JPH04170090A - バイアホール電極の印刷方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔′ｔＩＬ業上の利用分野〕 本発明は、例えば、セラミック多層基板内に設けられて
いるバイアホールに電極材料を印刷するための方法及び
装置に関する。

（従来の技術〕 第２図は、セラミックグリーンシートのバイアホールに
電極を印刷するための従来の方法を説明するための断面
図である。

第２図を参照して、印刷装置１は、複数個の貫通孔２ａ
が形成されたステージ２と、ステージ２の下面に固定さ
れたチャンバ一部材３とを有する。

チャンバ一部材３の下方には、開口３ａが形成されてお
り、該開口３ａは、図示しない吸引手段に接続されてい
る。

他方、ステージ２の上方には、印刷手段として、印刷パ
ターンが形成されたマスク５と、電極ペースト６をセラ
ミックグリーンシート４に印刷するためのスキージ７と
が配置されている。

印刷に際しては、まず、第３図に示すように、ステージ
２の貫通孔２ａ上にセラミックグリーンシート４のバイ
アホール４ａが位置するように、セラミックグリーンシ
ート４をステージ２の上面に載置する。他方、マスク５
の上面には、電極ペースト６を塗布しておく。

この状態から、スキージ７でマスク５を下方に押圧しつ
つ、第２図に示すようにスキージ７を側方に移動させ、
それによって電極ペースト６をセラミックグリーンシー
ト４の上面の所定の印刷部分並びにバイアホール４ａ内
へ印刷する。この印刷終了時の状態を第４図に示す。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のバイアホール電極印刷方法では、以下の
ような種々の問題があった。

■印刷直前に、マスク５の裏面が電極ペーストにより汚
れるという問題があった。すなわち、第３図に示した印
刷直前の状態では、マスク５がセラミックグリーンシー
ト４の直上に配置されている。他方、セラミックグリー
ンシート４のバイアホール４ａは、図示しない吸引手段
により吸引されているため、この吸引作用により、電極
ペースト６がマスク５の裏面に流れ込み、マスク５の裏
面が汚れるという問題があった。

■第４図の要部を拡大して第５図に示すように、バイア
ホール４ａに印刷された電極ペースト６がセラミックグ
リーンシート４とステージ２の上面との間の隙間に侵入
し、ステージ２が汚れるという問題があった。

従って、従来法では、−枚のセラミックグリーンシート
４の印刷が終了する度に、ステージ２及びマスク５を清
掃しなければならず、煩雑な作業を強いられていた。

■第６図にセラミックグリーンシート４の裏面側を示す
ように、従来法では、電極ペースト６がセラミックグリ
ーンシート４の裏面側においてバイアホール４ａの周囲
に規則的に付着し難いという問題があった。

すなわち、バイアホール４ａ内が、上述した吸引手段に
より吸引されているため、上方から印刷された電極ペー
スト６は、該吸引力によりバイアホール４ａの下端まで
移動するが、セラミックグリーンシート４の裏面側にお
いては、該吸引力によって、不規則な形状に電極ペース
トが付着しがちであった。その結果、最終的に得られた
セラミック多層基板において、導通不良のバイアホール
が生じがちであった。

さらに、従来法では、印刷を繰り返すと、第２図に示す
ように、チャンバ一部材３の内面や配管（図示しない吸
引手段との接続部分）が電極ペースト６により汚染され
るという問題もあった。従って、ある程度の枚数のセラ
ミックグリーンシート４を印刷する度に、チャンバ一部
材３の内面や真空系の配管内を清掃しなければならなか
った。

なお、第２図〜第４図に示した印刷装置の他、第７図に
示すように、吸引孔の設けられていないステージ９の上
面にセラミックグリーンシート４を配置してスキージ７
により印刷する方法も行われていた。

しかしながら、第７図のステージ９を用いた場合におい
ても、上記と同様に、印刷直後に電極ペーストがセラミ
ックグリーンシート４とステージ９の上面との門に入り
込み、ステージ９の上面が汚れたり、セラミックグリー
ンシート４の裏面側におけるバイアホール４８周囲への
電極ペーストの付着形状が不規則な形状となり、導通不
良が発生し易いという問題がありた。

よって、本発明の目的は、バイアホール電極の印刷を正
確に行うことができ、マスクやステージ等の電極ペース
トによる汚れが生じ難いバイアホール電極の印刷方法及
びそのための装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のバイアホール電極の印刷方法は、バイアホール
が形成されたセラミックグリーンシートを用意する工程
と、バイアホールが上方に配置される位置に設けられて
おりかつバイアホールよりも大きな径の下端が閉成され
た穴と、セラミックグリーンシートを吸引するための吸
引孔とを有するステージ上に、前記セラミックグリーン
シートを載置する工程と、前記吸引孔から吸引してセラ
ミックグリーンシートをステージの上面に固定する工程
と、セラミックグリーンシートのバイアホールに電極ペ
ーストを上方から印刷する工程とを備える。

また、本発明のバイアホール電極の印刷装置は、セラミ
ックグリーンシートに形成されたバイアホールに電極ペ
ーストを印刷するための装置であり、バイアホールが上
方に配置される位置にノくイアホールよりも大きな径の
穴が形成されており、かつセラミックグリーンシートを
固定するだめの少なくとも２個の吸引孔が設けられたス
テージと、前記吸引孔に接続された吸引手段と、前記バ
イアホールが上方に配置される位置に設けられたステー
ジの穴を閉成するように、ステージの下面に設けられた
閉成部材と、前記ステージの上方に配置されており、セ
ラミックグリーンシートの上面及びバイアホールに電極
ペーストを印刷するための印刷手段とを備えることを特
徴とする。

〔作用〕

本発明のバイアホール電極印刷方法では、セラミックグ
リーンシートは、ステージに設けられた吸引孔から吸引
することにより、ステージ上に固定されている。他方、
バイアホールの下方には、バイアホールよりも大きな径
の穴が配置されており、かつこの穴は下端が閉成されて
いる。従って、吸引手段によりステージ上にセラミック
グリーンシートを吸引固定したとしても、該吸引手段に
よる吸引力は、バイアホール内には及ばない。

従やて、吸引手段の吸引力によって、電極ペーストが印
刷マスクの裏面側に引っ張られるおそれがないため、印
刷マスクの汚染を防止することができる。

また、バイアホールが上方に位置される部分に設けられ
たステージの穴は、バイアホールよりも大きな径を有す
るように形成されているため、セラミックグリーンシー
トの裏面側において、電極ペーストがセラミックグリー
ンシートとステージの上面との間の隙間に入り込み難く
、かつ上記のように吸引手段によって電極ペーストが引
り張られないため、電極ペーストはセラミックグリーン
シートの裏面側においてバイアホールの周囲に正確な形
状で付着される。よって、バイアホール電極の導通の信
頼性も高められる。また、電極ペーストによるステージ
上面の汚れも防止することができる。

すなわち、本発明のバイアホール電極の印刷方法及び装
置は、従来法においてはバイアホール内にも吸引力を作
用させたことによって上記のような種々の問題が生じた
ことに鑑み、セラミックグリーンシートを固定するだめ
の吸引孔については吸引手段により吸引力が働くように
配置するが、バイアホール内については吸引力が働かな
いように構成することにより、上記諸問題を解決したこ
とに特徴を有する。

〔実施例の説明〕

第１図を参照して、本発明の一実施例のバイアホール電
極印刷装置及び方法を説明する。

バイアホール電極−印刷装置１１は、セラミックグリー
ンシート４が上面に載置されるステージ１２を有する。

ステージ１２には、セラミックグリーンシート４の複数
のバイアホール４ａが上方に配置される位置に、バイア
ホール４ａよりも大きな径の複数個の穴１２ａが形成さ
れている。複数個の穴１２ａの下端は、後述するチャン
バ一部材１３に一体に設けられた天板部１３ａの上面に
より閉成されている。

また、ステージ１２には、複数個の吸引孔１２ｂが形成
されている。複数個の吸引孔１２ｂは、セラミックグリ
ーンシート４をステージ１２の上面に固定するために設
けられているものである。

ステージ１２の下面には、チャンバ一部材１３が配置さ
れている。チャンバ一部材１３は、内部に真空チャンバ
ー１３ｂを構成するために設けられているものであり、
閉成部材としての天板部１８ａを上方に有し、かつ下方
に設けられた開口部１３ｃが図示しない真空吸引手段に
接続されている構造を有する。従って、ステージ１２上
に載置されたセラミックグリーンシート４は、吸引手段
を駆動することにより、吸引力によりステージ１２上に
確実に固定される。この場合、バイアホール４ａの下方
の穴１２ａの下端は天板部１３ａにより閉成されている
ため、バイアホール４ａ内には吸引手段による吸引力は
作用しない。

本実施例の印刷装置１１では、上記のように構成された
ステージ１２の上方に、第２図に示した従来例の場合と
同様に、印刷手段として、印刷マスク５及びスキージ７
が配置されている。もっとも、図示の形状の印刷手段に
限定されず、他の形状及び構造の公知の印刷手段を代わ
りに用いてもよい。

次に、第１図に示したバイアホール電極印刷装置１１を
用いた印刷方法を説明する。

まず、複数個のバイアホール４ａが形成されたセラミッ
クグリーンシート４を用意し、上記ステージ１２上に載
置する。そして、吸引手段を動作させて、セラミックグ
リーンシート４をステージ１２上に確実に固定しておく
。

その状態で、スキージ７によりマスク５をセラミックグ
リーンシート４の上面に押圧させつつ、スキージ７を側
方に移動することにより電極ペースト６をセラミックグ
リーンシート４の上面の印刷部分及びバイアホール４ａ
内に印刷する。この場合、バイアホール４ａ内には吸引
手段による吸引作用が働いていないため、マスク５がセ
ラミックグリーンシート４に近付けられたとしても、電
極ペースト６が吸引力によりてマスク５の裏面側に回り
込むおそれはない。すなわち、マスク５の裏面側におけ
る電極ペーストの汚染を確実に防止することができる。

また、第８図に示したように、バイアホール４ａの径よ
りも、穴１２ａの径がかなり大きくされているため、並
びに電極ペースト６が吸引されないため、電極ペースト
６は、ステージ１２の上面とセラミックグリーンシート
４の裏面との間の間隙まで至り難い。従って、ステージ
１２の上面が部分な電極ペーストにより汚れるといった
問題も生じ難い。

さらに穴１２ａの径がバイアホール４ａよりも十分大き
くされており、かつ穴１２ａ内に吸引力が作用しないた
め、電極ペースト６は、バイアホール４ａ内だけでなく
、セラミックグリーンシート４の裏面側においても、バ
イアホール４ａの周囲に所望どおりの形状に付着される
。この状態を、第９図（ａ）及び（ｂ）並びに第１θ図
を参照して説明する。

第９図（ａ）、（ｂ）は、バイアホールが設けられてい
る部分への電極ペーストの付着状態を表面側から及び裏
面側からみた状態を示し、第１０図は第９図（ａ）のＡ
−Ａ線に沿う断面図である。

これらの図から明らかなように、本実施例のバイアホー
ル電極の印刷方法では、裏面側においても、平面形状が
円形のバイアホール４ａに対応して、電極ペースト６が
きれいな円形に印刷されていることがわかる。　　　　
　　゛ 従って、本実施例により印刷されたバイアホール電極で
は、バイアホール電極部分における導通不良の生じ難い
ことがわかる。

なお、第９図（ａ）、（ｂ）及び第１０図に示したバイ
アホール電極は、下記の条件で印刷したものである。

セラミックグリーンシート４の厚みが１３５μｍ、バイ
アホール４ａの径が０．３ｍｍ、ステージの穴１２ａの
径が１．０ｍｍ並びに電極ペースト６の粘度が２０００
０〜３００００ｃｐｓ。もっとも、これらの条件は、あ
くまでもバイアホール径とステージ１２０穴１２ａの径
との関係とを具体的に示すために挙げたものに過ぎない
。すなわち、本発明のバイアホール電極の印刷方法は、
上記のような具体的な条件の場合にのみ適用されるもの
ではなく、種々の厚みのセラミックグリーンシート、種
々の径のバイアホール等にバイアホール電極を印刷する
場合に一般的に適用し得るものである。

また、上記実施例では、閉成部材がチャンバー部材１３
の天板部１３ａで構成されていたが、閉成部材をあらか
じめステージ１２の下面に貼り付けておいてもよく、あ
るいは穴１２ａの下端が閉成された形状のステージ１２
を用い、開成部材をステージと一体化させてもよい。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明によれば、バイアホールの下方に
位置するステージの穴が吸引手段により吸引されないた
め、印刷用マスクの裏面の電極ペーストの汚染を防止す
ることができる。また、ステージに設けられた穴の径が
バイアホールの径よりも大きくされているため、並びに
バイアホール内に吸引手段による吸引力が作用しないた
め、セラミックグリーンシートの裏面におけるバイアホ
ール周辺領域に、電極ペーストを正確に位置に付着させ
ることができる。従って、バイアホール電極の導通の信
頼性を効果的に高めることが可能となる。

また、セラミックグリーンシートを固定するための吸引
系に電極ペーストが混入しないため、吸引系を清掃する
作業を省略することも可能となる。

よって、本発明によれば、電極ペーストの種々の個所へ
の付着による煩雑な清掃作業の頻度を効果的に低減する
ことができると共に、信頼性に優れたバイアホール電極
を確実に印刷することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を説明するための断面図、第
２図は従来のバイアホール電極印刷方法を説明するため
の断面図、第３図は従来のバイアホール電極印刷方法に
おける印刷直前の状態を示す断面図、第４図は従来のバ
イアホール電極印刷方法において印刷直後の状態を示す
断面図、第５図は従来の印刷方法における問題点を示す
部分切欠拡大断面図、第６図は従来の印刷方法の他の問
題点を説明するためのセラミックグリーンシートの裏面
図、第７図は従来のバイアホール電極印刷方法の他の例
を説明するための断面図、第８図は実施例において印刷
されたバイアホール電極部分を示す部分切欠拡大断面図
、第９図（ａ）及び（ｂ）は実施例により印刷されたパ
イ７ホール電極を説明するための図であり、第９図（ａ
）はセラミックグリーンシートを表面側から見た図、第
９図（ｂ）はセラミックグリーンシートを裏面側から見
た図、第１θ図は印刷されたバイアホール電極の断面図
である。 図において、４はセラミックグリーンシート、４ａはバ
イアホール、６は電極ペースト、５は印刷マスク、７は
スキージ、１１はバイアホール電極印刷装置、１２はス
テージ、１２ａは穴、１２ｂは吸引孔、１３はチャンバ
一部材、１３ａは天板部、１３ｃは吸引手段に接続され
る開口を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）セラミックグリーンシートに形成されたバイアホ
   ールに電極ペーストを印刷する方法であって、 バイアホールが形成されたセラミックグリーンシートを
   用意する工程と、 前記バイアホールが上方に配置される位置に設けられて
   おり、かつバイアホールよりも大きな径の下端が閉成さ
   れた穴と、セラミックグリーンシートを吸引固定するた
   めの吸引孔とを有するステージ上に、前記セラミックグ
   リーンシートを載置する工程と、 前記吸引孔から吸引してセラミックグリーンシートを前
   記ステージ上に固定する工程と、前記セラミックグリー
   ンシートのバイアホールに、電極ペーストを上方から印
   刷する工程を備えることを特徴とする、バイアホール電
   極の印刷方法。
2. （２）セラミックグリーンシートに形成されたバイアホ
   ールに電極ペーストを印刷するための装置であって、 前記セラミックグリーンシートのバイアホールが上方に
   配置される位置に形成されたバイアホールよりも大きな
   径の穴と、セラミックグリーンシートを固定するための
   少なくとも２個の吸引孔とを有するステージと、 前記バイアホールが上方に配置される位置に設けられた
   ステージの穴を閉成するように、ステージの下面に設け
   られた閉成部材と、 前記吸引孔に接続された吸引手段と、 前記ステージの上方に配置されており、前記セラミック
   グリーンシートのバイアホールに電極ペーストを印刷す
   るための印刷手段とを備えることを特徴とする、バイア
   ホール電極印刷用装置。