JPH04206019A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は垂直磁気記録媒体に関する。

し従来の技術］ 近年１パーソナル・コンピュータ、ラップトツブ・コン
ピュータなどに使用される外部記憶装置の小型化および
大容量化の要求に伴い、フロッピーディスク型磁気記録
装置の高密度化が進められている。

この高密度化の方法には、大別して、記録周波数を高め
て１トラツクの記録量を増やす線記録密度の増加法と、
トラックピッチ及びトラック幅を狭くすることによって
、ディスク１枚当りのトラック数を増やすトラック密度
の増加法の二通りの方法がある。

このうち、線記録密度の増加法については、垂直磁気記
録媒体の利用が検討され、これは、原理的に反磁界がな
いため高密度記録になるほど磁化が安定し、長手磁気記
録方式による媒体に比べ数倍の高密度記録が簡単に得ら
れる。

特に、バインダー等の非磁性体を含まないＣ。

Ｃｒ膜またはＣｏＣｒに、第三元素としてＴｉ。

Ｔａ、Ｐｔ、Ｂ等を添加した金属薄膜による垂直磁気記
録媒体の検討が進められている。

一方、トラック密度の増加については、従来の約１００
［ＴＰＩ］に対して約２倍の２００［ＴＰＩ］を越える
とフロッピーディスクのドライバー側においてヘッドの
サーボ制御が必要とされており、これに対する開発が進
められ、このサーボ制御方式を採用した４００〜５００
［ＴＰＩ］を持つものか長手磁気記録方式においても実
用化されつつあり、従来の約５倍程度の記憶容量を持つ
フロッピーディスク型磁気記録装置が登場してきた。

従って、金属薄膜からなる垂直磁気記録媒体によって線
記録密度およびトラック密度の増加を実現できれば、−
挙に数十倍の記憶容量を持つフロッピーディスク型磁気
記録装置が得られる。

ところで、トラック幅と再生出力の関係はほぼ比例関係
にあることが知られており、トラック密度増加のために
トラック幅を狭くすると、再生出力は低下する。従って
、フロッピーディスクのトラック密度の向上を行うには
、トラック幅縮小に伴う再生出力の低下を補うだけの高
出力化をはかる必要かある。

しかし、ＣｏＣｒ合金薄膜による垂直磁気記録媒体の再
生出力は、従来のメタル塗布媒体に対して２ｄＢ程度の
増加でしかない。

そこで、ＣｏＣｒ層とベースフィルムの間の面内方向に
磁化容易軸を持つ下地層を形成すると。

反磁界を取り除き、かつ、記録層と下地層の磁路がいわ
ゆる馬蹄形の閉磁路となり、記録再生効率か向上し再生
出力が増大する。

特に、ＣｏＣｒＮｉ合金からなる下地層を設けることに
より、再生出力を８ｄＢ程度に向上させることができる
ことを以前より見いだしている。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、ＣｏＣｒＮｉ下地層の効果で出力の増加は大き
いが、同時に媒体ノイズも増加している。

媒体ノイズの増加量は約６ｄＢにもなり、Ｃ／Ｎてはた
かだか２ｄＢの増加にしか過ぎない。このように媒体ノ
イズが大きいことが実用化の妨げとなっていた。

そこで１本発明の技術的課題は、媒体ノイズを低減でき
る磁気記録媒体を提抗することにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、高分子フィルム上に、磁性薄膜を形成
する磁気記録媒体において、前記高分子フィルム上に下
地層として形成されたＣｏＣｒＮｉ合金薄膜と、該Ｃｏ
ＣｒＮｉ合金薄膜の上に。

中間層として形成されたＣｒ薄膜の非磁性層と。

さらに該非磁性層の上に形成されたＣｏＣｒ合金薄膜と
から成る垂直記録層を形成し、前記中間層は、膜圧ｄが １００≦ｄ≦３００　　［オングストローム］であるこ
とを特徴とする垂直磁気記録媒体が得られる。

以上の問題を解決するために１本願発明者はＣｏＣｒＮ
ｉ合金薄膜層とＣｏＣｒ合金薄膜との間にＣｒ薄膜の非
磁性層を設けることにより、　　Ｃ。

Ｃｒ合金薄膜の磁区が小さくなり、媒体ノイズを低減で
きることを見いだした。

［実施例コ ＣｏＣｒ層に磁化反転が記録されると、磁化は磁区単位
で残るため、第２図に示すように、磁化反転部は直線で
はなくジグザグとなる。媒体ノイズはこのジグザグ部分
て生じ、この幅が大きければノイズは大きくなる。従っ
て、ＣｏＣｒ層の磁区か大きいほどこの幅が広くなり媒
体ノイズは太き（なる。

ＣｏＣｒはＣｏＣｒＮｉ１下地層の上にエピタキシャル
成長するため、ＣｏＣｒの磁区の大きさはＣｏＣｒＮｉ
層の磁区の大きさに左右されることになる。このＣｏＣ
ｒＮｉの磁区が大きいため。

媒体ノイズが大きくなっていた。

そこで、ＣｏＣｒＮｉ層とＣｏＣｒ層の間に非磁性層を
設けることで１両者の磁気的な相互作用をなくシ、さら
に、ＣｏＣｒ層のエピタキシャル成長を阻止することが
できる。従って、磁区の大きさかＣｏＣｒＮｉに影響さ
れないためＣｏＣｒの軸は小さくなり、媒体ノイズを低
減できる。

以上の点に対し本発明者は鋭意検討の結果、ＣｏＣｒＮ
ｉ合金薄膜の上にＣｒ薄膜の非磁性層を形成し、さらに
その上にＣｏＣｒ層を形成するという構造にすることに
より、ＣｏＣｒ合金薄膜１こよる垂直磁気記録媒体の媒
体ノイズを低減できることを見いだした。

以下に、比較例及び実施例１〜６について、詳細に説明
する。

（比較例） 厚さ３０μ閣のポリイミドフィルム上に、　　ＲＦマグ
ネトロン法により、厚さ５００［人コのＣ０ＣｒＮｉ下
地層を形成し、さらにその上に０，３μ■のＣｏＣｒ薄
膜を形成した。このとき、２種の薄膜ともスパッタ圧力
はＯ，Ｌ　　［Ｐａ］　、　　ＲＦ／＜ワー密度は２．
７４［Ｗ／ｃｊコである。

また、ＣｏＣｒターゲット組成は１７．５ｖｔ％；Ｃｒ
、ＣｏＣｒＮｉターゲットの組成は、Ｃｒ：１０ｗｔ％
、Ｎｉ：１０ｗｔ％とした。

（実施例１） 比較例において、第１図を参照してＣｏＣｒＮ１層２を
形成後、厚さ３０［ＡコのＣｒ中間層３を形成し、その
後、比較例と同様にＣｏＣｒ膜４を形成した。このとき
のＣｒ層３のスノク・ツタ圧力は０．１　　［Ｐａコ、
ＲＦパワー密度は２．７４［Ｗ／ｃｄ二である。

（実施例２） 実施例１においてＣｒ中間層３の厚さを５０［人］とし
た。

（実施例３） 実施例１においてＣｒ中間層３の厚さを１００［人］と
した。

（実施例４） 実施例１においてＣｒ中間層３の厚さを２００００ロ八
コた。

（実施例５） 実施例１においてＣｒ中間層３の膜厚を３００［人］と
した。

（実施例６） 実施例１においてＣｒ中間層３の膜厚を４００［人コと
した。

以上の比較例及び実施例について、１００［人コ厚さの
カーボン保護膜５を形成し、２インチサイズに打ち抜き
、２インチデータディスクとし、電磁変換特性を評価し
た。

このときのへ・ソドはギヤ・ノブ長０．１５μ膳のＭＩ
Ｇタイプバルクヘッドとし、半径２０ｍで測定した。

第３図に市販メタル塗布媒体（ＶＦ−１日立マクセル（
株）製）と比較例及び実施例４における１０ＭＨｚのＣ
／Ｎを示す。第４図にＣｒ中間層３の厚さに対する１０
［ＭＨ２］における再生ａカの関係及びそのときの１１
［ＭＨｚ］における媒体ノイズの関係を示す。但し、市
販メタル塗布媒体の出力またはノイズをＯｄＢとした。

実施例会てにわたり、市販メタル塗布媒体より出力が大
きく、特に実施例の１００〜３００　［人〕について比
較例に比ベノイズレベルが４〜５　ｄＢｔＭ度小さくな
り、市販メタル塗布媒体と比較しても１〜３ｄＢ程大き
いだけであるため、Ｃ／Ｎでは４〜６ｄＢ増大する。

ここで１本発明の実施例に於て、２インチサイズのデー
タフロッピーについて説明したが、他のサイズのフロッ
ピーディスクでもよく、さらにテープであっても同様の
効果が得られるため、媒体の形状について本発明の実施
例に制限されない。

［発明の効果］ 以上述べたように１本発明によれば媒体ノイズが小さく
なり、Ｃ／Ｎの大きなＣｏＣｒ垂直磁気記録媒体が作製
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の垂直磁気記録媒体に係る一実施例を
示す図、第２図は、媒体ノイズの大小を説明する概略図
、第３図は、第１図の一実施例及び比較例に係る市販メ
タル塗布媒体のＣ／Ｎ、第４図は、第１図の一実施例に
於て、Ｃｒ中間層の厚さと再生出力及び媒体ノイズの関
係である。 １・・・ベースフィルム、２・・・ＣｏＣｒＮ　ｉ層、
３・・・Ｃｒ層、４・・・垂直記録層、５・・・保護・
潤滑油。 第　　１　　図 ［ｄＢ］ 第　　３　　図 ［ｄＢコ Ｏｔｏｏ　　　　　　２００　　　　３００中間層の厚
さ　［Ａ］ 第　４　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、高分子フィルム上に、磁性薄膜を形成する磁気記録
   媒体において、前記高分子フィルム上に下地層として形
   成されたＣｏＣｒＮｉ合金薄膜と、該ＣｏＣｒＮｉ合金
   薄膜の上に、中間層として形成されたＣｒ薄膜の非磁性
   層と、さらに該非磁性層の上に形成されたＣｏＣｒ合金
   薄膜とから成る垂直記録層を形成し、前記中間層は、膜
   圧ｄが１００≦ｄ≦３００［オングストローム］ であることを特徴とする垂直磁気記録媒体。