JPH0421535A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法Info
- Publication number
- JPH0421535A JPH0421535A JP12420590A JP12420590A JPH0421535A JP H0421535 A JPH0421535 A JP H0421535A JP 12420590 A JP12420590 A JP 12420590A JP 12420590 A JP12420590 A JP 12420590A JP H0421535 A JPH0421535 A JP H0421535A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- gas
- furnace
- core tube
- preform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、光ファイバ用多孔質母材を脱水・焼結処理し
て透明ガラス化することにより光ファイバ母材を得る光
ファイバ母材の製造方法に関するものである。
て透明ガラス化することにより光ファイバ母材を得る光
ファイバ母材の製造方法に関するものである。
［従来の技術］
従来、光ファイバ用多孔質母材を透明ガラス化する熱処
理装置は、第２図に示すように炉心管１を備え、該炉心
管１内には光ファイバ用多孔質母材２が支持棒３を介し
て吊り下げ支持されている。
理装置は、第２図に示すように炉心管１を備え、該炉心
管１内には光ファイバ用多孔質母材２が支持棒３を介し
て吊り下げ支持されている。
炉心管１の外周には、炉体４内に発熱体５を収容した構
造の加熱炉６が設けられ、光ファイバ用多孔質母材２の
加熱が行われるようになっている。
造の加熱炉６が設けられ、光ファイバ用多孔質母材２の
加熱が行われるようになっている。
炉心管１内には、炉心管ガス供給手段７の給気管８より
透明ガラス化処理用ガスか供給されるようになっている
。このような透明ガラス化処理用ガスの雰囲気中で光フ
ァイバ用多孔質母材２が加熱されると、脱水及び焼結が
なされて透明ガラス化され、光ファイバ母材が得られる
。光ファイバ用多孔質母材２との反応ガスや水分及び余
剰のガスは、排気管９を有する排気手段１０から排ガス
処理装置１１を経てブロアー１２により排気されるよう
になっている。通常、排気管９には炉心管１からの排気
の強さを調整するための絞り弁１３と炉心管１内の内部
圧力を監視するための圧力計１４が設けられている。
透明ガラス化処理用ガスか供給されるようになっている
。このような透明ガラス化処理用ガスの雰囲気中で光フ
ァイバ用多孔質母材２が加熱されると、脱水及び焼結が
なされて透明ガラス化され、光ファイバ母材が得られる
。光ファイバ用多孔質母材２との反応ガスや水分及び余
剰のガスは、排気管９を有する排気手段１０から排ガス
処理装置１１を経てブロアー１２により排気されるよう
になっている。通常、排気管９には炉心管１からの排気
の強さを調整するための絞り弁１３と炉心管１内の内部
圧力を監視するための圧力計１４が設けられている。
炉心管１は、高温に耐え、且つ光ファイバにとって有害
な不純物を避けるため、通常は石英で形成されている。
な不純物を避けるため、通常は石英で形成されている。
また、加熱炉６においては、充分な高温を得るため発熱
体５及び炉体４の断熱材はカーボンで形成されている。
体５及び炉体４の断熱材はカーボンで形成されている。
カーボンを高温で使用すると酸化するため、これを防止
する目的で炉体４内へは外部圧力より高くなるように不
活性ガスが炉体ガス供給手段１５で供給されるようにな
っている。この場合、大気圧をＰ。、炉心管１内の圧力
をＰｌ、炉体４内の圧力をＰ２とすると、Ｐ、＞Ｐ２
＞ＰＯとなることが必要である。炉心管１の内圧が最も
高圧なのは、光ファイバ用多孔質母材２を高温でガラス
化させる時の温度が炉心管１を構成する石英の軟化温度
と同等かそれ以上のため、炉心管１の内圧が小さいと該
炉心管１がつぶれてしまうので、それを防止するためで
ある。
する目的で炉体４内へは外部圧力より高くなるように不
活性ガスが炉体ガス供給手段１５で供給されるようにな
っている。この場合、大気圧をＰ。、炉心管１内の圧力
をＰｌ、炉体４内の圧力をＰ２とすると、Ｐ、＞Ｐ２
＞ＰＯとなることが必要である。炉心管１の内圧が最も
高圧なのは、光ファイバ用多孔質母材２を高温でガラス
化させる時の温度が炉心管１を構成する石英の軟化温度
と同等かそれ以上のため、炉心管１の内圧が小さいと該
炉心管１がつぶれてしまうので、それを防止するためで
ある。
このような装置で、炉体４の内圧と炉心管１の内圧とを
測定し、その差圧が一定になるように絞り弁１３を自動
コントロールする場合もある。
測定し、その差圧が一定になるように絞り弁１３を自動
コントロールする場合もある。
手動、自動のいずれの圧力コントロールの場合も、従来
は排気量を調整していた。
は排気量を調整していた。
このような従来の光ファイバ母材の製造方法で、光ファ
イバ用多孔質母材２が外径４Ｑｍｍ、長さ ３ＱＱｍｍ
程度の小型の場合には、炉心管１のサイズも内径６０ｍ
ｍ、長さＬＯＯＯｍｍ程度なので使用するガス量は表−
１の通りであった。
イバ用多孔質母材２が外径４Ｑｍｍ、長さ ３ＱＱｍｍ
程度の小型の場合には、炉心管１のサイズも内径６０ｍ
ｍ、長さＬＯＯＯｍｍ程度なので使用するガス量は表−
１の通りであった。
しかし、近年光ファイバ用多孔質母材２が大型化し、外
径１２０ｍｍ、長さ１０００ｍｍ程度になった場合には
、炉心管１のサイズも大型化し、内径１８０ｍｍ。
径１２０ｍｍ、長さ１０００ｍｍ程度になった場合には
、炉心管１のサイズも大型化し、内径１８０ｍｍ。
長さ２２００ｍｍ程度になる。このように炉心管１が大
型化すると、該炉心管１内のガス置換及びガラス化用雰
囲気維持のためのガス量も表−１のように格段に増える
。
型化すると、該炉心管１内のガス置換及びガラス化用雰
囲気維持のためのガス量も表−１のように格段に増える
。
表−１
［発明が解決しようとする課題］
このように従来の光ファイバ母材の製造方法では、光フ
ァイバ用多孔質母材２が大型化し、炉心管１が大型化す
るにつれて使用するガス量も増え、光ファイバの製造コ
ストが増加する問題点があった。
ァイバ用多孔質母材２が大型化し、炉心管１が大型化す
るにつれて使用するガス量も増え、光ファイバの製造コ
ストが増加する問題点があった。
本発明の目的は、ガスの使用量を低減することができる
光ファイバ母材の製造方法を提供することにある。
光ファイバ母材の製造方法を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
上記の目的を達成するための本発明の詳細な説明すると
、本発明は、炉心管内とその外周の加熱炉内の差圧を所
望の圧力に維持しつつ前記炉心管内の透明ガラス化処理
用ガス雰囲気中で光ファイバ用多孔質母材を前記加熱炉
で加熱しつつ透明ガラス化して光ファイバ母材を得る光
ファイバ母材の製造方法において、前記炉心管からの前
記透明ガラス化処理用ガスの排気を止めた状態で前記光
ファイバ用多孔質母材の透明ガラス化処理を行うことを
特徴とする。
、本発明は、炉心管内とその外周の加熱炉内の差圧を所
望の圧力に維持しつつ前記炉心管内の透明ガラス化処理
用ガス雰囲気中で光ファイバ用多孔質母材を前記加熱炉
で加熱しつつ透明ガラス化して光ファイバ母材を得る光
ファイバ母材の製造方法において、前記炉心管からの前
記透明ガラス化処理用ガスの排気を止めた状態で前記光
ファイバ用多孔質母材の透明ガラス化処理を行うことを
特徴とする。
［作用］
このように炉心管内での光ファイバ用多孔質母材の透明
ガラス化処理作業中に該炉心管からの透明ガラス化処理
用ガスの排出を止めると、該透明ガラス化処理用ガスの
使用量は圧力の低下に伴う補給量だけとなり、ガスの使
用量を従来に比べて著しく低減できる。
ガラス化処理作業中に該炉心管からの透明ガラス化処理
用ガスの排出を止めると、該透明ガラス化処理用ガスの
使用量は圧力の低下に伴う補給量だけとなり、ガスの使
用量を従来に比べて著しく低減できる。
［実施例コ
以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。
。
第１図は、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法を実
施する熱処理装置の一実施例を示したものである。なお
、前述した第２図と対応する部分には同一符号を付けて
示している。本実施例においては、炉心管１の上部には
光ファイバ用多孔質母材２を該炉心管１内に挿入後にそ
の開口部を閉じるように炉心管シール蓋１６が設けられ
ている。
施する熱処理装置の一実施例を示したものである。なお
、前述した第２図と対応する部分には同一符号を付けて
示している。本実施例においては、炉心管１の上部には
光ファイバ用多孔質母材２を該炉心管１内に挿入後にそ
の開口部を閉じるように炉心管シール蓋１６が設けられ
ている。
該炉心管シール蓋１６にはＮ２又はＡｒ等の不活性ガス
が供給され、支持棒３と該蓋１６とのクリアランスの大
きさに応じて流量を調整してシールをするようになって
いる。また、排気管９には排気用自動弁１７が設けられ
、メイン制御器１８の指令で開閉の制御がなされるよう
になっている。
が供給され、支持棒３と該蓋１６とのクリアランスの大
きさに応じて流量を調整してシールをするようになって
いる。また、排気管９には排気用自動弁１７が設けられ
、メイン制御器１８の指令で開閉の制御がなされるよう
になっている。
炉心管１の内圧を検出するため炉心管内圧検出センサ１
９が設けられ、また炉体４の内圧を検出するため炉体内
圧検出センサ２０が設けられている。
９が設けられ、また炉体４の内圧を検出するため炉体内
圧検出センサ２０が設けられている。
これらセンサ１９．２０の検出信号は差圧検出器２１に
入力され、炉心管１の内圧と炉体４の内圧との差圧が検
出されるようになっている。該差圧検出器２１で検出さ
れた差圧信号は、制御器１８に入力されるようになって
いる。
入力され、炉心管１の内圧と炉体４の内圧との差圧が検
出されるようになっている。該差圧検出器２１で検出さ
れた差圧信号は、制御器１８に入力されるようになって
いる。
一方、炉心管ガス供給手段７は、Ｈｅガスを供給するた
めのＨｅガスユニット２２Ａと、Ｃ＊２ガスを供給する
ためのＣｆｌ、２ガスユニツト２２Ｂと、０２ガスを供
給するためのｏ２ガスユニット２２Ｃとを有する。これ
らガスユニット２２Ａ〜２２Ｃはガス供給制御器２３で
制御され、該ガス供給制御器２３はメイン制御器１８で
制御されるようになっている。
めのＨｅガスユニット２２Ａと、Ｃ＊２ガスを供給する
ためのＣｆｌ、２ガスユニツト２２Ｂと、０２ガスを供
給するためのｏ２ガスユニット２２Ｃとを有する。これ
らガスユニット２２Ａ〜２２Ｃはガス供給制御器２３で
制御され、該ガス供給制御器２３はメイン制御器１８で
制御されるようになっている。
次に、このような熱処理装置による光ファイバ母材の製
造方法の一例を説明する。シール蓋１６を不活性ガスで
シールした状態で、炉心管１内の空気又は不活性ガスを
透明ガラス化処理用ガスで置換する。このとき、排気用
自動弁１７を開く指令がメイン制御器１８から発せられ
、該弁１７を開いた状態でガスの置換作業が行われる。
造方法の一例を説明する。シール蓋１６を不活性ガスで
シールした状態で、炉心管１内の空気又は不活性ガスを
透明ガラス化処理用ガスで置換する。このとき、排気用
自動弁１７を開く指令がメイン制御器１８から発せられ
、該弁１７を開いた状態でガスの置換作業が行われる。
所定の時間が経過してガスの置換作業が終了した段階で
メイン制御器１８から該排気用自動弁１７を閉じる指令
が発せられ、該弁１７が閉じられる。
メイン制御器１８から該排気用自動弁１７を閉じる指令
が発せられ、該弁１７が閉じられる。
置換作業時のガスは、ガスユニット２２Ａ〜２２Ｃから
供給される。これらガスユニット２２Ａ〜２２Ｃには、
光ファイバ母材の製造に必要なガス容積比がガス供給制
御器２３から指示される。
供給される。これらガスユニット２２Ａ〜２２Ｃには、
光ファイバ母材の製造に必要なガス容積比がガス供給制
御器２３から指示される。
このようにして炉心管１内を透明ガラス化処理用ガスで
置換し、そのガスが排出しないように自動弁１７を閉じ
た状態で、加熱炉６からの加熱により光ファイバ用多孔
質母材２を焼結、脱水して透明ガラス化する。従って、
ガス置換後は気密が保たれ、炉心管１の内圧が減少する
ことはない。
置換し、そのガスが排出しないように自動弁１７を閉じ
た状態で、加熱炉６からの加熱により光ファイバ用多孔
質母材２を焼結、脱水して透明ガラス化する。従って、
ガス置換後は気密が保たれ、炉心管１の内圧が減少する
ことはない。
しかし、支持棒３とシール蓋１６とのシールがガスシー
ルであることから、ガラス化に要する約６時間の間、正
圧（ｐｌ＞Ｐ２ ）を保つことは難しい。このため、炉
心管１の内圧をセンサ１９で検出し、炉体４の内圧をセ
ンサ２０で検出し、これらの検出値を差圧検出器２１に
入力して差圧を検出し、得られた差圧信号をメイン制御
器１８に入力して、該メイン制御器１８から前述した圧
力条件Ｐ□＞Ｐ２＞Ｐｏを保つようにガス供給制御器２
３に指令を発する。このガス供給制御器２３からの制御
により、ガスユニット２２Ａ〜２２Ｃから製造条件で決
められたガス容積比でガスが炉心管１に自動的に供給さ
れる。
ルであることから、ガラス化に要する約６時間の間、正
圧（ｐｌ＞Ｐ２ ）を保つことは難しい。このため、炉
心管１の内圧をセンサ１９で検出し、炉体４の内圧をセ
ンサ２０で検出し、これらの検出値を差圧検出器２１に
入力して差圧を検出し、得られた差圧信号をメイン制御
器１８に入力して、該メイン制御器１８から前述した圧
力条件Ｐ□＞Ｐ２＞Ｐｏを保つようにガス供給制御器２
３に指令を発する。このガス供給制御器２３からの制御
により、ガスユニット２２Ａ〜２２Ｃから製造条件で決
められたガス容積比でガスが炉心管１に自動的に供給さ
れる。
実験によると、本発明の方法によれば、光ファイバ用多
孔質母材２を充分に透明ガラス化でき、特性上も従来品
と同じであった。
孔質母材２を充分に透明ガラス化でき、特性上も従来品
と同じであった。
使用したガス量の比較を行ったところ表−２のような結
果が得られた。
果が得られた。
表−２
この場合、ガラス化時間はいずれも６時間であった。
本発明の場合の使用ガスの内訳は、Ｈｅに関しては
光ファイバ用多孔質母材２を炉心管１内に挿入した後の
ガス置換（約３０分）時 ・・・１ｍ３Ｐ１〉Ｐ２調整
時 ・６．６ｍ３であった。
ガス置換（約３０分）時 ・・・１ｍ３Ｐ１〉Ｐ２調整
時 ・６．６ｍ３であった。
［発明の効果］
以上説明したように本発明に係る光ファイバ母材の製造
方法では、炉心管内での光ファイバ用多孔質母材の透明
ガラス化処理作業中に該炉心管からの透明ガラス化処理
用ガスの排出を止めるので、該透明ガラス化処理用ガス
の使用量は圧力の低下に伴う補給量だけとなり、処理用
ガスの使用量を従来に比べて著しく低減することができ
、光ファイバの製造コストの低減を図ることができる。
方法では、炉心管内での光ファイバ用多孔質母材の透明
ガラス化処理作業中に該炉心管からの透明ガラス化処理
用ガスの排出を止めるので、該透明ガラス化処理用ガス
の使用量は圧力の低下に伴う補給量だけとなり、処理用
ガスの使用量を従来に比べて著しく低減することができ
、光ファイバの製造コストの低減を図ることができる。
第１図は本発明の方法を実施する装置の一実施例の縦断
面図、第２図は従来の装置の縦断面図である。 １・・・炉心管、２・・・光ファイバ用多孔質母材、３
・・・支持棒、４・・・炉体、５・・・発熱体、６・・
・加熱炉、７・・・炉心管ガス供給手段、８・・・給気
管、９・・・排気管、１０・・・排気手段、１１・・・
排ガス処理装置、１２・・・ブロアー、１５・・・炉体
ガス供給手段、１６・・・炉心管シール蓋、１７・・・
排気用自動弁、１８・・・メイン制御器、１９・・・炉
心管内圧検出センサ、２０・・・炉体内圧検出センサ、
２１・・・差圧検出、２２Ａ〜２２Ｃ・・・ガスユニッ
ト、２３・・・ガス供給制御器。 第 図
面図、第２図は従来の装置の縦断面図である。 １・・・炉心管、２・・・光ファイバ用多孔質母材、３
・・・支持棒、４・・・炉体、５・・・発熱体、６・・
・加熱炉、７・・・炉心管ガス供給手段、８・・・給気
管、９・・・排気管、１０・・・排気手段、１１・・・
排ガス処理装置、１２・・・ブロアー、１５・・・炉体
ガス供給手段、１６・・・炉心管シール蓋、１７・・・
排気用自動弁、１８・・・メイン制御器、１９・・・炉
心管内圧検出センサ、２０・・・炉体内圧検出センサ、
２１・・・差圧検出、２２Ａ〜２２Ｃ・・・ガスユニッ
ト、２３・・・ガス供給制御器。 第 図
Claims (1)
- 炉心管内とその外周の加熱炉内の差圧を所望の圧力に維
持しつつ前記炉心管内の透明ガラス化処理用ガス雰囲気
中で光ファイバ用多孔質母材を前記加熱炉で加熱しつつ
透明ガラス化して光ファイバ母材を得る光ファイバ母材
の製造方法において、前記炉心管からの前記透明ガラス
化処理用ガスの排気を止めた状態で前記光ファイバ用多
孔質母材の透明ガラス化処理を行うことを特徴とする光
ファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12420590A JP2831802B2 (ja) | 1990-05-16 | 1990-05-16 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12420590A JP2831802B2 (ja) | 1990-05-16 | 1990-05-16 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0421535A true JPH0421535A (ja) | 1992-01-24 |
| JP2831802B2 JP2831802B2 (ja) | 1998-12-02 |
Family
ID=14879594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12420590A Expired - Lifetime JP2831802B2 (ja) | 1990-05-16 | 1990-05-16 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2831802B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5754625A (en) * | 1993-07-31 | 1998-05-19 | Nec Corporation | Radio phone apparatus having compact cordless extension unit |
| WO2001016038A1 (fr) * | 1999-08-26 | 2001-03-08 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Dispositif de vitrification de préforme poreuse |
| KR100374352B1 (ko) * | 2000-03-23 | 2003-03-04 | 삼성전자주식회사 | 광섬유 모재 제조공정에서 압력 제어 시스템 및 방법 |
| US6543257B1 (en) * | 1999-05-28 | 2003-04-08 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Dehydration and sintering apparatus for porous optical fiber preform |
| EP1717212A1 (en) * | 2005-04-29 | 2006-11-02 | The Boc Group, Inc. | Process for consolidating a glass optical fibre preform |
| WO2021192500A1 (ja) * | 2020-03-25 | 2021-09-30 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造方法および加熱炉 |
-
1990
- 1990-05-16 JP JP12420590A patent/JP2831802B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5754625A (en) * | 1993-07-31 | 1998-05-19 | Nec Corporation | Radio phone apparatus having compact cordless extension unit |
| US6543257B1 (en) * | 1999-05-28 | 2003-04-08 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Dehydration and sintering apparatus for porous optical fiber preform |
| WO2001016038A1 (fr) * | 1999-08-26 | 2001-03-08 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Dispositif de vitrification de préforme poreuse |
| US6748766B2 (en) | 1999-08-26 | 2004-06-15 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Porous preform vitrification apparatus |
| KR100374352B1 (ko) * | 2000-03-23 | 2003-03-04 | 삼성전자주식회사 | 광섬유 모재 제조공정에서 압력 제어 시스템 및 방법 |
| EP1717212A1 (en) * | 2005-04-29 | 2006-11-02 | The Boc Group, Inc. | Process for consolidating a glass optical fibre preform |
| WO2021192500A1 (ja) * | 2020-03-25 | 2021-09-30 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造方法および加熱炉 |
| JPWO2021192500A1 (ja) * | 2020-03-25 | 2021-09-30 | ||
| CN115087624A (zh) * | 2020-03-25 | 2022-09-20 | 株式会社藤仓 | 光纤母材的制造方法及加热炉 |
| CN115087624B (zh) * | 2020-03-25 | 2024-01-02 | 株式会社藤仓 | 光纤母材的制造方法及加热炉 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2831802B2 (ja) | 1998-12-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9458051B2 (en) | Graphite heating furnace | |
| EP0032594B1 (en) | Method for producing silica glass | |
| EP2805928B1 (en) | Method and apparatus for sintering a glass preform for an optical fiber | |
| US5432319A (en) | Furnace for heat treatment of dental products in an inert atmosphere | |
| JPH0421535A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| CN102933511A (zh) | 炉心管的检查方法及石英玻璃系光纤用的母材的制造方法 | |
| US4726764A (en) | Heat treating apparatus and method of operating heat treating apparatus | |
| CN109264985A (zh) | 一种光纤预制棒的脱气方法及装置 | |
| JPH06127964A (ja) | 光ファイバ母材の脱水焼結炉 | |
| JPS6340738A (ja) | ガラス棒延伸用加熱装置 | |
| JP3307697B2 (ja) | バッチ式焼成炉 | |
| JP2563699B2 (ja) | 光ファイバ用母材の製造装置 | |
| JPH02199038A (ja) | 多孔質ガラス母材の脱水焼結炉 | |
| JPH0440160Y2 (ja) | ||
| JPH05208840A (ja) | 光ファイバ紡糸方法および光ファイバ紡糸装置 | |
| JPH05221676A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JP2004231482A (ja) | 炉心管の異常検出方法及び加熱炉 | |
| JP7397169B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法および加熱炉 | |
| JPS634957Y2 (ja) | ||
| CN121078571B (zh) | 一种多热源热重分析仪的加热系统及方法 | |
| JPH06331587A (ja) | 臭い発生装置 | |
| US20160257572A1 (en) | Using porous grains in powder-in-tube (pit) process | |
| JP3843860B2 (ja) | 光ファイバ母材製造用脱水焼結炉 | |
| JPH0253377B2 (ja) | ||
| JP2006131463A (ja) | 光ファイバ母材の脱水焼結装置におけるマッフル内外圧力制御方法およびその装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080925 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090925 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100925 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100925 Year of fee payment: 12 |