JPH04181753A - 試料吸着保持装置 - Google Patents

試料吸着保持装置

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JPH04181753A
JPH04181753A JP2308717A JP30871790A JPH04181753A JP H04181753 A JPH04181753 A JP H04181753A JP 2308717 A JP2308717 A JP 2308717A JP 30871790 A JP30871790 A JP 30871790A JP H04181753 A JPH04181753 A JP H04181753A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は加熱手段を有するステージ上に試料を真空吸着
で保持する試料吸着保持装置に関する。
〔従来の技術〕
例えば、ボンディング装置においては、基板、リードフ
レーム等の試料を加熱手段を備えたステージ上に載置し
、このステージを真空吸着で保持し、ワイヤボンディン
グ又はチップボンディングを行っている。
なお、この種の装置として、例えば実公昭５７−４９３
８８号公報があげられる。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術は、ステージで加熱された高温のエアを真
空ポンプで吸引するので、高温のエアが真空ポンプに入
り、故障するという問題点があった。またバイブは、高
価な耐熱バイブを使用しなければならなかった。
本発明の目的は、真空ポンプの損傷を防止することがで
きる試料吸着保持装置を提供することにある。
〔課題を解決するだめの手段〕
上記目的を達成するために、ステージと真空ポンプを連
結するパイプの途中にエア冷却装置を設けたものである
。
〔作用〕
ステージによって加熱されたエアは、エア冷却装置によ
って冷却されて真空ポンプに入るので、真空ポンプの損
傷は防止される。またエア冷却装置以降のパイプは、常
温使用のバイブを用いてもよい。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第」図乃至第４図により説明
する。第」図及び第２図に示すように、スタンド１上に
は、試料２を保持するステージ３か固定されている。ス
テージ３は、ヒータ（図示せず）を内蔵したビートブロ
ック４と、試料２を載置するホットプレート５とからな
っており、該ステージ３には、バイブロ、７に連通し、
試料２を真空吸着するための吸着孔等（図示せず）が形
成されている。以上は、公知の構造であるので、これ以
上の説明は省略する。
前記バイブロ、７は、ジヨイントＩＯを介してバイブ１
１に連結され、バイブ１１は、ジヨイント１２を介して
エア冷却装置２０の入口側バイブ１３に連結されている
。エア冷却装置２０の出口側バイブ１４は、ジヨイント
】５を介してパイプ１６とつながり、パイプ１６は、真
空ポンプ１７に連結されている。
前記エア冷却装置２０は、第３図及び第４図に示すよう
な構造となっている。ファン２１が固定されたファン取
付体２２上には、円筒状の外側筒体２３が固定されてお
り、外側筒体２３上には、排気筒体２４が固定されてい
る。外側筒体２３内には、円筒状よりなる内側熱遮蔽板
２５及び外側熱遮蔽板２６とが配設されている。内側熱
遮蔽板２５と外側熱遮蔽板２６とは、上端部が連結板２
７に固定されており、連結板２７は前記排気筒体２４に
固定されている。
前記内側熱遮蔽板２５及び外側熱遮蔽板２６の外側には
、それぞれ螺旋状に巻かれたパイプ３０及び３１が配設
され、パイプ３０と３１の上端部は、バイブ３２に連結
されている。前記パイプ３０の下端部は、前記入口側バ
イブ１３にジヨイント３３を介して固定され、前記バイ
ブ３１の下端部は、前記出口側バイブ１４にジヨイント
３４を介して連結されている。
従って、真空ポンプＩ７が作動すると、ステージ３によ
って加熱されたエアは、バイブロ、７．１１を通ってエ
ア冷却装置２０の人口側バイブＩ３内に入る。この人口
側バイブ１３に入ると、内側熱遮蔽板２５の下方より上
部まで螺旋状に進み、更にバイブ３２を通って外側熱遮
蔽板２６の上部より下部に螺旋状に下りてバイブ１６に
入る。
前記のように、加熱エアかパイプ３０．３１を通る間に
、加熱エアはファン２１によって下方から上方にブロー
され、その熱は排気筒体２４より外部に放出される。こ
れにより、出口側バイブ１４の真空エアは、常温とほぼ
同温度まで下がってパイプ１６に入り、このパイプ１６
を通った冷却エアが真空ポンプ１７に入る。
このように、ステージ３により加、熱された真空エアは
、エア冷却装置２０によって冷却されて真空ポンプ１７
に入るので、真空ポンプ１７の損傷が防止される。また
エア冷却装置２０後の出口側バイブ１４、パイプ】６は
、常温仕様のポリウレタンチューブ等を使用することが
できる。
また本実施例に示すように、バイブ３０．３１を螺旋状
とし、往路のバイブ３０と復路のバイブ３１の２重構造
とし、これらのパイプ３０．３１をファン２１で強制空
冷すると、小さな容積で空冷効果をより効果的に行うこ
とができる。
更に、本実施例に示すように、パイプ３０．３１が密着
するように内側熱遮蔽板２５、外側熱遮蔽板２６を配設
すると、パイプ３０．３１の熱は内側熱遮蔽板２５、外
側熱遮蔽板２６に伝達されてより冷却効果が高められ、
更に外側熱遮蔽板２６は内側のパイプ３０の熱を外側の
パイプ３１に伝えない効果がある。
第５図はエア冷却装置２０の他の実施例を示す。
前記実施例に示す入口側パイプ１３、出口側パイプ１４
は、冷却ボックス４０の上部及び下部に取り付けられて
いる。冷却ボックス４０内は、エアの流れを蛇行させる
ように複数の仕切板４１が固定されている。また冷却ボ
ックス４０の外側には、冷却エアボックス４２が配設さ
れ、この冷却エアボックス４２の上部には排気口４２ａ
が形成され、更に冷却エアボックス４２の下部には冷却
ボックス４０の外周を冷却するファン２１が取り付けら
れている。
このように、エア冷却装置２０を構成しても、前記実施
例とほぼ同様の効果が得られる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、ステージにより加熱された真空エアは
、エア冷却装置によって冷却されて真空ポンプに入るの
で、真空ポンプの損傷が防止される。またエア冷却装置
後のパイプは、常温仕様のポリウレタンチューブ等を使
用することもできる。
またエア冷却装置に設けたパイプを螺旋状とし、往路の
パイプと復路のパイプの２重構造とし、これらのパイプ
をファンで強制空冷すると、小さな容積で空冷効果をよ
り効果的に行うことができる。
更に、前記パイプが密着するように熱遮蔽板を配設する
と、パイプの熱は熱遮蔽板に伝達されてより冷却効果が
高められる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図は第１
図の平面図、第３図はエア冷却装置の断面図、第４図は
第３図のＡ−Ａ線矢視図、第５図はエア冷却装置の他の
実施例を示す概略構成断面図である。 ２；試料、　　　　　３：ステージ、 ６．７．１１．１３．１４．１６；パイプ、１７：真空
ポンプ、　２０；エア冷却装置、２１：ファン、　　　
　２５：内側熱遮蔽板、２６：外側熱遮蔽板、 ３０．３１：パイプ、　　４ｏ；冷却ボックス、４１：
仕切板。 代理人　弁理士　１）辺　良　徳　−“第　１　図 ２：吉−Ｃ摩１ ３：ステージ゛ ６、　　＋＋、　　＋４：ｒ：イブ ２ｏ：工７　”ｆ却駁１ 第２図 第３図

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）試料を、加熱手段を備えたステージ上に真空ポン
    プによる真空吸着によって保持する試料吸着保持装置に
    おいて、前記ステージと前記真空ポンプを連結するパイ
    プの途中にエア冷却装置を設けたことを特徴とする試料
    吸着保持装置。
  2. （２）前記エア冷却装置は、真空エアが通る螺旋状に巻
    かれたパイプと、このパイプを強制冷却するためのファ
    ンとからなることを特徴とする請求項１記載の試料吸着
    保持装置。
  3. （３）前記螺旋状のパイプは、往路と復路の２重構造よ
    りなることを特徴とする請求項２記載の試料吸着保持装
    置。
  4. （４）前記螺旋状のパイプは、熱遮蔽板の外側に配設さ
    れていることを特徴とする請求項２又は３記載の試料吸
    着保持装置。
  5. （５）前記エア冷却装置は、真空エアの流れを蛇行させ
    るように仕切板で仕切られた冷却ボックスと、この冷却
    ボックスを強制冷却するためのファンとからなることを
    特徴とする請求項１記載の試料吸着保持装置。
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