きくなり、同一目的のス
ルーホールをいくつか設けるなどの方法をとらなければ
ならなくなり、実装密度向上の効果が低下してしまう欠
点がある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明のセラミック多層配線基板のスルーホールの実装
構造は、グリーンシート積層法によって製造されるセラ
ミック多層配線基板において、複数個の電源及び接地用
スルーホールと、これと比較して径の小さい信号用スル
ーホールとの二種類の径のスルーホールを有してなり、
また前記信号用スルーホールの径が前記電源及び接地用
スルーホールの径の略2分の1であるとともに、前記セ
ラミック多層配線基板上において、前記信号用スルーホ
ールの数が前記電源及び接地用スルーホールの数の少な
くとも3倍である。
〔実施例〕
次に、本発明について図面を参照して説明する。なお以
下に示した数値は基板焼成後の値である。焼成時には通
常11〜13%程度の収縮が起こるため、焼成前の値は
12〜15%程度大きい。
第1図は本発明の一実施例として試作したセラミック多
層配線基板のスルーホール構造の平面図である。以下、
基板製造のプロセスを順を追って説明する。
初めにセラミックグリーンシートを作成する。
これはアルミナの粉体と固形化のためのバインダーを有
機溶剤によってスラリー化したものをドクターブレード
法によってキャスティングを行い成膜したものである。
−例としてシート厚は0.1謙■、大きさは150X1
50+mである。
次に、このシートにスルーホールを形成する。
ここで電流容量がそれほど必要でない信号用のスルーホ
ール12の径のみは0.125mmとこれまでより50
%程小さくしである。これに対して電源容量が必要な電
源及び接地用のスルーホール11の直径は0.25s+
a+とこれまでと変わらない。
このように信号用のスルーホール12の径のみを小さく
したことによって、グリーンシートへのストレスが減少
し、第1図のように従来同様の信号スルーホール12間
に二本の新たな信号スルーホール13を設けることが可
能になる。これによって信号スルーホール12.13は
、従来の約5倍の数に増やすことができるようになる。
なおスルーホールは総て基板を貫通するものである。シ
ート枚数は計40枚としである。
次にスルーホール孔の中へ、粘度がよく管理された金属
ペーストを用いて厚膜印刷法による導体ペーストの埋込
み、及びシート表面への所定の配線パターンの形成を行
う。ペースト材料にはAu、Ag、Ag−Pd、 Cu
、 W 、 Moなどが一般的だがここではW (タン
グステン)を用いている。
次に、またこれらを治具を用いてずれが無いように積層
する。とくに本基板ではスルーホール径が小さくなって
いるため、特に注意が必要である。この後、熱プレス法
により一体化形成を行い積層体を造る。プレスの条件は
圧力150 kg/c12、温度100℃、時間約1時
間である。基板厚は焼成前の値でほぼ3.5mmである
。最後にこうしてつくられた積層体の脱バインダー焼成
を行って、セラミック多層配線基板を得る。
本実施例の構造によれば電源及び接地用スルーホールの
抵抗を変えないで信号用スルーホールの数を大幅に増や
し、実装密度を向上させることが可能となる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、セラミック多層配線基板
において電源及び接地用スルーホールと比較して信号用
スルーホールの径の大きさを小さくする構造によって、
電源や接地用スルーホールの導通抵抗を大きくすること
なく、実装密度を向上できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例のセラミック多層配線基板の
スルーホール構造を示す平面図、第2図は従来のセラミ
ック多層配線基板の平面図である。 11.21・・・電源・接地スルーホール、12゜22
・・・信号スルーホール、13・・・新しく設けた信号
スルーホール。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.グリーンシート積層法によって製造されるセラミッ
    ク多層配線基板において、複数個の電源及び接地用スル
    ーホールと、これと比較して径の小さい信号用スルーホ
    ールとの二種類の径のスルーホールを有することを特徴
    とするセラミック多層配線基板のスルーホール構造。
  2. 2.前記信号用スルーホールの径が前記電源及び接地用
    スルーホールの径の略2分の1であることを特徴とする
    請求項1記載のセラミック多層配線基板のスルーホール
    構造。
  3. 3.前記セラミック多層配線基板上において、前記信号
    用スルーホールの数が前記電源及び接地用スルーホール
    の数の少なくとも3倍であることを特徴とする請求項1
    または2記載のセラミック多層配線基板のスルーホール
    構造。
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