JPH04196329A - 固体撮像装置の駆動方法 - Google Patents
固体撮像装置の駆動方法Info
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- JPH04196329A JPH04196329A JP2326348A JP32634890A JPH04196329A JP H04196329 A JPH04196329 A JP H04196329A JP 2326348 A JP2326348 A JP 2326348A JP 32634890 A JP32634890 A JP 32634890A JP H04196329 A JPH04196329 A JP H04196329A
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- voltage
- mosfet
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- H03F3/00—Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
- H03F3/189—High-frequency amplifiers, e.g. radio frequency amplifiers
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- H03K5/00—Manipulating of pulses not covered by one of the other main groups of this subclass
- H03K5/01—Shaping pulses
- H03K5/02—Shaping pulses by amplifying
- H03K5/026—Shaping pulses by amplifying with a bidirectional operation
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- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/60—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
- H04N25/616—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise involving a correlated sampling function, e.g. correlated double sampling [CDS] or triple sampling
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- H04N25/60—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
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- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
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- H04N25/71—Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
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- Signal Processing (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、増幅回路に関し、例えばCCD(電荷結合
素子)用の増幅出力回路に利用して有効な技術に関する
ものである。
素子)用の増幅出力回路に利用して有効な技術に関する
ものである。
CCD用の増幅回路として、第6図に示すような回路が
用いられている。信号電荷はCCDにより出力拡散層(
構造上等価的にダイオードDの形態で示される)に転送
され、その接合容量からなるキャパシタC1により信号
電圧の形態に変換される。この信号電圧は、増幅MOS
FETQ2と負荷MOSFETQ3からなるソースフォ
ロワ回路を介して出力される。このような増幅回路は、
浮遊拡散層型増幅器(PDA;Floating D
iffusionAmplifier)と呼ばれる。M
OSFETQIは、上記信号電荷に対応した信号電圧が
増幅されて出力されると、言い換えるならば、次の信号
電荷が転送される前にリセットパルスφ8により上記キ
ャパシタC1に保持された信号電荷を規準電圧VRによ
りリセットさせる。
用いられている。信号電荷はCCDにより出力拡散層(
構造上等価的にダイオードDの形態で示される)に転送
され、その接合容量からなるキャパシタC1により信号
電圧の形態に変換される。この信号電圧は、増幅MOS
FETQ2と負荷MOSFETQ3からなるソースフォ
ロワ回路を介して出力される。このような増幅回路は、
浮遊拡散層型増幅器(PDA;Floating D
iffusionAmplifier)と呼ばれる。M
OSFETQIは、上記信号電荷に対応した信号電圧が
増幅されて出力されると、言い換えるならば、次の信号
電荷が転送される前にリセットパルスφ8により上記キ
ャパシタC1に保持された信号電荷を規準電圧VRによ
りリセットさせる。
このようなFDAに関しては、例えばラジオ技術社昭和
61年11月3日発行rCCDカメラ技術」頁64があ
る。
61年11月3日発行rCCDカメラ技術」頁64があ
る。
上記FDAの感度は、リセットMOS F ETQlや
増幅MOSFETQ2における寄生容量を含めたキャパ
シタC1の容量値と、ソースフォロワ回路のゲイン(A
s<1)の積(As/CI)で与えられる。上記ゲイン
Asの向上にはAS< 1の限界があり、FDAの感度
向上にはいかにキャパシタC1の容量値を小さくするか
にかかっている。このため、従来のFDAにおいては、
キャパシタC1の容量値を小さくするためにダイオード
DIや増幅MOSFET等を如何に小さく形成するかに
心血が注がれている。しかしながら、増幅MOSFET
Q2のサイズを小さくすると必然的に出力電力も小さく
なり、後段の負荷駆動能力が無くなるという矛盾を含ん
でいる。このため、ソ〜スフォロヮ回路を複数段縦列接
続して上記初段での駆動能力不足を補うよう乙こする。
増幅MOSFETQ2における寄生容量を含めたキャパ
シタC1の容量値と、ソースフォロワ回路のゲイン(A
s<1)の積(As/CI)で与えられる。上記ゲイン
Asの向上にはAS< 1の限界があり、FDAの感度
向上にはいかにキャパシタC1の容量値を小さくするか
にかかっている。このため、従来のFDAにおいては、
キャパシタC1の容量値を小さくするためにダイオード
DIや増幅MOSFET等を如何に小さく形成するかに
心血が注がれている。しかしながら、増幅MOSFET
Q2のサイズを小さくすると必然的に出力電力も小さく
なり、後段の負荷駆動能力が無くなるという矛盾を含ん
でいる。このため、ソ〜スフォロヮ回路を複数段縦列接
続して上記初段での駆動能力不足を補うよう乙こする。
現状のFDAでは、上記キャパシタC1の容量値が10
−” Fを割り、電圧感度は1電子当たり10μVを越
すまでになっている。しかし、応用面では1信号当たり
高々数十電子を扱うようになっており、出力信号振幅の
さらなる増大が望まれる。そして、真の感度は雑音との
S/N(信号対雑音比)により決まり、このS/Nを高
めるためには、雑音、特にランダムに発生する熱雑音の
低減が不可欠である。
−” Fを割り、電圧感度は1電子当たり10μVを越
すまでになっている。しかし、応用面では1信号当たり
高々数十電子を扱うようになっており、出力信号振幅の
さらなる増大が望まれる。そして、真の感度は雑音との
S/N(信号対雑音比)により決まり、このS/Nを高
めるためには、雑音、特にランダムに発生する熱雑音の
低減が不可欠である。
CCD自体で発生する熱雑音は各種工夫により非常に小
さくなっており、CCD撮像素子の熱雑音はFDAにお
いて発生する熱雑音で決定される。
さくなっており、CCD撮像素子の熱雑音はFDAにお
いて発生する熱雑音で決定される。
FDAにおける雑音の主な成分は、キャパシタC1のリ
セット雑音と増幅MOSFETQ2の1/f雑音である
。前者のリセット雑音はキャパシタC1の平方に比例し
、寸法縮小と共に減少する。
セット雑音と増幅MOSFETQ2の1/f雑音である
。前者のリセット雑音はキャパシタC1の平方に比例し
、寸法縮小と共に減少する。
後者の1/f雑音は逆に概略寸法に逆比例する。
このようなランダム雑音は、暗出力(リセット電圧)と
明出力(信号電荷出力)の双方に含まれるため、外部に
設けられた相関二重サンプリング(CDS)回路により
その差分を求めて信号とすることにより相殺できる。し
かしながら、上記CDS回路に至までの波形の歪、配線
の引き回しによる各種飛び込みパルスによる波形の乱れ
によりCDS回路による雑音低減にも限界がある。
明出力(信号電荷出力)の双方に含まれるため、外部に
設けられた相関二重サンプリング(CDS)回路により
その差分を求めて信号とすることにより相殺できる。し
かしながら、上記CDS回路に至までの波形の歪、配線
の引き回しによる各種飛び込みパルスによる波形の乱れ
によりCDS回路による雑音低減にも限界がある。
この発明の目的は、簡単な構成で実質的な高感度を実現
した増幅回路を提供することにある。
した増幅回路を提供することにある。
この発明の他の目的は、CCDに適した高感度の増幅回
路を提供することにある。
路を提供することにある。
この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は
、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。
、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
すなわち、信号電荷を受ける第1のキャパシタの電圧を
受けるソースフォロワ回路に対して、その出力信号を第
2のキャパシタを介してゲートに受けるソース接地形態
の増幅MO5FETを設けるとともに、上記第1のキャ
パシタの信号電荷をす七ノドさせる間において上記増幅
MOSFETのゲートにスイッチ素子を介して所定のバ
イアス電圧を供給する。
受けるソースフォロワ回路に対して、その出力信号を第
2のキャパシタを介してゲートに受けるソース接地形態
の増幅MO5FETを設けるとともに、上記第1のキャ
パシタの信号電荷をす七ノドさせる間において上記増幅
MOSFETのゲートにスイッチ素子を介して所定のバ
イアス電圧を供給する。
〔作 用〕
上記した手段によれは、第2のキャパシタにより信号成
分のみを伝達してソース接地増幅MOSFETにより電
圧信号自体を増幅できるとともに、第1のキャパシタの
り七ノド期間にスイッチ素子により増幅MOSFETを
最適動作点にバイアスできるから簡単な構成で実質的な
高感度化が可能になる。
分のみを伝達してソース接地増幅MOSFETにより電
圧信号自体を増幅できるとともに、第1のキャパシタの
り七ノド期間にスイッチ素子により増幅MOSFETを
最適動作点にバイアスできるから簡単な構成で実質的な
高感度化が可能になる。
第1図には、この発明に係る増幅回路の一実施例の回路
図が示されている。同図の各回路素子は、公知の半導体
集積回路の製造技術により、特に制限されないが、CC
D固体撮像素子を構成する他の素子とともに単結晶シリ
コンのような1個の半導体基板上において形成される。
図が示されている。同図の各回路素子は、公知の半導体
集積回路の製造技術により、特に制限されないが、CC
D固体撮像素子を構成する他の素子とともに単結晶シリ
コンのような1個の半導体基板上において形成される。
転送パルスφ1とφ2によりCCD転送回路を通して転
送された信号電荷は、等測的にダイオードDの形態で示
された出力拡散層に入力される。
送された信号電荷は、等測的にダイオードDの形態で示
された出力拡散層に入力される。
この出力拡散層のPN接合容量や、リセットMOSFE
TQIや増幅MOSFETQ2における寄生容量からな
るキャパシタC1により、入力された信号電荷が電圧信
号に変換される。このキャパシタC1の電圧信号は、増
幅MOSFETQ2と負荷MO8FETQ3からなるソ
ースフォロワ回路により電力増幅される。ここで、上記
負荷MOSFETQ3は、デイプレッション型MOSF
ETから構成され、そのゲートとソースが共通化される
ことによって定電流負荷として作用する。
TQIや増幅MOSFETQ2における寄生容量からな
るキャパシタC1により、入力された信号電荷が電圧信
号に変換される。このキャパシタC1の電圧信号は、増
幅MOSFETQ2と負荷MO8FETQ3からなるソ
ースフォロワ回路により電力増幅される。ここで、上記
負荷MOSFETQ3は、デイプレッション型MOSF
ETから構成され、そのゲートとソースが共通化される
ことによって定電流負荷として作用する。
この実施例では、ソースフォロワ回路により電力増幅さ
れた電圧信号を、電圧増幅するためにソース接地増幅M
OSFETQ5のゲートに伝えられる。この場合、ソー
スフォロワ回路の電圧信号に含まれる直流電圧に対して
無関係にソース接地増幅MOSFETQ5の動作点を最
適に設定するため、ソースフォロワ回路の出力とソース
接地増幅MOSFETQ5のゲートとの間には、結合容
量としてのキャパシタC2が設けられる。そして、増幅
MOSFETQ5のゲートにはスイッチMOSFETQ
6を介して間欠的にバイアス電圧VBが与えられる。す
なわち、スイッチMOS F ETQ6は、そのゲート
にタイミングパルスψ、が供給され、後述するように上
記出力拡散層(キャパシタCI)をリセットするタイミ
ングには一゛同期して、言い換えるならば、信号電荷の
出力期間以外の期間においてスイッチMOSFETQ6
がオン状態にされてソース接地増幅MOSFETQ5の
ゲートにバイアス電圧VBを供給する。
れた電圧信号を、電圧増幅するためにソース接地増幅M
OSFETQ5のゲートに伝えられる。この場合、ソー
スフォロワ回路の電圧信号に含まれる直流電圧に対して
無関係にソース接地増幅MOSFETQ5の動作点を最
適に設定するため、ソースフォロワ回路の出力とソース
接地増幅MOSFETQ5のゲートとの間には、結合容
量としてのキャパシタC2が設けられる。そして、増幅
MOSFETQ5のゲートにはスイッチMOSFETQ
6を介して間欠的にバイアス電圧VBが与えられる。す
なわち、スイッチMOS F ETQ6は、そのゲート
にタイミングパルスψ、が供給され、後述するように上
記出力拡散層(キャパシタCI)をリセットするタイミ
ングには一゛同期して、言い換えるならば、信号電荷の
出力期間以外の期間においてスイッチMOSFETQ6
がオン状態にされてソース接地増幅MOSFETQ5の
ゲートにバイアス電圧VBを供給する。
特に制限されないが、ソース接地増幅MOSFETQ5
のドレインには、ゲートとドレインが共通接続された負
荷MOSFETQ4が設けられる。
のドレインには、ゲートとドレインが共通接続された負
荷MOSFETQ4が設けられる。
この増幅M OS F E T Q 4とQ5のコンダ
クタンス比に従って、増幅MOSFETQ5のゲートに
供給された電圧信号VSが電圧増幅されて出力信号Vo
utとして出力される。
クタンス比に従って、増幅MOSFETQ5のゲートに
供給された電圧信号VSが電圧増幅されて出力信号Vo
utとして出力される。
この実施例のようにキャパシタC2を介してソースフォ
ロワ回路の出力とソース接地増幅MOSFETQ5を用
いた反転増幅回路の入力とを直流的に分離したのは、次
のような理由による。
ロワ回路の出力とソース接地増幅MOSFETQ5を用
いた反転増幅回路の入力とを直流的に分離したのは、次
のような理由による。
すなわち、ソースフォロワ出力回路の出力と反転増幅回
路の入力とを直結すると、反転増幅回路の動作点が合わ
な(なる。CCDの性能を保って信号電荷を効率よく引
き出すためには出力拡散層(N層)を約10V以上の高
い電圧VRにリセットする必要がある。このため、ソー
スフォロワ回路の出力電圧は、電圧VRよりソースフォ
ロワ増幅MOSFETQ2のしきい値電圧だけレベル低
下した電圧を基準にして低下するものとなる。そこで、
ソースフォロワ増幅MOSFETQ2のしきい値電圧を
高くして、反転増幅回路に入力される電圧レヘルを低下
させることも考えられる。しかしながら、このようにす
ると、ソースフォロワ増幅MOSFETQ2の動作とし
ては、電源電圧viに対して出力電圧が約半分以下にな
るような条件では特性が劣化してしまう。
路の入力とを直結すると、反転増幅回路の動作点が合わ
な(なる。CCDの性能を保って信号電荷を効率よく引
き出すためには出力拡散層(N層)を約10V以上の高
い電圧VRにリセットする必要がある。このため、ソー
スフォロワ回路の出力電圧は、電圧VRよりソースフォ
ロワ増幅MOSFETQ2のしきい値電圧だけレベル低
下した電圧を基準にして低下するものとなる。そこで、
ソースフォロワ増幅MOSFETQ2のしきい値電圧を
高くして、反転増幅回路に入力される電圧レヘルを低下
させることも考えられる。しかしながら、このようにす
ると、ソースフォロワ増幅MOSFETQ2の動作とし
ては、電源電圧viに対して出力電圧が約半分以下にな
るような条件では特性が劣化してしまう。
一方、反転増幅回路において、出力電圧Voutは、例
えばその電圧利得を5倍に設定しようとすると電源電圧
■2の176以下の電圧になる。当然にソース接地増幅
MOSFETQ5のゲート電圧■Sは、それ以下にする
必要がある。これに対してもソース接地増幅MO3FE
、TQ5のしきい値電圧を極端に高くして電源電圧■2
の約半分近くまで動作点を高めることは理論的には可能
であるが、MOS F ETの特性上好ましいことでは
ない。それでなくとも、ソースフォロワ増幅MOSFE
TQ2等は高感度化のために極力小さく加工形成されて
おり、その加工バラツキに対応して、出力電圧は非常に
大きくバラツキ易く、素子毎に1V以上も変動すること
さえ珍しいことでなはい。
えばその電圧利得を5倍に設定しようとすると電源電圧
■2の176以下の電圧になる。当然にソース接地増幅
MOSFETQ5のゲート電圧■Sは、それ以下にする
必要がある。これに対してもソース接地増幅MO3FE
、TQ5のしきい値電圧を極端に高くして電源電圧■2
の約半分近くまで動作点を高めることは理論的には可能
であるが、MOS F ETの特性上好ましいことでは
ない。それでなくとも、ソースフォロワ増幅MOSFE
TQ2等は高感度化のために極力小さく加工形成されて
おり、その加工バラツキに対応して、出力電圧は非常に
大きくバラツキ易く、素子毎に1V以上も変動すること
さえ珍しいことでなはい。
これに対して、反転増幅回路は、その電圧利得が大きい
ことから入力のグイナミノクレンジは狭く、上記のバラ
ツキを吸収することは極めて困難である。
ことから入力のグイナミノクレンジは狭く、上記のバラ
ツキを吸収することは極めて困難である。
更に、上記のようにソースフォロワ回路と反転増幅回路
を直結したのでは、リセットパルスφ6をハイレベルか
らロウレベルにしてリセットM○5FETQIをオフ状
態にするときのフィードスルー成分も(キャパシタC1
における電圧信号の落ち込み)も反転増幅回路が増幅し
てしまい、信号成分に使える電圧範囲を狭くしてしまう
。また、熱雑音もそのまま増幅してしまうなど実用上難
点が多くとうてい実用に供し得ない。
を直結したのでは、リセットパルスφ6をハイレベルか
らロウレベルにしてリセットM○5FETQIをオフ状
態にするときのフィードスルー成分も(キャパシタC1
における電圧信号の落ち込み)も反転増幅回路が増幅し
てしまい、信号成分に使える電圧範囲を狭くしてしまう
。また、熱雑音もそのまま増幅してしまうなど実用上難
点が多くとうてい実用に供し得ない。
そこで、この実施例では上述のようにキャパシタC2を
介してソースフォロワ回路の出力とソース接地増幅MO
SFETQ5を用いた反転増幅回路の入力とを直流的に
分離し、それぞれ2つの増幅回路を最適な条件で動作さ
せるようにするものである。
介してソースフォロワ回路の出力とソース接地増幅MO
SFETQ5を用いた反転増幅回路の入力とを直流的に
分離し、それぞれ2つの増幅回路を最適な条件で動作さ
せるようにするものである。
すなわち、ソースフォロワ回路側では、CCDの性能を
保って信号電荷を効率よく引き出すために出力拡散層(
N層ンを約10V以上の高い電圧VRにリセットし、そ
れに対応した比較的高いレベル電圧信号を出力させる。
保って信号電荷を効率よく引き出すために出力拡散層(
N層ンを約10V以上の高い電圧VRにリセットし、そ
れに対応した比較的高いレベル電圧信号を出力させる。
これに対して、反転増幅回路側ではスイッチMOSFE
TQ6を設けて、ソース接地増幅MOSFETQ5のゲ
ートに最適動作条件でのバイアス電圧VBを供給するも
のである。
TQ6を設けて、ソース接地増幅MOSFETQ5のゲ
ートに最適動作条件でのバイアス電圧VBを供給するも
のである。
この実施例の増幅回路の動作を第4図に示した波形図を
参照して次に説明する。
参照して次に説明する。
転送パルスφ1がロウレベルで転送パルスφ2がハイレ
ベルのときには、CCD側から出力拡散層(キャパシタ
C1)には信号電荷は出力されない。このときリセット
パルスφ8とタイミングパルスφ5がハイレベルにされ
る。リセットパルスφ、のハイレベルに応してリセット
MOSFETQ1がオン状態されて、出力拡散層(キャ
パシタC1)にリセット電圧VRを与える。タイミング
パルスφ、のハイレベルに応してスイッチMO5FET
Q6がオン状態にされて、反転増幅回路の増幅MOSF
ETQ5のゲートにはバイアス電圧VBを与えられる。
ベルのときには、CCD側から出力拡散層(キャパシタ
C1)には信号電荷は出力されない。このときリセット
パルスφ8とタイミングパルスφ5がハイレベルにされ
る。リセットパルスφ、のハイレベルに応してリセット
MOSFETQ1がオン状態されて、出力拡散層(キャ
パシタC1)にリセット電圧VRを与える。タイミング
パルスφ、のハイレベルに応してスイッチMO5FET
Q6がオン状態にされて、反転増幅回路の増幅MOSF
ETQ5のゲートにはバイアス電圧VBを与えられる。
この状態ではソースフォロワ回路からりセント電圧VR
に対応した暗出力電圧が出力されているが、反転増幅回
路の入力はVSで示すように上記バイアス電圧VBに固
定されている。それ故、キャパシタC2にはその両端に
印加される2つの直流電圧の差電圧に対応した直流電圧
が蓄積される。
に対応した暗出力電圧が出力されているが、反転増幅回
路の入力はVSで示すように上記バイアス電圧VBに固
定されている。それ故、キャパシタC2にはその両端に
印加される2つの直流電圧の差電圧に対応した直流電圧
が蓄積される。
リセットパルスφ真がハイレベルからロウレベルに変化
すると、スイッチMOSFETQIがオン状態からオフ
状態に変化し、出力拡散層(キャパシタCI)はフロー
ティング状態で上記リセット電圧VRを保持することに
なる。このとき、リセットMOS F ETQ 1がオ
ン状態からオフ状態に切り替わるときのフィードスルー
成分によって保持電圧が若干低下する。しかし、このタ
イミングではタイミングパルスφ、がハイレベルを維持
してスイッチMO5FETQ6をオン状態にしている。
すると、スイッチMOSFETQIがオン状態からオフ
状態に変化し、出力拡散層(キャパシタCI)はフロー
ティング状態で上記リセット電圧VRを保持することに
なる。このとき、リセットMOS F ETQ 1がオ
ン状態からオフ状態に切り替わるときのフィードスルー
成分によって保持電圧が若干低下する。しかし、このタ
イミングではタイミングパルスφ、がハイレベルを維持
してスイッチMO5FETQ6をオン状態にしている。
これにより、上記リセットMOSFETQ1をオン状態
からオフ状態にするときに生しるフィードスルー成分を
反転増幅回路が実質的に受は付けなくすることができる
。次に、タイミングパルスψ、がロウレベルに変化し、
スイッチMOSFETQ6はオフ状態にされる。このと
き、前記同様にフィードスルーが生しるが、ソース接地
増幅MOSFETQ5のゲートノードのインピーダンが
キャパシタC2及び負荷MOSFETQ3により決定さ
れて上記出力拡散層の場合に比べて約2桁程度小さくな
り、これに比例してフィートスルーによる電位変化が小
さくなり実用上無視できる。
からオフ状態にするときに生しるフィードスルー成分を
反転増幅回路が実質的に受は付けなくすることができる
。次に、タイミングパルスψ、がロウレベルに変化し、
スイッチMOSFETQ6はオフ状態にされる。このと
き、前記同様にフィードスルーが生しるが、ソース接地
増幅MOSFETQ5のゲートノードのインピーダンが
キャパシタC2及び負荷MOSFETQ3により決定さ
れて上記出力拡散層の場合に比べて約2桁程度小さくな
り、これに比例してフィートスルーによる電位変化が小
さくなり実用上無視できる。
したがって、転送パルスφ1がハイレベルに、転送パル
スφ2がロウレベルにされる期間において、CCDから
上記出力拡散層に入力された信号電荷に対応した電圧が
、ソースフォロワ回路とキャパシタC2を介して反転増
幅回路に伝えられて電圧信号出力Voutとして出力さ
れる。このとき、キャパシタC2によって上記暗出力と
信号電荷に対応した明出力との差分が反転増幅回路によ
り増幅されることとなり、CDS回路と等価な動作を行
う。すなわち、この実施例のソースフォロワ回路で発生
する熱雑音が除かれて反転増幅回路により電圧増幅され
ものとなる。これにより、高S/Nで、しかも大きな電
圧振幅の電圧信号Voutを得ることができる。この実
施例の増幅回路では、外部に設けられた相関二重サンプ
リング(CDS)回路により同様に暗出力と明出力との
差分を求める場合に比べて、上記CDS回路に至までの
波形の歪、配線の引き回しによる各種飛び込みパルスに
よる波形の乱れの影響を受けなくできるという利点があ
る。
スφ2がロウレベルにされる期間において、CCDから
上記出力拡散層に入力された信号電荷に対応した電圧が
、ソースフォロワ回路とキャパシタC2を介して反転増
幅回路に伝えられて電圧信号出力Voutとして出力さ
れる。このとき、キャパシタC2によって上記暗出力と
信号電荷に対応した明出力との差分が反転増幅回路によ
り増幅されることとなり、CDS回路と等価な動作を行
う。すなわち、この実施例のソースフォロワ回路で発生
する熱雑音が除かれて反転増幅回路により電圧増幅され
ものとなる。これにより、高S/Nで、しかも大きな電
圧振幅の電圧信号Voutを得ることができる。この実
施例の増幅回路では、外部に設けられた相関二重サンプ
リング(CDS)回路により同様に暗出力と明出力との
差分を求める場合に比べて、上記CDS回路に至までの
波形の歪、配線の引き回しによる各種飛び込みパルスに
よる波形の乱れの影響を受けなくできるという利点があ
る。
また、ソースフォロワ回路の高感度化のためにソースフ
ォロワMO5FETQ2を微細化した場合、その加工バ
ラツキによるしきい値電圧等の変動により、ソースフォ
ロワ回路側での直流的な電圧信号に変動があっても、キ
ャパシタC2がそれを吸収してしまうため、反転増幅回
路側ではその影響を受けることなく、バイアス電圧VB
により設定された最適動作点で安定した電圧増幅動作を
行うことができる。
ォロワMO5FETQ2を微細化した場合、その加工バ
ラツキによるしきい値電圧等の変動により、ソースフォ
ロワ回路側での直流的な電圧信号に変動があっても、キ
ャパシタC2がそれを吸収してしまうため、反転増幅回
路側ではその影響を受けることなく、バイアス電圧VB
により設定された最適動作点で安定した電圧増幅動作を
行うことができる。
第2図には、この発明に係る増幅回路の他の一実施例の
回路図が示されている。
回路図が示されている。
この実施例では、スイッチMOSFETQ6は反転増幅
回路の入力と出力、言い換えるならば、ソース接地増幅
MOSFETQ5のゲートとドレインとの間に設けられ
る。このように反転増幅回路の入力と出力とを短絡する
ことにより、第3図に示した入出力伝達特性において、
入力電圧と出力電圧とが等くなる一点鎖線で示した直線
との交点にバイアス電圧VBを設定することができる。
回路の入力と出力、言い換えるならば、ソース接地増幅
MOSFETQ5のゲートとドレインとの間に設けられ
る。このように反転増幅回路の入力と出力とを短絡する
ことにより、第3図に示した入出力伝達特性において、
入力電圧と出力電圧とが等くなる一点鎖線で示した直線
との交点にバイアス電圧VBを設定することができる。
これにより、特別のバイアス電源を不要とし、かつMO
SFETQ4.Q5のプロセスバラツキに対して常に最
適条件でのバイアス設定が可能になる。すなわち、増幅
MOSFETQ5が通常の低いしきい値電圧を持つエン
ハンスメント型である場合、それを用いた反転増幅回路
が直線性のよい動作条件のゲート電圧の上限が、増幅M
OSFETQ5のドレイン電圧であり、入力電圧が負の
ため(暗電圧を基準にした負電圧)に上記第3図の入出
力伝達特性のうち最も直線性のよい部分を用いることが
でき、上記スイッチMOSFETQ6のオン状態により
、上記バイアス電圧VBに自動復帰するものとなる。そ
して、負荷手段としてゲートとドレインとを接続した増
幅MOSFETQ5と同様なエンハンスメント型MOS
FETQ4を用いた場合には、上記のようにゲートとド
レインを短絡してバイアスされた増幅MOSFETQ5
とのコンダクタンス比が、そのサイズ比に対応して高い
精度で設定できる。これにより、リニアリティのよい増
幅動作が可能になる。
SFETQ4.Q5のプロセスバラツキに対して常に最
適条件でのバイアス設定が可能になる。すなわち、増幅
MOSFETQ5が通常の低いしきい値電圧を持つエン
ハンスメント型である場合、それを用いた反転増幅回路
が直線性のよい動作条件のゲート電圧の上限が、増幅M
OSFETQ5のドレイン電圧であり、入力電圧が負の
ため(暗電圧を基準にした負電圧)に上記第3図の入出
力伝達特性のうち最も直線性のよい部分を用いることが
でき、上記スイッチMOSFETQ6のオン状態により
、上記バイアス電圧VBに自動復帰するものとなる。そ
して、負荷手段としてゲートとドレインとを接続した増
幅MOSFETQ5と同様なエンハンスメント型MOS
FETQ4を用いた場合には、上記のようにゲートとド
レインを短絡してバイアスされた増幅MOSFETQ5
とのコンダクタンス比が、そのサイズ比に対応して高い
精度で設定できる。これにより、リニアリティのよい増
幅動作が可能になる。
このように反転増幅回路の入力と出力とを短絡してバイ
アス電圧VBを決める回路は、次のような利点も生じる
。
アス電圧VBを決める回路は、次のような利点も生じる
。
従来のFDAでは、大きな信号電荷が出力されたときに
は、リセットパルスφRにより出力拡散層をリセットす
るときに、ソースフォロワ出力電圧の電圧変化幅が大き
くその回復にようする時間、言い換えるならば、リセッ
トに要する時間が長くなる。このことは、次のような問
題を含んでいる。
は、リセットパルスφRにより出力拡散層をリセットす
るときに、ソースフォロワ出力電圧の電圧変化幅が大き
くその回復にようする時間、言い換えるならば、リセッ
トに要する時間が長くなる。このことは、次のような問
題を含んでいる。
固体撮像素子の多画素化に伴い信号の読み出し周波数を
高くする必要がある。また、多画素化に伴い高感度化を
必要としてソースフォロワ増幅MO5FETQ2のサイ
ズは益々小さく加工形成することになる。これにより、
MOS F ET 2の電流供給能力が小さくなり、負
荷MOSFETQ3に流れる電流との差分によってソー
ス出力における寄生容量のチャージアンプを行うことと
なりその回復に時間がかかる。これに対し、で、上記キ
ャパシタC2を設けるとともに、リセットパルスφ、に
同期してタイミングパルスφ5をハイレヘルにしてスイ
ッチMOSFETQ6をオン状態にすると、反転増幅回
路の入力電圧VSはバイアス電圧源又は反転増幅回路の
一種の増幅作用によって急激に持ち上げられる。この電
圧上昇は、キャパシタC2を介してソースフォロワ増幅
MOSFETQ2のソース電位の回復を助長するように
作用して回路のリセット回復時間を短時間に行うことが
できる。これにより、CCD固体撮像素子の多画素化や
高速化に適した増幅回路を得ることができる。
高くする必要がある。また、多画素化に伴い高感度化を
必要としてソースフォロワ増幅MO5FETQ2のサイ
ズは益々小さく加工形成することになる。これにより、
MOS F ET 2の電流供給能力が小さくなり、負
荷MOSFETQ3に流れる電流との差分によってソー
ス出力における寄生容量のチャージアンプを行うことと
なりその回復に時間がかかる。これに対し、で、上記キ
ャパシタC2を設けるとともに、リセットパルスφ、に
同期してタイミングパルスφ5をハイレヘルにしてスイ
ッチMOSFETQ6をオン状態にすると、反転増幅回
路の入力電圧VSはバイアス電圧源又は反転増幅回路の
一種の増幅作用によって急激に持ち上げられる。この電
圧上昇は、キャパシタC2を介してソースフォロワ増幅
MOSFETQ2のソース電位の回復を助長するように
作用して回路のリセット回復時間を短時間に行うことが
できる。これにより、CCD固体撮像素子の多画素化や
高速化に適した増幅回路を得ることができる。
なお、第2図の実施例では、出力部にソースフォロワ増
中−MO8FETQ7と負荷抵抗Q8からなるソースフ
ォロワ出力回路が設けられる。
中−MO8FETQ7と負荷抵抗Q8からなるソースフ
ォロワ出力回路が設けられる。
第5図には、この発明に係る増幅回路の他の一実施例の
回路図が示されている。
回路図が示されている。
この実施例では、差動回路を用いて出力電圧を得るよう
にするものである。すなわち、前記同様な反転増幅回路
を構成するソース接地増幅MOSFETQ5のソースに
定電流源として作用するMOSFETQI 1を設け、
上記MOSFETQ5と差動的に増幅MOSFETQI
O及びそのドレイン負荷としてのMOSFETQ9か
らなる反転増幅回路を設けるものである。上記増幅MO
SFETQIOのゲートには、所定のゲートバイアス電
圧VCが与えられる。
にするものである。すなわち、前記同様な反転増幅回路
を構成するソース接地増幅MOSFETQ5のソースに
定電流源として作用するMOSFETQI 1を設け、
上記MOSFETQ5と差動的に増幅MOSFETQI
O及びそのドレイン負荷としてのMOSFETQ9か
らなる反転増幅回路を設けるものである。上記増幅MO
SFETQIOのゲートには、所定のゲートバイアス電
圧VCが与えられる。
この実施例では、増幅MOSFETQ5と増幅MOSF
ETQI Oが差動形態に接続されており、増幅MOS
FETQI Oは実質的にゲート接地、ソース入力の増
幅MOS F ETとして動作する。
ETQI Oが差動形態に接続されており、増幅MOS
FETQI Oは実質的にゲート接地、ソース入力の増
幅MOS F ETとして動作する。
これにより、出力電圧Voutはソースフォロワ回路の
出力信号(VS)と同相の負極性の出力信号を形成する
ことができる。
出力信号(VS)と同相の負極性の出力信号を形成する
ことができる。
上記の実施例から得られる作用効果は、下記の通りであ
る。すなわち、 (1)信号電荷を受ける第1のキャパシタの電圧を受け
るソースツメロワ回路に対して、その出力信号を第2の
キャパシタを介してゲートに受けるソース接地形態の増
幅MOSFETを設けるとともに上記第1のキャパシタ
の信号電荷をリセ・ノドさせる間において上記増幅MO
SFETのケートにスイッチ素子を介して所定のバイア
ス電圧を供給する。この構成では、第2のキャパシタに
より信号成分のみを伝達してソース接地増幅MOSFE
Tにより電圧信号自体を増幅できるとともに、第1のキ
ャパシタのす七ノド期間にスイ、・チ素゛子により増幅
MOSFETを最適動作点にバイアスできるから簡単な
構成で実質的な高感度化が可能になるという効果が得ら
れる。
る。すなわち、 (1)信号電荷を受ける第1のキャパシタの電圧を受け
るソースツメロワ回路に対して、その出力信号を第2の
キャパシタを介してゲートに受けるソース接地形態の増
幅MOSFETを設けるとともに上記第1のキャパシタ
の信号電荷をリセ・ノドさせる間において上記増幅MO
SFETのケートにスイッチ素子を介して所定のバイア
ス電圧を供給する。この構成では、第2のキャパシタに
より信号成分のみを伝達してソース接地増幅MOSFE
Tにより電圧信号自体を増幅できるとともに、第1のキ
ャパシタのす七ノド期間にスイ、・チ素゛子により増幅
MOSFETを最適動作点にバイアスできるから簡単な
構成で実質的な高感度化が可能になるという効果が得ら
れる。
(2)第2のキャパシタを介して暗出力と明出力との差
分が反転増幅回路により増幅されるから、熱雑音を相殺
した信号電荷成分のを増幅できるから高S/N、言い換
えるならば、実質的な高感度化を実現できるという効果
が得られる。
分が反転増幅回路により増幅されるから、熱雑音を相殺
した信号電荷成分のを増幅できるから高S/N、言い換
えるならば、実質的な高感度化を実現できるという効果
が得られる。
(3)上記(2)により、従来のように外部に設けられ
た相関二重サンプリング(CDS)回路により同様に暗
出力と明出力との差分を求める場合に比べて、上記外部
CDS回路に至までの波形の歪、配線の引き回しによる
各種飛び込みパルスによる波形の乱れの影響を受けなく
できるからいっそうの高S/N化、言い換えるならば、
高感度化を実現できるという効果が得られる。
た相関二重サンプリング(CDS)回路により同様に暗
出力と明出力との差分を求める場合に比べて、上記外部
CDS回路に至までの波形の歪、配線の引き回しによる
各種飛び込みパルスによる波形の乱れの影響を受けなく
できるからいっそうの高S/N化、言い換えるならば、
高感度化を実現できるという効果が得られる。
(4)上記ソース接地増幅MOS F ETのゲートと
ドレインとの間にスイッチ素子を設けてバイアス電圧を
設定することにより、簡単な構成でしかも反転増幅回路
の入出力伝達特性のバラツキに無関係に最適条件でのバ
イアス設定が可能になるという効果が得られる。
ドレインとの間にスイッチ素子を設けてバイアス電圧を
設定することにより、簡単な構成でしかも反転増幅回路
の入出力伝達特性のバラツキに無関係に最適条件でのバ
イアス設定が可能になるという効果が得られる。
(5)上記増幅MOS F ETのドレインには、ドレ
インにゲートが接続された負荷MOSFETを設けて反
転増幅回路を構成することにより、2つのMOS F
ETを同じ条件で動作させることができるから、素子サ
イズに比例した安定した電圧利得を得ることができると
いう効果が得られる。
インにゲートが接続された負荷MOSFETを設けて反
転増幅回路を構成することにより、2つのMOS F
ETを同じ条件で動作させることができるから、素子サ
イズに比例した安定した電圧利得を得ることができると
いう効果が得られる。
(6) ソースフォロワ回路の出力と反転増幅回路の
入力との間にキャパシタC2を設けて信号の伝達を行う
ことにより、リセット時においてソースフォロワ回路の
りセントを高速に行うことができるから、高速読み出し
が可能になるという効果が得られる。
入力との間にキャパシタC2を設けて信号の伝達を行う
ことにより、リセット時においてソースフォロワ回路の
りセントを高速に行うことができるから、高速読み出し
が可能になるという効果が得られる。
以上本発明者によりなされた発明を実施例に基づき具体
的に説明したが、本願発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。例えば、ソースフォロワ
回路は複数段縦列接続したものであってもよい。同様に
反転増幅回路も複数段縦列接続したものであってもよい
。また、反転増幅回路の負荷はMOSFETの他、適当
な抵抗素子を用いるものであってもよい。このことはソ
ースフォロワ回路の負荷においても同様である。また、
リセットパルスφ、とタイミングパルスφ5とは同しパ
ルスを用いてもよい。このとき、転送パルスφ2を上記
パルスφ8とφ5として共通に用いるものであってもよ
い。
的に説明したが、本願発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。例えば、ソースフォロワ
回路は複数段縦列接続したものであってもよい。同様に
反転増幅回路も複数段縦列接続したものであってもよい
。また、反転増幅回路の負荷はMOSFETの他、適当
な抵抗素子を用いるものであってもよい。このことはソ
ースフォロワ回路の負荷においても同様である。また、
リセットパルスφ、とタイミングパルスφ5とは同しパ
ルスを用いてもよい。このとき、転送パルスφ2を上記
パルスφ8とφ5として共通に用いるものであってもよ
い。
この発明に係る増幅回路は、ラインセンサやエリアセン
サを構成するCCD固体撮像素子の他、単に受光量に応
じた信号電荷を形成する光ダイオードと、その信号電荷
を増幅する増幅回路等からなる微弱光モニター素子又は
光センサー素子にも適用できる。すなわち、この発明に
係る増幅回路は、微小な信号電荷を増幅して出力させる
回路に広く利用できる。
サを構成するCCD固体撮像素子の他、単に受光量に応
じた信号電荷を形成する光ダイオードと、その信号電荷
を増幅する増幅回路等からなる微弱光モニター素子又は
光センサー素子にも適用できる。すなわち、この発明に
係る増幅回路は、微小な信号電荷を増幅して出力させる
回路に広く利用できる。
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。すなわち、信号電荷を受ける第1のキャパシタの電圧
を受けるソースフォロワ回路に対して、その出力信号を
第2のキャパシタを介してゲートに受けるソース接地形
態の増幅MOSFETを設けるとともに上記第1のキャ
パシタの信号電荷をリセフトさせる間において上記増幅
MOSFETのゲートにスイッチ素子を介して所定のバ
イアス電圧を供給する。この構成では、第2のキャパシ
タにより信号成分のみを伝達してソース接地増幅MOS
F ETにより電圧信号自体を増幅できるとともに、
第1のキャパシタのりセント期間にスイッチ素子により
増幅MOS F ETを最適動作点にバイアスできるか
ら簡単な構成で実質的な高感度化が可能になる。
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。すなわち、信号電荷を受ける第1のキャパシタの電圧
を受けるソースフォロワ回路に対して、その出力信号を
第2のキャパシタを介してゲートに受けるソース接地形
態の増幅MOSFETを設けるとともに上記第1のキャ
パシタの信号電荷をリセフトさせる間において上記増幅
MOSFETのゲートにスイッチ素子を介して所定のバ
イアス電圧を供給する。この構成では、第2のキャパシ
タにより信号成分のみを伝達してソース接地増幅MOS
F ETにより電圧信号自体を増幅できるとともに、
第1のキャパシタのりセント期間にスイッチ素子により
増幅MOS F ETを最適動作点にバイアスできるか
ら簡単な構成で実質的な高感度化が可能になる。
第1図は、この発明に係る増幅回路の一実施例を示す回
路図、 第2図は、この発明に係る増幅回路の他の一実施例を示
す回路図、 第3図は、上記増幅回路に用いられる反転増幅回路にお
ける動作点を説明するための入出力伝達特性図、 第4図は、上記増幅回路の動作の一例を説明するための
波形図、 第5図は、この発明に係る増9幅回路の他の一実施例を
示す回路図、 第6図は、従来技術の一例を説明するための回路図であ
る。 ψ1.φ2・・転送パルス、φ8 ・・リセットパルス
、φ5 ・・タイミングパルス、VB・・バイアス電圧
、VR・・リセット電圧、Vl、V2・・電源電圧、V
S・・電圧信号、Vout ・・出力電圧信号、D・
・ダイオード(出力拡散層)、C1,C2・・キャパシ
タ、Q1〜Qll ・・MOSFET。
路図、 第2図は、この発明に係る増幅回路の他の一実施例を示
す回路図、 第3図は、上記増幅回路に用いられる反転増幅回路にお
ける動作点を説明するための入出力伝達特性図、 第4図は、上記増幅回路の動作の一例を説明するための
波形図、 第5図は、この発明に係る増9幅回路の他の一実施例を
示す回路図、 第6図は、従来技術の一例を説明するための回路図であ
る。 ψ1.φ2・・転送パルス、φ8 ・・リセットパルス
、φ5 ・・タイミングパルス、VB・・バイアス電圧
、VR・・リセット電圧、Vl、V2・・電源電圧、V
S・・電圧信号、Vout ・・出力電圧信号、D・
・ダイオード(出力拡散層)、C1,C2・・キャパシ
タ、Q1〜Qll ・・MOSFET。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、信号電荷を受ける第1のキャパシタと、この第1の
キャパシタの電圧を受けるソースフォロワ回路と、この
ソースフォロワ回路の出力信号が第2のキャパシタを介
してゲートに供給されるソース接地形態の増幅MOSF
ETと、上記第1のキャパシタの信号電荷をリセットさ
せる間において上記増幅MOSFETのゲートに所定の
バイアス電圧を供給するスイッチ素子とを含み、上記増
幅MOSFETのドレインから信号電荷に対応した増幅
出力信号を得ることを特徴とする増幅回路。 2、上記増幅MOSFETのゲートに所定のバイアス電
圧を与えるスイッチ素子は、増幅MOSFETのゲート
とドレインとを短絡させるものであることを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載の増幅回路。 3、上記増幅MOSFETのドレインには、ドレインに
ゲートが接続された負荷MOSFETが設けられるもの
であることを特徴とする特許請求の範囲第1又は第2項
記載の増幅回路。 4、上記信号電荷は、CCDを通して入力されるもので
あることを特徴とする特許請求の範囲第1、第2又は第
3項記載の増幅回路。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2326348A JP3069373B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 固体撮像装置の駆動方法 |
| US07/799,142 US5220587A (en) | 1990-11-28 | 1991-11-27 | Output circuit for a CCD with a D.C. restoration circuit integrated together with the CCD in a monolithic semiconductor chip |
| KR1019910021496A KR960016214B1 (ko) | 1990-11-28 | 1991-11-28 | 증폭회로 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2326348A JP3069373B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 固体撮像装置の駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04196329A true JPH04196329A (ja) | 1992-07-16 |
| JP3069373B2 JP3069373B2 (ja) | 2000-07-24 |
Family
ID=18186787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2326348A Expired - Fee Related JP3069373B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 固体撮像装置の駆動方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5220587A (ja) |
| JP (1) | JP3069373B2 (ja) |
| KR (1) | KR960016214B1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002051009A1 (en) * | 2000-12-21 | 2002-06-27 | Asahi Kasei Microsystems Co.,Ltd. | High-speed current switch circuit |
| JP2014045385A (ja) * | 2012-08-27 | 2014-03-13 | Sharp Corp | 固体撮像装置 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05235665A (ja) * | 1991-09-04 | 1993-09-10 | Hitachi Ltd | 増幅回路 |
| JP3182303B2 (ja) * | 1994-11-28 | 2001-07-03 | 三洋電機株式会社 | 固体撮像素子及びこれを用いた撮像装置 |
| FR2732848B1 (fr) * | 1995-04-04 | 1997-05-16 | Thomson Csf Semiconducteurs | Amplificateur de lecture de registre ccd |
| JP3351503B2 (ja) * | 1996-10-09 | 2002-11-25 | シャープ株式会社 | 固体撮像装置 |
| JP3621844B2 (ja) * | 1999-02-24 | 2005-02-16 | シャープ株式会社 | 増幅型固体撮像装置 |
| US6538245B1 (en) * | 2000-10-26 | 2003-03-25 | Rockwell Science Center, Llc. | Amplified CMOS transducer for single photon read-out of photodetectors |
| JP4299697B2 (ja) * | 2004-03-04 | 2009-07-22 | シャープ株式会社 | 固体撮像装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2430694A1 (fr) * | 1978-07-04 | 1980-02-01 | Thomson Csf | Dispositif de lecture d'une quantite de charges electriques, et filtre a transfert de charges muni d'un tel dispositif |
| US4503550A (en) * | 1982-07-01 | 1985-03-05 | Rca Corporation | Dynamic CCD input source pulse generating circuit |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP2326348A patent/JP3069373B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-11-27 US US07/799,142 patent/US5220587A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-11-28 KR KR1019910021496A patent/KR960016214B1/ko not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002051009A1 (en) * | 2000-12-21 | 2002-06-27 | Asahi Kasei Microsystems Co.,Ltd. | High-speed current switch circuit |
| JP2014045385A (ja) * | 2012-08-27 | 2014-03-13 | Sharp Corp | 固体撮像装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960016214B1 (ko) | 1996-12-06 |
| KR920011052A (ko) | 1992-06-27 |
| JP3069373B2 (ja) | 2000-07-24 |
| US5220587A (en) | 1993-06-15 |
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