JPH04196558A - 基板表面異物検査装置 - Google Patents
基板表面異物検査装置Info
- Publication number
- JPH04196558A JPH04196558A JP32812790A JP32812790A JPH04196558A JP H04196558 A JPH04196558 A JP H04196558A JP 32812790 A JP32812790 A JP 32812790A JP 32812790 A JP32812790 A JP 32812790A JP H04196558 A JPH04196558 A JP H04196558A
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- JP
- Japan
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- light
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- foreign matter
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- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 30
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
青用レーザー光の入射光学系に関するものである。
［従来の技術］
従来、基板表面の異物を検査するに当たって、その検査
用レーザー光の入射光学系は、第２図に示す様に、基板
１を一方向に一定速度で移動させ、レーザー光２を可動
ミラー３に当て、可動ミラー３の回転往復運動により扇
状の反射光４として基板表面に入射させ、その散乱光７
より基板１の表面上の異物を光センサ−８で検出する光
学系であった。
用レーザー光の入射光学系は、第２図に示す様に、基板
１を一方向に一定速度で移動させ、レーザー光２を可動
ミラー３に当て、可動ミラー３の回転往復運動により扇
状の反射光４として基板表面に入射させ、その散乱光７
より基板１の表面上の異物を光センサ−８で検出する光
学系であった。
［５ｅ明が解決しようとする課Ｉ！！］しかし、前述の
第２図の光学系では、基板表面に入射させるレーザー光
が基板の進行方向に対して扇状である為に、異物検出感
度が基板の全面にわたって均一にならないという課題を
有していた。
第２図の光学系では、基板表面に入射させるレーザー光
が基板の進行方向に対して扇状である為に、異物検出感
度が基板の全面にわたって均一にならないという課題を
有していた。
そこで、本発明ではこの様な課題を解決する為に、レー
ザー光を可動ミラーに当て、該可動ミラーの回転往復運
動によって、該レーザー光を扇状の反射光とし、該反射
光を基板の進行方向に対しる事によって、異物検出感度
を基板の全面にわたって均一にさせる事を目的としてい
る。
ザー光を可動ミラーに当て、該可動ミラーの回転往復運
動によって、該レーザー光を扇状の反射光とし、該反射
光を基板の進行方向に対しる事によって、異物検出感度
を基板の全面にわたって均一にさせる事を目的としてい
る。
［課題を解決するための手段］
本発明の基板表面異物検査装置は、基板を一方向に一定
速度で移動させ、該基板の進行方向の前又は後からレー
ザー光を入射させ、その散乱光より該基板表面上の異物
を検出する異物検査装置のレーザー光源と該基板との間
の光学系において、該レーザー光を可動ミラーに当て、
該可動ミラーの回転往復運動によって、該レーザー光を
扇状の反射光とし、該反射光を該基板の進行方向に対し
て、垂直に入射させる様な凹型反射ミラーを備える事を
特徴とする。
速度で移動させ、該基板の進行方向の前又は後からレー
ザー光を入射させ、その散乱光より該基板表面上の異物
を検出する異物検査装置のレーザー光源と該基板との間
の光学系において、該レーザー光を可動ミラーに当て、
該可動ミラーの回転往復運動によって、該レーザー光を
扇状の反射光とし、該反射光を該基板の進行方向に対し
て、垂直に入射させる様な凹型反射ミラーを備える事を
特徴とする。
［実施例］
第１図は、本発明の実施例における斜視図である。基板
１を一方向に一定速度で移動させ、レーザー光２を可動
ミラー３に肖てる。レーザー光２は可動ミラー３の回転
往復運動により扇状の反射光４となる。この扇状の反射
光４を凹型反射ミラー５に当て、基板１の進行方向に対
して、前又は後ろから垂直に入射する様なレーザー光６
とする。
１を一方向に一定速度で移動させ、レーザー光２を可動
ミラー３に肖てる。レーザー光２は可動ミラー３の回転
往復運動により扇状の反射光４となる。この扇状の反射
光４を凹型反射ミラー５に当て、基板１の進行方向に対
して、前又は後ろから垂直に入射する様なレーザー光６
とする。
このレーザー光６は、基板表面に対して垂直に入射する
事から、光センサ−８で検知される散乱光７は基板１全
面にわたって均一であり、故に異物検出感度も基板１全
面にわたって均一となる。
事から、光センサ−８で検知される散乱光７は基板１全
面にわたって均一であり、故に異物検出感度も基板１全
面にわたって均一となる。
［発明の効果］
以上述べた様に、本発明によれば、レーザー光を可動ミ
ラーに当て、該可動ミラーの回転往復運動によって、該
レーザー光を扇状の反射光とし、該反射光を基板の進行
方向に対して、垂直に入射させる様な凹型反射ミラーを
備える事によって、異物検出感度を基板の全面にわたっ
て均一にさせる効果を有する。
ラーに当て、該可動ミラーの回転往復運動によって、該
レーザー光を扇状の反射光とし、該反射光を基板の進行
方向に対して、垂直に入射させる様な凹型反射ミラーを
備える事によって、異物検出感度を基板の全面にわたっ
て均一にさせる効果を有する。
第１図は本発明の一実施例の主要斜視図であり、第２図
は従来例の主要斜視図である。 １ ・・・ 基板 ２．６ ・・・ レーザー光 ３ ・・・ 可動ミラー ４ ・・・ 扇状の反射光 ５ ・・・ 凹型反射ミラー ７ ・・・ 散乱光 ８ ・・・ 光センサー 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 銘木喜三部（他１名）￥ １ 図 ′８ ２ ｌ
は従来例の主要斜視図である。 １ ・・・ 基板 ２．６ ・・・ レーザー光 ３ ・・・ 可動ミラー ４ ・・・ 扇状の反射光 ５ ・・・ 凹型反射ミラー ７ ・・・ 散乱光 ８ ・・・ 光センサー 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 銘木喜三部（他１名）￥ １ 図 ′８ ２ ｌ
Claims (1)
- 基板を一方向に一定速度で移動させ、該基板の進行方向
の前又は後からレーザー光を入射させ、その散乱光より
該基板表面上の異物を検出する異物検査装置のレーザー
光源と該基板との間の光学系において、該レーザー光を
可動ミラーに当て、該可動ミラーの回転往復運動によっ
て、該レーザー光を扇状の反射光とし、該反射光を該基
板の進行方向に対して、垂直に入射させる様な凹型反射
ミラーを備える事を特徴とする基板表面異物検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32812790A JPH04196558A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 基板表面異物検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32812790A JPH04196558A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 基板表面異物検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04196558A true JPH04196558A (ja) | 1992-07-16 |
Family
ID=18206791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32812790A Pending JPH04196558A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 基板表面異物検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04196558A (ja) |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP32812790A patent/JPH04196558A/ja active Pending
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