JPH0416099Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0416099Y2 JPH0416099Y2 JP1987010723U JP1072387U JPH0416099Y2 JP H0416099 Y2 JPH0416099 Y2 JP H0416099Y2 JP 1987010723 U JP1987010723 U JP 1987010723U JP 1072387 U JP1072387 U JP 1072387U JP H0416099 Y2 JPH0416099 Y2 JP H0416099Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean
- exhaust
- ceiling
- clean room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、クリーントンネルシステムにおいて
作業装置に粉塵の発生する場合、これを排風とと
もに特別に排除する清浄室装置に関する。
作業装置に粉塵の発生する場合、これを排風とと
もに特別に排除する清浄室装置に関する。
従来、クリーントンネルシステムにおいて、ウ
エーハなどの半導体を熱処理するには、第３図、
又は第４図に概略縦断面図を示すように清浄室装
置を使用している。なお、第３図は、ダウンフロ
ー（全面吹出し）型、第４図は、コンベンシヨナ
ル（一部分吹出し）型のクリーントンネルの場合
である。
エーハなどの半導体を熱処理するには、第３図、
又は第４図に概略縦断面図を示すように清浄室装
置を使用している。なお、第３図は、ダウンフロ
ー（全面吹出し）型、第４図は、コンベンシヨナ
ル（一部分吹出し）型のクリーントンネルの場合
である。
その要部について述べると、クリーンルーム１
内には、天井１Ｔに設置されたHEPAフイルタ
２を介して清浄空気Ａが吹き出され、層流となつ
て下降し、通気孔（図示省略）多数を穿設した床
１Ｆから排気ｅとして排出され、図外の送風機に
より給気ダクト３に送られるという循環気流によ
り、室内の清浄度が維持されるようになつてお
り、室内両側の空所には、作業装置として発熱炉
体を有する例えば、エピタキシヤル装置Ｅなどが
複数台配列して設置されている。
内には、天井１Ｔに設置されたHEPAフイルタ
２を介して清浄空気Ａが吹き出され、層流となつ
て下降し、通気孔（図示省略）多数を穿設した床
１Ｆから排気ｅとして排出され、図外の送風機に
より給気ダクト３に送られるという循環気流によ
り、室内の清浄度が維持されるようになつてお
り、室内両側の空所には、作業装置として発熱炉
体を有する例えば、エピタキシヤル装置Ｅなどが
複数台配列して設置されている。
エピタキシヤル装置Ｅは、発火性ガスや可燃性
ガスであるH2を多量に用いるので、その排気系
の処理には十分な注意が必要で独自の排気手段が
付設されているが、被処理物Ｗを設定している空
域Ekは、クラス100の清浄度を必要とするため、
背壁EbからHEPAフイルタEhを介してブロワー
Ｂにより清浄空気ａが吹き込まれ、開放された前
面Efからクリーンルーム１内へ放出されるように
なつている。
ガスであるH2を多量に用いるので、その排気系
の処理には十分な注意が必要で独自の排気手段が
付設されているが、被処理物Ｗを設定している空
域Ekは、クラス100の清浄度を必要とするため、
背壁EbからHEPAフイルタEhを介してブロワー
Ｂにより清浄空気ａが吹き込まれ、開放された前
面Efからクリーンルーム１内へ放出されるように
なつている。
しかしながら、このような従来の清浄室装置に
おいては、被処理物設定空域からの熱風がクリー
ンルーム内へ常時吹き出し放しであるため、熱処
理時間中はまだしも、処理が終わつて被処理物を
高温口Eaから取り出すとき、粉塵などが周辺に
バラ撒かれ、たまたま対向位置にある熱処理装置
で新しい被処理物の設定準備中であると、該被処
理物が悪影響を蒙るが、その汚染は目に見えず、
一工程終わつたところで判明するという不都合が
あつた。
おいては、被処理物設定空域からの熱風がクリー
ンルーム内へ常時吹き出し放しであるため、熱処
理時間中はまだしも、処理が終わつて被処理物を
高温口Eaから取り出すとき、粉塵などが周辺に
バラ撒かれ、たまたま対向位置にある熱処理装置
で新しい被処理物の設定準備中であると、該被処
理物が悪影響を蒙るが、その汚染は目に見えず、
一工程終わつたところで判明するという不都合が
あつた。
また、前記バラ撒きにより室内空気の清浄度も
低下するという問題点もある。
低下するという問題点もある。
この考案は叙上の事情に鑑みてなされたもの
で、作業装置に粉塵の発生する場合に、作業装置
からの排風による室内空気の汚染を防止すること
を目的としている。
で、作業装置に粉塵の発生する場合に、作業装置
からの排風による室内空気の汚染を防止すること
を目的としている。
この考案に係る清浄室装置は、作業装置前面直
上の天井の一部に排気口を設け、ダクトとダンパ
とを介し排風機により作業装置前面から吹き出る
粉塵を含んだ排気をクリーンルーム外へ排除する
構成としたものである。
上の天井の一部に排気口を設け、ダクトとダンパ
とを介し排風機により作業装置前面から吹き出る
粉塵を含んだ排気をクリーンルーム外へ排除する
構成としたものである。
この考案の清浄室装置では、作業装置から粉塵
が発生する際に局所局時的に該粉塵を装置前面に
吹き出す排気とともに、天井の下降清浄空気に合
流する前に排気口から吸い出して室外へ排除し、
室内空気の清浄度の低下と他の作業装置への悪影
響を防止する。
が発生する際に局所局時的に該粉塵を装置前面に
吹き出す排気とともに、天井の下降清浄空気に合
流する前に排気口から吸い出して室外へ排除し、
室内空気の清浄度の低下と他の作業装置への悪影
響を防止する。
以下、この考案をダウンフロー型クリーントン
ネルに適用した一実施例を第１図に基づいて説明
する。なお、従来例と同一部材又は相当部分は同
一の符号を用い、その説明は省略する。
ネルに適用した一実施例を第１図に基づいて説明
する。なお、従来例と同一部材又は相当部分は同
一の符号を用い、その説明は省略する。
本実施例の概略縦断面図を示す第１図におい
て、４は、クリーンルーム１の天井１Ｔの、作業
装置であるエピタキシヤル装置Ｅ側天井１T1に
おいて該装置Ｅの前面Efの直上に穿設された排気
口である。そして、該排気口４は、途中にダンパ
６を有する排気ダクト５により排風機７に連結さ
れ、該排風機７と外部との間には排出ダクト８が
設けられている。
て、４は、クリーンルーム１の天井１Ｔの、作業
装置であるエピタキシヤル装置Ｅ側天井１T1に
おいて該装置Ｅの前面Efの直上に穿設された排気
口である。そして、該排気口４は、途中にダンパ
６を有する排気ダクト５により排風機７に連結さ
れ、該排風機７と外部との間には排出ダクト８が
設けられている。
叙上の構成となつているので、エピタキシヤル
装置Ｅの被処理物Ｗを設定している内部空域Ek
には、常時、背壁EbからHEPAフイルタEhを介
し清浄空気ａが吹き込まれ、前記装置Ｅの炉体
（図示省略）からの発熱を受け、排気としての熱
風Ｎとなつて前面Efからクリーンルーム１内へ吹
き出すが、HEPAフイルタ２を通つて吹き込ま
れる清浄空気Ａに合流し、一緒に床１Ｆを通り排
気ｅとして室外へ排出され循環する。しかし、被
処理物Ｗの高温口Eaからの取出し時など、粉塵
発生の惧がある場合には、ダンパ６を開き排風機
７を起動して前記熱風Ｎとともに発生粉塵を前記
清浄空気Ａに合流する前に、排気口４により上方
へ吸い取り、排気ダクト５−ダンパ６−排風機７
を経て排出ダクト８から外部へ局所局時的に排気
する。
装置Ｅの被処理物Ｗを設定している内部空域Ek
には、常時、背壁EbからHEPAフイルタEhを介
し清浄空気ａが吹き込まれ、前記装置Ｅの炉体
（図示省略）からの発熱を受け、排気としての熱
風Ｎとなつて前面Efからクリーンルーム１内へ吹
き出すが、HEPAフイルタ２を通つて吹き込ま
れる清浄空気Ａに合流し、一緒に床１Ｆを通り排
気ｅとして室外へ排出され循環する。しかし、被
処理物Ｗの高温口Eaからの取出し時など、粉塵
発生の惧がある場合には、ダンパ６を開き排風機
７を起動して前記熱風Ｎとともに発生粉塵を前記
清浄空気Ａに合流する前に、排気口４により上方
へ吸い取り、排気ダクト５−ダンパ６−排風機７
を経て排出ダクト８から外部へ局所局時的に排気
する。
次に、他の実施例として本考案をコンベンシヨ
ナル型のクリーントンネルに適用した概略縦断面
図を第２図に示すが、清浄室装置の構成及び作用
は、前述の一実施例と同様なのでその説明は省略
する。
ナル型のクリーントンネルに適用した概略縦断面
図を第２図に示すが、清浄室装置の構成及び作用
は、前述の一実施例と同様なのでその説明は省略
する。
以上説明したようにこの考案は、作業装置前面
直上の天井の一部に設けた排気口から、作業装置
に粉塵の発生する場合、局所局時的に排風ととも
に発生粉塵を抜き取り排除する構成としたため、
室内空気の清浄度を維持することができるばかり
か、他の作業装置の被処理物へも悪影響を及ぼす
ことがなく、被処理物の品質を向上することがで
きるという効果がある。
直上の天井の一部に設けた排気口から、作業装置
に粉塵の発生する場合、局所局時的に排風ととも
に発生粉塵を抜き取り排除する構成としたため、
室内空気の清浄度を維持することができるばかり
か、他の作業装置の被処理物へも悪影響を及ぼす
ことがなく、被処理物の品質を向上することがで
きるという効果がある。
なお、クリーンルームの循環気流に被処理物か
らの粉塵が混入しないので、天井設置のフイルタ
を長持ちさせることができるという利点もある。
らの粉塵が混入しないので、天井設置のフイルタ
を長持ちさせることができるという利点もある。
第１図は、この考案をダウンフロー型クリーン
トンネルに適用した一実施例の清浄室装置の概略
縦断面図、第２図は同じくコンベンシヨナル型の
クリーントンネルに適用した他の実施例の第１図
相当図、第３図は従来例の第１図相当図、第４図
は従来例の第２図相当図である。 １……クリーンルーム、１T1……エピタキシ
ヤル装置側天井、２……HEPAフイルタ、４…
…排気口、６……ダンパ、７……排風機、１Ｔ…
…天井、Ａ……下降清浄空気、Ｅ……エピタキシ
ヤル装置、Eb……背壁、Eh……HEPAフイルタ、
Ek……内部空域、Ef……前面、Ｎ……熱風。
トンネルに適用した一実施例の清浄室装置の概略
縦断面図、第２図は同じくコンベンシヨナル型の
クリーントンネルに適用した他の実施例の第１図
相当図、第３図は従来例の第１図相当図、第４図
は従来例の第２図相当図である。 １……クリーンルーム、１T1……エピタキシ
ヤル装置側天井、２……HEPAフイルタ、４…
…排気口、６……ダンパ、７……排風機、１Ｔ…
…天井、Ａ……下降清浄空気、Ｅ……エピタキシ
ヤル装置、Eb……背壁、Eh……HEPAフイルタ、
Ek……内部空域、Ef……前面、Ｎ……熱風。
Claims (1)
- 天井に設置のフイルタを介して給気され、下降
する清浄空気を循環するクリーントンネルシステ
ムにおいて、クリーンルーム内の側部に配設の作
業装置背壁に設置したフイルタと、そのフイルタ
から内部空域へ吹き込まれ、前面から吹き出る清
浄空気の排気を、前記作業装置に粉塵が発生する
場合に前記下降清浄空気へ合流する前に上方へ吸
い取るように、作業装置側天井の前記前面直上位
置に設けた排気口と、その排気口からの排気をダ
ンパを介して吸出し、クリーンルーム外へ排除す
る排風機とを備えて構成したことを特徴とする清
浄室装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987010723U JPH0416099Y2 (ja) | 1987-01-29 | 1987-01-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987010723U JPH0416099Y2 (ja) | 1987-01-29 | 1987-01-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63120030U JPS63120030U (ja) | 1988-08-03 |
| JPH0416099Y2 true JPH0416099Y2 (ja) | 1992-04-10 |
Family
ID=30797284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987010723U Expired JPH0416099Y2 (ja) | 1987-01-29 | 1987-01-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0416099Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-01-29 JP JP1987010723U patent/JPH0416099Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63120030U (ja) | 1988-08-03 |
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