JPH04217882A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JPH04217882A JPH04217882A JP2412141A JP41214190A JPH04217882A JP H04217882 A JPH04217882 A JP H04217882A JP 2412141 A JP2412141 A JP 2412141A JP 41214190 A JP41214190 A JP 41214190A JP H04217882 A JPH04217882 A JP H04217882A
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- Japan
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- ultrasonic motor
- drive
- piezoelectric body
- monitor
- input electrode
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ステータの圧電体に高
周波電圧を印加させたときの振動を利用して、弾性体に
発生した進行性振動波によって、ロータを駆動する超音
波モータに関するものである。
周波電圧を印加させたときの振動を利用して、弾性体に
発生した進行性振動波によって、ロータを駆動する超音
波モータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の超音波モータは、小型化
，容易な正逆回転，高い耐久性，応答性等を改善するた
めに、圧電体を２枚貼合わせステータを構成したもの（
特開昭６０−９１８７８号公報記載），半径方向に２枚
の圧電体を貼り付けたもの（特開昭６０−１９０１７８
号公報記載）などが提案されている。
，容易な正逆回転，高い耐久性，応答性等を改善するた
めに、圧電体を２枚貼合わせステータを構成したもの（
特開昭６０−９１８７８号公報記載），半径方向に２枚
の圧電体を貼り付けたもの（特開昭６０−１９０１７８
号公報記載）などが提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前者の圧電体
を２枚貼合わせたものでは、１枚目と２枚目では駆動負
荷が変化してしまい、その制御は難しい。後者の半径方
向に２枚の圧電体を貼り付けたものでは、内周外周相互
間で、各々のセグメントの大きさが異なり共振周波数が
一致しないため互いに打ち消しあい駆動効率が悪くなる
。
を２枚貼合わせたものでは、１枚目と２枚目では駆動負
荷が変化してしまい、その制御は難しい。後者の半径方
向に２枚の圧電体を貼り付けたものでは、内周外周相互
間で、各々のセグメントの大きさが異なり共振周波数が
一致しないため互いに打ち消しあい駆動効率が悪くなる
。
【０００４】また、前記いずれの場合でも、単一モニタ
電極では細かい動作状況判断が難しく、駆動力が小さく
てすむときでも、全駆動しなければならないので、消費
電力を抑えることは難しい。
電極では細かい動作状況判断が難しく、駆動力が小さく
てすむときでも、全駆動しなければならないので、消費
電力を抑えることは難しい。
【０００５】本発明の目的は、これらの課題を解決し、
圧電体に設けられた複数の電極を選択的に駆動すること
で、相対的に駆動効率を高くできる超音波モータを提供
することである。また、他の目的は、複数のモニタで超
音波モータの状態を詳細に検出し、きめ細かな制御がで
きる超音波モータを提供することである。
圧電体に設けられた複数の電極を選択的に駆動すること
で、相対的に駆動効率を高くできる超音波モータを提供
することである。また、他の目的は、複数のモニタで超
音波モータの状態を詳細に検出し、きめ細かな制御がで
きる超音波モータを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明による超音波モータは、第１の解決手段とし
て、圧電体とその圧電体の励振で進行性振動波を発生す
る弾性体からなるステータと、前記ステータに加圧接触
され前記進行性振動波によって駆動されるロータとから
なる超音波モータにおいて、前記圧電体の周方向に少な
くとも２組以上の入力電極群を設けた構成としてある。
に、本発明による超音波モータは、第１の解決手段とし
て、圧電体とその圧電体の励振で進行性振動波を発生す
る弾性体からなるステータと、前記ステータに加圧接触
され前記進行性振動波によって駆動されるロータとから
なる超音波モータにおいて、前記圧電体の周方向に少な
くとも２組以上の入力電極群を設けた構成としてある。
【０００７】第２の解決手段として、前記入力電極群は
、異なる周期の駆動信号が印加される構成としてある。
、異なる周期の駆動信号が印加される構成としてある。
【０００８】第３の解決手段として、前記各入力電極群
にそれぞれ駆動信号を出力する複数の駆動手段と、前記
駆動手段を選択する選択手段とを設けた構成としてある
。
にそれぞれ駆動信号を出力する複数の駆動手段と、前記
駆動手段を選択する選択手段とを設けた構成としてある
。
【０００９】第４の解決手段として、前記入力電極群を
選択する選択手段と、前記選択手段で選択された入力電
極群に駆動信号を出力する駆動手段とを設けた構成とし
てある。
選択する選択手段と、前記選択手段で選択された入力電
極群に駆動信号を出力する駆動手段とを設けた構成とし
てある。
【００１０】第５の解決手段として、前記各入力電極群
の間に、少なくとも１つ以上のモニタ電極を設けた構成
としてある。
の間に、少なくとも１つ以上のモニタ電極を設けた構成
としてある。
【００１１】第６の解決手段として、前記モニタ電極か
らのモニタ信号に基づいて、前記選択手段を制御する制
御手段を設けた構成としてある。
らのモニタ信号に基づいて、前記選択手段を制御する制
御手段を設けた構成としてある。
【００１２】
【作用】前記構成によれば、駆動力の要求に応じて、適
宜、超音波モータの同方向に設けられた複数の入力電極
群の中から選択した電極群にのみ、駆動電圧を印加する
ことができる。また、圧電体に設けられたモニタ電極が
複数あることから、超音波モータの状態を詳細に検出で
きる。
宜、超音波モータの同方向に設けられた複数の入力電極
群の中から選択した電極群にのみ、駆動電圧を印加する
ことができる。また、圧電体に設けられたモニタ電極が
複数あることから、超音波モータの状態を詳細に検出で
きる。
【００１３】
【実施例】以下、図面などを参照して、実施例につき、
本発明を詳細に説明する。図１から図３は、本発明によ
る第１の実施例である超音波モータＭＴ１ を示した図
であって、図１，図２は圧電体の分極の様子と圧電体の
電極群の構成を示す図、図３は制御系を示したブロック
図である。
本発明を詳細に説明する。図１から図３は、本発明によ
る第１の実施例である超音波モータＭＴ１ を示した図
であって、図１，図２は圧電体の分極の様子と圧電体の
電極群の構成を示す図、図３は制御系を示したブロック
図である。
【００１４】第１の超音波モータＭＴ１ の電極群の構
成の特徴部分は、以下の様な構成である。圧電体１は、
図１のように２つの入力電極群の電極群ＰＡ と電極群
ＰＢ と４つのモニタ電極Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４とか
らなり、図２のように進行性振動波の波長λの半分のλ
／２のセグメントで構成された２つの入力電極群（ＰＡ
電極群，ＰＢ 電極群）とλ／４のセグメントで構成
された４つのモニタ電極Ｐ１〜Ｐ４が圧電体１に配置さ
れている。
成の特徴部分は、以下の様な構成である。圧電体１は、
図１のように２つの入力電極群の電極群ＰＡ と電極群
ＰＢ と４つのモニタ電極Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４とか
らなり、図２のように進行性振動波の波長λの半分のλ
／２のセグメントで構成された２つの入力電極群（ＰＡ
電極群，ＰＢ 電極群）とλ／４のセグメントで構成
された４つのモニタ電極Ｐ１〜Ｐ４が圧電体１に配置さ
れている。
【００１５】その分極方向は、図２のようにλ／２の部
分では隣り合うセグメントどうしの方向は反対方向に分
極し、モニタ電極は一組の入力電極群の間のものはその
隣り合うセグメントの反対方向に分極してある。その他
のモニタ電極部分は、異なる方向で分極してある。
分では隣り合うセグメントどうしの方向は反対方向に分
極し、モニタ電極は一組の入力電極群の間のものはその
隣り合うセグメントの反対方向に分極してある。その他
のモニタ電極部分は、異なる方向で分極してある。
【００１６】次に、図３を参照しながら、第１の制御系
を含めた実施例を説明する。この実施例は、超音波モー
タＭＴ１ ，モニタ出力検出手段２，制御手段３，選択
手段４，駆動手段５ａ，５ｂから構成されている。
を含めた実施例を説明する。この実施例は、超音波モー
タＭＴ１ ，モニタ出力検出手段２，制御手段３，選択
手段４，駆動手段５ａ，５ｂから構成されている。
【００１７】モニタ出力検出手段２は、超音波モータＭ
Ｔ１ のステータを構成する上述の圧電体１のモニタ電
極Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４からの信号を入力し、超音波
モータＭＴ１ の状態信号を制御手段３に送出している
。制御手段３は、スタートの段階では、超音波モータＭ
Ｔ１ へ起動信号を送り、駆動中には、モニタ出力検出
手段２からの信号を処理して超音波モータＭＴ１ の駆
動を制御する制御信号を発し、選択手段４，駆動手段５
ａ，５ｂを介し、超音波モータＭＴ１ を制御する。選
択手段４は、制御手段３の制御信号により最適な駆動手
段５ａ，５ｂを選択する。駆動手段５ａ，５ｂは、入力
電極群ＰＡ ，ＰＢ に各々接続されており、選択手段
４からの信号に応じて、それらを駆動する。
Ｔ１ のステータを構成する上述の圧電体１のモニタ電
極Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４からの信号を入力し、超音波
モータＭＴ１ の状態信号を制御手段３に送出している
。制御手段３は、スタートの段階では、超音波モータＭ
Ｔ１ へ起動信号を送り、駆動中には、モニタ出力検出
手段２からの信号を処理して超音波モータＭＴ１ の駆
動を制御する制御信号を発し、選択手段４，駆動手段５
ａ，５ｂを介し、超音波モータＭＴ１ を制御する。選
択手段４は、制御手段３の制御信号により最適な駆動手
段５ａ，５ｂを選択する。駆動手段５ａ，５ｂは、入力
電極群ＰＡ ，ＰＢ に各々接続されており、選択手段
４からの信号に応じて、それらを駆動する。
【００１８】次に、本発明の特徴について、モータ出力
に応じた動作の説明をする。このモータ出力は、モータ
の回転数とモータの出力トルクの積として表されるもの
である。モータ出力が大きく要求される場合は、圧電体
１の電極の全駆動することになり、制御手段３は選択手
段４を介し駆動手段５ａ，５ｂの両方を駆動する制御信
号を出力する。圧電体１の励振の始動は、入力電極ＰＡ
−Ｒ とＰＢ−Ｌ 、入力電極ＰＡ−Ｌ とＰＢ−Ｒ
の時間的位相が同一であるように、入力電極ＰＡ−Ｒ
とＰＡ−Ｌへの駆動信号にπ／２もしくは−π／２の時
間的位相差を持たせる。この圧電体１での励振が弾性体
に進行性振動波を発生し、ロータを駆動する。この間、
モニタ出力検出手段２は、圧電体１に設けられたモニタ
電極Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４からの出力を検出し、平均
化処理や相関処理等の適切な処理を行い、超音波モータ
ＭＴ１ の状態を、逐次、信号化して制御手段３に制御
用信号として送出し、この信号を演算処理して超音波モ
ータＭＴ１ を制御する。この場合には、従来例の１枚
の圧電体のなかで１組の電極を構成したものに比べ、一
つの電極に対する負荷部分を分散できるので、安定した
駆動，走行動作が得られる。
に応じた動作の説明をする。このモータ出力は、モータ
の回転数とモータの出力トルクの積として表されるもの
である。モータ出力が大きく要求される場合は、圧電体
１の電極の全駆動することになり、制御手段３は選択手
段４を介し駆動手段５ａ，５ｂの両方を駆動する制御信
号を出力する。圧電体１の励振の始動は、入力電極ＰＡ
−Ｒ とＰＢ−Ｌ 、入力電極ＰＡ−Ｌ とＰＢ−Ｒ
の時間的位相が同一であるように、入力電極ＰＡ−Ｒ
とＰＡ−Ｌへの駆動信号にπ／２もしくは−π／２の時
間的位相差を持たせる。この圧電体１での励振が弾性体
に進行性振動波を発生し、ロータを駆動する。この間、
モニタ出力検出手段２は、圧電体１に設けられたモニタ
電極Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４からの出力を検出し、平均
化処理や相関処理等の適切な処理を行い、超音波モータ
ＭＴ１ の状態を、逐次、信号化して制御手段３に制御
用信号として送出し、この信号を演算処理して超音波モ
ータＭＴ１ を制御する。この場合には、従来例の１枚
の圧電体のなかで１組の電極を構成したものに比べ、一
つの電極に対する負荷部分を分散できるので、安定した
駆動，走行動作が得られる。
【００１９】モータ出力要求が小さくてよい場合に、圧
電体１の電極群を選択駆動するために、制御手段３は、
選択手段４を介し、駆動手段５ａ，５ｂの１方を駆動す
る制御信号を出力する。ここでは、駆動手段５ａを選択
して説明する。駆動手段５ａは、圧電体１の入力電極Ｐ
Ａ−Ｒ とＰＡ−Ｌ へ相互にπ／２もしくは−π／２
の時間的位相差を持つ駆動信号を入力して、圧電体１を
励振し、不図示の弾性体に進行性振動波が発生し、ロー
タを駆動する。この間、全駆動と同様に、モニタ出力検
出手段２は、圧電体１のモニタ電極Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，
Ｐ４からのモニタ出力を検出して、平均化処理や相関処
理等の適切な処理を行い、超音波モータＭＴ１ の状態
を逐次信号化して制御手段３に制御用信号として送出し
、この信号を演算処理して超音波モータＭＴ１を制御す
る。
電体１の電極群を選択駆動するために、制御手段３は、
選択手段４を介し、駆動手段５ａ，５ｂの１方を駆動す
る制御信号を出力する。ここでは、駆動手段５ａを選択
して説明する。駆動手段５ａは、圧電体１の入力電極Ｐ
Ａ−Ｒ とＰＡ−Ｌ へ相互にπ／２もしくは−π／２
の時間的位相差を持つ駆動信号を入力して、圧電体１を
励振し、不図示の弾性体に進行性振動波が発生し、ロー
タを駆動する。この間、全駆動と同様に、モニタ出力検
出手段２は、圧電体１のモニタ電極Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，
Ｐ４からのモニタ出力を検出して、平均化処理や相関処
理等の適切な処理を行い、超音波モータＭＴ１ の状態
を逐次信号化して制御手段３に制御用信号として送出し
、この信号を演算処理して超音波モータＭＴ１を制御す
る。
【００２０】この場合には、圧電体１の全電極群を駆動
しなくてすみ、その上、モータの駆動制御をするときに
は、従来の制御のように大きく周波数を変化させる必要
がなく、効率よく安定した駆動領域で駆動できるので消
費電力を抑えることができる。
しなくてすみ、その上、モータの駆動制御をするときに
は、従来の制御のように大きく周波数を変化させる必要
がなく、効率よく安定した駆動領域で駆動できるので消
費電力を抑えることができる。
【００２１】図４，図５は、第２の実施例である超音波
モータＭＴ２ の圧電体の分極の様子と圧電体の電極群
の構成を示す図である。第２の実施例の超音波モータＭ
Ｔ２ は、図４のように、電極群を３組の電極群ＰＡ２
，ＰＢ２，ＰＣ２にしたものであり、同一周期で駆動し
、必要なトルクに応じて電極群ＰＡ２，ＰＢ２，ＰＣ２
を１組，２組，３組のように選択駆動する。図５のよう
に、モニタ電極Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３は、超音波モータＭＴ
１ と同様に、波長の１／４の構成である。
モータＭＴ２ の圧電体の分極の様子と圧電体の電極群
の構成を示す図である。第２の実施例の超音波モータＭ
Ｔ２ は、図４のように、電極群を３組の電極群ＰＡ２
，ＰＢ２，ＰＣ２にしたものであり、同一周期で駆動し
、必要なトルクに応じて電極群ＰＡ２，ＰＢ２，ＰＣ２
を１組，２組，３組のように選択駆動する。図５のよう
に、モニタ電極Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３は、超音波モータＭＴ
１ と同様に、波長の１／４の構成である。
【００２２】図６，図７は、第３の実施例である超音波
モータＭＴ３ の圧電体の分極の様子と圧電体の電極群
の構成を示す図である。第３の実施例の超音波モータＭ
Ｔ３ は、図６のように、異なる波長λ１ ，λ２ の
進行波で駆動する電極群ＰＡＤ，ＰＢＤを設けたもので
ある。モニタ電極Ｐ１Ｄ，Ｐ２Ｄにおいて、図７のよう
に、異なる波長λ１ ，λ２ に対応して、モニタ電極
Ｐ１はそれぞれλ１ ／４、モニタ電極Ｐ２はλ２ ／
４になるようにしてある。 そして、電極群ＰＡＤ，ＰＢＤには、それぞれ、波長λ
１ ，λ２ の進行波が効率良く駆動する周期の駆動信
号を入力するようにしてある。
モータＭＴ３ の圧電体の分極の様子と圧電体の電極群
の構成を示す図である。第３の実施例の超音波モータＭ
Ｔ３ は、図６のように、異なる波長λ１ ，λ２ の
進行波で駆動する電極群ＰＡＤ，ＰＢＤを設けたもので
ある。モニタ電極Ｐ１Ｄ，Ｐ２Ｄにおいて、図７のよう
に、異なる波長λ１ ，λ２ に対応して、モニタ電極
Ｐ１はそれぞれλ１ ／４、モニタ電極Ｐ２はλ２ ／
４になるようにしてある。 そして、電極群ＰＡＤ，ＰＢＤには、それぞれ、波長λ
１ ，λ２ の進行波が効率良く駆動する周期の駆動信
号を入力するようにしてある。
【００２３】図８は、第４の実施例である超音波モータ
ＭＴ４ のブロック図である。第４の実施例は、超音波
モータＭＴ１ ，モニタ出力検出手段２，制御手段３，
選択手段４Ｎ ，駆動手段５Ｎ から構成されるが、複
数の電極を駆動する駆動手段５Ｎ の前段に選択手段４
Ｎ を設けてある点で、第１の実施例と相違する。この
ため、超音波モータＭＴ１ を駆動するにあたり、駆動
手段５Ｎ の前段に選択手段４Ｎ を設け、圧電体１の
電極群への駆動信号を、選択手段４Ｎ で選択するよう
にしてある。
ＭＴ４ のブロック図である。第４の実施例は、超音波
モータＭＴ１ ，モニタ出力検出手段２，制御手段３，
選択手段４Ｎ ，駆動手段５Ｎ から構成されるが、複
数の電極を駆動する駆動手段５Ｎ の前段に選択手段４
Ｎ を設けてある点で、第１の実施例と相違する。この
ため、超音波モータＭＴ１ を駆動するにあたり、駆動
手段５Ｎ の前段に選択手段４Ｎ を設け、圧電体１の
電極群への駆動信号を、選択手段４Ｎ で選択するよう
にしてある。
【００２４】モータ出力要求が大きい場合は、制御手段
３は、第１の実施例と同様に、全ての入力電極群ＰＡ
，ＰＢ を選択手段４が選択するように制御信号を出力
する。その制御信号を受けた選択手段４は、入力電極群
ＰＡ ，ＰＢ に駆動手段５Ｎ の全駆動信号を出力す
る。ここで、駆動信号は、前述の第１の実施例同様に、
制御手段３を中枢とした制御系で制御されたものである
。
３は、第１の実施例と同様に、全ての入力電極群ＰＡ
，ＰＢ を選択手段４が選択するように制御信号を出力
する。その制御信号を受けた選択手段４は、入力電極群
ＰＡ ，ＰＢ に駆動手段５Ｎ の全駆動信号を出力す
る。ここで、駆動信号は、前述の第１の実施例同様に、
制御手段３を中枢とした制御系で制御されたものである
。
【００２５】モータ出力要求が小さい場合は、制御手段
３は、任意の入力電極群（例えば、ＰＡ ）を選択する
ように、選択手段４に制御信号を出力する。その制御信
号を受けて選択手段４は、入力電極群ＰＡ に駆動手段
５Ｎ で出力された駆動信号を選択した後に出力する。 ここでは、駆動信号は、前述の第１の実施例同様に、制
御手段３を中枢とした制御系で制御される。
３は、任意の入力電極群（例えば、ＰＡ ）を選択する
ように、選択手段４に制御信号を出力する。その制御信
号を受けて選択手段４は、入力電極群ＰＡ に駆動手段
５Ｎ で出力された駆動信号を選択した後に出力する。 ここでは、駆動信号は、前述の第１の実施例同様に、制
御手段３を中枢とした制御系で制御される。
【００２６】この第４の実施例は、１つの駆動手段です
むようにでき、回路の小型化を図れるという利点がある
。
むようにでき、回路の小型化を図れるという利点がある
。
【００２７】以上説明した実施例に限定されず、種々の
変形ができ、それらも、本発明の範囲内である。例えば
、超音波モータＭＴ１ ，ＭＴ２ ，ＭＴ３ ，ＭＴ４
の圧電体と制御系の組合せは自由にできる。また、圧
電体の分極配置は、本実施例に限定されるものではなく
、その構成自体において、電極の数などは、限定されず
、制御系については、他の駆動制御上の要素を加えるこ
とができる。
変形ができ、それらも、本発明の範囲内である。例えば
、超音波モータＭＴ１ ，ＭＴ２ ，ＭＴ３ ，ＭＴ４
の圧電体と制御系の組合せは自由にできる。また、圧
電体の分極配置は、本実施例に限定されるものではなく
、その構成自体において、電極の数などは、限定されず
、制御系については、他の駆動制御上の要素を加えるこ
とができる。
【００２８】
【発明の効果】以上、詳しく説明した様に、請求項１，
請求項３，請求項４によれば、複数の入力電極群の中か
ら選択した電極群にのみ駆動電圧を印加するだけですむ
ので、消費電力を抑え効率的駆動ができる。また、請求
項２によれば、異なる周期の駆動信号で駆動できるので
、周期対応性が高くなる。さらに、請求項５によれば、
モニタ電極により、超音波モータの状態を詳細に検出で
きる。
請求項３，請求項４によれば、複数の入力電極群の中か
ら選択した電極群にのみ駆動電圧を印加するだけですむ
ので、消費電力を抑え効率的駆動ができる。また、請求
項２によれば、異なる周期の駆動信号で駆動できるので
、周期対応性が高くなる。さらに、請求項５によれば、
モニタ電極により、超音波モータの状態を詳細に検出で
きる。
【００２９】総じて、モニタ電極により、制御系でより
詳細に安定走行等のデータを解析し制御でき、駆動力が
相対的に小さくて良い場合には、複数の入力電極群の中
から選択した電極群にのみ、駆動電圧を印加するだけす
み、また、モータの駆動制御をするのでも従来の制御の
ように大きく周波数を変化する挙動も要らなくなるとと
もに、効率もよく安定した駆動領域で駆動することがで
き、消費電力を抑ることができる。
詳細に安定走行等のデータを解析し制御でき、駆動力が
相対的に小さくて良い場合には、複数の入力電極群の中
から選択した電極群にのみ、駆動電圧を印加するだけす
み、また、モータの駆動制御をするのでも従来の制御の
ように大きく周波数を変化する挙動も要らなくなるとと
もに、効率もよく安定した駆動領域で駆動することがで
き、消費電力を抑ることができる。
【図１】第１の実施例の超音波モータの圧電体の分極を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図２】第１の実施例の超音波モータの圧電体の電極群
の構成図である。
の構成図である。
【図３】第１の実施例である超音波モータのブロック図
である。
である。
【図４】第２の実施例の超音波モータの圧電体の分極を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図５】第２の実施例の超音波モータの圧電体の電極群
の構成図である。
の構成図である。
【図６】第３の実施例の超音波モータの圧電体の分極を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図７】第３の実施例の超音波モータの圧電体の電極群
の構成図である。
の構成図である。
【図８】第４の実施例の超音波モータのブロック図であ
る。
る。
ＭＴ１ ，ＭＴ２ ，ＭＴ３ ，ＭＴ４ 超音波モ
ータ１ 圧電体 ＰＡ ，ＰＢ ，ＰＡ−Ｌ ，ＰＡ−Ｒ ，ＰＢ−Ｌ
，ＰＢ−Ｒ ，ＰＡ２，ＰＢ２，ＰＣ２，ＰＡＤ，ＰＢ
Ｄ 入力電極群Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ１Ｄ，Ｐ
２Ｄ モニタ電極２ モニタ出力検出手段 ３ 制御手段 ４，４Ｎ 選択手段 ５ａ，５ｂ，５Ｎ 駆動手段
ータ１ 圧電体 ＰＡ ，ＰＢ ，ＰＡ−Ｌ ，ＰＡ−Ｒ ，ＰＢ−Ｌ
，ＰＢ−Ｒ ，ＰＡ２，ＰＢ２，ＰＣ２，ＰＡＤ，ＰＢ
Ｄ 入力電極群Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ１Ｄ，Ｐ
２Ｄ モニタ電極２ モニタ出力検出手段 ３ 制御手段 ４，４Ｎ 選択手段 ５ａ，５ｂ，５Ｎ 駆動手段
Claims (6)
- 【請求項１】 圧電体とその圧電体の励振で進行性振
動波を発生する弾性体からなるステータと、前記ステー
タに加圧接触され前記進行性振動波によって駆動される
ロータと、からなる超音波モータにおいて、前記圧電体
の周方向に少なくとも２組以上の入力電極群を設けたこ
とを特徴をする超音波モータ。 - 【請求項２】 前記入力電極群は、異なる周期の駆動
信号が印加されることを特徴とする請求項１記載の超音
波モータ。 - 【請求項３】 前記各入力電極群にそれぞれ駆動信号
を出力する複数の駆動手段と、前記駆動手段を選択する
選択手段と、を設けたことを特徴とする請求項１または
請求項２記載の超音波モータ。 - 【請求項４】 前記入力電極群を選択する選択手段と
、前記選択手段で選択された入力電極群に駆動信号を出
力する駆動手段と、を設けたことを特徴とする請求項１
または請求項２記載の超音波モータ。 - 【請求項５】 前記各入力電極群の間に、少なくとも
１つ以上のモニタ電極を設けたことを特徴とする請求項
１から請求項４記載の超音波モータ。 - 【請求項６】 前記モニタ電極からのモニタ信号に基
づいて、前記選択手段を制御する制御手段を設けたこと
を特徴とする請求項１から請求項５記載の超音波モータ
。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2412141A JPH04217882A (ja) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | 超音波モータ |
| US08/137,882 US5336958A (en) | 1990-12-19 | 1993-10-19 | Ultrasonic motor unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2412141A JPH04217882A (ja) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | 超音波モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04217882A true JPH04217882A (ja) | 1992-08-07 |
Family
ID=18521018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2412141A Pending JPH04217882A (ja) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | 超音波モータ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5336958A (ja) |
| JP (1) | JPH04217882A (ja) |
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|---|---|
| US5336958A (en) | 1994-08-09 |
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