JPH042054U - - Google Patents
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- JPH042054U JPH042054U JP4294690U JP4294690U JPH042054U JP H042054 U JPH042054 U JP H042054U JP 4294690 U JP4294690 U JP 4294690U JP 4294690 U JP4294690 U JP 4294690U JP H042054 U JPH042054 U JP H042054U
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- chip
- integrated circuit
- circuit device
- semiconductor integrated
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- Pending
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Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
第１図は、本考案による半導体集積回路装置の
一実施例の断面図、第２図ａ〜ｇは第１図に示す
実施例の製造プロセスを示す断面図である。 １……半導体基板、２……バイアホール構造引
き出し電極、３……キヤパシタ上部電極、４……
誘電膜、５……キヤパシタ下部電極、６……フオ
トレジスト、６ａ……リフトオフ用開口パターン
、７……フオトレジスト、７ａ……バイアホール
形成用開口パターン、８……バイアホール、９…
…半導体集積回路装置。
一実施例の断面図、第２図ａ〜ｇは第１図に示す
実施例の製造プロセスを示す断面図である。 １……半導体基板、２……バイアホール構造引
き出し電極、３……キヤパシタ上部電極、４……
誘電膜、５……キヤパシタ下部電極、６……フオ
トレジスト、６ａ……リフトオフ用開口パターン
、７……フオトレジスト、７ａ……バイアホール
形成用開口パターン、８……バイアホール、９…
…半導体集積回路装置。
Claims (1)
- 半導体チツプの表面に能動素子又は能動素子及
び抵抗パターンを有するとともに、チツプ裏面に
キヤパシタ素子又はインダクタ素子等の受動素子
を有することを特徴とする半導体集積回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4294690U JPH042054U (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4294690U JPH042054U (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH042054U true JPH042054U (ja) | 1992-01-09 |
Family
ID=31554935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4294690U Pending JPH042054U (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH042054U (ja) |
-
1990
- 1990-04-20 JP JP4294690U patent/JPH042054U/ja active Pending