JPH0614473Y2 - 可搬式クリーンベンチ - Google Patents
可搬式クリーンベンチInfo
- Publication number
- JPH0614473Y2 JPH0614473Y2 JP1987179746U JP17974687U JPH0614473Y2 JP H0614473 Y2 JPH0614473 Y2 JP H0614473Y2 JP 1987179746 U JP1987179746 U JP 1987179746U JP 17974687 U JP17974687 U JP 17974687U JP H0614473 Y2 JPH0614473 Y2 JP H0614473Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- housing
- clean bench
- air
- portable clean
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Cleaning In General (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はダストを特にきらう工程を含む半導体、精密機
械、電子部品等の製造開発において必要とする清浄な空
気を供給する装置に関するものである。
械、電子部品等の製造開発において必要とする清浄な空
気を供給する装置に関するものである。
（従来の技術） ダストを多く含む外部空気を吸引してエアフィルタを通
過させ、そこにダストを捕獲し、ダストを減少させた空
気を流すことにより、特に清浄度が要求される空間領域
を形成するクリーンベンチが、半導体ＬＳＩ製造分野で
使用されている。
過させ、そこにダストを捕獲し、ダストを減少させた空
気を流すことにより、特に清浄度が要求される空間領域
を形成するクリーンベンチが、半導体ＬＳＩ製造分野で
使用されている。
ＬＳＩ製造ではこれらのクリーンベンチは、建屋である
クリーンルーム内部に設置され、局所的にクリーンルー
ムよりさらに清浄化した領域を作くるために設置する。
クリーンベンチを装置全体にかぶせるか、クリーンベン
チを設けた領域を作業領域とすることにより、ウェハへ
のダクト付着を最小限にすることができる。他の分野で
はクリーンでない通常の建屋に、クリーンベンチを設置
することも行われる。
クリーンルーム内部に設置され、局所的にクリーンルー
ムよりさらに清浄化した領域を作くるために設置する。
クリーンベンチを装置全体にかぶせるか、クリーンベン
チを設けた領域を作業領域とすることにより、ウェハへ
のダクト付着を最小限にすることができる。他の分野で
はクリーンでない通常の建屋に、クリーンベンチを設置
することも行われる。
ウェハを装置間で移動しようとするとき、ウェハは最高
に清浄化された領域から出て、ややダストの多い領域を
通過することになるが、従来、クリーントンネルまたは
クリーンブースの概念に基づいて装置間全体を清浄化
し、装置間移動においても最高の清浄度を保証する方法
が一般的であった。この方法の欠点は、設備および電力
のコスト増大につながることであり、より安価な方法で
同程度の清浄度が得られる方法が望まれていた。
に清浄化された領域から出て、ややダストの多い領域を
通過することになるが、従来、クリーントンネルまたは
クリーンブースの概念に基づいて装置間全体を清浄化
し、装置間移動においても最高の清浄度を保証する方法
が一般的であった。この方法の欠点は、設備および電力
のコスト増大につながることであり、より安価な方法で
同程度の清浄度が得られる方法が望まれていた。
（考案が解決しようとする問題点） 本考案はクリーントンネルまたはクリーンブースを設備
せず、小型の可搬式設備だけでウェハを固定クリーンベ
ンチ間または装置間で輸送でき、かつ低コストでウェハ
の清浄度を確保できる可搬式クリーンベンチを提供する
ことにある。
せず、小型の可搬式設備だけでウェハを固定クリーンベ
ンチ間または装置間で輸送でき、かつ低コストでウェハ
の清浄度を確保できる可搬式クリーンベンチを提供する
ことにある。
（問題点を解決するための手段） 本考案は、筐体内の上部にエアフィルタと送風装置を設
け、筐体内の下部に送風装置を駆動するための電源を設
け、筐体の側壁の下部または筐体の床板に空気ぬき孔を
設け、筐体の床板の下部に車輪を設ける。
け、筐体内の下部に送風装置を駆動するための電源を設
け、筐体の側壁の下部または筐体の床板に空気ぬき孔を
設け、筐体の床板の下部に車輪を設ける。
また必要に応じて、筐体内の中部にパンチング孔を多数
有する物品を置くための仕切板を設け、筐体の天井と床
板を除く４側面のうち、相対する２側面にだけ180゜開く
扉を設ける。
有する物品を置くための仕切板を設け、筐体の天井と床
板を除く４側面のうち、相対する２側面にだけ180゜開く
扉を設ける。
従来のクリーンベンチは装置にかぶせるように設置する
か、特定の高清浄なる作業領域を形成するためのもので
あり、大型であり、かつ床に固定して使用するものであ
る。
か、特定の高清浄なる作業領域を形成するためのもので
あり、大型であり、かつ床に固定して使用するものであ
る。
本考案は送風機とエアフィルタ機構を有することは通常
と同じであるが、車輪をもち、充電式電池が送風機に電
力を供給することにより、自由に移動可能にし、装置前
面の位置まで移動して装置搬送部と直に接触させ、清浄
度の悪い領域に出さずに装置に物品を送れるよう扉の位
置を設定する。
と同じであるが、車輪をもち、充電式電池が送風機に電
力を供給することにより、自由に移動可能にし、装置前
面の位置まで移動して装置搬送部と直に接触させ、清浄
度の悪い領域に出さずに装置に物品を送れるよう扉の位
置を設定する。
（実施例） 第１図は本考案の一実施例の構成を示し、(a)は側面
図、(b)は平面図である。全体の寸法・重量は人間が手
で押して移動できるような程度であり、例えば400mm×4
00mm×1200mmといったものにすれば扱い易い。第１図に
おいて、１はプレフィルタ、２は送風機、３はメインフ
ィルタであり、送風機２を稼働させることにより、プレ
フィルタ１を通して外部の空気を取り込み、メインフィ
ルタ３を通して清浄化した空気を下部の清浄空間領域４
に送る。下部の清浄空間領域４はこのクリーンベンチで
作られ、半導体ウェハ等のダクトをきらう加工品を、こ
の清浄空間領域４の中に入れて工程中の清浄度を確保す
る。下部の清浄空間領域４は物品をのせるため仕切板５
を設ける。仕切板５は風向を一定にそろえるためパンチ
ング孔を設け、さらに風を逃がすために、ベンチ下部に
空気ぬき孔６を設けた。清浄空間領域４に物品を出し入
れするため、扉７を持っているが、扉７は相対する２面
に設ければこのクリーンベンチを装置搬送部の前面に直
に置くことにより、一方の側から作業者が手をさし入
れ、物品を清浄度の悪い空気にさらすことなく、装置に
物品を挿入することができる。清浄空間領域４の下部に
充電式電池８を設置して、送風機２に電力を供給する。
またクリーンベンチの下部に車輪９を設けてあるので、
容易に移動することができる。
図、(b)は平面図である。全体の寸法・重量は人間が手
で押して移動できるような程度であり、例えば400mm×4
00mm×1200mmといったものにすれば扱い易い。第１図に
おいて、１はプレフィルタ、２は送風機、３はメインフ
ィルタであり、送風機２を稼働させることにより、プレ
フィルタ１を通して外部の空気を取り込み、メインフィ
ルタ３を通して清浄化した空気を下部の清浄空間領域４
に送る。下部の清浄空間領域４はこのクリーンベンチで
作られ、半導体ウェハ等のダクトをきらう加工品を、こ
の清浄空間領域４の中に入れて工程中の清浄度を確保す
る。下部の清浄空間領域４は物品をのせるため仕切板５
を設ける。仕切板５は風向を一定にそろえるためパンチ
ング孔を設け、さらに風を逃がすために、ベンチ下部に
空気ぬき孔６を設けた。清浄空間領域４に物品を出し入
れするため、扉７を持っているが、扉７は相対する２面
に設ければこのクリーンベンチを装置搬送部の前面に直
に置くことにより、一方の側から作業者が手をさし入
れ、物品を清浄度の悪い空気にさらすことなく、装置に
物品を挿入することができる。清浄空間領域４の下部に
充電式電池８を設置して、送風機２に電力を供給する。
またクリーンベンチの下部に車輪９を設けてあるので、
容易に移動することができる。
（考案の効果） 本考案は、ウェハ清浄度保護のため簡易な可搬式クリー
ンベンチであるので、従来と異なり、固定クリーンベン
チで保護された装置間をウェハが移動するとき、ウェハ
はダストの多い領域を通過させることがなく、また必ず
しも大型のクリーントンネルまたはクリーンブースを必
要とせず、クリーンルーム設備の簡易化と電力コストの
低減を図ることができる。
ンベンチであるので、従来と異なり、固定クリーンベン
チで保護された装置間をウェハが移動するとき、ウェハ
はダストの多い領域を通過させることがなく、また必ず
しも大型のクリーントンネルまたはクリーンブースを必
要とせず、クリーンルーム設備の簡易化と電力コストの
低減を図ることができる。
第１図は本考案の一実施例の構成を示し、(a)は側面
図、(b)は平面図である。 １……プレフィルタ、２……送風機 ３……メインフィルタ、４……清浄空間領域 ５……仕切板、６……空気ぬき孔 ７……扉、８……充電式電池 ９……車輪、10……風の流れ
図、(b)は平面図である。 １……プレフィルタ、２……送風機 ３……メインフィルタ、４……清浄空間領域 ５……仕切板、６……空気ぬき孔 ７……扉、８……充電式電池 ９……車輪、10……風の流れ
Claims (1)
- 【請求項１】筐体内の上部にエアフィルタと送風装置を
設け、筐体内の下部に送風装置を駆動するための電源を
設け、筐体の側壁の下部または筐体の床板に空気ぬき孔
を設け、筐体の床板の下部に車両を設けた可搬式クリー
ンベンチにおいて、 筐体の天井と床板を除く４側面のうち、相対する２側面
にだけ180゜開く扉を設けたことを特徴とする可搬式クリ
ーンベンチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987179746U JPH0614473Y2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 可搬式クリーンベンチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987179746U JPH0614473Y2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 可搬式クリーンベンチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0184424U JPH0184424U (ja) | 1989-06-05 |
| JPH0614473Y2 true JPH0614473Y2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=31471291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987179746U Expired - Lifetime JPH0614473Y2 (ja) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | 可搬式クリーンベンチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0614473Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3688784B2 (ja) * | 1995-12-26 | 2005-08-31 | 大日本スクリーン製造株式会社 | エアフィルタを備えた基板処理装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63185040U (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-28 |
-
1987
- 1987-11-27 JP JP1987179746U patent/JPH0614473Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0184424U (ja) | 1989-06-05 |
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