JPH02307A - パターン形成装置及びその方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は透過形液晶表示装置により試料上にパターンを
転写刻印するパターン形成装置及びその方法に関する。

〔従来の技術〕

プリント基板、高密度モジュール用配線バターン、フォ
トマスク等の各種パターンの形成の従来例を第１図に示
す１図に於いて、レーザ発振器１から発生したレーザ光
又は凹レンズ３によって拡大され、コリメートレンズ４
によって平行光にされて原画５に照射される。原画５を
通過したレーザ光は投影レンズ６を経て試料７の表面に
集光照射される。この際、投影レンズ６は原画５の像を
試料７の表面に縮小投影されるように配置されており、
試料面には、原画５の縮少像が瞬時にして焼付けられる
。

〔発明が解決しようとする課題〕

以上の従来例では、試料面に加工したいと思う像の拡大
像を一旦原画に作り、これを光路中にセットしてやる必
要があり、像が変ると、そのたびに原画を交換してやら
なければならない。

本発明の目的は、光路中の原画を交換することなく、即
時新しい原画に入れかえてこの原画をタイミングよく透
過レーザ光として試料面上に投影照射して転写刻印でき
るようにしたパターン形成装置及びその方法を提供する
ものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の要旨は、外部からの制御信号により原画（表示
パターン）を駆動表示する透過形液晶表示装置と、制御
信号により上記透過形液晶表示装置にレーザ光を照射す
るレーザ発振器と、上記透過形液晶表示装置に表示され
た原画を試料上に投影して刻印する投影レンズと、上記
透過形液晶表示装置とレーザ発振器とに入力する制御信
号のタイミングを制御する信号制御手段とを備えたこと
を特徴とするものである。

〔作用〕

上記構成により所望の原画に対応するパターンを試料上
に鮮明で正確に転写刻印することができる。また、透過
形液晶表示装置を損傷させることなく、鮮明で正確なパ
ターンを試料上に転写刻印することもできる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいてを詳述する。即
ち第２図は本発明の実施例を示す図である０図に於いて
新しく設けたものは、透過形液晶表示装置１０、信号制
御部１１．撮像管１２．撮像レンズ１４、原画１３であ
る。透過形液晶表示装置１０は、信号制御部１１によっ
て制御を受ける。この際の制御は、透過形液晶表示装置
に対してどの画像パターンを表示させるかということ、
及びその表示時期の設定である。信号制御部１１によっ
て制御をうけた表示装置１０に対してコリメータレンズ
４を介して送出されてきた平行レーザ光から入射する。

この表示装置ｌＯに入射したレーザ光は上記画像パター
ンに対応する位置を介して該表示装置１０の投影レンズ
６側に出力する。この出力したレーザ光は投影レンズ６
を介して試料７に照射し、試料面上に画像パターンを形
成する。

透過形液晶表示装置１０は、従来からよく知られている
ように、レーザ光の入射面に対して、偏向板−ガラス−
透明電極−液晶本体部一透明電極一ガラスとを一体化さ
せて形成させた構造となっている。上記２つの透明電極
は相互にマトリックスになるように配置されている。こ
のマトリックス構成の電極によって表示位置の設定が行
おれる。

マトリックス電極の選択制御が信号制御部１１によって
なされる。

信号制御部１１への表示画像パターンは撮像管１２で撮
像された原画１３である。信号制御部１１は、撮像管１
２から得られる映像信号を一時的にメモリに記憶させ、
表示モード時に該メモリから読出し表示装置ｌＯに表示
きせている。信号制御１１の具体的構成図を第２図に示
す、先ず、撮像管１２からの映像信号を信号変換部１１
Ｇに入力し、メモリ１１２に記憶可能なデータ、例えば
２値信号に変換する。

この変換された映像信号を書込み読出し回路ｉｌｌを介
してメモリ１１２に送り、アドレスに従ってメモリ１１
２に記憶させる。メモリ１１２は、１つの表示パターン
分の容量を持つものであっても、複数の表示パターン分
の容量を持つものであってもよい０表示に際しては、書
込み読出し回路１１１を読出しモードとしてメモリ口２
を駆動し信号変換部１１３に必要なデータを読出す、こ
の信号変換部１１３は、メモリ１１２から読出された２
値信号を液晶表示装置１０を駆動するに必要な信号、即
ちＸ、　Ｙ信号に変換する。このＸ、Ｙ信号を表示装置
１０に送り、必要な表示を行う。信号変換部１１０　、
１１３、読出し書込み回路１１１は制御回路１１４の制
御をうける。この制御回路１１４での制御は、第１にモ
ード指定、第２にそのタイミング指定である。制御回路
１１４は、更に、レーザ発振器１の制御も行っている。

モータ用テレビ１５はついては省略している。

次に具体的数値事例に基づく説明を行う、レーザ光のパ
ワー密度は液晶を損傷しない程度に選ぶ。

例えば、１０’Ｗ／ａＪ以下になるようにビーム径を約
３００　ｍとし、レーザ出力は７ＭＷを用いた。透過形
液晶表示装置５を通過したレーザ光は約１／１００に縮
少投影するための投影レンズ１０に入り、液晶表示され
た平面像を試料７の表面に１７１００の寸法で焼付けた
。この時の試料面上の最大パワー密度は約１０”Ｗ／ａ
Ｊに達した。試料７は、ガラス基板上に約１００人の金
属膜を蒸着したものを使用し、レーザ光が照射すると、
金属膜が除去され、液晶パターンが１／ｌｏｏの寸法で
そのまま瞬時に転写刻印できた。

以上の実施例に於いて、表示パターンの種類を光路以外
で設定できるため極めて汎用性の高いパターン形成が可
能になった。更に、パターンの拡大、縮少もメモリのデ
ータそのものを拡大、縮少可能なため、汎用性が高まっ
た。

次に、他の実施例を説明する。上記実施例では、信号制
御部１１への入力情報を撮像管１７から与えたが、この
他に第４図、第５図の如きやり方もある。

第４図は、ビデオ信号記録部１６を設け、該ビデオ信号
記録部１６からの情報を原画情報として与えてなるもの
である。第５図は、ビデオ信号を無線方式によって伝達
してなるものであって、ビデオ信号送信器１８から無線
によりビデオ信号をビデオ信号受信器１７に送り、更に
信号制御部１■に原画情報として入力せしめている。但
し、この２つの実施例ではメモリ１１２は必ずしも必要
としない。前者の実施例によれば、パターン情報をビデ
オ記録部にストックしておくことにより、必要なパター
ンを必要な時に形成することができる利点を持つ。

後者の実施例によれば、パターン形成を行う部所とその
パターン供給部所とが離れている場合の遠隔操作に好適
である。

〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、電気信号として原
画を扱うことができ、原画の入れ換えを容易にし、しか
も透過形液晶表示装置の表示とレーザ発振器のレーザ光
発振とのタイミングが制御できるので、鮮明で正確なパ
ターンを試料上に転写刻印することができる効果を奏す
る。

また、本発明によれば、透過形液晶表示装置を損傷させ
ることなく、鮮明で正確なパターンを試料上に転写刻印
することができる効果も奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を示す図、第２図は本発明の実施例を示
す図、第３図、第４図及び第５図は本発明の他の実施例
を示す図である。 １・・・レーザ発振器、７・・・試料、１０・・・透過
形液晶表示装置、１１・・・信号制御部、１２・・・撮
像管。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、外部からの制御信号により原画を駆動表示する透過
   形液晶表示装置と、制御信号により上記透過形液晶表示
   装置にレーザ光を照射するレーザ発振器と、上記透過形
   液晶表示装置に表示された原画を試料上に投影して刻印
   する投影レンズと、上記透過形液晶表示装置とレーザ発
   振器とに入力する制御信号のタイミングを制御する信号
   制御手段とを備えたことを特徴とするパターン形成装置
   。 ２、原画情報を記憶する入力部と、制御信号により上記
   入力部に記憶された原画情報を読出して原画を駆動表示
   する透過形液晶表示装置と、制御信号により上記透過形
   液晶表示装置にレーザ光を照射するレーザ発振器と、上
   記透過形液晶表示装置に表示された原画を試料上に投影
   して刻印する投影レンズと、上記透過形液晶表示装置と
   レーザ発振器とに入力する制御信号のタイミングを制御
   する信号制御手段とを備えたことを特徴とするパターン
   形成装置。 ３、上記入力部には、原画情報信号を受信する受信手段
   を有することを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の
   パターン形成装置。 ４、透過形液晶表示装置に表示すべき原画を制御信号に
   より外部から与え、該制御信号にタイミングをとった制
   御信号によりレーザ発振器からのレーザ光を、パワー密
   度が１０＾４Ｗ／ｃｍ＾２以下になるように、上記透過
   形液晶表示装置に照射し、該透過形液晶表示装置に表示
   された原画を投影レンズにより試料上に投影して刻印す
   ることを特徴とするパターン形成方法。