JPH04161804A - 光走査型変位センサ - Google Patents
光走査型変位センサInfo
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- JPH04161804A JPH04161804A JP28954990A JP28954990A JPH04161804A JP H04161804 A JPH04161804 A JP H04161804A JP 28954990 A JP28954990 A JP 28954990A JP 28954990 A JP28954990 A JP 28954990A JP H04161804 A JPH04161804 A JP H04161804A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract 1
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は光走査型変位センサに関するものであり、例え
ば溶接用倣いセンサなどに用いられる。
ば溶接用倣いセンサなどに用いられる。
［従来の技術］
この種の光走査形変位センサには従来、特開平１−２４
５１０３号に示されたものがある。
５１０３号に示されたものがある。
この従来例は被検知物体の表面に光ビームを投光する投
光手段と、上記光ビームを被検知物体の表面で走査させ
る偏向手段と、被検知物体による光ビームの反射光を集
光する受光用光学系と、受光用光学系の集光面に配設さ
れ、被検知物体までの距離に応じて集光面内で移動する
集光スポットの位置に対応した出力が得られる位置検出
手段と、位置検出手段の出力に基づいて被検知物体まで
の距離を演算する第１の演算手段と、光ビームの走査位
置を演算する第２の演算手段とを備え、偏向手段による
光ビームの走査に応じて第１の演算手段から得られる距
離データの差分を取り、差分が同符号であれば加算し、
その加算値の絶対値が最大のときに第２の演算手段から
得られる走査位置を段差点と判定するものであるが、−
様の受光量が得られない被検知物体については誤差が生
じるという問題があった。
光手段と、上記光ビームを被検知物体の表面で走査させ
る偏向手段と、被検知物体による光ビームの反射光を集
光する受光用光学系と、受光用光学系の集光面に配設さ
れ、被検知物体までの距離に応じて集光面内で移動する
集光スポットの位置に対応した出力が得られる位置検出
手段と、位置検出手段の出力に基づいて被検知物体まで
の距離を演算する第１の演算手段と、光ビームの走査位
置を演算する第２の演算手段とを備え、偏向手段による
光ビームの走査に応じて第１の演算手段から得られる距
離データの差分を取り、差分が同符号であれば加算し、
その加算値の絶対値が最大のときに第２の演算手段から
得られる走査位置を段差点と判定するものであるが、−
様の受光量が得られない被検知物体については誤差が生
じるという問題があった。
そこで受光量が左右されないように第９図に示す如く光
量フィードバック手段５０を設けて、位置検出手段４Ｚ
の受光量が一定値を越えないように投光手段１にフィー
ドバックをかけるようにしている。つまり位置検出手段
４Ｚから構成される装置信号１．．１．を演算処理する
演算手段５Ｚの検波回路４３ｃ、４３ｄの出力を光量フ
ィードバック手段５０では加算器５１で加算し、この加
算して得られた位置検出手段４Ｚの受光１（１３＋１、
）が第１０図に示す設定値Ｌ１を越える部分については
差動増幅器５１と、積分器５２とを通じて投光手段１の
変調口ｉｌｌにフィードパ・ンクして変調電圧を抑え、
演算手段５Ｚの減算回路４５Ｚ、加算回路４６Ｚが飽和
しないようにして、第１１図（ａ）に示すように段差点
Ｎ１．Ｎ２を求めている。特に加算回路４６Ｚは大きな
値になりやすい。
量フィードバック手段５０を設けて、位置検出手段４Ｚ
の受光量が一定値を越えないように投光手段１にフィー
ドバックをかけるようにしている。つまり位置検出手段
４Ｚから構成される装置信号１．．１．を演算処理する
演算手段５Ｚの検波回路４３ｃ、４３ｄの出力を光量フ
ィードバック手段５０では加算器５１で加算し、この加
算して得られた位置検出手段４Ｚの受光１（１３＋１、
）が第１０図に示す設定値Ｌ１を越える部分については
差動増幅器５１と、積分器５２とを通じて投光手段１の
変調口ｉｌｌにフィードパ・ンクして変調電圧を抑え、
演算手段５Ｚの減算回路４５Ｚ、加算回路４６Ｚが飽和
しないようにして、第１１図（ａ）に示すように段差点
Ｎ１．Ｎ２を求めている。特に加算回路４６Ｚは大きな
値になりやすい。
しかしながら被検知物体２で正反射が起きれば受光量（
１３＋ ７４）が増大して光量フィードバック手段５０
の能力を越え、第１１図（ｂ）に示すように例えば加算
回路４６Ｚが飽和（出力が上限値ｔ、ｓ＞する値にまで
受光量が達することなり、そのため距離を求める為に割
算回路４７Ｚで行っている（Ｉｊ Ｉ４）／（Ｉ３＋
Ｉ４）の割算の分母が真の値と異なって演算結果が正解
でなくなってしｔうという問題がある。
１３＋ ７４）が増大して光量フィードバック手段５０
の能力を越え、第１１図（ｂ）に示すように例えば加算
回路４６Ｚが飽和（出力が上限値ｔ、ｓ＞する値にまで
受光量が達することなり、そのため距離を求める為に割
算回路４７Ｚで行っている（Ｉｊ Ｉ４）／（Ｉ３＋
Ｉ４）の割算の分母が真の値と異なって演算結果が正解
でなくなってしｔうという問題がある。
［発明が解決しようとする課題］
上述のように上記第９図の従来例において光量フィード
バック手段５０が正常に働いておればＡ／Ｄ変換回路４
８Ｚを通じて得られる距離データ２に影響は出ないが、
正反射光のような桁違いの光を受光した場合、光量フィ
ードバックは通常きかなくなる０例えば光量フィードバ
ックの能力では１／１０〜１／１００に抑えることがで
きるが、正反射光では拡散光の数百〜数千倍ある。
バック手段５０が正常に働いておればＡ／Ｄ変換回路４
８Ｚを通じて得られる距離データ２に影響は出ないが、
正反射光のような桁違いの光を受光した場合、光量フィ
ードバックは通常きかなくなる０例えば光量フィードバ
ックの能力では１／１０〜１／１００に抑えることがで
きるが、正反射光では拡散光の数百〜数千倍ある。
その場合Ｉ３＋Ｉ４が真の値と異なるため、距離データ
２が異常なデータとなって出力され、光ビームの走査に
応じて演算手段５Ｚから得られる距離データの差分を取
り、差分が同符号であれば加算し、その加算値の絶対値
が最大のときに第２の演算手段５Ｘから得られる走査位
置を段差点とする段差検知を行った場合、第１１図（ａ
）に示すように本当の段差点Ｎ ＋ 、 Ｎ ２に対し
て正反射の影響を受けてＮ１°、Ｎ２゛という偽りの段
差点を求めるという問題があった。
２が異常なデータとなって出力され、光ビームの走査に
応じて演算手段５Ｚから得られる距離データの差分を取
り、差分が同符号であれば加算し、その加算値の絶対値
が最大のときに第２の演算手段５Ｘから得られる走査位
置を段差点とする段差検知を行った場合、第１１図（ａ
）に示すように本当の段差点Ｎ ＋ 、 Ｎ ２に対し
て正反射の影響を受けてＮ１°、Ｎ２゛という偽りの段
差点を求めるという問題があった。
本発明は上述の問題点に鑑みて為されたもので。
その目的とするところは偽りの段差点を出力しないよう
にすることができる光走査型変位センサを提供するにあ
る。
にすることができる光走査型変位センサを提供するにあ
る。
［課題を解決するための手段］
本発明は上述の目的を達成するために、被検知物体の表
面に光ビームを投光する投光手段と、上記光ビームを被
検知物体の表面で走査させる偏向手段と、被検知物体に
よる光ビームの反射光を集光する受光用光学系と、受光
用光学系の集光面に配設され、被検知物体までの距離に
応じて集光面内で移動する集光スポットの位置に対応し
た出力が得られる位置検出手段と、位置検出手段の出力
に基づいて被検知物体までの距離を演算する第１の演算
手段と、光ビームの走査位置を演算する第２の演算手段
とを備え、偏向手段による光ビームの走査に応じて第１
の演算手段から得られる距離データの差分を取り、差分
が同符号であれば加算し、その加算値の絶対値が最大の
ときに第２の演算手段から得られる走査位置を段差点と
判定する光走査型変位センサにおいて、上記位置検出手
段の受光量が一定値を越えないように投光手段にフィー
ドバックする光量フィードバック手段と、上記受光量が
光量フィードバック手段の能力を越えている値となると
判定出力を発生する光量判定手段とを設け、該光量判定
手段の判定出力を発生したときの被検知物体までの距離
データを異常としてデータ処理を行うものである。
面に光ビームを投光する投光手段と、上記光ビームを被
検知物体の表面で走査させる偏向手段と、被検知物体に
よる光ビームの反射光を集光する受光用光学系と、受光
用光学系の集光面に配設され、被検知物体までの距離に
応じて集光面内で移動する集光スポットの位置に対応し
た出力が得られる位置検出手段と、位置検出手段の出力
に基づいて被検知物体までの距離を演算する第１の演算
手段と、光ビームの走査位置を演算する第２の演算手段
とを備え、偏向手段による光ビームの走査に応じて第１
の演算手段から得られる距離データの差分を取り、差分
が同符号であれば加算し、その加算値の絶対値が最大の
ときに第２の演算手段から得られる走査位置を段差点と
判定する光走査型変位センサにおいて、上記位置検出手
段の受光量が一定値を越えないように投光手段にフィー
ドバックする光量フィードバック手段と、上記受光量が
光量フィードバック手段の能力を越えている値となると
判定出力を発生する光量判定手段とを設け、該光量判定
手段の判定出力を発生したときの被検知物体までの距離
データを異常としてデータ処理を行うものである。
［作用］
而して本発明によれば、位置検出手段の受光量が増大し
て光量フィードバック手段の能力を越えた場合には光量
判定手段がこれを検知判定して出力を発生させ、この出
力により出力発生時点の距離データが異常であることが
分かるため、異常に対応するデータ処理が行え、段差検
知の誤検知を防止でき、偽りの段差点の出力を無くせる
。
て光量フィードバック手段の能力を越えた場合には光量
判定手段がこれを検知判定して出力を発生させ、この出
力により出力発生時点の距離データが異常であることが
分かるため、異常に対応するデータ処理が行え、段差検
知の誤検知を防止でき、偽りの段差点の出力を無くせる
。
［実施例コ
以下本発明を実施例により説明する。
火」１例」。
第１図は実施例１の回路構成を、また第２図は機構上の
構成を示しており、この実施例回路では第９図回路の構
成に加えて演算手段５Ｚの加算回路４６Ｚの出力（Ｉ
３＋ Ｉ ４）つまり受光量が、位置検出手段４Ｚの光
量フィードバック手段５０の能力を越えている値となる
と判定出力を発生する光量判定手段６０を加えたもので
、段差検知は特開平１−２４５１０３号と同様に行うよ
うになっている。
構成を示しており、この実施例回路では第９図回路の構
成に加えて演算手段５Ｚの加算回路４６Ｚの出力（Ｉ
３＋ Ｉ ４）つまり受光量が、位置検出手段４Ｚの光
量フィードバック手段５０の能力を越えている値となる
と判定出力を発生する光量判定手段６０を加えたもので
、段差検知は特開平１−２４５１０３号と同様に行うよ
うになっている。
第４図回路において、投光手段１は投光タイミングを設
定するクロックパルスを発生する発振回路１０と、発振
回路１０からのクロックパルスに応じて変調信号を発生
する変調回路１１、変調回路１１からの変調信号に応じ
て半導体レーザ１３のような投光用発光素子を駆動する
レーザ駆動回路１２、及び凸レンズよりなる投光用光学
系１４から構成され、半導体レーザ１３から発せられる
光を投光用光学系１４にて細かく絞って光ビームとして
投光するようになっている。この光ビームは走査ミラー
７０とその駆動回路７１よりなる偏向手段７により、被
検知物体２の上でＸ軸方向に走査される。
定するクロックパルスを発生する発振回路１０と、発振
回路１０からのクロックパルスに応じて変調信号を発生
する変調回路１１、変調回路１１からの変調信号に応じ
て半導体レーザ１３のような投光用発光素子を駆動する
レーザ駆動回路１２、及び凸レンズよりなる投光用光学
系１４から構成され、半導体レーザ１３から発せられる
光を投光用光学系１４にて細かく絞って光ビームとして
投光するようになっている。この光ビームは走査ミラー
７０とその駆動回路７１よりなる偏向手段７により、被
検知物体２の上でＸ軸方向に走査される。
光ビームの一部はビームスプリッタ６により位置検出手
段４ｘに導かれ、Ｘ軸方向の走査位置が検知される。こ
の位置検出手段４Ｘはその受光面に光ビームが照射され
た位！に対応して相反する位置信号Ｉ、、Ｌを出力する
。この位置信号■１゜■、はＸ軸方向の演算手段５Ｘに
入力されて、走査位置信号Ｘに変換される。
段４ｘに導かれ、Ｘ軸方向の走査位置が検知される。こ
の位置検出手段４Ｘはその受光面に光ビームが照射され
た位！に対応して相反する位置信号Ｉ、、Ｌを出力する
。この位置信号■１゜■、はＸ軸方向の演算手段５Ｘに
入力されて、走査位置信号Ｘに変換される。
またビームスプリッタ６を通過した光ビームは、被検知
物体２に照射され、被検知物体２の表面で拡散反射され
た反射光は受光用光学系３にて集光される。その集光面
に配された位置検出手段４Ｚは集光スポットの位置に対
応した相反する位置信号Ｉコ、Ｉ４を出力し、演算手段
５Ｚにて演算処理することにより、Ｚ軸方向についての
測距信号（距離データ）Ｚを得ることができる。これら
測距信号２と走査位置信号Ｘとにより、被検知物体２の
表面における走査線上の２次元形状を検出することがで
きるものである。演算手段５Ｘは位置検出手段４Ｘから
構成される装置信号（相反する電流信号ＩＩ、Ｉ２）を
夫々増幅して電圧信号に変換するＩ／Ｖ変換回路４１ａ
、４１ｂと、Ｉ／Ｖ変換回路４１ａ、４１ｂの出力から
変調された高周波成分を取り出すバイパスフィルタ４２
ａ、４２ｂと、バイパスフィルタ４２ａ、４２ｂの出力
レベルを発振回路１０の出力に基づいてチエツクする（
クロックパルスに同期してレベルを判定）する検波回路
４３ａ、４３ｂと、検波回路４３ａ。
物体２に照射され、被検知物体２の表面で拡散反射され
た反射光は受光用光学系３にて集光される。その集光面
に配された位置検出手段４Ｚは集光スポットの位置に対
応した相反する位置信号Ｉコ、Ｉ４を出力し、演算手段
５Ｚにて演算処理することにより、Ｚ軸方向についての
測距信号（距離データ）Ｚを得ることができる。これら
測距信号２と走査位置信号Ｘとにより、被検知物体２の
表面における走査線上の２次元形状を検出することがで
きるものである。演算手段５Ｘは位置検出手段４Ｘから
構成される装置信号（相反する電流信号ＩＩ、Ｉ２）を
夫々増幅して電圧信号に変換するＩ／Ｖ変換回路４１ａ
、４１ｂと、Ｉ／Ｖ変換回路４１ａ、４１ｂの出力から
変調された高周波成分を取り出すバイパスフィルタ４２
ａ、４２ｂと、バイパスフィルタ４２ａ、４２ｂの出力
レベルを発振回路１０の出力に基づいてチエツクする（
クロックパルスに同期してレベルを判定）する検波回路
４３ａ、４３ｂと、検波回路４３ａ。
４３ｂの出力から低周波成分を取り出すローパスフィル
タ４４ａ、４４ｂと、ローパスフィルタ４４ａ、４４ｂ
の出力（位置信号Ｉｌ、Ｉ２のレベルに対応するので、
以下において、１．、Ｉ、と称する）の減算を行う減算
回路４５Ｘと、ローパスフィルタ４４ａ、４４ｂの出力
１．Ｉ、の加算を行う加算回路４６Ｘと、減算回路４５
Ｘから出力される第１の信号（ＩＩ Ｉ２）と、加算
回路４６Ｘから出力される第２の信号（Ｉ ｌ＋ ｒ
２）との比率を演算する割算回路４７Ｘと、演算回路４
７Ｘから得られるアナログ信号の出力をデジタル信号に
変換するＡ／Ｄ変換回路４８Ｘとから構成されており、
Ａ／Ｄ変換回路４８Ｘから走査位置信号（Ｉｔ １２
）／（Ｉｌ＋１２）が出力されるようになっている。
タ４４ａ、４４ｂと、ローパスフィルタ４４ａ、４４ｂ
の出力（位置信号Ｉｌ、Ｉ２のレベルに対応するので、
以下において、１．、Ｉ、と称する）の減算を行う減算
回路４５Ｘと、ローパスフィルタ４４ａ、４４ｂの出力
１．Ｉ、の加算を行う加算回路４６Ｘと、減算回路４５
Ｘから出力される第１の信号（ＩＩ Ｉ２）と、加算
回路４６Ｘから出力される第２の信号（Ｉ ｌ＋ ｒ
２）との比率を演算する割算回路４７Ｘと、演算回路４
７Ｘから得られるアナログ信号の出力をデジタル信号に
変換するＡ／Ｄ変換回路４８Ｘとから構成されており、
Ａ／Ｄ変換回路４８Ｘから走査位置信号（Ｉｔ １２
）／（Ｉｌ＋１２）が出力されるようになっている。
一方Ｚ軸方向についての位置検出手段４Ｚから出力され
る位置信号１．．１．に対する演算手段５Ｚは光量フィ
ードバック手段５０や光量判定手段６０を除いた他の部
分が演算手段５Ｘと全く同様の構成であり、Ａ／Ｄ変換
回路４８Ｚからは測距信号（！クー１４）／（Ｉ３＋Ｉ
４）が得られるようになっている。
る位置信号１．．１．に対する演算手段５Ｚは光量フィ
ードバック手段５０や光量判定手段６０を除いた他の部
分が演算手段５Ｘと全く同様の構成であり、Ａ／Ｄ変換
回路４８Ｚからは測距信号（！クー１４）／（Ｉ３＋Ｉ
４）が得られるようになっている。
尚これら第１の演算手段５Ｚ、第２の演算手段５ｘのデ
ータを用いて段差検知を行う手法は特開平１−２４５１
０３号と同様な方式で行うためその処理についての説明
は省略する。
ータを用いて段差検知を行う手法は特開平１−２４５１
０３号と同様な方式で行うためその処理についての説明
は省略する。
ここで第３図（ａ）に示すように光量判定手段６０の受
光量の判定レベルＬ２を光量フィードバック手段５０の
設定値し、よりも大きくし、加算回路４６Ｚの出力（Ｉ
３＋ Ｉ ４）の限界値し３よりも小さく設定する。
光量の判定レベルＬ２を光量フィードバック手段５０の
設定値し、よりも大きくし、加算回路４６Ｚの出力（Ｉ
３＋ Ｉ ４）の限界値し３よりも小さく設定する。
而して正反射などによって位置検知手段４Ｚの受光量が
光量フィードバック手段５０のフィードバックの能力を
越えて増加して、光量判定手段６０の判定レベルＬ２を
越えると、第３図（ｂ）に示すように光量判定手段６０
は判定出力を発生し、その時点の距離データ（測距信号
Ｚ）が異常であることを知らせる。
光量フィードバック手段５０のフィードバックの能力を
越えて増加して、光量判定手段６０の判定レベルＬ２を
越えると、第３図（ｂ）に示すように光量判定手段６０
は判定出力を発生し、その時点の距離データ（測距信号
Ｚ）が異常であることを知らせる。
ここでこの判定出力があると、段差検知を行う前に第４
図に示すように判定比カイの立ち上がり点Ａより前のデ
ータ番号がＩ＝Ａ−Δｎから立ち下がり点Ｂより後ろの
Ｉ＝Ｂ＋Δｎまでの距離データ（測距信号Ｚ）をＩ＝Ａ
−Δｎ−１の値に置き換えるデータ処理を行えば、第３
図（ｃ）で破線で示す不要な山形のデータが無くなり、
真の段差点Ｎ１．Ｎ２を求めることができる。ここでへ
〇余分にデータを置き換えるの光量フィードバック手段
５０の設定値し、を越え、光量判定レベルＬ２より小さ
い箇所も距離データが誤っているからである。尚第５図
に示すようにＩ＝Ａ−ΔｎからＩ＝Ｂ＋Δｎまでの範囲
口を段差検知のアルゴリズムより除去してデータ処理を
行うことでも同様な効果が得られる。
図に示すように判定比カイの立ち上がり点Ａより前のデ
ータ番号がＩ＝Ａ−Δｎから立ち下がり点Ｂより後ろの
Ｉ＝Ｂ＋Δｎまでの距離データ（測距信号Ｚ）をＩ＝Ａ
−Δｎ−１の値に置き換えるデータ処理を行えば、第３
図（ｃ）で破線で示す不要な山形のデータが無くなり、
真の段差点Ｎ１．Ｎ２を求めることができる。ここでへ
〇余分にデータを置き換えるの光量フィードバック手段
５０の設定値し、を越え、光量判定レベルＬ２より小さ
い箇所も距離データが誤っているからである。尚第５図
に示すようにＩ＝Ａ−ΔｎからＩ＝Ｂ＋Δｎまでの範囲
口を段差検知のアルゴリズムより除去してデータ処理を
行うことでも同様な効果が得られる。
ただし実施例では本当に求めたい段差点がこのデータ置
換の範囲にあるときには段差点は検知できないが、誤検
知よりも検知しないほうが良いのは言うまでもない。
換の範囲にあるときには段差点は検知できないが、誤検
知よりも検知しないほうが良いのは言うまでもない。
Ｋ１且１
本実施例は第６図に示すように減算回路４５Ｚ及び加算
回路４６Ｚと、割算回路４７Ｚとの間にサンプル・ホー
ルド回路７１．７２を設け、これらサンプル・ホールド
回路７１．７２のホールドするタイミング信号として光
量判定手段６０の判定出力を用いるようにしている。
回路４６Ｚと、割算回路４７Ｚとの間にサンプル・ホー
ルド回路７１．７２を設け、これらサンプル・ホールド
回路７１．７２のホールドするタイミング信号として光
量判定手段６０の判定出力を用いるようにしている。
尚光量フィードバック手段５０の設定値り、、光量判定
手段６０の判定レベルＬ２、加算回路４６Ｚの限界値し
１の関係は第７図（ａ）に示すように上記実施例と同様
に設定しである。
手段６０の判定レベルＬ２、加算回路４６Ｚの限界値し
１の関係は第７図（ａ）に示すように上記実施例と同様
に設定しである。
而して今光量判定手段６０より第７図（ｂ）に示すよう
に判定出力が発生すると、その判定出力によりＩ３ Ｉ
４の減算値信号と、Ｉ ｓ ＋ Ｉ ４の加算値信号を
サンプル・ホールド回路７１．７２は夫々ホールドする
。これにより、第７図（Ｃ）において破線で示す山形の
データが段差検知において無くなり、真の段差点Ｎ＋、
Ｎｚを求めることができる。このようにハードウェアで
あるサンプル・ホールド回路７１．７２によりデータ置
換を行うため実施例１のようにデータ処理を行うソフト
ウェアに負担がかからない。
に判定出力が発生すると、その判定出力によりＩ３ Ｉ
４の減算値信号と、Ｉ ｓ ＋ Ｉ ４の加算値信号を
サンプル・ホールド回路７１．７２は夫々ホールドする
。これにより、第７図（Ｃ）において破線で示す山形の
データが段差検知において無くなり、真の段差点Ｎ＋、
Ｎｚを求めることができる。このようにハードウェアで
あるサンプル・ホールド回路７１．７２によりデータ置
換を行うため実施例１のようにデータ処理を行うソフト
ウェアに負担がかからない。
ただし、本当に求めたい点がこのデータ置換範囲にある
ときには段差点を求めることができないのは上記実施例
と同様である。また第７図（ｃ）においてホールドする
始点と終点との付近に誤データが残るためできるだけ判
定レベルＬ２を光量フィードバック手段５０の設定値Ｌ
１に近付ける方が誤データが少なくなる、但し設定値し
、と判定レベルＬ２とが同じになると、良いデータまで
加工してしまうことになる。
ときには段差点を求めることができないのは上記実施例
と同様である。また第７図（ｃ）においてホールドする
始点と終点との付近に誤データが残るためできるだけ判
定レベルＬ２を光量フィードバック手段５０の設定値Ｌ
１に近付ける方が誤データが少なくなる、但し設定値し
、と判定レベルＬ２とが同じになると、良いデータまで
加工してしまうことになる。
尚第８図に示すように割算回路４７ＺとＡ／Ｄ変換回路
４８Ｚとの間にサンプル・ホールド回路７３を挿入して
も勿論よい。
４８Ｚとの間にサンプル・ホールド回路７３を挿入して
も勿論よい。
［発明の効果コ
本発明光走査型変位センサは、位置検出手段の受光量が
一定値を越えないように投光手段にフィードバックする
光量フィードバック手段と、上記受光量が光量フィード
バック手段の能力を越えている値となると判定出力を発
生する光量判定手段とを設け、該光量判定手段の判定出
力を発生したときの被検知物体までの距離データを異常
としてデータ処理を行うものであるから、位置検出手段
の受光量が増大して光量フィードバック手段の能力を越
えた場合には光量判定手段がこれを検知判定して出力を
発生させ、この出力により出力発生時点の距離データが
異常であることが分かるため、異常に対応するデータ処
理が行え、段差検知の誤検知を防止でき、誤った段差点
が出力されることを無くすという効果がある。
一定値を越えないように投光手段にフィードバックする
光量フィードバック手段と、上記受光量が光量フィード
バック手段の能力を越えている値となると判定出力を発
生する光量判定手段とを設け、該光量判定手段の判定出
力を発生したときの被検知物体までの距離データを異常
としてデータ処理を行うものであるから、位置検出手段
の受光量が増大して光量フィードバック手段の能力を越
えた場合には光量判定手段がこれを検知判定して出力を
発生させ、この出力により出力発生時点の距離データが
異常であることが分かるため、異常に対応するデータ処
理が行え、段差検知の誤検知を防止でき、誤った段差点
が出力されることを無くすという効果がある。
第１図は本発明の実施例１の回路構成図、第２図は同上
の機構の構成図、第３図〜第５図は同上の動作説明図、
第６図は本発明の実施例２の回路構成図、第７図は同上
の動作説明図、第８図は実施例２の変形した例の一部省
略した回路構成図、第９図は従来例の回路構成図、第１
０図〜第１１図は同上の動作説明図である。 １は投光手段、２は被検知物体、３は受光用光学系、４
Ｘ、４Ｚは位置検出手段、５Ｘ、５Ｚは演算手段、５０
は光量フィードバック手段、６０は光量判定手段である
。 代理人 弁理士 石 １）長 七 第２川 第３目 第４図 第７図 第８図 第１０図
の機構の構成図、第３図〜第５図は同上の動作説明図、
第６図は本発明の実施例２の回路構成図、第７図は同上
の動作説明図、第８図は実施例２の変形した例の一部省
略した回路構成図、第９図は従来例の回路構成図、第１
０図〜第１１図は同上の動作説明図である。 １は投光手段、２は被検知物体、３は受光用光学系、４
Ｘ、４Ｚは位置検出手段、５Ｘ、５Ｚは演算手段、５０
は光量フィードバック手段、６０は光量判定手段である
。 代理人 弁理士 石 １）長 七 第２川 第３目 第４図 第７図 第８図 第１０図
Claims (1)
- （１）、被検知物体の表面に光ビームを投光する投光手
段と、上記光ビームを被検知物体の表面で走査させる偏
向手段と、被検知物体による光ビームの反射光を集光す
る受光用光学系と、受光用光学系の集光面に配設され、
被検知物体までの距離に応じて集光面内で移動する集光
スポットの位置に対応した出力が得られる位置検出手段
と、位置検出手段の出力に基づいて被検知物体までの距
離を演算する第１の演算手段と、光ビームの走査位置を
演算する第２の演算手段とを備え、偏向手段による光ビ
ームの走査に応じて第１の演算手段から得られる距離デ
ータの差分を取り、差分が同符号であれば加算し、その
加算値の絶対値が最大のときに第２の演算手段から得ら
れる走査位置を段差点と判定する光走査型変位センサに
おいて、上記位置検出手段の受光量が一定値を越えない
ように投光手段にフィードバックする光量フィードバッ
ク手段と、上記受光量が光量フィードバック手段の能力
を越えている値となると判定出力を発生する光量判定手
段とを設け、該光量判定手段の判定出力が発生したとき
の被検知物体までの距離データを異常としてデータ処理
を行うことを特徴とする光走査型変位センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28954990A JP2886663B2 (ja) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | 光走査型変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28954990A JP2886663B2 (ja) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | 光走査型変位センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04161804A true JPH04161804A (ja) | 1992-06-05 |
| JP2886663B2 JP2886663B2 (ja) | 1999-04-26 |
Family
ID=17744685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28954990A Expired - Fee Related JP2886663B2 (ja) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | 光走査型変位センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2886663B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007322177A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Pulstec Industrial Co Ltd | レーザ光照射測定装置 |
-
1990
- 1990-10-26 JP JP28954990A patent/JP2886663B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007322177A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Pulstec Industrial Co Ltd | レーザ光照射測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2886663B2 (ja) | 1999-04-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |