JPH04162722A - 洗浄装置 - Google Patents

洗浄装置

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Publication number
JPH04162722A
JPH04162722A JP28901890A JP28901890A JPH04162722A JP H04162722 A JPH04162722 A JP H04162722A JP 28901890 A JP28901890 A JP 28901890A JP 28901890 A JP28901890 A JP 28901890A JP H04162722 A JPH04162722 A JP H04162722A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tank
particles
cleanser
pump
filter
Prior art date
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Pending
Application number
JP28901890A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuichi Takeshita
雄一 竹下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Kyushu Ltd
Original Assignee
NEC Kyushu Ltd
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Publication date
Application filed by NEC Kyushu Ltd filed Critical NEC Kyushu Ltd
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  • Coating Apparatus (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は洗浄装置に関し、特に半導体装置の製造工程に
於いて用いられる洗浄装置に関する。
〔従来の技術〕
従来の半導体基板の洗浄に用いられる洗浄装！は、第２
図に示すように、フィルタ５を介してポンプ３により水
洗槽１０を構成する外槽２内の洗浄液を循環させ、内槽
１内で発泡、振動させて内槽１内に浸漬させた半導体基
板表面に付着したごみや異物を除去するように構成され
ていた。
〔発明が解決しようとす乞課題〕
しかしながら、この従来の洗浄装置では、洗浄液内に存
在する金属荷電粒子が半導体基板表面に吸着、侵入して
残り、半導体基板に形成される素子特性に悪影響を与え
るという問題点があった。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の洗浄装置は、外槽と内槽からなる水洗槽と、前
記外槽の洗浄液をフィルタを介して前記内槽に循環させ
るポンプとを有する洗浄装置において、前記洗浄液の循
環経路に金属荷電粒子を捕獲するためのトラップを設け
たものである。
〔実施例〕
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の断面図である。
第１図において水洗層１０は、内槽１と外槽２とから構
成され、外槽２内の洗浄液はポンプ３により金属荷電粒
子トラップ４とフィルタ５を介して内槽１の底部に送ら
れるように構成されているＪ このように構成された実施例によれば、洗浄液の入った
内槽１よりオーバーフローした洗浄液は、外槽２よりポ
ンプ３により循環し、キレート樹脂を内部にもつ金属荷
電粒子トラップ４にて、洗浄液内の金属荷電粒子のみが
選択的に除去され、更にフィルタ５にてごみや異物か除
去されて内槽の底部へ還流される。従って従来の洗浄装
置の場合に比べ、金属荷電粒子を極めて少くすることが
できる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、洗浄液の循環経路の中途
に、キレート樹脂系の金属荷電粒子トラップを取り付け
ることにより、金属荷電粒子のみを選択的に除去できる
ので、半導体基板表面に金属荷電粒子が付着し半導体装
置の電気的特性に悪影響が及ぶのを防ぐことができると
いう効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は従来例の
断面図である。 １・・・内槽、２・・・外槽、３・・・ポンプ、４・・
・金属荷電粒子トラップ、５・・・フィルタ、１０・・
・水洗槽。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　外槽と内槽からなる水洗槽と、前記外槽の洗浄液をフ
    ィルタを介して前記内槽に循環させるポンプとを有する
    洗浄装置において、前記洗浄液の循環経路に金属荷電粒
    子を捕獲するためのトラップを設けたことを特徴とする
    洗浄装置。
JP28901890A 1990-10-26 1990-10-26 洗浄装置 Pending JPH04162722A (ja)

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JP28901890A JPH04162722A (ja) 1990-10-26 1990-10-26 洗浄装置

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JPH04162722A true JPH04162722A (ja) 1992-06-08

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JP (1) JPH04162722A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06254255A (ja) * 1993-03-08 1994-09-13 Zetsutaa Kogyo Kk 水洗式吸殻回収装置
JP2008199669A (ja) * 1997-03-21 2008-08-28 Canal Plus テレビ番組およびその他のデータの伝送および受信

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