JPH11316112A5 - - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体の平面に対して垂直に物体を通る光軸を有する物体のイメージを検知するカメラと、
前記光軸の一方の側に配置される一部を有し、物体の平面に対して斜めに物体への光の照射を行う斜光源と、
前記斜光源の一部に対して光軸の反対側に配置され、斜光源から光軸を横切る光を前記カメラに向けて反射し、前記斜光源の一部との間に位置する前記物体の一部が形状としてカメラに撮像されるようにするリフレクタと、
撮像中に前記リフレクタによって反射されることなく、前記斜光源から前記カメラに光が直接送り込まれるのを阻止し、前記斜光源からの光が前記リフレクタに対して斜めに通過するウィンドウを有する基準面と
を備える平面を有する物体を検査する装置。
【請求項２】
物体が集積回路であり、光軸を中心にして集積回路をほぼ包囲する少なくとも１つのリフレクタを含み、前記斜光源が光軸を中心にして集積回路をほぼ包囲し、光軸を中心にして集積回路の側縁の全てに対してバック・ライトとして光を照射して、少なくとも１つのリフレクタで反射することによってカメラに撮像されるようにする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記斜光源が、前記集積回路の平面に対して１０度以下をなして当該集積回路の側縁に光を照射し、当該光がリフレクタによって前記カメラに反射される請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記リフレクタと前記斜光源が、前記物体の同じ部分について２つ以上の異なるイメージを捕捉し、前記物体の部分の三次元情報が得られるように物体に対して移動可能である請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記物体の側縁に光を照射する第２の光源をさらに含み、前記第２の光源からの光が物体の側縁から通過し、光軸と交差することなく光学素子に達して、カメラによって検知されるように方向付けられる請求項１〜３のいずれかに記載の装置。
【請求項６】
集積回路に向かい合い、当該集積回路の平面に対して垂直に通る光軸に沿って集積回路のイメージを検知するステップと、
前記光軸の反対側の位置において光を反射させるため、前記集積回路の一部を通過した光を当該集積回路の平面に対して斜めに向けるステップと、
前記集積回路の品質を表す形状の一部を撮像するため、前記集積回路の一部から通過してくる光を反射するステップと、
斜めに向けられた光が反射位置に対して通過するウィンドウを有し、当該斜めに向けられた光を反射させることなく撮像されることを阻止する基準面を使用するステップと
を含む平面を有する集積回路の品質を検査する方法。
【請求項７】
光軸を中心にして集積回路をほぼ包囲する第１の光源から集積回路の平面に対し斜めの方向に光を照射するステップをさらに含み、光軸を中心にして集積回路をほぼ包囲する少なくとも４つの面で反射し、光軸を中心にして集積回路の側縁の全てに対してバック・ライトとして光を照射し反射することよって撮像されるようにする請求項６に記載の方法。
【請求項８】
集積回路の側縁に照射するために第２の光源から光を方向付けるステップであって、ここで、照射された光は側縁から通過し光軸と交差することなく光学素子に到達する、ステップと、
側縁から通過する光を撮像されるよう方向付けるために光学素子を使用するステップと
をさらに含む請求項７に記載の方法。
【請求項９】
第２の光源からの光がフロント・ライトとして集積回路を照射する請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
第２の光源からの光が斜めに向けられた光に対してかなりの角度をなして向けられる請求項８に記載の方法。