JPH0414932Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本考案は、半導体チツプ検査装置に用いられる
処の、不良チツプを識別するための半導体チツプ
マーキング装置に関するものである。

＜従来の技術＞ 半導体ウエハ上に形成された多数の集積回路素
子は、いわゆるプローピングマシンと称される半
導体チツプ検査装置により、各素子毎にその電気
的特性の良・不良が検査され、そして後の工程で
素子毎に分割されて良チツプのみが半導体装置と
してパツケージ化され製品として提供されてい
る。従つて、上記不良チツプは上記、後工程で除
去されるものであるが、多数の同様回路を形成し
ている素子のなかの不良チツプのみを除去するに
は、該不良チツプに識別マークを付して該識別マ
ークを選別装置で判読させるようにした方が、正
確で自動化の意味においても非常に便利である。
そこで従来、上記識別マークを付する手段として
いわゆる半導体チツプマーキング装置が提供され
ている。

半導体チツプマーキング装置には、ウエハの不
良チツプ上にマークとしての引つ掻き傷（打刻
点）をつけるスクラツチ式、レーザ光を照射して
焼き切るレーザ式又は、インクを付着せしめるイ
ンク式等がある。第２図はインク式マーキング装
置の構成概要を示している。図において、ケーシ
ング１の軸心部に挿通された円筒型可動鉄芯２
は、該鉄芯を囲んでケーシング１内に設けられた
電磁コイル３への通電をON・OFFすることでそ
の軸心方向へ所要量進退できるように復帰スプリ
ング４を備えせしめて構成配置されている。即ち
通電ONで復帰スプリング４に抗して進出し、通
電OFFで該スプリング４により元位置に後退す
るのである。上記可動鉄芯２にはマーキングピン
５が挿通されており、該ピンはその先端側をケー
シング１より突出して後述するインクタンクに臨
む長さとし、後部側はねじ軸５ａとして可動鉄芯
２の筒内面に形成した雌ねじ２ａに螺合してい
る。６は上記マーキングピン５の上端に設けた位
置調整用のフランジ状ピンヘツドであり、該ピン
ヘツドと可動鉄芯２の間にスプリング７を介在さ
せている。尚、上記マーキングピン５の先端側部
は後述するインクを不良チツプ面に導くものであ
るから、材質的には所要の剛性を備えたスチール
ピンのほか、ナイロンコードのようなプラスチツ
クピンが利用される。８はインクタンクであり、
上記ケーシング１の下側に上記マーキングピン５
の先端側を内部に臨ませて配置されている。９は
インクタンク８内に充填されたインクであり、後
工程の選別装置で判読容易な色が利用される。イ
ンクタンク８は上記マーキングピン５を内部に臨
ませると共に、所要時刻ピンがタンク下端（底
部）からインクを付着せしめて突き出ることが可
能なように該底部をインクの毛細管現象、表面張
力等で封止する細径ノズル形状としている。

上記のような構成のマーキング装置を半導体ウ
エハ検査装置に取り付けて半導体ウエハＷ上方に
配置し、素子回路検査により不良素子（チツプ）
にマーキングする場合は、自動制御によりマーキ
ング装置の電磁コイル３に通電すると、電磁誘導
により可動鉄芯２が復帰スプリング４に抗して下
方に進出し、即ちマーキングピン５先端部がイン
クタンク８から突き出て該ピン先に導出している
インクを対応するチツプ面に付着せしめる。上記
通電は瞬間的に行なわれるので、通電OFF後は
復帰スプリング４の弾発力により可動鉄芯２は元
位置に復帰せしめられ、即ちマーキングピン５が
後退することになる。

このように、マーキングピン５の先端が正確に
チツプ面にマーキングするためにはマーキングピ
ン５の進出時の位置決めが重要となる。この位置
決め調整は、可動鉄芯２の移動量が当該装置毎の
組み付け時に規定されるので、マーキングピン５
と該可動鉄芯の相対位置をねじ軸５ａを利用して
行なうことになる。

スクラツチ式マーキング装置においては、上記
インク式装置のインクタンク構成部をなくし、マ
ーキングピン５をチツプ面に打刻可能な程度の硬
度、剛性を持つた例えばスチールピンで形成した
ような構成となり、これにより引つ掻き傷等をチ
ツプ面に刻印するもので、その他の動作機能とし
てはインク式と同様となる。

＜考案が解決しようとする問題点＞ 上記の如く、従来のマーキング装置は、スクラ
ツチ式及びインク式はそのマーキングピンの位置
決めがマーキング機能に重大な影響を及ぼすこと
になる。

しかし、位置決めは、前述のようにマーキング
ピンをねじ調整により行なつているので、ピン先
の摩耗による調整は簡単であるものの、電磁動作
による可動鉄芯の頻繁な進退震動等によりねじず
れを起こし、多くはピンが僅かずつ回動後退し
て、ついにはマーキングができないといつた事態
を生じせしめるおそれがある。そこでこれを可及
的防ぐために、第２図に例示するように、可動鉄
芯２とマーキングピン５を、スプリング７により
ねじのバツクラツシの吸収はもとより相対的にね
じ部に押圧力を負荷して反発させ、係合固定をは
かるといつたような手段、或いはいわゆるダブル
ナツトによる締め付け等の手段が利用されていた
が、結局長時間的自動運転では僅かずつの緩みが
出てピンが次第に後退してしまうことになり、実
用性上問題点の存しているものであつた。

＜問題点を解決する為の手段＞ 上記の如き問題点を解決する為に本考案は、マ
ーキングピンをその軸方向位置調整自在に螺合し
た円筒型可動鉄芯がケーシング内に設けられた電
磁コイルを挿通して、該電磁コイルへの通電ON
により進出し通電OFFにより元位置へ後退する
ように復帰スプリングを備えて進退自在に配設さ
れたウエハマーキング装置において、マーキング
ピンの軸基端に上記位置調整操作用ピンヘツドを
形成し、上記可動鉄芯に該ピンヘツドが挿通する
スリーブを形成すると共に、該ピンヘツドとスリ
ーブの挿通部間には弾性変形で双方に圧接する摩
擦リングを介在せしめた構成としたものである。

＜作用＞ マーキングピンのピンヘツドと該ピンヘツドが
挿通する可動鉄芯のスリーブとの間には、弾性変
形で双方に圧接する摩擦リングが介在しているの
で、その弾発力がピンヘツドとスリーブの周方向
に作用し、即ち螺合しているマーキングピンのね
じ軸の回動方向及び軸方向変位力を全周で摩擦抵
抗により吸収し、しかも可動鉄芯の進退による衝
撃及び震動を上記弾性で吸収するので、上記衝撃
等によるマーキングピンのねじずれを防止するこ
とができる。

＜実施例＞ 以下本考案の好適な実施例を第１図に基づき説
明する。

図はインク式のウエハマーキング装置を示して
いるもので、１０は有底円筒状のケーシングであ
り、内周底部近傍には電磁コイル１１が配設され
ている。１１ａは電磁コイル押さえであり、ケー
シング１０の外部からビス１１ｂで押さえられて
いる。ケーシング１０は、断面コ字形のホルダＨ
にビスH₁で一体的に保持される。ホルダＨは上
下のホルダアーム部に夫々開口Ha，Hbを有して
おり、上部の開口側にケーシング１０が臨み、下
部の開口側にインクタンクＴが取り付けられる。
１２は円筒型の可動鉄芯であり、上記電磁コイル
１１部を挿通して進退自在に配設されている。し
かして進退は、上記電磁コイル１１に通電したと
きに該コイル側に引き寄せられるように進出し、
通電を断つたときには元位置に復帰後退するよう
に該ケーシング１０と可動鉄芯１２間に復帰スプ
リング１３を介在せしめて行なうようにしてい
る。この可動鉄芯１２の上端部は、後述するマー
キングピンのピンヘツドが自在に挿通する程度の
内径開口を有するスリーブ１２ａを形成してい
る。また、可動鉄芯１２の上記復帰位置は、ホル
ダＨの上部開口Haに螺合せしめる円筒のストツ
パボルト１４により設定規制されるようにしてい
る。そして、該可動鉄芯１２が、作動時にその進
退両位置で上記ケーシング１０の底部とストツパ
ボルト１４の規制端面とに衝突しても震動を受け
ないように、該両部には弾性の緩衝リング（Ｏリ
ング）１５が配されている。この緩衝リングは可
動鉄芯１２側、或いは対向する上記両部材側の何
れに設けてもよい。

１６はマーキングピンであり、可動鉄芯１２を
挿通して、該鉄芯の挿通部に部分的に形成された
雌ねじ１２ｂに螺合するねじ軸１６ａを基端側に
有すると共に、さらに該軸端には可動鉄芯１２の
前記スリーブ１２ａの開口内に挿通する外径とし
たピンヘツド１６ｂを有している。ピンヘツド１
６ｂの端面は外方から六角レンチ若しくはドライ
バ等の工具で回動操作可能なように工具穴、溝等
が形成されている。又、マーキングピン１６の他
端側は所要長さの細線１６ｃとしてインクタンク
Ｔに臨み、後述するマーキング動作進退時にイン
クをウエハ上に付着せしめ得るようにしている。
該細線１６ｃの材質としては従来と同様のものが
利用できる。

１７は、マーキングピン１６のピンヘツド１６
ｂと可動鉄芯１２のスリーブ１２ａの挿通部間に
介在せしめた摩擦リングであり、図例のようにピ
ンヘツド１６ｂにリング溝を形成して該溝に嵌合
させたり、或いはスリーブ１２ａ側の溝に嵌合さ
せている。該摩擦リング１７は、例えばいわゆる
Ｏリング材のようなゴム質で弾性があり、しかも
ピンヘツド１６ｂとスリーブ１２ａの双方に対し
摩擦係数の大きい材質のものが利用される。しか
して上記介在状態は、その介在間〓に弾性により
圧縮変形して位置せしめられている。

インクタンクＴは従来既知の構成であり、内部
にマーキングインクMIを充填しており、該タン
ク先端部はタンクノズルTNとして、マーキング
ピン１６の細線１６ｃがインクMIを導出できる
ように形成されている。

以上のような構成からなるマーキング装置を、
所要の半導体ウエハ検査装置の取り付けブラケツ
トにホルダＨを利用して固定する。ウエハへのマ
ーキングは、従来と同様に所要の制御信号で電磁
コイル１１がON・OFF動作し、インクMIをウ
エハ上に付着せしめる。従つて、マーキングピン
１６はピンヘツド１６ｂの操作により予めその進
出動作位置を調整されているものである。

上記により、マーキング動作を行なつた場合、
電磁コイル１１のON・OFFにより可動鉄芯１２
が進退を繰り返すと、特に進退両位置部において
生ずる震動がマーキングピン１６に伝わることに
なる。該震動はマーキングピン１６と可動鉄芯１
２の螺合部に作用して、該ネジ傾斜面による回動
力をマーキングピン１６に及ぼそうとするが、ピ
ンヘツド１６ｂと可動鉄芯のスリーブ１２ａ間に
は摩擦リング１７が介在しているので、その軸方
向及び軸回動方向のずれ作用力は摩擦リング１７
の弾性及び摩擦抵抗で吸収し、震動によるマーキ
ングピン１６の位置ずれが防止される。即ち、摩
擦リング１７は圧縮変形によりその周囲でピンヘ
ツドとスリーブに接触しているので、ずれ作用は
全周で均等に受け、吸収することになる。また、
可動鉄芯１２の進退両位置部に緩衝リング１５を
配していれば、特に復帰後退時の衝撃震動を該緩
衝リングでも吸収させることができ、一層効果的
となる。

マーキングピン１６の細線１６ｃが使用により
摩耗してきた場合は、前述したようにピンヘツド
１６ｂを所要の工具で操作してやればよく、摩擦
リング１７はピンヘツドとスリーブの双方に摺接
して回動を許容することになる。

尚、上記実施例はインク式のウエハマーキング
装置を説明したが、これに限らずスクラツチ式の
マーキング装置にも利用できることは前述の従来
例で説明した通りである。又、上記実施例はホル
ダＨを利用してケーシング１０とストツパボルト
１４を分離して構成したが、該ストツパボルトを
ケーシングに螺合させれば上記実施例構成を必ず
しも要するものではなく、この場合インク式であ
ればインクタンクＴはケーシング１０に取り付け
ればよい。しかしながら実施例のような構成によ
れば、ホルダＨを利用して検査装置への取り付け
治具とすることができ、さらに修理交換等のメン
テナンスにも利便となる。

＜考案の効果＞ 以上詳細に述べてきたように、本考案によれ
ば、極めて簡単な構成でありながら長時間の連続
使用に際し、実用性に優れた効果を発揮せしめ得
ることができる。又、構成的には可動鉄芯にマー
キングピンのピンヘツドを挿通できるように両者
を円筒形に形成し、該部に摩擦リングを介在させ
るだけの機構であるから、コスト的にも何らの不
利益を及ぼすことはない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例に係る半導体ウエハ
マーキング装置の構成を示す断面側面図、第２図
は従来装置の概要構成例を示す断面図である。 １０……ケーシング、１１……電磁コイル、１
２……可動鉄芯、１２ａ……スリーブ、１３……
復帰スプリング、１４……ストツパボルト、１５
……緩衝リング、１６……マーキングピン、１６
ａ……ねじ軸、１６ｂ……ピンヘツド、１６ｃ…
…細線、１７……摩擦リング、Ｈ……ホルダ、Ｔ
……インクタンク、MI……マーキングインク。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. マーキングピンをその軸方向位置調整自在に螺
   合した円筒型可動鉄芯がケーシング内に設けられ
   た電磁コイルを挿通して、該電磁コイルへの通電
   ONにより進出し通電OFFにより鉄芯が元位置へ
   後退するように復帰スプリングを備えて進退自在
   に配設された半導体チツプマーキング装置におい
   て、マーキングピンの軸基端に上記位置調整操作
   用ピンヘツドを形成し、上記可動鉄芯に該ピンヘ
   ツドが挿通するスリーブを形成すると共に、該ピ
   ンヘツドとスリーブの挿通部間には弾性変形で双
   方に圧接する摩擦リングを介在せしめたことを特
   徴とする半導体チツプマーキング装置。