JPH0460917A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［従来の技術］ 近年、パーソナル・コンピュータ、ラップトツブ・コン
ピュータなどに使用される外部記憶装置の小型化および
大要量化の要求に伴い、フロッピディスク型磁気記録装
置の高密度化が進められている。

この高密度化の方法には、大別して、記録周波数を高め
て１トラツクの記録量を増やす線記録密度の増加と、ト
ラックピッチ及びトラック幅を狭くすることによって、
ディスク１枚当たりのトラック数を増やすトラック密度
の増加の二通りの方法がある。

このうち、線記録密度の増加については、垂直磁気記録
媒体の利用が検討され、バリウムフェライトによる塗布
型ディスクが一部実用化されている。

これは、従来の長手記録方式による媒体に比べ。

原理的に反磁界がないため、高密度記録になるほど磁化
が安定し、従来に比べ数倍の高密度記録が簡単に得られ
る。

ここで更に、線記録密度を向上させるため　バインダー
などの非磁性体を含まない、ＣｏＣｒ膜またはＣｏＣｒ
に第三元素としてＴｉ　　Ｔａ　　Ｐｔ、Ｂ等を添加し
た。金属薄膜による垂直磁気記録媒体の検討が進められ
ている。

一方、トラック密度の増加については、従来の約１００
［ＴＰＩコに対して約２倍）２００　［ＴＰＩ］を越え
ると、フロッピーディスクのドライバー側において、ヘ
ッドのサーボ制御が必要とされており、これに対する開
発か進められている。

このサーボ制御方式を採用した４００〜５００［ＴＰＩ
］をもつものが、長手記録方式においても実用化されつ
つあり、従来の約５倍程度の記憶容量を持つフロッピー
ディスク型磁気記録装置が登場してきた。

従って、金属薄膜からなる垂直磁気記録媒体によって、
線記録密度およびトラック密度の増加を実現できれば、
−挙に数十倍の記憶容量を持つフロッピーディスク型磁
気記録装置が得られる。

一方、ＶＴＲに代表されるテープ状の媒体についても、
飛躍的な高密度記録が可能になると、現在業務用として
のみ実用化されているハイビジョン用ＶＴＲか民生用と
して技術的に可能になる。

トラック幅と再生出力の関係は、はぼ比例関係にあるこ
とか知られており、トラック密度増加のためにトラック
幅を狭くすると、再生出力は低下する。従って、フロッ
ピーディスクのトラック密度の向上を行なうためには、
トラック幅縮小に伴う再生出力の低下を補うだけの高出
力化をはかる必要かある。

一方、ＶＴＲに代表されるテープ状の媒体についても、
垂直磁気記録媒体の高密度記録が行なえる長所を利用し
ようとした場合、広帯域に渡る周波数での記録再生を行
なうため、Ｓ／Ｎ１１ｌｌｌ：保のためにも高出力化が
必要となる。

［発明か解決しようとする課題］ しかしながら、従来のＣｏＣｒ合金薄膜による垂直磁気
記録媒体の再生出力は、従来のメタル磁性粉による塗布
媒体に対して４０％程度の再生出力でしかないため、新
たに、ノイズの少ない再生アンプや信号処理回路の開発
が必要となり、実用化の大きな障害となっていた。

そこで１本発明の技術的課題は、上記欠点に鑑み、大幅
に再生出力を増大したＣｏＣｒ垂直磁気記録媒体を提供
することである。

［問題を解決するための手段］ 本発明によれば高分子フィルム上に、磁性薄膜を形成す
る磁気記録媒体において、前記高分子フィルム上に組成
が （ＣＯｓ２．ｓ”　Ｃｒ＋７５）　ｔｏｏ−ｘ　”　Ｎ
　ｉｘ　：　２≦Ｘ≦５０［ｖＬ％］ てあり、膜厚ｄが。

２００≦ｄ≦１０００［人］ である下地層薄膜を形成し、該下地層薄膜上に。

ＣｏＣｒ合金薄膜またはＣｏＣｒ合金に第三元素として
Ｔｉ、Ｔａ、Ｐｔ、Ｂ等を添加した垂直記録層を形成し
たことを特徴とする。垂直磁気記録媒体が得られる。

即ち、本発明はＣｏＣｒ合金層の下に、膜面にたいして
平行な面内方向に磁化容易軸を持つＣ。

ＣｒＮｉ合金からなる下地層を設けることにより再生出
力を向上させたものである。

［作用コ 磁気記録媒体の再生出力の向上のための一つの方法とし
て、磁気回路上における磁気抵抗の低減かあることが知
られている。

例えば、ＣｏＣｒ合金薄膜においては第２図に示すよう
に磁気ヘッドの反対側に反磁界を発生させる磁化があら
れれ、磁気抵抗を増加させ１再生出力を低下させていた
。

従って１面内方向に磁化容易軸を持つ下地層をＣｏＣｒ
層とベースフィルムの間に形成することにより１反磁界
を取り除き再生出力を増大させることかできる。

一方、薄膜形成法の上で下地層として必要な条件に結晶
格子間隔の問題がある。

すなわち、ＣｏＣｒ膜の磁化の垂直配向はｌ＋　ｃ　ｐ
構造による結晶磁気異方性によるものであるため。

下地層としてＣｏＣｒ膜と大きく異なる格子間隔を持つ
材料を選定すると　ＣｏＣｒ膜の垂直配向性を阻害して
しまい、磁気特性を劣化させ、電磁変換特性が悪くなる
。

従って２下地層としてはＣｏＣｒ合金に第三元素を添加
した１面内方向に磁化容易軸を持つ薄膜を使用すること
か望ましい。

以上の点に対し１本発明者は、鋭意検討の結果。

第三元素としてＮｉを採用することによって、ＣｏＣｒ
合金薄膜による垂直磁気記録媒体の再生出力を増大でき
ることを見いたした。

［実施例］ 次に本発明実施例について２図面を参照して説明する。

［比較例］ 厚さ３０μｍのポリイミドフィルム上に、ＲＦマグネト
ロン法により厚さ０．３μｍのＣｏＣｒ薄膜を形成した
。このときのスパッタ圧力は０．１［Ｐａ］であり、Ｒ
Ｆパワー密度は２．７４　［Ｗ　／　ｃＪコである。

また、ＣｏＣｒターゲット組成は、　１７．５ｗｔ％Ｃ
ｒとした。

［実施例１コ 比較例において、ＣｏＣｒ層を形成する前にＣｏＣｒＮ
ｉ合金からなるターゲットにより、５００［へコ厚さの
ＣｏＣｒＮｉ下地層を形成し。

その後比較例と同様にＣｏＣｒ膜を形成した。このとき
のＣｏＣｒＮｉ下地層のターゲット組成は（ＣＯ８２，
５Ｃｒ　１７．５）　＋００−Ｘ　’　Ｎ　ｉｘ　：　
Ｘ＝２［ｗｔ％］ とした。

また　下地層のスパッタ圧力は０．１．　　［Ｐａ］で
あり、ＲＦパワー密度は２．７４　［Ｗ　／　ｃ♂］で
ある。

［実施例２コ 実施例１において、ＣｏＣｒＮｉ下地層の組成を （ＣＯ８２，５Ｃｒ＋７　、）　　＋ｏｏ−ｘ　　・　
Ｎ　　ｉ　　ｘ　：　　Ｘ−５［ｗｔ％コ として１作製した。

［実施例３コ 実施例１において、ＣｏＣｒＮｉ下地層の組成を （Ｃｏｓｚ　　、Ｃｒ＋７　、）　　＋００−Ｘ　　−
ＩＮｉＸ　　：Ｘ−１０［ｗｔ％］ として１作製した。

［実施例４コ 実施例１において、ＣｏＣｒＮｉ下地層の組成を。

（ＣＯ８２，５Ｃｒ１７．５）　＋００−Ｘ　６　Ｎ　
ｉｘ　：　Ｘ＝２０［νｔ％コ として　作製した。

［実施例５］ 実施例１において、ＣｏＣｒＮｉ下地層の組成を。

（Ｃ０８２，５Ｃｒ　１７．５）　＋００−Ｘ　”　Ｎ
　Ｉ　Ｘ　　・Ｘ＝３０［ｖｔ％］ として１作製した。

［実施例６］ 実施例１において、ＣｏＣｒＮｉ下地層の組成を。

（ＣＯｓ２５Ｃｒ＋７．５）　１００−Ｘ　”Ｎｉｘ　
：Ｘ−４０［ｗＬ％］ として２作製した。

［実施例７］ 実施例１において、ＣｏＣｒＮｉ下地層の組成を。

（Ｃ０８２，５Ｃｒ　１７．５）　＋００−Ｘ　’　Ｎ
　ｉｘ：　Ｘ−５０［ｗｔ％］ として２作製した。

以上の比較例および実施例について、１００［へ］厚さ
のカーボン保護膜を形成し、２インチサイズに打ち抜き
、２インチデータディスクとし。

電磁変換特性を評価した。

このときのヘッドはギャップ長０．１５μｍのＭＩＧタ
イプバルクヘッドとし、半径２０＋ｎｍで測定した。

第３図に市販メタル媒体（ＶＦ−１日立マクセル■製）
と比較例および実施例２における記録周波数特性を、第
４図に下地層のＮｉ含有量に対する１　０　［ＭＩＩｚ
　］における再再出力の関係、およびメタル磁性粉によ
る塗布媒体の再生出力を示す。

−・９ １．０ 実施例の２〜５０［Ｗｔ９６］全てについてメタル磁性
粉による塗布媒体と同等以上の再生出力があり、特に２
〜３０［ｗｔ％］の範囲では２倍以上の再生出力がある
ことがわかる。

一方、ＣｏＣｒＮｉ下地層の厚さについての再生出力変
化についても検討を行なった。

［実施例８］ 実施例２においてｒ　Ｃｏ　Ｃｒ　Ｎ　を下地層の厚さ
を１００　［人コとした。

［実施例９コ 実施例２において、ＣｏＣｒＮｉ下地層の厚さを２００
［人］とした。

〔実施例１０コ 実施例２において、ＣｏＣｒＮｉ下地層の厚さを３００
［八］とした。

［実施例１１コ 実施例２において　ＣｏＣｒＮｉ下地層の厚さを４００
　口人］とした。

［実施例１２コ 実施例２において、ＣｏＣｒＮｉ下地層の厚さを８００
［人］とした。

［実施例１３］ 実施例２において、ＣｏＣｒＮｉ下地層の厚さを１００
０　［へコとした。

［実施例１４］ 実施例２において、ＣｏＣｒＮｉ下地層の厚さを１．５
００［人コとした。

以上の実施例２および実施例８〜１４についてＣｏＣｒ
Ｎｉ下地層の厚さと再生出力との関係をグラフにしたの
が第５図である。

２００［Ａコから１０００［Ａ］の間であればほぼ一定
値を示しているのが分かる。

［発明の効果］ 以上述べたように２本発明によれば大幅に再生出力か増
大したＣｏＣｒ垂直磁気記録媒体が作製できる。

ここで１本発明の実施例において、２インチサイズのデ
ータフロッピーについて説明したが、他のサイズのフロ
ッピーディスクでも良く、さらにｉ″Ａ テープであっても同様の効果が得られるため、媒体の形
状について本発明の実施例に制限されない。

第１図は本発明の概略図である。

第２図は反磁界を発生させる磁化を示す概略図である。

第３図は本発明の記録周波数特性である。

第４図は本発明の実施例おいて、Ｎｉ含有量と再生出力
の関係である。

第５図は本発明の実施例においてＣｏＣｒＮｉの膜厚再
生比力の関係である。

１・・・ベースフィルム、２・・・ＣＯ・Ｃｒ−Ｎ１層
３・・垂直記録層、４・・・保護潤滑層、５・・・磁気
ヘッド、６・・・磁荷。

第３図 再生出力 〔相対値〕 記録周波数（ト）Ｈｚ） 第４図 再生出力 Ｏ 含 有 量（ｗｔ％〕

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）高分子フィルム上に、磁性薄膜を形成する磁気記録
   媒体において、前記高分子フィルム上に組成が ▲数式、化学式、表等があります▼ であり、膜厚ｄが、 ２００≦ｄ≦１０００［Å］ である下地層薄膜を形成し、該下地層薄膜上に、ＣｏＣ
   ｒ合金薄膜またはＣｏＣｒ合金に第三元素としてＴｉ、
   Ｔａ、Ｐｔ、Ｂ等を添加した垂直記録層を形成したこと
   を特徴とする垂直磁気記録媒体。