JPH04175231A - 光学素子の製造方法 - Google Patents
光学素子の製造方法Info
- Publication number
- JPH04175231A JPH04175231A JP29992490A JP29992490A JPH04175231A JP H04175231 A JPH04175231 A JP H04175231A JP 29992490 A JP29992490 A JP 29992490A JP 29992490 A JP29992490 A JP 29992490A JP H04175231 A JPH04175231 A JP H04175231A
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- JP
- Japan
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- mold
- optical element
- glass
- valve
- container
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/16—Gearing or controlling mechanisms specially adapted for glass presses
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/12—Cooling, heating, or insulating the plunger, the mould, or the glass-pressing machine; cooling or heating of the glass in the mould
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、研削、研磨等による仕上げを必要とせず、軟
化したガラス体をプレス成形することにより直接形成さ
れる光学素子の製造方法に関する。
化したガラス体をプレス成形することにより直接形成さ
れる光学素子の製造方法に関する。
［従来の技術］
従来、ガラス光学素子を製造するには、ガラス素材をダ
イヤモンド砥石等によって所定形状に研削した後、酸化
セリウム等によって研削面を研磨する方法が一般的であ
った。しかし非球面レンズのニーズが高まりつつある中
で従来の方法によっては、低コストで大量の光学素子を
製造するには限度があり、新たに加熱軟化したガラス素
材の押圧成形によって、非球面レンズを製造する技術が
実用化されつつある。
イヤモンド砥石等によって所定形状に研削した後、酸化
セリウム等によって研削面を研磨する方法が一般的であ
った。しかし非球面レンズのニーズが高まりつつある中
で従来の方法によっては、低コストで大量の光学素子を
製造するには限度があり、新たに加熱軟化したガラス素
材の押圧成形によって、非球面レンズを製造する技術が
実用化されつつある。
しかしながら、１組の成形型にて加熱軟化したガラス素
材の多数個を、連続的に押圧成形して製造した場合には
、鉛を主成分とするガラス（フリントガラス）において
はガラス素材中の鉛成分が、鉛を含まないガラスにおい
ても易揮発成分（例えばアルカリ、アルカリ土類、ホウ
素など）が揮発して成形型の表面に付着あるいは融着し
て外見上成形型及び成形後の光学素子の表面に曇りが生
じるする現象が起き、成形後の光学素子の面精度を著し
く低下させている。この対策のために成形用ガラス素材
として種々提案されている。
材の多数個を、連続的に押圧成形して製造した場合には
、鉛を主成分とするガラス（フリントガラス）において
はガラス素材中の鉛成分が、鉛を含まないガラスにおい
ても易揮発成分（例えばアルカリ、アルカリ土類、ホウ
素など）が揮発して成形型の表面に付着あるいは融着し
て外見上成形型及び成形後の光学素子の表面に曇りが生
じるする現象が起き、成形後の光学素子の面精度を著し
く低下させている。この対策のために成形用ガラス素材
として種々提案されている。
例えば特開昭５７−４７３５には、特定の化学処理で容
易に除去し得るガラスまたはプラスチック等の熱可塑性
材料から成る被覆層にて、予め成形用ガラス素材を被覆
しておき、押圧成形後に該被覆層を除去する（例えば硝
酸にて）ことが示されている。
易に除去し得るガラスまたはプラスチック等の熱可塑性
材料から成る被覆層にて、予め成形用ガラス素材を被覆
しておき、押圧成形後に該被覆層を除去する（例えば硝
酸にて）ことが示されている。
また特開昭６２−２９７２２５には、内部ガラスよりも
ガラス転移温度が高く、熱膨張係数および屈折率が実質
的に等しいようなガラス表面層で被覆した成形用ガラス
素材を用いることが示されている。
ガラス転移温度が高く、熱膨張係数および屈折率が実質
的に等しいようなガラス表面層で被覆した成形用ガラス
素材を用いることが示されている。
さらに特開昭６２−２０７７２８にはフッ化水素酸およ
び硝酸に浸漬して表層部の易揮発成分（Ｂ、Ｏｓ 、Ｐ
ｂＯ等）を減少させた成形用ガラス素材を用いることが
示されている。
び硝酸に浸漬して表層部の易揮発成分（Ｂ、Ｏｓ 、Ｐ
ｂＯ等）を減少させた成形用ガラス素材を用いることが
示されている。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら特開昭５７−４７３５においては、押圧成
形後に被覆層を除去する工程を必要とするので、極めて
長時間を要しコスト高な光学素子となってしまう。また
、酸で処理する際には、光学素子自体の面精度を悪化さ
せることがあり、歩留り低下の原因となる。
形後に被覆層を除去する工程を必要とするので、極めて
長時間を要しコスト高な光学素子となってしまう。また
、酸で処理する際には、光学素子自体の面精度を悪化さ
せることがあり、歩留り低下の原因となる。
また特開昭６２−２９７２２５においては、成形用ガラ
ス素材からの変形量が非常に小さな光学素子に対しては
有効であるが、変形量が大きなものに対しては、成形時
に未軟化状態にある表層部に微小な割れが生じ易い、こ
の割れによって生ずるガラス片が成形型に付着すること
があり、連続して高精度の光学素子を製造することは難
しくなる。
ス素材からの変形量が非常に小さな光学素子に対しては
有効であるが、変形量が大きなものに対しては、成形時
に未軟化状態にある表層部に微小な割れが生じ易い、こ
の割れによって生ずるガラス片が成形型に付着すること
があり、連続して高精度の光学素子を製造することは難
しくなる。
さらに特開昭６２−２０７７２８においては、成形用ガ
ラス素材をフッ化水素酸に浸漬すると鉛等の易揮発成分
と同時に５ｉＯ＝も分解されてしまうので容積が変化し
、押圧成形された光学素子の寸法精度にバラツキが生ず
るという問題点がある。
ラス素材をフッ化水素酸に浸漬すると鉛等の易揮発成分
と同時に５ｉＯ＝も分解されてしまうので容積が変化し
、押圧成形された光学素子の寸法精度にバラツキが生ず
るという問題点がある。
また、−船釣に、成形用ガラス素材表面に何らかの曇り
防止用コートを付ける場合には、主に蒸着によって付け
るためコスト高であり、しかも成形の際にガラス表面か
らコートを破って中のガラスが出てきてしまうため曇り
防止効果が充分でないという欠点がある。さらにコート
膜厚が厚すぎる場合には型を汚染したりコートのひび割
れを生じることもある。薄すぎる場合には、曇り防止の
効果が充分ではないという欠点がある。また、ガラスと
コート材の熱膨張係数の微かな差によって加熱時に膜が
ひび割れ、加圧時に内部ガラスがはみ出てきて、部分的
な曇りを生じるという欠点がある。
防止用コートを付ける場合には、主に蒸着によって付け
るためコスト高であり、しかも成形の際にガラス表面か
らコートを破って中のガラスが出てきてしまうため曇り
防止効果が充分でないという欠点がある。さらにコート
膜厚が厚すぎる場合には型を汚染したりコートのひび割
れを生じることもある。薄すぎる場合には、曇り防止の
効果が充分ではないという欠点がある。また、ガラスと
コート材の熱膨張係数の微かな差によって加熱時に膜が
ひび割れ、加圧時に内部ガラスがはみ出てきて、部分的
な曇りを生じるという欠点がある。
従って、本発明の目的は、鉛、アルカリ、アルカリ土類
、ホウ素等の易揮発成分が成形型に付着することがなく
、曇りの無いすなわち面精度に優れた光学素子を、大量
に連続的に歩留りよく成形できる光学素子の製造方法を
提供することにある。
、ホウ素等の易揮発成分が成形型に付着することがなく
、曇りの無いすなわち面精度に優れた光学素子を、大量
に連続的に歩留りよく成形できる光学素子の製造方法を
提供することにある。
［課題を解決するための手段及び作用］すなわち、本発
明は、成形用型内に配置された成形可能な状態の光学素
子成形用素材を該成形用型により加圧して光学素子の機
能面を成形する加圧成形法において、少な（とも前記成
形用型の内部の雰囲気ガス圧が、１．５気圧以上である
ことを特徴とする光学素子の製造方法である。
明は、成形用型内に配置された成形可能な状態の光学素
子成形用素材を該成形用型により加圧して光学素子の機
能面を成形する加圧成形法において、少な（とも前記成
形用型の内部の雰囲気ガス圧が、１．５気圧以上である
ことを特徴とする光学素子の製造方法である。
本発明においては、成形装置内の少なくとも成形用型の
内部の雰囲気ガス圧を１．５気圧以上、好ましくは１．
５気圧以上３気圧以下とすることにより、ガラスからの
易揮発成分の揮発を抑え、型および成形品の曇りを防止
している。
内部の雰囲気ガス圧を１．５気圧以上、好ましくは１．
５気圧以上３気圧以下とすることにより、ガラスからの
易揮発成分の揮発を抑え、型および成形品の曇りを防止
している。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。
第１図はガラス素材中の易揮発成分の揮発量を調べるた
めに用いる加圧・加熱装置を示す断面図である。同図に
おいて、２３はヒーター、２４はＳＵＳ製リシリング５
は銅製、２６は鏡面研磨済の上型、２７は同下型、２８
はガラス素材（光学素子成形用素材）であり、ガラス素
材２８と上型２６の間には約５０μｍの隙間がある。第
１図の装置は不図示のチャンバー内にあり、チャンバー
内の雰囲気ガス圧は任意に設定できるようになっている
。なお、上型及び下型の型材としては超硬合金、ガラス
素材としては■オハラ製ＳＫ１２（Ｔｇ＝ｓｓｏ℃）を
用いた。
めに用いる加圧・加熱装置を示す断面図である。同図に
おいて、２３はヒーター、２４はＳＵＳ製リシリング５
は銅製、２６は鏡面研磨済の上型、２７は同下型、２８
はガラス素材（光学素子成形用素材）であり、ガラス素
材２８と上型２６の間には約５０μｍの隙間がある。第
１図の装置は不図示のチャンバー内にあり、チャンバー
内の雰囲気ガス圧は任意に設定できるようになっている
。なお、上型及び下型の型材としては超硬合金、ガラス
素材としては■オハラ製ＳＫ１２（Ｔｇ＝ｓｓｏ℃）を
用いた。
以下、本発明の方法を順を追って説明する。
まず、第１図に示すように型の間にガラス素材を置く。
次いでチャンバー内の排気を開始して圧力が３ ｘ １
０−２Ｔ ｏ ｒ ｒになったら、雰囲気ガスとして窒
素ガスをチャンバー内に導入する。窒素ガス圧はｌＸｌ
０−’Ｔｏｒｒ、１気圧、１，５気圧、２気圧、３気圧
の５水準とした。
０−２Ｔ ｏ ｒ ｒになったら、雰囲気ガスとして窒
素ガスをチャンバー内に導入する。窒素ガス圧はｌＸｌ
０−’Ｔｏｒｒ、１気圧、１，５気圧、２気圧、３気圧
の５水準とした。
次に、ヒーターに通電して型とガラスを加熱して６２０
℃まで昇温しな。６２０℃で３０分保持した後通電を停
止した。その後室温まで降温してから、チャンバー内よ
り上型を取り出した。取り出した上型には５Ｋ１２ガラ
スより揮発した易揮発成分が付着していた。この付着物
の量を上型の曇り具合の変化（反射率の変化）で評価し
た。
℃まで昇温しな。６２０℃で３０分保持した後通電を停
止した。その後室温まで降温してから、チャンバー内よ
り上型を取り出した。取り出した上型には５Ｋ１２ガラ
スより揮発した易揮発成分が付着していた。この付着物
の量を上型の曇り具合の変化（反射率の変化）で評価し
た。
第２図に反射率の測定結果を示す。反射率の値は、成形
に供する前の上型の反射率を１００％とした相対値であ
る。第２図より明らかなように、上型の曇りは窒素ガス
圧が上昇するに従い減少し、１゜５気圧以上では量が通
常の許容限度内（反射率が９０％以上）に収まった。
に供する前の上型の反射率を１００％とした相対値であ
る。第２図より明らかなように、上型の曇りは窒素ガス
圧が上昇するに従い減少し、１゜５気圧以上では量が通
常の許容限度内（反射率が９０％以上）に収まった。
以上の結果から、成形装置内の雰囲気ガス圧を高くする
と、ガラス素材表面からの易揮発成分の揮発を抑えられ
ることが明らかになった。
と、ガラス素材表面からの易揮発成分の揮発を抑えられ
ることが明らかになった。
次に、本発明の方法により光学素子のプレス成形を行な
った例を示す。
った例を示す。
第３図はプレス成形に用いた装置を示す断面図である。
第３図中、１は密閉容器、２はそのフタ、３は光学素子
を成形する上型、４はその下型、５は上型押え、６は銅
製、７は型ホルダ−，８はヒーター、９は下型突き上げ
棒、１０は該突き上げ棒を駆動させるエアーシリンダー
、１１は油回転ポンプ、１２，１３．１４はバルブ、１
５は不活性ガス導入パイプ、１６はバルブ、１７は排出
パイプ、１８はバルブ、１９は温度センサー、２０は水
冷パイプ、２１は密閉容器を支持する台を示す。
を成形する上型、４はその下型、５は上型押え、６は銅
製、７は型ホルダ−，８はヒーター、９は下型突き上げ
棒、１０は該突き上げ棒を駆動させるエアーシリンダー
、１１は油回転ポンプ、１２，１３．１４はバルブ、１
５は不活性ガス導入パイプ、１６はバルブ、１７は排出
パイプ、１８はバルブ、１９は温度センサー、２０は水
冷パイプ、２１は密閉容器を支持する台を示す。
まず、クラウン系光学ガラス（■オハラ製５Ｋ１２、軟
化点５ｐ＝６７２℃、ガラス転移点Ｔｇ＝５５０℃）又
はフリント系光学ガラス（■オハラ！！！ＳＦ８．軟化
点５ｐ＝５６７℃、ガラス転移点Ｔｇ＝４４３℃）を所
定重量の球形状として成形のためのブランクを作成した
。
化点５ｐ＝６７２℃、ガラス転移点Ｔｇ＝５５０℃）又
はフリント系光学ガラス（■オハラ！！！ＳＦ８．軟化
点５ｐ＝５６７℃、ガラス転移点Ｔｇ＝４４３℃）を所
定重量の球形状として成形のためのブランクを作成した
。
次に、密閉容器１のフタ２を開き、上型３及び上型押え
５を取外して下型４上に上記ブランクを載せて、上型３
及び上型押え５を取付けた。更にフタ２を閉じてから、
水冷パイプ２０に水を流し、ヒーター８に通電した。こ
の時、窒素ガス用バルブ１６、バルブ１８及び排気系バ
ルブ１２゜１３．１４を閉じておいた。次に、油回転ポ
ンプ１１を作動させ、バルブ１２を開き、容器１内を排
気した。容器１内の真空度が１ｏ−”Ｔｏｒｒとなった
後、バルブ１２を閉じ、バルブ１６．１８を開いて窒素
ガスをボンベから密閉容器ｌ内へと導入した。この時の
窒素ガス圧は１．５気圧又は３気圧とした。なお、真空
度が１０−”Ｔｏｒｒになるのは、型及びガラス素材の
温度が約１５０℃のときであった。また、昇温時には密
閉容器１に付いたリークバルブ（不図示）が自動的に開
いてリークさせてＮ２圧を一定に保ち、降温時にはバル
ブ１６が自動的に開いてＮ２圧を一定に保つようになっ
ている。
５を取外して下型４上に上記ブランクを載せて、上型３
及び上型押え５を取付けた。更にフタ２を閉じてから、
水冷パイプ２０に水を流し、ヒーター８に通電した。こ
の時、窒素ガス用バルブ１６、バルブ１８及び排気系バ
ルブ１２゜１３．１４を閉じておいた。次に、油回転ポ
ンプ１１を作動させ、バルブ１２を開き、容器１内を排
気した。容器１内の真空度が１ｏ−”Ｔｏｒｒとなった
後、バルブ１２を閉じ、バルブ１６．１８を開いて窒素
ガスをボンベから密閉容器ｌ内へと導入した。この時の
窒素ガス圧は１．５気圧又は３気圧とした。なお、真空
度が１０−”Ｔｏｒｒになるのは、型及びガラス素材の
温度が約１５０℃のときであった。また、昇温時には密
閉容器１に付いたリークバルブ（不図示）が自動的に開
いてリークさせてＮ２圧を一定に保ち、降温時にはバル
ブ１６が自動的に開いてＮ２圧を一定に保つようになっ
ている。
所定温度になった後にエアーシリンダー１０を作動させ
て８０ｋｇ／ｃｍ”の圧力で５分間プレス成形を行なっ
た。加圧力を除去し、約り℃／分の速度でガラス転移点
以下になるまで冷却し、その後２０℃／分以上の速度で
冷却を行ない、温度が２００℃以下に下った後に、バル
ブ１６．１８を閉じ、リークバルブ１３を開いて密封容
器１内に空気を導入した。次に、フタ２を開き、上型３
及び上型押え５を取外して成形済光学素子を取出した。
て８０ｋｇ／ｃｍ”の圧力で５分間プレス成形を行なっ
た。加圧力を除去し、約り℃／分の速度でガラス転移点
以下になるまで冷却し、その後２０℃／分以上の速度で
冷却を行ない、温度が２００℃以下に下った後に、バル
ブ１６．１８を閉じ、リークバルブ１３を開いて密封容
器１内に空気を導入した。次に、フタ２を開き、上型３
及び上型押え５を取外して成形済光学素子を取出した。
得られた光学素子の表面の曇りについて目視で調べた結
果を表１に示す。なお、Ｎｏ、５．６は比較例である。
果を表１に示す。なお、Ｎｏ、５．６は比較例である。
表１
＊１ 使用可能レベル
＊２ 使用不可能レベル
以上のように、本発明の実施例においては、良好な表面
精度（表面粗度）の光学素子が成形できた。
精度（表面粗度）の光学素子が成形できた。
上記実施例では、硝材としてフリント系、クラウン系の
ものを用いたが、その他の硝材であっても同様に良好な
精度で成形が可能である。
ものを用いたが、その他の硝材であっても同様に良好な
精度で成形が可能である。
加圧のための雰囲気ガスとして窒素ガスを用いたが、非
酸化雰囲気ガスであればよく、例えばアルゴンガスやヘ
リウムガスも用いることができる。もちろん雰囲気ガス
圧は３気圧を越えてもよい。
酸化雰囲気ガスであればよく、例えばアルゴンガスやヘ
リウムガスも用いることができる。もちろん雰囲気ガス
圧は３気圧を越えてもよい。
成形される光学素子の形状はどのようなものであっても
さしつかえない。
さしつかえない。
型材として超硬合金を用いたが、高強度な材料であれば
よく、例えば窒化チタンをコートした型、窒化ケイ素型
、炭化ケイ素型も用いることができる。
よく、例えば窒化チタンをコートした型、窒化ケイ素型
、炭化ケイ素型も用いることができる。
［発明の効果］
以上の実施例から明らかなように、本発明によりガラス
素材からの易揮発成分の揮発が抑えられるので、多数回
の押圧成形をした場合でも成形用ガラス素材中の易揮発
成分が成形型表面に付着することがなく、曇りの無いす
なわち面精度に優れた光学素子を得ることができる。ま
た、成形用ガラス素材の面精度等を保ちながら、光学素
子を高い歩留りで大量に押圧成形できる。さらに一種類
のガラス素材により成形しているので、非球面度の大き
な形状でもクラック等の欠陥を生ずることなく、連続し
て高精度に成形できる。従って、従来高価になりがちで
あった非球面レンズ等の光学素子を低コストで大量に成
形できるようになった。
素材からの易揮発成分の揮発が抑えられるので、多数回
の押圧成形をした場合でも成形用ガラス素材中の易揮発
成分が成形型表面に付着することがなく、曇りの無いす
なわち面精度に優れた光学素子を得ることができる。ま
た、成形用ガラス素材の面精度等を保ちながら、光学素
子を高い歩留りで大量に押圧成形できる。さらに一種類
のガラス素材により成形しているので、非球面度の大き
な形状でもクラック等の欠陥を生ずることなく、連続し
て高精度に成形できる。従って、従来高価になりがちで
あった非球面レンズ等の光学素子を低コストで大量に成
形できるようになった。
第１図はガラス素材中の易揮発成分の揮発量を調べるた
めに用いる加圧・加熱装置の模式断面図である。 第２図はガラス素材中の易揮発成分の揮発量と雰囲気ガ
ス圧との関係を示す図である。 第３図は本発明に用いる光学素子成形装置の一例の模式
断面図である。 １：密閉容器、 ２：フタ、 ３：上型、 ４：下型、 −５：上型押え
、 ６：銅製、 ７：型ホルダ−、８：ヒーター、 ９：下型突き上げ棒、 １０：エアーシリンダー、 １１：油回転ポンプ、 １２．１３，１４：バルブ、 １５：不活性ガス導入パイプ、 １６：バルブ、 １７：排出パイプ、１８：バル
ブ、 １９：温度センサー、２０：水冷パイプ、
２１：台。 ２３：ヒーター、 ２４：リング ２５：銅製、 ２６：上型、 ２７：下型、 ２８ニガラス素材。 代理人 弁理士 山 下 穣 平 第１図 第２図 第３図
めに用いる加圧・加熱装置の模式断面図である。 第２図はガラス素材中の易揮発成分の揮発量と雰囲気ガ
ス圧との関係を示す図である。 第３図は本発明に用いる光学素子成形装置の一例の模式
断面図である。 １：密閉容器、 ２：フタ、 ３：上型、 ４：下型、 −５：上型押え
、 ６：銅製、 ７：型ホルダ−、８：ヒーター、 ９：下型突き上げ棒、 １０：エアーシリンダー、 １１：油回転ポンプ、 １２．１３，１４：バルブ、 １５：不活性ガス導入パイプ、 １６：バルブ、 １７：排出パイプ、１８：バル
ブ、 １９：温度センサー、２０：水冷パイプ、
２１：台。 ２３：ヒーター、 ２４：リング ２５：銅製、 ２６：上型、 ２７：下型、 ２８ニガラス素材。 代理人 弁理士 山 下 穣 平 第１図 第２図 第３図
Claims (2)
- （１）成形用型内に配置された成形可能な状態の光学素
子成形用素材を該成形用型により加圧して光学素子の機
能面を成形する加圧成形法において、少なくとも前記成
形用型の内部の雰囲気ガス圧が、１．５気圧以上である
ことを特徴とする光学素子の製造方法。 - （２）前記雰囲気ガス圧が１．５気圧以上３気圧以下で
あることを特徴とする請求項１記載の光学素子の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29992490A JPH04175231A (ja) | 1990-11-07 | 1990-11-07 | 光学素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29992490A JPH04175231A (ja) | 1990-11-07 | 1990-11-07 | 光学素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04175231A true JPH04175231A (ja) | 1992-06-23 |
Family
ID=17878576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29992490A Pending JPH04175231A (ja) | 1990-11-07 | 1990-11-07 | 光学素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04175231A (ja) |
-
1990
- 1990-11-07 JP JP29992490A patent/JPH04175231A/ja active Pending
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