JPH04178551A - 赤外線表面欠陥検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明はパイプ、棒材、抜材の被検材表面を連続的に
探傷する表面欠陥検知装置において、パイプ等の被検材
の正常部と欠陥部の赤外線放射感度比によって欠陥を検
出する表面欠陥検知装置に関するものである。

［従来技術］ 第７図はパイプ、棒材、抜材の被検材表面を連続的に探
傷する表面欠陥検知装置の従来の実施例のブロック図で
ある。

第７図において（１）は被検材、　（２）は被検材（１
）の搬送方向、（３）は被検材を加熱する加熱装置、（
４）は前記加熱装置（３）を制御する加熱制御装置、（
５）は前記加熱装置（４）の基準入力、（６）は被検材
（１）の赤外線放射感度を検出する赤外線検出器、（７
）は前記赤外線検出器（６）の出力信号を処理する信号
処理回路、（８）は信号処理回路（７）の基準入力、（
９）は被検材（１）の搬送速度を検出する速度検出器、
　（１０）はＩＣＨ（チャンネル）マーキングガン、　
（１１）はＩＣＨマーキングガン（１０）のＩＣＨマー
キング制御装置、　（１２）はＩＣＨマーキング制御装
置（１１）のタイミングを制御するタイミング制御装置
をそれぞれ示す。

従来は第７図において被検材（１）の表面に凹状価（ワ
レ傷）や凸状価（ヘゲ等）の欠陥がある場合に加熱装置
（３）によって被検材（１）を加熱し。

被検材（１）の欠陥部では熱伝導状態や熱放射状態が欠
陥の存在しない領域と異なるため、欠陥部に熱が集中し
温度が周辺より上昇するのを利用して赤外線検出器（６
）にて被検材（１）の正常部と欠陥部の赤外線放射感度
を検出し、信号処理回路（７）にて赤外線検出器（６）
の出力を信号処理し基準信号（８）と比較して欠陥部を
検出していた。

被検材（１）を加熱する加熱装置（３）は加熱制御装置
（４）によって加熱パワーが制御され被検材（１）の材
質、サイズ、搬送速度等によって決まる基準入力（５）
によって一定値に制御される。

被検材（１）の欠陥部にマーキングする際、タイミング
制御装置（１２）において被検材（１）の欠陥位置を信
号処理回路（７）の欠陥検知信号により速度検出器（９
）の出力によって被検材（１）の長さ方向のトラッキン
グを行い、タイミング制御装置（１２）のタイミング信
号をＩＣＨマーキング制御装置（１１）に入力し、被検
材（１）の欠陥部にマーキングを行う。

被検材（１）の欠陥位置は信号処理回路（７）にて長さ
方向の位置、巾方向の位置を検知していたが長さ方向の
トラッキングのみ行い、被検材（１）の巾方向の正確な
位置を検出せず被検材（１）の巾方向一定位置にＩＣＨ
マーキングガン（１０）にてマーキングを行う。

［発明が解決しようとする課題］ 上記のような表面欠陥検知装置において被検材の欠陥部
にマーキングする際、被検材の長さ方向の位置は被検材
の搬送速度をトラッキングしているが、巾方向の位置ま
で検出していなかったため、被検材の欠陥部の位置が巾
方向に正確にわからず、被検材の巾方向の正確な位置に
マーキング出来ないため後工程で被検材の欠陥部を切削
する際、被検材の欠陥部のみならず欠陥の存在している
巾全体を切削してしまう課題があった。

この発明はかかる課題を解決するためになされたもので
あり、被検材に曲りや振動があっても被検材の欠陥位置
の巾方向の正確な位置を検知し。

マーキングを可能とする赤外線表面欠陥検知装置を得る
ことを目的とする。

［課題を解決するための手段］ この発明に係る赤外線表面欠陥探傷装置は、信号処理回
路の出力により前記被検材の欠陥の巾方向位置を選択す
る巾方向選択回路と前記巾方向選択回路の出力により前
記マーキングガンを巾方向へ移動させる巾方向駆動装置
と、マーキングガンを巾方向移動可能とするマーキング
ガンフレキシブル部とを具備したものである。

この発明の別の発明に係る赤外線表面欠陥探傷装置は、
被検材の欠陥位置にマーキングする多チャンネルのマー
キングガンと、前記多チャンネルのマーキングガンを側
脚するマーキング制卸装置と、信号処理回路の出力によ
り被検材の欠陥の巾方向位置を選択する巾方向選択回路
と、前記マーキング制御装置へ速度検出器からの信号に
よりマーキングタイミングを出力するタイミング制御装
置とを具備したものである。

またこの発明の別の発明に係る赤外線表面欠陥探傷装置
は上記のものに加えて被検材の形状を検出する形状検出
カメラと、前記形状検出カメラの出力により被検材の形
状を認識する形状認識装置と、前記形状認識装置の出力
により被検材の巾方向の位置を補正し、その出力を上記
巾方向選択回路に導入させる巾方向補正回路とを具備し
たものである。

さらにこの発明の別の発明に係る赤外線表面欠陥探傷装
置は被検材の欠陥位置にマーキングする多チャンネルの
マーキングガンと、前記多チャンネルのマーキングガン
を制御するマーキング制御装置と、前記多チャンネルの
マーキングガンを移動させる巾方向駆動装置と、前記マ
ーキング制御装置へ速度検出器からの信号によりマーキ
ングタイミングを出力するタイミング制御装置と、前記
被検材の形状を検出する形状検出カメラと、前記形状検
出カメラの出力により被検材の形状を認識する形状認識
装置と、前記形状認識装置の出力により被検材の巾方向
の位置を補正し、前記巾方向駆動装置へ出力する巾方向
補正回路と、前記巾方向補正回路の出力及び信号処理回
路の出力により前記被検材の欠陥の巾方向位置を検知し
、前記マーキング制御装置へ出力する巾方向選択回路と
。

前記多チャンネルのマーキングガンを巾方向に移動可能
とするマーキングガンフレキシブル部とを具備したもの
である。

さらにまたこの発明の別の発明に係る赤外線表面欠陥探
傷装置は被検材の欠陥位置にマーキングする多チャンネ
ルのマーキングガンと、前記多チャンネルのマーキング
ガンを制御するマーキング制御装置と、信号処理回路の
出力により前記被検材の欠陥の巾方向位置を選択し、そ
れを前記マーキング制御装置へ出力する巾方向選択回路
と、前記マーキング制御装置へ速度検出器からの信号に
よりマーキングタイミングを出力するタイミング制御装
置と、前記被検材の形状に機械的に追従し、かつ前記多
チャンネルのマーキングガンと連動する被検材形状追従
装置と、前記多チャンネルのマーキングガンを移動可能
とするマーキングガンフレキシブル部とを具備したもの
である。

［作用］ この発明は被検材の欠陥部をマーキングする際、巾方向
選択回路により欠陥の巾方向位置を選択して１チャンネ
ル（ＣＨ）マーキングガンを巾方向に移動するためのマ
ーキングガン巾方向駆動装置によりＩＣＨマーキングガ
ンを被検材の欠陥位置に移動して被検材の巾方向の正確
な欠陥位置にマーキングを行う。

この発明の別の発明は巾方向選択回路により欠陥の巾方
向位置を選択して、被検材のマーキングする位置を巾方
向に選択可能な多ＣＨマーキングガンにより被検材の巾
方向の正確な欠陥位置にマーキングを行う。

またこの発明の別の発明は被検材の形状を検出する形状
検出カメラと形状認識装置と巾方向補正回路により、被
検材の欠陥の巾方向位置を選択し、被検材に曲りや振動
があっても被検材の巾方向の正確な欠陥位置にマーキン
グを行う。

さらにこの発明の別の発明は巾方向選択回路。

被検材のマーキングする位置を巾方向に選択可能な多Ｃ
Ｈマーキングガンと被検材形状に追従するための形状検
出カメラと形状認識装置と前記形状認識装置の出力によ
り前記多ＣＨマーキングガンを移動するための巾方向補
正回路と巾方向駆動装置により被検材の欠陥の巾方向位
置を選択し、かつ被検材に曲りや振動があっても被検材
の巾方向の正確な欠陥位置にマーキングを行う。

さらにまたこの発明の別の発明は被検材の形状に追従し
、多ＣＨマーキングガンと連動する被検材形状追従装置
とを具備し、被検材の欠陥の巾方向位置を選択し、かつ
被検材に曲りや振動があっても被検材の巾方向の正確な
欠陥位置にマーキングを行う。

［実施例コ 以下この発明の実施例について第１図〜第６図を用いて
説明する。（１）〜（１２）までは従来装置と全く同一
のものである。

（１３）はマーキングガンの巾方向位置を選択する巾方
向選択回路、　（１４）はＩＣＨマーキングガン（１０
）を巾方向に移動する巾方向駆動装置、　（１５）はＩ
ＣＨマーキングガン（１０）を移動可能とするマーキン
グガンフレキシブル部、　（１６）は多ＣＨマーキング
ガン、　（１７）は多ＣＨマーキングガン（１６）を制
御する多ＣＨマーキング制御装置、　（１８）は形状検
出カメラ、　（１９）は形状認識装置、　（２０）は形
状認識装置（１９）の出力によりマーキングの巾方向位
置を補正する巾方向補正回路、　（２１）は多ＣＨマー
キングガン（１６）を巾方向に駆動する巾方向駆動装置
。

（２２）は被検材形状追従装置をそれぞれ示す。

第１図において搬送してくれる被検材（１）を加熱制御
装置（４）によって基準入力（５）に一定に制御される
加熱装置（３）において加熱し、被検材（１）の表面に
凹状傷（ワレ傷）や凸状価（へゲ等）の欠陥がある場合
、欠陥部では熱伝導状態や熱放射状態が欠陥の存在しな
い領域と異なるため、欠陥部に熱が集中して温度が周辺
より上昇する熱集中現象を利用して赤外線検出器（６）
にて被検材（１）の正常部と欠陥部の赤外線放射感度を
検出し信号処理回路（７）にて基準信号（８）と比較し
て、被検材（１）の正常部と欠陥部の赤外線放射感度比
を信号処理し欠陥を検出する。

上記のような表面欠陥検知装置において被検材（１）の
欠陥部にマーキングする際、被検材（１）の長さ方向の
位置は被検材（１）の速度検出器（９）の出力によりタ
イミング制御装置（１２）にてトラッキングし、マーキ
ングすべきタイミングをＬＣＨマーキング制御装置（１
１）に入力し、ＩＣＨマーキングガン（１０）にてマー
キングしているが、被検材（１）の巾方向の位置まで正
確に検出していなかったため後工程で被検材（１）の欠
陥部を切削する際、被検材（１）の欠陥部のみならず、
欠陥の存在している巾全体を切削してしまう欠点があっ
た。

また被検材（１）には曲りや振動があるため、被検材（
１）の全長にわたって正確に被検材（１）の巾方向の欠
陥位置にマーキングすることは不可能であった。

第１図において信号処理回路（７）にて被検材（１）の
欠陥の巾方向位置を検知し、信号処理回路（７）の出力
により被検材（１）の欠陥部の巾方向位置を選択する巾
方向選択回路（１３）にて巾方向位置を選択し、巾方向
駆動装置（１４）に入力しＩＣＨマーキングガン（１０
）を巾方向駆動装置（１４）により巾方向に駆動し被検
材（１）の欠陥位置に正確にマーキングを行う。

ＩＣＨマーキングガン（１０）はマーキングガンフレキ
シブル部（１５）を有しており移動可能である。

被検材（１）の断面積の大きさは１５３１［Ｉ　Ｘ　１
５３１１１１程度であり、ＩＣＨマーキングガン（１０
）のパターンの大きさは１０ＩＩ１１φ程度であるため
マーキングガン（１０）の停止位置またはマーキングガ
ンの数としては被検材（１）の曲りや振動の５０１１程
度を考慮すると、巾方向選択位置はＬ５３＋５０＋ｌｉ
／１０ＩＩｎ＝２０程度必要である。

なお、被検材（１）の同一長さの位置に２ヶ以上の欠陥
がある場合は、マーキングガン（１０）がＩＣＨのため
長さ方向に若干移動時間をずらして被検材（１）の巾方
向の正確な位置にマーキングを行うケースも有る。

第２図はこの発明の第１の他の実施例を示す図で、第２
図において信号処理回路（７）にて被検材（１）の欠陥
の巾方向位置を検知し、信号処理回路（７）の出力によ
り被検材（１）の欠陥部の巾方向位置を選択する巾方向
選択回路（１３）にて巾方向位置を選択し、多ＣＨマー
キングガン（１６）の中から被検材（１）にマーキング
すべきマーキングガンを選択し、かつ長さ方向には被検
材（１）の搬送速度検出器（９）の出力によりマーキン
グ位置をトラッキングして被検材（１）の長さ方向のみ
ならず巾方向においても欠陥位置に正確にマーキングを
行う。

多ＣＨマーキングガン（１６）は通常巾方向選択位置の
数と同じ＜２０ＣＨ程度有している。

第３図はこの発明の第２の他の実施例を示す図で、第３
図において信号処理回路（７）の出力により被検材（１
）の欠陥部の巾方向位置を選択する巾方向選択回路（１
３）にて巾方向位置を選択し、巾方向駆動装置（１４）
に入力しＩＣＨマーキングガン（１０）を巾方向駆動装
置（１４）により巾方向に駆動し、被検材（１）の欠陥
位置に正確にマーキングを行う。

しかしながら被検材（１）には曲がりや振動があるため
、このままでは被検材（１）の巾方向の位置がずれるた
め形状検出カメラ（１８）によって被検材（１）の形状
が検出され、形状認識装置（１９）にて予め記憶されて
いるＩＣＨマーキングガン（１０）の巾方向の形状と被
検材（１）の巾方向の形状との差を演算し、かつ巾方向
補正回路（２０）にて前記巾方向の差によりマーキング
すべきＩｃＨマーキングガン（１０）の位置の巾方向補
正量を演算し、巾方向選択回路（１３）にて信号処理回
路（７）の出力により選択した巾方向の位置を補正し、
巾方向選択回路（１３）の出力により巾方向駆動装置（
１４）を駆動してＩＣＨマーキングガン（１０）を巾方
向のマーキングすべき位置に移動させ、被検材（１）の
欠陥位置に巾方向においても正確にマーキングを行う。

ＩＣＨマーキングガン（１０）はマーキングガンフレキ
シブル部（１５）を有しており移動可能である。

第４図はこの発明の第３の他の実施例を示す図で、第４
図において信号処理回路（７）の出力により被検材（１
）の欠陥部の巾方向位置を選択する巾方向選択回路（１
３）にて巾方向位置を選択し、多ＣＨマーキングガン（
１６）の中から被検材（１）にマ−キングすべきマーキ
ングガンを選択し、被検材（１）の欠陥位置に正確にマ
ーキングを行う。

しかしながら被検材（１）には曲りや振動があるため、
このままでは被検材（１）の巾方向位置がずれるため形
状検出カメラ（１８）によって被検材（１）の形状が検
出され２形状認識装置（１９）にて記憶されている多Ｃ
Ｈマーキングガン（１６）の巾方向の形状と被検材（１
）の巾方向の形状との差を演算し。

かつ巾方向補正回路（２０）にて前記巾方向の差により
マーキングすべき多ＣＨマーキングガン（１６）の位置
の巾方向補正量を演算し、巾方向選択回路（１３）にて
信号処理回路（７）の出力により選択した巾方向位置を
補正し、巾方向選択回路（１３）の出力により多ＣＨマ
ーキング制御装置（１７）を通して多ＣＨマーキングガ
ン（１６）の中から被検材（１）の巾方向のマーキング
すべきマーキングガンを選択し、被検材（１）の欠陥位
置に巾方向においても正確にマーキングを行う。

第５図はこの発明の第４の他の実施例を示す図で、第５
図において信号処理回路（７）の出力によす被検材（１
）の欠陥部の巾方向位置を選択する巾方向選択回路（１
３）にて巾方向位置を多ＣＨマーキングガン（１６）の
中から被検材（１）にマーキングすべきマーキングガン
を選択し、巾方向選択回路（１３）の出力によりタイミ
ング制御装置（１２）、多ＣＨマーキング制御装置（１
７）を通して被検材（１）の欠陥位置に正確にマーキン
グを行う。

しかしながら被検材（１）には曲りや振動があるため、
このままでは被検材（１）の巾方向位置がずれるため形
状検出カメラ（１８）によって被検材（１）の形状を検
出し、形状認識装置（１９）にて予め記憶されている多
ＣＨマーキングガン（１６）の巾方向の形状と被検材（
１）の巾方向の差を演算し、巾方向補正回路（２０）に
て前記巾方向の差によりマーキングすべき多ＣＨマーキ
ングガン（１６）の巾方向補正量を演算し、巾方向駆動
装置（２１）に入力し、巾方向駆動装置（２１）の出力
にて多ＣＨマーキングガン（Ｉ６）を巾方向に駆動し、
被検材（１）の曲りや振動による巾方向の位置ずれを補
正し、被検材（１）の欠陥位置に巾方向においても正確
にマーキングを行う。

またＩＣＨマーキングガン（１０）はマーキングガンフ
レキシブル部（１５）を有しており移動可能である。

第６図はこの発明の第５の他の実施例を示す図で、第６
図において信号処理回路（７）の出力により被検材（１
）の欠陥部の巾方向位置を選択する巾方向選択回路（１
３）にて巾方向位置を選択し、多ＣＨマーキングガン（
１６）の中から被検材（１）にマーキングすべきマーキ
ングガンを選択し、巾方向選択回路（１３）の出力によ
りタイミング制御装置（１２）、多ＣＨマーキング制御
装置（１７）を通して被検材（１）の欠陥位置に正確に
マーキングを行う。

しかしながら被検材（１）には曲りや振動があるため、
このままでは被検材（１）の巾方向位置がずれるため被
検材（１）の形状に油圧機構等の作用により機械的に追
従する被検材追従装置（２２）　、例えば油圧装置等に
よりローラを上下方向に押しつけて被検材（１）に追従
し、かつ多ＣＨマーキングガン（１６）と連動して移動
することにより多ＣＨマーキングガン（１６）は被検材
（１）の曲りや振動に追従することが可能である。

多ＣＨマーキングガン（１６）はマーキングガンフレキ
シブル部（■５）を有しており移動可能である。

［発明の効果］ この発明は以上のようになっているから被検材の欠陥位
置にマーキングする際、被検材の長さ方向位置のみなら
ず巾方向の位置を正確に検出し。

また被検材に曲りや振動があった場合、被検材の形状を
検出することにより被検材の欠陥位置を巾方向において
も正確に検出することにより正確にマーキングすること
が可能となり、後工程での欠陥部を切削する場合に切削
の必要のない健全部分の切削をする必要がなくなる。

【図面の簡単な説明】 第１図はこの発明の実施例を示す表面欠陥検知装置のブ
ロック図、第２図はこの発明の第１の他の実施例を示す
表面欠陥検知装置のブロック図。 第３図はこの発明の第２の他の実施例を示す表面欠陥検
知装置のブロック図、第４図はこの発明の第３の他の実
施例を示す表面欠陥検知装置のブロック図、第５図はこ
の発明の第４の他の実施例を示す表面欠陥検知装置のブ
ロック図、第６図はこの発明の第５の他の実施例を示す
表面欠陥検知装置のブロック図、第７図は従来の表面欠
陥検知装置を示すブロック図である。 図において（１）は被検材、（２）は被検材（１）の搬
送方向、（３）は加熱装置、（４）は加熱制御装置、（
５）は加熱制御装置（４）の基準入力、（６）は赤外線
検出器、（７）は信号処理回路、（８）は信号処理回路
（７）の基準入力、（９）は被検材（１）の速度検出器
、　（１０）はＩＣＨマーキングガン、　（１１）はＩ
ＣＨマーキング制御装置、　（１２）はタイミング制御
装置、　（１３）は巾方向選択回路、　（１４）は巾方
向駆動装置、　（１５）はマーキングガンフレキシブル
部。 （１６）は多ＣＨマーキングガン、　（１７）は多ＣＨ
マーキング制御装置、　（１８）は形状検出カメラ、　
（１９）は形状認識装置、　（２０）は巾方向補正回路
、　（２１）は巾方向駆動装置、　（２２）は被検材形
状追従装置である。 なお１図中同一あるいは相当部分には同一符号が付して
示しである。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）パイプ、棒材の被検材表面を連続的に探傷する表
   面欠陥検知装置において、被検材を加熱する加熱装置と
   、前記加熱装置の加熱パワーを制御する加熱制御装置と
   、被検材の欠陥部の赤外線放射感度を検出する赤外線検
   出器と、前記赤外線検出器の出力信号である被検材の赤
   外線放射感度を信号処理する信号処理回路と、前記被検
   材の搬送速度を検出する速度検出器と、前記被検材の欠
   陥位置にマーキングする１チャンネルのマーキングガン
   と、前記マーキングガンを制御するマーキング制御装置
   と、前記マーキング制御装置へ前記速度検出器よりの信
   号によりマーキングタイミングを出力するタイミング制
   御装置と、前記信号処理回路の出力により前記被検材の
   欠陥の巾方向位置を選択する巾方向選択回路と、前記巾
   方向選択回路の出力により前記マーキングガンを巾方向
   へ移動させる巾方向駆動装置と、前記マーキングガンを
   巾方向移動可能とするマーキングガンフレキシブル部と
   を具備したことを特徴とする赤外線表面欠陥検知装置。
2. （２）パイプ、棒材の被検材表面を連続的に探傷する表
   面欠陥検知装置において、被検材を加熱する加熱装置と
   、前記加熱装置の加熱パワーを制御する加熱制御装置と
   、被検材の欠陥部の赤外線放射感度を検出する赤外線検
   出器と、前記赤外線検出器の出力信号である被検材の赤
   外線放射感度を信号処理する信号処理回路と、前記被検
   材の搬送速度を検出する速度検出器と、前記被検材の欠
   陥位置にマーキングする多チャンネルのマーキングガン
   と、前記多チャンネルのマーキングガンを制御するマー
   キング制御装置と、前記信号処理回路の出力により前記
   被検材の欠陥の巾方向位置を選択する巾方向選択回路と
   、前記マーキング制御装置へ前記速度検出器よりの信号
   によりマーキングタイミングを出力するタイミング制御
   装置とを具備したことを特徴とする赤外線表面欠陥検知
   装置。
3. （３）前記被検材の形状を検出する形状検出カメラと、
   前記形状検出カメラの出力により被検材の形状を認識す
   る形状認識装置と、前記形状認識装置の出力により被検
   材の巾方向の位置を補正し、その出力を上記巾方向選択
   回路に導入させる巾方向補正回路とを具備したことを特
   徴とする請求項（１）又は（２）記載の赤外線表面欠陥
   検知装置。
4. （４）パイプ、棒材の被検材表面を連続的に探傷する表
   面欠陥検知装置において、被検材を加熱する加熱装置と
   、前記加熱装置の加熱パワーを制御する加熱制御装置と
   、被検材の欠陥部の赤外線放射感度を検出する赤外線検
   出器と、前記赤外線検出器の出力信号である被検材の赤
   外線放射感度を信号処理する信号処理回路と、前記被検
   材の搬送速度を検出する速度検出器と、前記被検材の欠
   陥位置にマーキングする多チャンネルのマーキングガン
   と、前記多チャンネルのマーキングガンを制御するマー
   キング制御装置と、前記多チャンネルのマーキングガン
   を移動させる巾方向駆動装置と前記マーキング制御装置
   へ前記速度検出器からの信号によりマーキングタイミン
   グを出力するタイミング制御装置と、前記被検材の形状
   を検出する形状検出カメラと、前記形状検出カメラの出
   力により被検材の形状を認識する形状認識装置と、前記
   形状認識装置の出力により被検材の巾方向の位置を補正
   し、前記巾方向駆動装置へ出力する巾方向補正回路と、
   前記巾方向補正回路の出力及び前記信号処理回路の出力
   により前記被検材の欠陥の巾方向位置を検出し、前記マ
   ーキング制御装置へ出力する巾方向選択回路と、前記多
   チャンネルのマーキングガンを巾方向に移動可能とする
   マーキングガンフレキシブル部とを具備したことを特徴
   とする赤外線表面欠陥検知装置。
5. （５）パイプ、棒材の被検材表面を連続的に探傷する表
   面欠陥検知装置において、被検材を加熱する加熱装置と
   、前記加熱装置の加熱パワーを制御する加熱制御装置と
   、被検材の欠陥部の赤外線放射感度を検出する赤外線検
   出器と、前記赤外線検出器の出力信号である被検材の赤
   外線放射感度を信号処理する信号処理回路と、前記被検
   材の搬送速度を検出する速度検出器と、前記被検材の欠
   陥位置にマーキングする多チャンネルのマーキングガン
   と、前記多チャンネルのマーキングガンを制御するマー
   キング制御装置と、前記信号処理回路の出力により前記
   被検材の欠陥の巾方向位置を選択し、それを前記マーキ
   ング制御装置へ出力する巾方向選択回路と、前記マーキ
   ング制御装置へ前記速度検出器からの信号によりマーキ
   ングタイミングを出力するタイミング制御装置と、前記
   被検材の形状に機械的に追従しかつ前記多チャンネルの
   マーキングガンと連動する被検材形状追従装置と、前記
   多チャンネルのマーキングガンを移動可能とするマーキ
   ングガンフレキシブル部とを具備したことを特徴とする
   赤外線表面欠陥検知装置。