JPH0416779B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は透過形液晶表示装置により試料上にパ
ターンを転写刻印するパターン形成装置及びその
方法に関する。

〔従来の技術〕

プリント基板、高密度モジユール用配線パター
ン、フオトマスク等の各種パターンの形成の従来
例を第１図に示す。図に於いて、レーザ発振器１
から発生したレーザ光２は凹レンズ３によつて拡
大され、コリメートレンズ４によつて平行光にさ
れて原画５に照射される。原画５を通過したレー
ザ光は投影レンズ６を経て試料７の表面に集光照
射される。この際、投影レンズ６は原画５の像を
試料７の表面に縮小投影されるように配置されて
おり、試料面には、原画５の縮少像が瞬時にして
焼付けられる。

〔発明が解決しようとする課題〕

以上の従来例では、試料面に加工したいと思う
像の拡大像を一旦原画に作り、これを光路中にセ
ツトしてやる必要があり、像が変ると、そのたび
に原画を交換してやらなければならない。

本発明の目的は、光路中の原画を交換すること
なく、即時新しい原画に入れかえてこの原画をタ
イミングよく透過レーザ光として試料面上に投影
照射して転写刻印できるようにしたパターン形成
装置及びその方法を提供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の要旨は、外部からの制御信号により原
画（表示パターン）を駆動表示する透過形液晶表
示装置と、制御信号により上記透過形液晶表示装
置にレーザ光を照射するレーザ発振器と、上記透
過形液晶表示装置に表示された原画を試料上に投
影して刻印する投影レンズと、上記透過形液晶表
示装置とレーザ発振器とに入力する制御信号のタ
イミングを制御する信号制御手段とを備えたこと
を特徴とするものである。

〔作用〕

上記構成により所望の原画に対応するパターン
を試料上に鮮明で正確に転写刻印することができ
る。また、透過形液晶表示装置を損傷させること
なく、鮮明で正確なパターンを試料上に転写刻印
することもできる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいてを詳述
する。即ち第２図は本発明の実施例を示す図であ
る。図に於いて新しく設けたものは、透過形液晶
表示装置１０、信号制御部１１、撮像管１２、撮
像レンズ１４、原画１３である。透過形液晶表示
装置１０は、信号制御部１１によつて制御を受け
る。この際の制御は、透過形液晶表示装置に対し
てどの画像パターンを表示させるかということ、
及びその表示時期の設定である。信号制御部１１
によつて制御をうけた表示装置１０に対してコリ
メータレンズ４を介して送出されてきた平行レー
ザ光から入射する。この表示装置１０に入射した
レーザ光は上記画像パターンに対応する位置を介
して該表示装置１０の投影レンズ６側に出力す
る。この出力したレーザ光は投影レンズ６を介し
て試料７に照射し、試料面上に画像パターンを形
成する。

透過形液晶表示装置１０は、従来からよく知ら
れているように、レーザ光の入射面に対して、偏
向板−ガラス−透明電極−液晶本体部−透明電極
−ガラスとを一体化させて形成させた構造となつ
ている。上記２つの透明電極は相互にマトリツク
スになるように配置されている。このマトリツク
ス構成の電極によつて表示位置の設定が行われ
る。マトリツクス電極の選択制御が信号制御部１
１によつてなされる。

信号制御部１１への表示画像パターンは撮像管
１２で撮像された原画１３である。信号制御部１
１は、撮像管１２から得られる映像信号を一時的
にメモリに記憶させ、表示モード時に該メモリか
ら読出し表示装置１０に表示させている。信号制
御部１１の具体的構成図を第３図に示す。先ず、
撮像管１２からの映像信号を信号変換部１１０に
入力し、メモリ１１２に記憶可能なデータ、例え
ば２値信号に変換する。この変換された映像信号
を書込み読出し回路１１１を介してメモリ１１２
に送り、アドレスに従つてメモリ１１２に記憶さ
せる。メモリ１１２は、１つの表示パターン分の
容量を持つものであつても、複数の表示パターン
分の容量を持つものであつてもよい。表示に際し
ては、書込み読出し回路１１１を読出しモードと
してメモリ１１２を駆動し信号変換部１１３に必
要なデータを読出す。この信号変換部１１３は、
メモリ１１２から読出された２値信号を液晶表示
装置１０を駆動するに必要な信号、即ちＸ，Ｙ信
号に変換する。このＸ，Ｙ信号を表示装置１０に
送り、必要な表示を行う。信号変換部１１０，１
１３、読出し書込み回路１１１は制御回路１１４
の制御をうける。この制御回路１１４での制御
は、第１にモード指定、第２にそのタイミング指
定である。制御回路１１４は、更に、レーザ発振
器１の制御も行つている。第３図では、第２図に
示すモータ用テレビ１５への制御はついては省略
している。

次に具体的数値事例に基づく説明を行う。レー
ザ光のパワー密度は液晶を損傷しない程度に選
ぶ。例えば、10₄Ｗ／cm²以下になるようにビーム
径を約300mmとし、レーザ出力は7MWを用いた。
透過形液晶表示装置１０を通過したレーザ光は約
１／１００に縮少投影するための投影レンズ６に入り、
液晶表示された平面像を試料７の表面に1/100の
寸法で焼付けた。この時の試料面上の最大パワー
密度は約10₈Ｗ／cm²に達した。試料７は、ガラス
基板上に約100Åの金属膜を蒸着したものを使用
し、レーザ光が照射すると、金属膜が除去され、
液晶パターンが1/100の寸法でそのまま瞬時に転
写刻印できた。

以上の実施例に於いて、表示パターンの種類を
光路以外で設定できるため極めて汎用性の高いパ
ターン形成が可能になつた。更に、パターンの拡
大、縮少もメモリのデータそのものを拡大、縮少
可能なため、汎用性が高まつた。

次に、他の実施例を説明する。上記実施例で
は、信号制御部１１への入力情報を撮像管１２か
ら与えたが、この他に第４図、第５図の如きやり
方もある。第４図は、ビデオ信号記録部１６を設
け、該ビデオ信号記録部１６からの情報を原画情
報として与えてなるものである。第５図は、ビデ
オ信号を無線方式によつて伝達してなるものであ
つて、ビデオ信号送信器１８から無線によりビデ
オ信号をビデオ信号受信器１７に送り、更に信号
制御部１１に原画情報として入力せしめている。
但し、この２つの実施例ではメモリ１１２は必ず
しも必要としない。前者の実施例によれば、パタ
ーン情報をビデオ記録部にストツクしておくこと
により、必要なパターンを必要な時に形成するこ
とができる利点を持つ。後者の実施例によれば、
パターン形成を行う部所とそのパターン供給部所
とが離れている場合の遠隔操作に好適である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、電気信号
として原画を扱うことができ、原画の入れ換えを
容易にし、しかも透過形液晶表示装置の表示とレ
ーザ発振器のレーザ光発振とのタイミングが制御
できるので、鮮明で正確なパターンを試料上に転
写刻印することができる効果を奏する。

また、本発明によれば、透過形液晶表示装置を
損傷させることなく、鮮明で正確なパターンを試
料上に転写刻印することができる効果も奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を示す図、第２図は本発明の実
施例を示す図、第３図、第４図及び第５図は本発
明の他の実施例を示す図である。 １……レーザ発振器、７……試料、１０……透
過形液晶表示装置、１１……信号制御部、１２…
…撮像管。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 外部からの制御信号により原画を駆動表示す
   る透過形液晶表示装置と、制御信号により上記透
   過形液晶表示装置にレーザ光を照射するレーザ発
   振器と、上記透過形液晶表示装置に表示された原
   画を試料上に投影して刻印する投影レンズと、上
   記透過形液晶表示装置とレーザ発振器とに入力す
   る制御信号のタイミングを制御する信号制御手段
   とを備えたことを特徴とするパターン形成装置。 ２ 原画情報を記憶する記憶部と、制御信号によ
   り上記記憶部に記録された原画情報を読出して原
   画を駆動表示する透過形液晶表示装置と、制御信
   号により上記透過形液晶表示装置にレーザ光を照
   射するレーザ発振器と、上記透過形液晶表示装置
   に表示された原画を試料上に投影して刻印する投
   影レンズと、上記透過形液晶表示装置とレーザ発
   振器とに入力する制御信号のタイミングを制御す
   る信号制御手段とを備えたことを特徴とするパタ
   ーン形成装置。 ３ 上記記憶部には、原画情報信号を受信する受
   信手段を有することを特徴とする特許請求の範囲
   第２項記載のパターン形成装置。 ４ 透過形液晶表示装置に表示すべき原画を制御
   信号により外部から与え、該制御信号にタイミン
   グをとつた制御信号によりレーザ発振器からのレ
   ーザ光を、パワー密度が10₄Ｗ／cm²以下になるよ
   うに、上記透過形液晶表示装置に照射し、該透過
   形液晶表示装置に表示された原画を投影レンズに
   より試料上に投影して刻印することを特徴とする
   パターン形成方法。