JPH04186538A - 情報記録媒体 - Google Patents
情報記録媒体Info
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- JPH04186538A JPH04186538A JP2313949A JP31394990A JPH04186538A JP H04186538 A JPH04186538 A JP H04186538A JP 2313949 A JP2313949 A JP 2313949A JP 31394990 A JP31394990 A JP 31394990A JP H04186538 A JPH04186538 A JP H04186538A
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- recording medium
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ光などの記録用エネルギービームによっ
て、例えば映像や音声などのアナログ信号をＦＭ変調し
たものや、電子計算機のデータや、ファクシミリ信号や
ディジタルオーディオ信号などのディジタル信号を、記
録することが可能な情報記録媒体に関する。
て、例えば映像や音声などのアナログ信号をＦＭ変調し
たものや、電子計算機のデータや、ファクシミリ信号や
ディジタルオーディオ信号などのディジタル信号を、記
録することが可能な情報記録媒体に関する。
レーザ光などの記録用エネルギービームの照射によって
記録を行う情報記録媒体として、光ディスクが実用化さ
れている。例えば、相変化型の光記録媒体において、情
報の記録は、レーザ光の照射により記録媒体上の記録膜
の局所部分を昇温することにより行う。すなわち照射す
るレーザ光のパワーとパルス幅に依存して、記録膜の一
点が昇温後、徐冷あるいは急冷され、結晶−非晶質相変
化が生じる。情報の再生は、記録レーザ光より低出力の
レーザ光を記録媒体に照射して、反射光量の変化を検出
して行う。
記録を行う情報記録媒体として、光ディスクが実用化さ
れている。例えば、相変化型の光記録媒体において、情
報の記録は、レーザ光の照射により記録媒体上の記録膜
の局所部分を昇温することにより行う。すなわち照射す
るレーザ光のパワーとパルス幅に依存して、記録膜の一
点が昇温後、徐冷あるいは急冷され、結晶−非晶質相変
化が生じる。情報の再生は、記録レーザ光より低出力の
レーザ光を記録媒体に照射して、反射光量の変化を検出
して行う。
代表的な情報記録媒体の一例は、ガラス基板あるいは樹
脂基板上に、誘電体膜、記録膜、誘電体膜を順に積層し
て構成したものである。ここで、誘電体膜は、記録膜の
保護と、光の多重干渉効果を利用して再生出力を大きく
する目的で設けられるが、必ずしも設ける必要はない。
脂基板上に、誘電体膜、記録膜、誘電体膜を順に積層し
て構成したものである。ここで、誘電体膜は、記録膜の
保護と、光の多重干渉効果を利用して再生出力を大きく
する目的で設けられるが、必ずしも設ける必要はない。
また多くの場合、記録および再生のレーザ光は基板側か
ら照射される。
ら照射される。
代表的な情報記録媒体の別の例は、上記の記録媒体の、
記録膜に対してレーザ光入射と逆の側に、金属膜を設け
て構成したものである。金属膜を設けた構成の光記録媒
体では、記録膜を透過したレーザ光を金属膜で反射させ
ることができるので、光の多重干渉をさらに有効に利用
し、再生出力を大きくすることができる。金属膜として
は、反射率の高いＡｌやＡｕ等が用いられている。
記録膜に対してレーザ光入射と逆の側に、金属膜を設け
て構成したものである。金属膜を設けた構成の光記録媒
体では、記録膜を透過したレーザ光を金属膜で反射させ
ることができるので、光の多重干渉をさらに有効に利用
し、再生出力を大きくすることができる。金属膜として
は、反射率の高いＡｌやＡｕ等が用いられている。
ところで、上記の情報記録媒体では、記録膜の結晶−非
晶質相変化を可逆的に生じさせることができるので、情
報の繰返し書き換えが可能である。
晶質相変化を可逆的に生じさせることができるので、情
報の繰返し書き換えが可能である。
すなわち、高いパワーのレーザ光を照射して、記録膜を
融点以上に昇温後、急冷して形成した非晶質（記録点）
は、やや低いパワーのレーザ光を照射して結晶化温度以
上に昇温後、徐冷することによって結晶化（消去）する
ことができる。
融点以上に昇温後、急冷して形成した非晶質（記録点）
は、やや低いパワーのレーザ光を照射して結晶化温度以
上に昇温後、徐冷することによって結晶化（消去）する
ことができる。
上記従来技術は、情報記録媒体に設ける金属膜の組成に
ついて十分配慮されておらず、多数回の繰返し書き換え
を行った場合、ノイズの上昇や金属膜の剥離が生じると
いう問題があった。本発明の目的は、Ａｌ合金膜を用い
ることにより上記問題点を取り除き、多数回書き換え時
にも、良好な記録再生特性を得るのに好適な情報記録媒
体を堤供することにある。
ついて十分配慮されておらず、多数回の繰返し書き換え
を行った場合、ノイズの上昇や金属膜の剥離が生じると
いう問題があった。本発明の目的は、Ａｌ合金膜を用い
ることにより上記問題点を取り除き、多数回書き換え時
にも、良好な記録再生特性を得るのに好適な情報記録媒
体を堤供することにある。
上記目的は、情報記録用薄膜に近接して、もしくは情報
記録用薄膜に隣接して形成した無機物または有機物の少
なくとも一者からなる保護層に接して、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎ
ｉ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｚｎ。
記録用薄膜に隣接して形成した無機物または有機物の少
なくとも一者からなる保護層に接して、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎ
ｉ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｚｎ。
Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｍｇ、Ｓｎ、Ｔｉの中から選ばれる
少なくとも１種以上の元素とＡｌとからなるの層を設け
ることにより達成される。
少なくとも１種以上の元素とＡｌとからなるの層を設け
ることにより達成される。
上記Ａｌ合金膜として、Ａ ｇ 、 Ｃｕ ＨＮ ｉ＋
Ｆｅ、Ｃｏ、Ｚｎ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｍｇ。
Ｆｅ、Ｃｏ、Ｚｎ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｍｇ。
Ｓｎ、Ｔｉの中から選ばれる少なくとも２種以上の元素
を含むＡｌ合金膜を用いることが好ましい。
を含むＡｌ合金膜を用いることが好ましい。
上記Ａｌ合金膜として、ＡｌＡｇ合金、またはＡｌＣｕ
合今に、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｚｎ、Ｔａ。
合今に、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｚｎ、Ｔａ。
Ｃｒ、Ｍｎ、Ｍｇ、Ｓｎ、Ｔｉの中から選ばれる少なく
とも１種以上の添加元素を含むＡｌ合金膜を用いること
が好ましい。ＡｇやＣｕの添加はＡｌ合金膜の反射率の
低下が小さいので、２種以上の元素を含む場合に特に好
ましい。
とも１種以上の添加元素を含むＡｌ合金膜を用いること
が好ましい。ＡｇやＣｕの添加はＡｌ合金膜の反射率の
低下が小さいので、２種以上の元素を含む場合に特に好
ましい。
上記Ａｌ合金膜のＡｌ原子濃度は、７５％以上９８％以
下であることが好ましい。Ａｌ原子濃度が７５％より小
さい場合には、Ａｌ合金膜の反射率の低下と熱伝導率の
低下の両方の影響で良好な記録再生特性が得られない。
下であることが好ましい。Ａｌ原子濃度が７５％より小
さい場合には、Ａｌ合金膜の反射率の低下と熱伝導率の
低下の両方の影響で良好な記録再生特性が得られない。
またＡｌ原子濃度が９８％より大きい場合には、合金化
の効果が得られない。
の効果が得られない。
上記Ａｌ合金膜の膜厚は３０ｎｍ以上３ｏ○ｎｍ以下で
あることが好ましい。Ａｌ合金膜の膜厚が３０ｎｍより
小さい場合には、レーザ光の繰返し照射による昇温で、
合金膜の変形や剥離が生じやすくなる。またＡｌ合金膜
の膜厚が３００ｎｍより大きい場合には、合金膜自身の
応力により合金膜の変形や剥離が生じやすくなる。
あることが好ましい。Ａｌ合金膜の膜厚が３０ｎｍより
小さい場合には、レーザ光の繰返し照射による昇温で、
合金膜の変形や剥離が生じやすくなる。またＡｌ合金膜
の膜厚が３００ｎｍより大きい場合には、合金膜自身の
応力により合金膜の変形や剥離が生じやすくなる。
上記Ａｆ１合金膜としては、Ａ Ｑ Ａ ｇ Ｔ ｉ
。
。
Ａ Ｑ Ｃｕ Ｍ ｎ 、 Ａ Ｑ Ｃｕ Ｍ ｇ 、
Ａ Ｑ Ｃｕ Ｍ ｇ Ｍ ｎ 。
Ａ Ｑ Ｃｕ Ｍ ｇ Ｍ ｎ 。
Ａ Ｑ Ｃｕ Ｔ ｉ 、 Ａ Ｑ Ｔ ｉ Ｓ ｎ
、 Ａ Ｑ Ｍ ｎ Ｍ ｇ 。
、 Ａ Ｑ Ｍ ｎ Ｍ ｇ 。
ＡｌＭｇ、ＡｌＭｎが好ましい。
また、上記Ａｌ合金膜の組成は、必ずしも膜厚方向に均
一である必要はない。また、Ａｌ濃度の異なる２種類以
上のＡｌ合金膜を積層するか、または、構成元素の異な
る２種類以上のＡｌ合金膜を積層して構成した多層構造
の金属膜を用いることもできる。いずれの場合も、記録
膜側のＡｌ濃度を高くすることによって、記録膜側の反
射率を上げることが好ましい。
一である必要はない。また、Ａｌ濃度の異なる２種類以
上のＡｌ合金膜を積層するか、または、構成元素の異な
る２種類以上のＡｌ合金膜を積層して構成した多層構造
の金属膜を用いることもできる。いずれの場合も、記録
膜側のＡｌ濃度を高くすることによって、記録膜側の反
射率を上げることが好ましい。
これらのＡｌ合金膜は、スパッタ法や蒸着法により容易
に成膜できる。ただし、スパッタ法の方がより緻密なＡ
ｌ合金膜が成膜できるので好ましい。
に成膜できる。ただし、スパッタ法の方がより緻密なＡ
ｌ合金膜が成膜できるので好ましい。
上記Ａｌ合金膜は平坦性が良好であり、同時に密着性が
強いので、レーザ光等のエネルギービームの照射を多数
回繰り返しても、金属膜の変形や剥離が生じない。した
がって、情報の書き換えを多数回繰り返しても、ノイズ
が増加することがなく、良好な記録再生特性が得られる
。さらに、上記Ａｌ合金膜は反射率が大きいので、高い
再生出力を得ることができる。
強いので、レーザ光等のエネルギービームの照射を多数
回繰り返しても、金属膜の変形や剥離が生じない。した
がって、情報の書き換えを多数回繰り返しても、ノイズ
が増加することがなく、良好な記録再生特性が得られる
。さらに、上記Ａｌ合金膜は反射率が大きいので、高い
再生出力を得ることができる。
さらに、上記Ａｌ合金膜の膜厚を選び、情報記録媒体の
記録感度を適切な値に設定することによって、記録レー
ザパワーが変動した場合にも、安定した再生特性が得る
ことができる。
記録感度を適切な値に設定することによって、記録レー
ザパワーが変動した場合にも、安定した再生特性が得る
ことができる。
以下、本発明の一実施例を挙げ、図面を参照しながら詳
述する。
述する。
ガラス基板１を用いて、第１図に示す構成の相変化光デ
ィスクを作製した。ガラス基板１の直径は１３Ｃ）ａｎ
、厚さは１．２ｍである。また、基板１の表面には、レ
ーザ光の案内溝を設けるために、紫外線硬化樹脂層２を
設けている。この基板を用いて、高周波スパッタ法によ
り、第１誘電体膜３（窒化Ｓｉ膜、膜厚１３０ｎｍ）、
記録膜４（ＧｅＳｂＴｅＣｏ膜、膜厚３０ｒｉｍ）、第
２誘電体膜５（窒化Ｓｉ膜、膜厚３０ｎｍ）、Ａｌ合金
膜６（１００ｎｍ）を順に積層した。さらに、本実施例
では、Ａｌ合金膜を保護する目的で、Ａｌ合金膜の上に
厚さ２０μｍの紫外線硬化樹脂層７を設けた。
ィスクを作製した。ガラス基板１の直径は１３Ｃ）ａｎ
、厚さは１．２ｍである。また、基板１の表面には、レ
ーザ光の案内溝を設けるために、紫外線硬化樹脂層２を
設けている。この基板を用いて、高周波スパッタ法によ
り、第１誘電体膜３（窒化Ｓｉ膜、膜厚１３０ｎｍ）、
記録膜４（ＧｅＳｂＴｅＣｏ膜、膜厚３０ｒｉｍ）、第
２誘電体膜５（窒化Ｓｉ膜、膜厚３０ｎｍ）、Ａｌ合金
膜６（１００ｎｍ）を順に積層した。さらに、本実施例
では、Ａｌ合金膜を保護する目的で、Ａｌ合金膜の上に
厚さ２０μｍの紫外線硬化樹脂層７を設けた。
表１に実験に用いた各種Ａｌ合金膜の反射率と、上記の
方法で作製した相変化光ディスクの初期ＣＮ比（信号対
雑音比）、および書き換え１０万回後のノイズの増加値
を示す。ＣＮ比とノイズの増加値は、ディスク回転数２
４０ Ｏｒ ｐ ｍ ＋記録周波数２ＭＨｚの条件でデ
ィスク半径４０ＩＩＩＬ１の位置で測定を行った。記録
再生に用いたレーザ光の波長は８３０ｎｍ、焦点レンズ
の開口数１±０．５５である。
方法で作製した相変化光ディスクの初期ＣＮ比（信号対
雑音比）、および書き換え１０万回後のノイズの増加値
を示す。ＣＮ比とノイズの増加値は、ディスク回転数２
４０ Ｏｒ ｐ ｍ ＋記録周波数２ＭＨｚの条件でデ
ィスク半径４０ＩＩＩＬ１の位置で測定を行った。記録
再生に用いたレーザ光の波長は８３０ｎｍ、焦点レンズ
の開口数１±０．５５である。
（以下余白）
［表１］
組 成 反射率 初期ＣＮ比 ノイ
ズの増加値（ａｔ％） （％） （ｄ
Ｂ） （ｄＢ）Ａｌ９．Ａｇ４Ｔｉ２ ８
６．２ ５２．１ ０．２Ａｌ、４ＣｕＧ
８８．２ ５４．０ ０．０ＡＬ４Ｃ
ｕ、Ｍｎ２ ８８．０ ５２．８ ０．０
ＡＩ２９４Ｃｕ、Ｍｇ２ ８８．２ ５２．４
０．４Ａｌ、、Ｃｕ、ＭｇｉＭｎ、 ８７．９
５３．．１ ０．ＯＡｌ、、Ｃｕ、Ｔｉ３
８８，１ ５１．８ ０．４Ａｌ、２Ｔｉ
、Ｓｎ２ ８３．２ ５１．１ ０．０Ａ
ｌ、、ＭｎａＭｇ３ ８３，８ ５２．１
０．３Ａｌ、７Ｃｒ、 ８３，４ ５
１．２ ０．９Ａｌ９．Ｍｇ３ ８４．
４ ５１．７ １．２Ａｌ、□Ｍｎ３
８５．３ ５０．８ １．ＯＡｌ
８５．９ ５２．１ ５．８表１に
示すごとく、Ａ ｇ ＋ Ｃｕ ＋ Ｔ ｉ＋ Ｍ ｎ
＋Ｍ ｇ ｙ Ｓ ｎ ｔ Ｃｒを添加した金属膜を
用いた相変化光ディスクで、多数回書き換え後もノイズ
の増加が少なく、良好なＣＮ比が得られた。また、Ｎｉ
、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｚｎ、Ｔａを添加した場合も、１０万回
後のノイズの増加値は、１゜６ｄＢ から２．０ ｄ
Ｂ の範囲内にあり、良好な結果が得られた。
ズの増加値（ａｔ％） （％） （ｄ
Ｂ） （ｄＢ）Ａｌ９．Ａｇ４Ｔｉ２ ８
６．２ ５２．１ ０．２Ａｌ、４ＣｕＧ
８８．２ ５４．０ ０．０ＡＬ４Ｃ
ｕ、Ｍｎ２ ８８．０ ５２．８ ０．０
ＡＩ２９４Ｃｕ、Ｍｇ２ ８８．２ ５２．４
０．４Ａｌ、、Ｃｕ、ＭｇｉＭｎ、 ８７．９
５３．．１ ０．ＯＡｌ、、Ｃｕ、Ｔｉ３
８８，１ ５１．８ ０．４Ａｌ、２Ｔｉ
、Ｓｎ２ ８３．２ ５１．１ ０．０Ａ
ｌ、、ＭｎａＭｇ３ ８３，８ ５２．１
０．３Ａｌ、７Ｃｒ、 ８３，４ ５
１．２ ０．９Ａｌ９．Ｍｇ３ ８４．
４ ５１．７ １．２Ａｌ、□Ｍｎ３
８５．３ ５０．８ １．ＯＡｌ
８５．９ ５２．１ ５．８表１に
示すごとく、Ａ ｇ ＋ Ｃｕ ＋ Ｔ ｉ＋ Ｍ ｎ
＋Ｍ ｇ ｙ Ｓ ｎ ｔ Ｃｒを添加した金属膜を
用いた相変化光ディスクで、多数回書き換え後もノイズ
の増加が少なく、良好なＣＮ比が得られた。また、Ｎｉ
、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｚｎ、Ｔａを添加した場合も、１０万回
後のノイズの増加値は、１゜６ｄＢ から２．０ ｄ
Ｂ の範囲内にあり、良好な結果が得られた。
上記実施例のＡ Ｑ Ｃｕ Ｍ ｇ Ｍ ｎ合金膜。
Ａ Ｑ Ａ ｇ Ｔ ｉ合金膜、ＡｌＭｎ合金膜、Ａｌ
膜をそれぞれ用いた相変化光ディスクのＣＮ比の書き換
え回数依存性を第２図に示す。図に示すようにＡ ｆｌ
Ｃｕ Ｍ ｇ Ｍ ｎ合金膜、 、Ａ Ｑ Ａ ｇ
Ｔ ｉ合金膜。
膜をそれぞれ用いた相変化光ディスクのＣＮ比の書き換
え回数依存性を第２図に示す。図に示すようにＡ ｆｌ
Ｃｕ Ｍ ｇ Ｍ ｎ合金膜、 、Ａ Ｑ Ａ ｇ
Ｔ ｉ合金膜。
Ａ ｆｌ Ｍ ｎ合金膜を用いた場合のＣＮ比の変化は
、書き換え回数１０万回後も１ｄＢ以下であった。
、書き換え回数１０万回後も１ｄＢ以下であった。
なお、以上の実施例では、相変化光ディスクを用いて説
明したが、その他の方式の情報記録媒体においても同様
の効果がある。また、ディスク状の記録媒体に限らず、
カード等の別の形状の記録媒体においても同様の効果が
ある。また上で述べた効果は、本実施例で説明した積石
構造に限られるものではなく、記録膜に対してレーザ光
の入射側と逆の側しこ、金属膜を設けた構成の情報記録
媒体であれば同様の効果がある。
明したが、その他の方式の情報記録媒体においても同様
の効果がある。また、ディスク状の記録媒体に限らず、
カード等の別の形状の記録媒体においても同様の効果が
ある。また上で述べた効果は、本実施例で説明した積石
構造に限られるものではなく、記録膜に対してレーザ光
の入射側と逆の側しこ、金属膜を設けた構成の情報記録
媒体であれば同様の効果がある。
本発明によれば、金属膜としてＡｌ合金膜を用いること
により、多数回の書き換えを行っても良好な記録再生特
性が得られる。また記録レーザパワーが変動しても安定
した記録再生特性が得られるので、記録再生装置および
情報記録媒体の信頼性を向上させる効果がある。
により、多数回の書き換えを行っても良好な記録再生特
性が得られる。また記録レーザパワーが変動しても安定
した記録再生特性が得られるので、記録再生装置および
情報記録媒体の信頼性を向上させる効果がある。
第１図は本発明の実施例１において例示した相変化光デ
ィスクの断面構造を示す模式図。第２図はＡ Ｑ Ｃｕ
Ｍ ｇＭ ｎ合金膜、ＡｌＡｇＴｉ合金膜。 Ａ Ｑ Ｍ ｎ合金膜、Ａｌ膜をそれぞれ用いた相変化
光ディスクのＣＮ比の書き換え回数依存性。 １・・・ガラス基板、２・・・紫外線硬化樹脂層、３
・第１誘電体膜、４・・・記録膜、５・・・”第２誘電
体膜、６・・・Ａｌ合金膜、７・・・紫外線硬化樹脂層
。 第２図 書き換え回数（回）
ィスクの断面構造を示す模式図。第２図はＡ Ｑ Ｃｕ
Ｍ ｇＭ ｎ合金膜、ＡｌＡｇＴｉ合金膜。 Ａ Ｑ Ｍ ｎ合金膜、Ａｌ膜をそれぞれ用いた相変化
光ディスクのＣＮ比の書き換え回数依存性。 １・・・ガラス基板、２・・・紫外線硬化樹脂層、３
・第１誘電体膜、４・・・記録膜、５・・・”第２誘電
体膜、６・・・Ａｌ合金膜、７・・・紫外線硬化樹脂層
。 第２図 書き換え回数（回）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、記録用ビームの照射を受けて変化を生ずる情報記録
用薄膜を有する記録媒体において、上記情報記録用薄膜
に近接して、もしくは上記の情報記録用薄膜に隣接して
形成した無機物または有機物の少なくとも一者からなる
保護層に接して、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｚｎ
、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｍｇ、Ｓｎ、Ｔｉの中から選ばれ
る少なくとも１種以上の元素とＡｌとからなるＡｌ合金
膜の層を設けたことを特徴とする情報記録媒体。 ２、該Ａｌ合金膜が、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｃｏ、
Ｚｎ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｍｇ、Ｓｎ、Ｔｉの中から選
ばれる少なくとも２種以上の元素を含むことを特徴とす
る請求項１記載の情報記録媒体。 ３、該Ａｌ合金膜が、ＡｌＡｇ合金、またはＡｌＣｕ合
金に、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｚｎ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｍ
ｇ、Ｓｎ、Ｔｉの中から選ばれる少なくとも１種以上の
添加元素を含むことを特徴とする請求項１記載の情報記
録媒体。 ４、該Ａｌ合金膜のＡｌ原子濃度が、７５％以上９８％
以下であることを特徴とする請求項１、請求項２、およ
び請求項３記載の情報記録媒体。 ５、該Ａｌ合金膜の膜厚が３０ｎｍ以上３００ｎｍ以下
であることを特徴とする請求項１、および請求項４記載
の情報記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2313949A JP2923036B2 (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 | 情報記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2313949A JP2923036B2 (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 | 情報記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04186538A true JPH04186538A (ja) | 1992-07-03 |
| JP2923036B2 JP2923036B2 (ja) | 1999-07-26 |
Family
ID=18047438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2313949A Expired - Lifetime JP2923036B2 (ja) | 1990-11-21 | 1990-11-21 | 情報記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2923036B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101684544A (zh) * | 2008-09-22 | 2010-03-31 | Tdk株式会社 | 光介质用溅射靶及其制造方法、和光介质及其制造方法 |
| JP2011044225A (ja) * | 2008-09-22 | 2011-03-03 | Tdk Corp | 光メディアの反射層用スパッタリングターゲット、及び、その製造方法 |
-
1990
- 1990-11-21 JP JP2313949A patent/JP2923036B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101684544A (zh) * | 2008-09-22 | 2010-03-31 | Tdk株式会社 | 光介质用溅射靶及其制造方法、和光介质及其制造方法 |
| JP2011044225A (ja) * | 2008-09-22 | 2011-03-03 | Tdk Corp | 光メディアの反射層用スパッタリングターゲット、及び、その製造方法 |
| US8105673B2 (en) | 2008-09-22 | 2012-01-31 | Tdk Corporation | Sputtering target for optical media, method of manufacturing same, optical medium, and method of manufacturing same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2923036B2 (ja) | 1999-07-26 |
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