JPH04148540A - 集積回路試験装置 - Google Patents
集積回路試験装置Info
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- JPH04148540A JPH04148540A JP2274328A JP27432890A JPH04148540A JP H04148540 A JPH04148540 A JP H04148540A JP 2274328 A JP2274328 A JP 2274328A JP 27432890 A JP27432890 A JP 27432890A JP H04148540 A JPH04148540 A JP H04148540A
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- Japan
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- Pending
Links
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 21
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 10
- 238000011990 functional testing Methods 0.000 abstract description 18
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は集積回路試験装置に関し、特にＤＣ測定部と機
能試験部とを有する集積回路試験装置に関するものであ
る。
能試験部とを有する集積回路試験装置に関するものであ
る。
従来技術
従来、半導体集積回路の試験装置はＤＣパラメトリック
試験及び機能試験を行えるように、第３図に示す如＜Ｄ
Ｃ測定部１及び機能試験部２を有している。そして、被
測定装置（ＤＵＴと称す）７の人出力ピンとＤＣ測定部
１や機能試験部２とを選択的に接続すべくいわゆるピン
エレクトロニクス部４が設けられている。
試験及び機能試験を行えるように、第３図に示す如＜Ｄ
Ｃ測定部１及び機能試験部２を有している。そして、被
測定装置（ＤＵＴと称す）７の人出力ピンとＤＣ測定部
１や機能試験部２とを選択的に接続すべくいわゆるピン
エレクトロニクス部４が設けられている。
このピンエレクトロニクス部４はＤＵＴ７の入出力ピン
群と接続されるプローブピン群と、これ等プローブピン
群をＤＣ測定部１や機能試験部２に接続するリレー群と
を含んで構成されている。
群と接続されるプローブピン群と、これ等プローブピン
群をＤＣ測定部１や機能試験部２に接続するリレー群と
を含んで構成されている。
尚、６はＤＣ測定部１とプローブピン群の１つとを択一
的に接続するためのスイッチ回路である。
的に接続するためのスイッチ回路である。
そして、これ等ＤＣＣ測定部１磯
ピンエレクトロニクス部４及びスイッチ回路６を制御す
る試験制御部３が設けられており、ＤＣ測定部１及び機
能試験部２はテスタバス５により試験制御部３に接続さ
れ、各々の試験の実行、停止及び試験結果の転送が行わ
れるようになっている。
る試験制御部３が設けられており、ＤＣ測定部１及び機
能試験部２はテスタバス５により試験制御部３に接続さ
れ、各々の試験の実行、停止及び試験結果の転送が行わ
れるようになっている。
ピンエレクトロニクス部４ては、試験制御部３に制御さ
れてＤＣ測定の際にはＤ Ｃｍｌ定部１をＤＵＴ７の特
定ビンに接続する。また、機能試験の際には機能試験部
２からの信号群にプローブピン群が接続される。このと
きＤＣ測定部１はリレー群によりピンエレクトロニクス
部４から切離されるようになっているために、機能試験
動作中にはＤＣ測定はできない。
れてＤＣ測定の際にはＤ Ｃｍｌ定部１をＤＵＴ７の特
定ビンに接続する。また、機能試験の際には機能試験部
２からの信号群にプローブピン群が接続される。このと
きＤＣ測定部１はリレー群によりピンエレクトロニクス
部４から切離されるようになっているために、機能試験
動作中にはＤＣ測定はできない。
いま、例えばＤＵＴ７に備えられているＰＮ接合温度監
視用ダイオードＤ１とＤＣ測定部１とを接続して、その
順方向電圧を測定することにより、ＰＮ接合温度を監視
する必要がある場合、機能試験を行っている間はＤＣ測
定部１をＤＵＴ７に接続できないために、ＰＮ接合の温
度監視は不可能である。
視用ダイオードＤ１とＤＣ測定部１とを接続して、その
順方向電圧を測定することにより、ＰＮ接合温度を監視
する必要がある場合、機能試験を行っている間はＤＣ測
定部１をＤＵＴ７に接続できないために、ＰＮ接合の温
度監視は不可能である。
従って冷却系の不具合等によりＰＮ接合温度が上昇した
としても、破損や治具の破損を招来するという欠点があ
る。
としても、破損や治具の破損を招来するという欠点があ
る。
発明の目的
そこで、本発明はかかる従来技術の欠点を解消すべくな
されたものであって、その目的とするところは、機能試
験と同時にＤＣ試験をも行い得るようにした集積回路試
験装置を提供することにある。
されたものであって、その目的とするところは、機能試
験と同時にＤＣ試験をも行い得るようにした集積回路試
験装置を提供することにある。
発明の構成
本発明によれば、ＤＣ測定部と、機能試験部と、被測定
部の出力ピンに接続される複数のプローブビンと、前記
プローブピンの各々を前記ＤＣ測定部と前記機能試験部
とに選択的に接続する選択部とを含む集積回路試験装置
てあフて前記機能試験部の動作中に前記プローブビンの
特定ピンと前記ＤＣ測定部とを接続するよう前記選択部
を制御する制御手段を含むことを特徴とする集積回路試
験装置が得られる。
部の出力ピンに接続される複数のプローブビンと、前記
プローブピンの各々を前記ＤＣ測定部と前記機能試験部
とに選択的に接続する選択部とを含む集積回路試験装置
てあフて前記機能試験部の動作中に前記プローブビンの
特定ピンと前記ＤＣ測定部とを接続するよう前記選択部
を制御する制御手段を含むことを特徴とする集積回路試
験装置が得られる。
実施例
以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明の実施例のブロック図であり、第３図と
同等部分は同一符号により示している。
同等部分は同一符号により示している。
第３図の従来例と異なる部分についてのみ述べれば、機
能試験部２による機能試験時において、ＤＵＴ７の特定
ビン、本例ではＰＮ接合温度用ビンのみに対して、スイ
ッチ回路６及びピンエレクトロニクス部４のリレーを介
してＤＣ測定部１に接続する様、試験制御部３により制
御する構成とするのである。
能試験部２による機能試験時において、ＤＵＴ７の特定
ビン、本例ではＰＮ接合温度用ビンのみに対して、スイ
ッチ回路６及びピンエレクトロニクス部４のリレーを介
してＤＣ測定部１に接続する様、試験制御部３により制
御する構成とするのである。
このＤＣ測定部１による測定結果は割込み信号ライン８
に導出されて試験制御部３へ送られるようになっている
。
に導出されて試験制御部３へ送られるようになっている
。
次に、本実施例により機能試験を行う場合の動作につい
て、第２図のタイミングチャートを用いて説明する。試
験制御部３により制御されて機能試験が開始されると、
先ず印加電源がオンになり、次に機能試験部２が動作を
開始してＤＵＴ７には試験パターン信号がピンエレクト
ロニクス部４を介して印加される。
て、第２図のタイミングチャートを用いて説明する。試
験制御部３により制御されて機能試験が開始されると、
先ず印加電源がオンになり、次に機能試験部２が動作を
開始してＤＵＴ７には試験パターン信号がピンエレクト
ロニクス部４を介して印加される。
この時、同時にＤＣ測定部１も動作しており、Ｄ Ｃ＃
Ｊ定ストローブのタイミングで、ＤＵＴ７内の温度監視
用ダイオードＤｉの順方向電圧の測定が行われる。ＰＮ
接合の温度上昇により、予め定められた限界値を順方向
電圧が超えた場合、ＤＣ測定部はこの時点でフェイルで
あると判定する。
Ｊ定ストローブのタイミングで、ＤＵＴ７内の温度監視
用ダイオードＤｉの順方向電圧の測定が行われる。ＰＮ
接合の温度上昇により、予め定められた限界値を順方向
電圧が超えた場合、ＤＣ測定部はこの時点でフェイルで
あると判定する。
同時に割込み信号を割込み信号ライン８へ送出して試験
制御部３へ送る。
制御部３へ送る。
試験制御部３はこの割込み信号に応答して機能試験部２
をオフ制御し、続いて印加電源をオフとして機能試験を
停止させる。これにより、温度の過上昇によるＤＵＴ７
及び治具の破損が未然に防止されることになる。
をオフ制御し、続いて印加電源をオフとして機能試験を
停止させる。これにより、温度の過上昇によるＤＵＴ７
及び治具の破損が未然に防止されることになる。
尚、機能試験と同時に行われるＤＣ測定の種類としては
、上記のＰＮ接合の順方向電圧の測定の他に、例えば抵
抗部の抵抗値の測定等が考えられる。
、上記のＰＮ接合の順方向電圧の測定の他に、例えば抵
抗部の抵抗値の測定等が考えられる。
発明の効果
以上べた如く、本発明によればＤＵＴの機能試験と同時
に特定のピンのＤＣ試験を行う様構成したので、そのＤ
Ｃ試験判定結果により割込みをかけて機能試験の中断を
なすことが可能になり、ＤＵＴや治具の破損が未然に防
止できるという効果がある。
に特定のピンのＤＣ試験を行う様構成したので、そのＤ
Ｃ試験判定結果により割込みをかけて機能試験の中断を
なすことが可能になり、ＤＵＴや治具の破損が未然に防
止できるという効果がある。
第１図は本発明の実施例のブロック図、第２図は第１図
のブロックの動作を示すタイミングチャート、第３図は
従来の集積回路試験装置を示すブロック図である。 主要部分の符号の説明 １・・・・・・ＤＣ測定部 ２・・・・・・機能試験部 ３・・・・・・試験制御部 ４・・・・・・ピンエレクトロニクス部７・・・・・・
ＤＵＴ
のブロックの動作を示すタイミングチャート、第３図は
従来の集積回路試験装置を示すブロック図である。 主要部分の符号の説明 １・・・・・・ＤＣ測定部 ２・・・・・・機能試験部 ３・・・・・・試験制御部 ４・・・・・・ピンエレクトロニクス部７・・・・・・
ＤＵＴ
Claims (2)
- （１）ＤＣ測定部と、機能試験部と、被測定部の出力ピ
ンに接続される複数のプローブピンと、前記プローブピ
ンの各々を前記ＤＣ測定部と前記機能試験部とに選択的
に接続する選択部とを含む集積回路試験装置であって、
前記機能試験部の動作中に前記プローブピンの特定ピン
と前記ＤＣ測定部とを接続するよう前記選択部を制御す
る制御手段を含むことを特徴とする集積回路試験装置。 - （２）前記ＤＣ測定部の判定結果により割込み信号を発
生する手段を設け、この割込み信号の発生に応答して前
記機能試験部の動作を中断するようにしたことを特徴と
する請求項１記載の集積回路試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2274328A JPH04148540A (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | 集積回路試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2274328A JPH04148540A (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | 集積回路試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04148540A true JPH04148540A (ja) | 1992-05-21 |
Family
ID=17540127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2274328A Pending JPH04148540A (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | 集積回路試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04148540A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021013297A (ja) * | 2019-07-05 | 2021-02-04 | 株式会社クオルテック | 電気素子試験装置および電気素子の試験方法 |
-
1990
- 1990-10-12 JP JP2274328A patent/JPH04148540A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021013297A (ja) * | 2019-07-05 | 2021-02-04 | 株式会社クオルテック | 電気素子試験装置および電気素子の試験方法 |
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