JPH0417366B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0417366B2 JPH0417366B2 JP5472783A JP5472783A JPH0417366B2 JP H0417366 B2 JPH0417366 B2 JP H0417366B2 JP 5472783 A JP5472783 A JP 5472783A JP 5472783 A JP5472783 A JP 5472783A JP H0417366 B2 JPH0417366 B2 JP H0417366B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- interference
- output
- scanning mirror
- interference output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 8
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
- G01J3/4535—Devices with moving mirror
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
イ 産業上の利用分野
本発明はフーリエ変換分光光度計に関する。
ロ 従来技術
フーリエ変換分光光度計では主光束の測光出力
をサンプリングするためのサンプリング信号とか
走査鏡の移動速度制御のために主光束と平行に入
射させたレーザービームの干渉出力を用いてい
る。所でこのレーザービームの干渉出力は色々な
原因によるノイズを含んでおり、特に外部のわづ
かな振動の影響を敏感に受ける。
をサンプリングするためのサンプリング信号とか
走査鏡の移動速度制御のために主光束と平行に入
射させたレーザービームの干渉出力を用いてい
る。所でこのレーザービームの干渉出力は色々な
原因によるノイズを含んでおり、特に外部のわづ
かな振動の影響を敏感に受ける。
図は本発明の一実施例を示すものであるが、こ
の図を借りて上述した点を具体的に説明する。こ
の例ではフーリエ変換分光光度計はマイケルソン
干渉計によつて構成されている。１はビームスプ
リツタ、２は固定鏡３が走査鏡で、４は主光束光
源、５はレーザーである。主光束Ｆとレーザービ
ームＬとは平行している。Ｄ１は主光束の干渉に
よる変化を検出する受光素子、Ｄ２はレーザービ
ームの干渉を検出する受光素子である。主光束は
赤外光であり、レーザービームは主光束の光の波
長より波長の短い可視光である。レーザービーム
の干渉出力を波形整形して主光束の干渉出力のサ
ンプリング信号とする。またレーザービームの干
渉出力はレーザー光の波長の1/2を単位とした走
査鏡の移動量の目盛でもあるから、走査鏡の移動
速度の制御に用いられる。このレーザービームの
干渉出力は電気的な原因によるノイズの他に走査
鏡を駆動するときの機構部の運動によつて生ずる
機械的な振動及び外部からの振動によるノイズも
含んでいる。機械的な原因によるノイズは機械的
な攪乱が走査鏡、固定鏡、干渉計のフレーム等の
自由振動を誘発して、この振動が干渉状態を変動
させるので、上述各部の共振周波数及びその整数
倍の周波数を持つたものが優勢である。
の図を借りて上述した点を具体的に説明する。こ
の例ではフーリエ変換分光光度計はマイケルソン
干渉計によつて構成されている。１はビームスプ
リツタ、２は固定鏡３が走査鏡で、４は主光束光
源、５はレーザーである。主光束Ｆとレーザービ
ームＬとは平行している。Ｄ１は主光束の干渉に
よる変化を検出する受光素子、Ｄ２はレーザービ
ームの干渉を検出する受光素子である。主光束は
赤外光であり、レーザービームは主光束の光の波
長より波長の短い可視光である。レーザービーム
の干渉出力を波形整形して主光束の干渉出力のサ
ンプリング信号とする。またレーザービームの干
渉出力はレーザー光の波長の1/2を単位とした走
査鏡の移動量の目盛でもあるから、走査鏡の移動
速度の制御に用いられる。このレーザービームの
干渉出力は電気的な原因によるノイズの他に走査
鏡を駆動するときの機構部の運動によつて生ずる
機械的な振動及び外部からの振動によるノイズも
含んでいる。機械的な原因によるノイズは機械的
な攪乱が走査鏡、固定鏡、干渉計のフレーム等の
自由振動を誘発して、この振動が干渉状態を変動
させるので、上述各部の共振周波数及びその整数
倍の周波数を持つたものが優勢である。
上述したレーザービームの干渉出力のノイズは
サンプリング信号の位相を狂わせ、測定誤差の原
因となる。従来はこれらのノイズに対する対策と
して干渉計を構造的に頑丈にすること、装置の設
置環境を良くする（防振、電気的影響の遮断等）
ことに重点を重いていたので、装置価格、装置設
置の費用とも高くなつていた。
サンプリング信号の位相を狂わせ、測定誤差の原
因となる。従来はこれらのノイズに対する対策と
して干渉計を構造的に頑丈にすること、装置の設
置環境を良くする（防振、電気的影響の遮断等）
ことに重点を重いていたので、装置価格、装置設
置の費用とも高くなつていた。
ハ 目的
本発明は従来のノイズ対策とは異なる観点から
レーザービーム干渉出力のノイズ軽減を計り、従
来の装置より価格等の増加を招来しないでレーザ
ービーム干渉出力のＳ／Ｎ比の向上を得ることを
目的とする。
レーザービーム干渉出力のノイズ軽減を計り、従
来の装置より価格等の増加を招来しないでレーザ
ービーム干渉出力のＳ／Ｎ比の向上を得ることを
目的とする。
ニ 構成
本発明は走査鏡が特定の速度の近辺の速度で移
動しているときだけレーザービーム干渉出力を取
出すようにし、かつ走査鏡の上記特定移動速度に
おける干渉出力の周波数を中心周波数とするバン
ドパスフイルタを通してレーザービーム干渉出力
を取出すようにしたフーリエ変換分光光度計であ
る。
動しているときだけレーザービーム干渉出力を取
出すようにし、かつ走査鏡の上記特定移動速度に
おける干渉出力の周波数を中心周波数とするバン
ドパスフイルタを通してレーザービーム干渉出力
を取出すようにしたフーリエ変換分光光度計であ
る。
ホ 実施例
図に本発明の一実施例を示す。既に一部説明し
たので、その分の説明は略す。レーザービーム干
渉検出用受光素子Ｄ２の出力はプリアンプＡ１で
増幅され、バンドパスフイルタＡを通した後、メ
インアンプＡ３で増幅され、波形整形回路Ａ４で
パルス信号に変換される。主光束の干渉検出用受
光素子Ｄ１の出力はアンプＡ５で増幅された後、
Ａ４によつて得られたパルス信号がサンプリング
パルスとして印加されるサンプルホールド回路
SHに入力され、サンプリングされた信号はＡ／
Ｄ変換器ADでデイジタル化されてデータ処理回
路Ｃに入力される。Ａ４によつて得られたパルス
信号は、パルス周期検出回路Ｋでパルス周期が検
出され、比較回路Cpで検出されたパルス周期が
基準周期と比較され、両者の差が０となるように
モータ駆動制御回路DRが制御され、DRによつ
て走査鏡３を駆動するモータＭが駆動される。他
方比較回路Cpの差出力はもう一つの比較回路
Cp′で一つの基準値と比較され、Cpの差出力がこ
の基準値以下のときだけゲートＧが開いてサンプ
リングパルスがサンプルホールド回路SHに送ら
れる。この構成により走査鏡が走査運動を開始し
て未だ所定速度に達しない前における主光束の干
渉出力のサンプリング動作が禁止される。
たので、その分の説明は略す。レーザービーム干
渉検出用受光素子Ｄ２の出力はプリアンプＡ１で
増幅され、バンドパスフイルタＡを通した後、メ
インアンプＡ３で増幅され、波形整形回路Ａ４で
パルス信号に変換される。主光束の干渉検出用受
光素子Ｄ１の出力はアンプＡ５で増幅された後、
Ａ４によつて得られたパルス信号がサンプリング
パルスとして印加されるサンプルホールド回路
SHに入力され、サンプリングされた信号はＡ／
Ｄ変換器ADでデイジタル化されてデータ処理回
路Ｃに入力される。Ａ４によつて得られたパルス
信号は、パルス周期検出回路Ｋでパルス周期が検
出され、比較回路Cpで検出されたパルス周期が
基準周期と比較され、両者の差が０となるように
モータ駆動制御回路DRが制御され、DRによつ
て走査鏡３を駆動するモータＭが駆動される。他
方比較回路Cpの差出力はもう一つの比較回路
Cp′で一つの基準値と比較され、Cpの差出力がこ
の基準値以下のときだけゲートＧが開いてサンプ
リングパルスがサンプルホールド回路SHに送ら
れる。この構成により走査鏡が走査運動を開始し
て未だ所定速度に達しない前における主光束の干
渉出力のサンプリング動作が禁止される。
バンドパスフイルタＡ２の中心周波数は走査鏡
３の正規の移動速度におけるレーザービーム干渉
出力の周波数に合せてある。干渉計が構造的に或
る程度頑丈に作られていると、走査鏡停止時にお
いて、通常程度の外部振動の影響を受けても、干
渉計の振動的撓みによる干渉計の二光束の光路差
の変化はレーザー光の半波長分以下とすることが
できる。従つてこのような場合受光素子Ｄ２の出
力は干渉計の構造の色々なモードの自由振動の周
波数を重ねた波形の変化を示す。この波形が機械
的原因によるノイズの重要成分と考えられるか
ら、走査鏡の正規の移動速度を、それによつて得
られるレーザービーム干渉出力の周波数が上記し
た干渉計の静止時の外的作用によるレーザービー
ム干渉出力の変化の周波数成分の何れとも異つて
いるように選択することができれば（これは設計
上の問題）、フイルタＡ２の作用で、機械的原因
によるノイズを略完全に除去することができる。
３の正規の移動速度におけるレーザービーム干渉
出力の周波数に合せてある。干渉計が構造的に或
る程度頑丈に作られていると、走査鏡停止時にお
いて、通常程度の外部振動の影響を受けても、干
渉計の振動的撓みによる干渉計の二光束の光路差
の変化はレーザー光の半波長分以下とすることが
できる。従つてこのような場合受光素子Ｄ２の出
力は干渉計の構造の色々なモードの自由振動の周
波数を重ねた波形の変化を示す。この波形が機械
的原因によるノイズの重要成分と考えられるか
ら、走査鏡の正規の移動速度を、それによつて得
られるレーザービーム干渉出力の周波数が上記し
た干渉計の静止時の外的作用によるレーザービー
ム干渉出力の変化の周波数成分の何れとも異つて
いるように選択することができれば（これは設計
上の問題）、フイルタＡ２の作用で、機械的原因
によるノイズを略完全に除去することができる。
ヘ 効果
本発明フーリエ変換分光光度計は上述したよう
な構成で、レーザービーム干渉出力が一定周波数
となるように走査鏡を制御し、レーザービーム干
渉出力を特定周波数のフイルタを通して取出すよ
うにしたので、ノイズとして影響するのもその周
波数近辺の周波数のノイズだけとなり、ノイズの
総量が低減されて、高精度の測定が可能となり、
しかも電気回路上の構成によつて実現されるもの
であるから、装置価格を押し上げると云うことが
殆どない。
な構成で、レーザービーム干渉出力が一定周波数
となるように走査鏡を制御し、レーザービーム干
渉出力を特定周波数のフイルタを通して取出すよ
うにしたので、ノイズとして影響するのもその周
波数近辺の周波数のノイズだけとなり、ノイズの
総量が低減されて、高精度の測定が可能となり、
しかも電気回路上の構成によつて実現されるもの
であるから、装置価格を押し上げると云うことが
殆どない。
図面は本発明の一実施例装置の構成を示すブロ
ツク図である。 １……ビームスプリツタ、２……固定鏡、３…
…走査鏡、４……主光束光源、５……レーザー、
Ｄ１……主光束干渉検出用受光素子、Ｄ２……レ
ーザービーム干渉検出用受光素子、Ａ２……バン
ドパスフイルタ、Ａ４……波形整形回路、SH…
…サンプルホールド回路、Ｃ……データ処理回
路、Ｋ……パルス周期検出回路、Cp，Cp′……比
較回路、Ｇ……ゲート、DR……モータ駆動制御
回路、Ｍ……走査鏡駆動用モータ。
ツク図である。 １……ビームスプリツタ、２……固定鏡、３…
…走査鏡、４……主光束光源、５……レーザー、
Ｄ１……主光束干渉検出用受光素子、Ｄ２……レ
ーザービーム干渉検出用受光素子、Ａ２……バン
ドパスフイルタ、Ａ４……波形整形回路、SH…
…サンプルホールド回路、Ｃ……データ処理回
路、Ｋ……パルス周期検出回路、Cp，Cp′……比
較回路、Ｇ……ゲート、DR……モータ駆動制御
回路、Ｍ……走査鏡駆動用モータ。
Claims (1)
- １ 主光束と平行なレーザービームの干渉を検出
して主光束の干渉出力のサンプリングパルスとす
る構成において、走査鏡を一定速度で駆動させる
制御手段を有し、その走査速度におけるレーザー
ビームの干渉出力の周波数を中心周波数とするバ
ンドパスフイルタを介してレーザービーム干渉出
力を取出すようにしたフーリエ変換分光光度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5472783A JPS59178325A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | フ−リエ変換分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5472783A JPS59178325A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | フ−リエ変換分光光度計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59178325A JPS59178325A (ja) | 1984-10-09 |
| JPH0417366B2 true JPH0417366B2 (ja) | 1992-03-25 |
Family
ID=12978831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5472783A Granted JPS59178325A (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | フ−リエ変換分光光度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59178325A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2784468B2 (ja) * | 1988-07-15 | 1998-08-06 | 株式会社アドバンテスト | 光干渉信号抽出装置 |
| US4933584A (en) * | 1988-12-22 | 1990-06-12 | General Electric Company | Electronically commutated motor having skewed magnetics |
-
1983
- 1983-03-29 JP JP5472783A patent/JPS59178325A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59178325A (ja) | 1984-10-09 |
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