JPH0421792A - 第二鉄塩エッチング液の電解再生方法 - Google Patents
第二鉄塩エッチング液の電解再生方法Info
- Publication number
- JPH0421792A JPH0421792A JP12294090A JP12294090A JPH0421792A JP H0421792 A JPH0421792 A JP H0421792A JP 12294090 A JP12294090 A JP 12294090A JP 12294090 A JP12294090 A JP 12294090A JP H0421792 A JPH0421792 A JP H0421792A
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- Japan
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- ferric
- etching
- salt
- etching solution
- ferric salt
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は第二鉄塩エツチング液の電解再生法、特に第一
鉄塩を含むエツチング液を、有効に第二鉄塩に電解再生
する方法に係るものである。
鉄塩を含むエツチング液を、有効に第二鉄塩に電解再生
する方法に係るものである。
［従来の技術］
鉄、ニッケル合金等の鉄銅製品のエツチング液として第
二鉄塩を主成分とするエツチング液（以下エツチング液
と云う）が広（用いられている。該エツチング液は、塩
化第二鉄を主成分とし、エツチング能力を高める為に塩
酸を添加した水溶液が一般的である。
二鉄塩を主成分とするエツチング液（以下エツチング液
と云う）が広（用いられている。該エツチング液は、塩
化第二鉄を主成分とし、エツチング能力を高める為に塩
酸を添加した水溶液が一般的である。
かかる塩化鉄系エツチング液を用いた鉄−ニッケル合金
製品のエツチングは下記の反応により行なわれる。
製品のエツチングは下記の反応により行なわれる。
２Ｆｅ” ＋ Ｆｅ−３Ｆｅ”
２Ｆｅ” ＋ Ｎｉ−＋ ２Ｆｅ” ＋ Ｎｉ”従って
、エツチングの進行につれてエツチング液中の第二鉄塩
が第一鉄塩に変化すると共に、ニッケルイオン濃度が増
大し、エツチング液の能力が劣化する。
、エツチングの進行につれてエツチング液中の第二鉄塩
が第一鉄塩に変化すると共に、ニッケルイオン濃度が増
大し、エツチング液の能力が劣化する。
従来より劣化した塩化鉄系エツチング液を再生する方法
は、いくつか提案されているが、何れも生じた第一鉄塩
を第二鉄塩に転化する方法のみであり、劣化したエツチ
ング液からニッケルイオンを除去する方法は極めて少な
（、未だ工業的に実施されていない。
は、いくつか提案されているが、何れも生じた第一鉄塩
を第二鉄塩に転化する方法のみであり、劣化したエツチ
ング液からニッケルイオンを除去する方法は極めて少な
（、未だ工業的に実施されていない。
［発明の解決しようとする課題」
この為、現在はエツチング液中のニッケルイオン濃度が
所定値以下になるように塩化第二鉄溶液を大量に供給す
るか、又はニッケルイオンが所定値以上に至った場合に
は、エツチング液を新らたなものと入れ替えることが一
般的に実施されていた。
所定値以下になるように塩化第二鉄溶液を大量に供給す
るか、又はニッケルイオンが所定値以上に至った場合に
は、エツチング液を新らたなものと入れ替えることが一
般的に実施されていた。
［課題を解決する為の手段］
本発明者は、かかる問題点を解決し、特に塩化第二鉄の
エツチングに無用のニッケルイオンを極力減らすことが
出来、且塩化第−鉄塩を塩化第二鉄に転化することを目
的として種々研究、検討した結果なされたもので、陽イ
オン交換膜で区画された陽極室に塩化第−鉄塩又は塩化
第一鉄とニッケルイオンを、陰極室に塩化第二鉄と共通
の陰イオンを夫々導入し、電解することにより目的を達
成し得ることを見い出した。
エツチングに無用のニッケルイオンを極力減らすことが
出来、且塩化第−鉄塩を塩化第二鉄に転化することを目
的として種々研究、検討した結果なされたもので、陽イ
オン交換膜で区画された陽極室に塩化第−鉄塩又は塩化
第一鉄とニッケルイオンを、陰極室に塩化第二鉄と共通
の陰イオンを夫々導入し、電解することにより目的を達
成し得ることを見い出した。
以下本発明の代表例について添付図面により具体的に説
明する。
明する。
１は電解槽であり、２は陽イオン交換膜である。陽イオ
ン交換膜は種々のものを用い得るが、含弗素陽イオン交
換膜を用いると耐食性が高（高都合である。３は陽極で
あり、例えばバルブメタルに白金若しくは白金族金属酸
化物等を被覆したものが用いられる。４は陰極であり、
かかる陰極は例えば鉄、ニッケル、ステンレス等を用い
得る。５，６は液供紹口、７はガス取り比し口、８，９
は液取り出し口、１０はエツチング液循環タンク、１１
は陰極液循環タンクである。
ン交換膜は種々のものを用い得るが、含弗素陽イオン交
換膜を用いると耐食性が高（高都合である。３は陽極で
あり、例えばバルブメタルに白金若しくは白金族金属酸
化物等を被覆したものが用いられる。４は陰極であり、
かかる陰極は例えば鉄、ニッケル、ステンレス等を用い
得る。５，６は液供紹口、７はガス取り比し口、８，９
は液取り出し口、１０はエツチング液循環タンク、１１
は陰極液循環タンクである。
前記陽イオン交換膜を用いた電解槽の陽極室に再生され
る劣化エツチング液を陰極室に前記第二鉄塩と共通の陰
イオンを有する電解質溶液を夫々存在させて電解する。
る劣化エツチング液を陰極室に前記第二鉄塩と共通の陰
イオンを有する電解質溶液を夫々存在させて電解する。
かくすることにより、陰極室において該エツチング液に
含まする第一鉄塩は、電解酸化さｔて第二鉄塩となり、
第二鉄塩エツチングに再生される。
含まする第一鉄塩は、電解酸化さｔて第二鉄塩となり、
第二鉄塩エツチングに再生される。
しかも隔膜として陽イオン交換膜を用いている為、劣化
エツチング液中に混在するニッケル等の異種金属は陰極
室に移動され、再生されるエツチング液のニッケル等の
異種金属イオン濃度をも管理することが出来る。その結
果、第二鉄塩濃度を高濃度に維持しながら安定したエツ
チング性能を有するエツチング液に再生することが出来
る。
エツチング液中に混在するニッケル等の異種金属は陰極
室に移動され、再生されるエツチング液のニッケル等の
異種金属イオン濃度をも管理することが出来る。その結
果、第二鉄塩濃度を高濃度に維持しながら安定したエツ
チング性能を有するエツチング液に再生することが出来
る。
前記電解条件は、第一鉄塩を第二鉄塩に変え得る条件が
全て採用される。例えば電流密度０、１〜１００Ａ／ｄ
ｍ２、好ましくは５〜５０Ａ／ｄｌｎ２が適当である。
全て採用される。例えば電流密度０、１〜１００Ａ／ｄ
ｍ２、好ましくは５〜５０Ａ／ｄｌｎ２が適当である。
又陽極室での電解酸化において第一鉄塩が完全に消滅し
た場合、例えば陰イオンが塩素イオンである時は陽極上
で塩素ガスが発生し、イオン交換膜を劣化させるが、陽
イオン交換膜として含弗素陽イオン交換膜を使用するこ
とによりこれを防止出来る。かくして再生される第二鉄
塩エツチング液中の第一鉄塩の濃度をＯｇ＃２とするこ
とも可能である。
た場合、例えば陰イオンが塩素イオンである時は陽極上
で塩素ガスが発生し、イオン交換膜を劣化させるが、陽
イオン交換膜として含弗素陽イオン交換膜を使用するこ
とによりこれを防止出来る。かくして再生される第二鉄
塩エツチング液中の第一鉄塩の濃度をＯｇ＃２とするこ
とも可能である。
本発明の方法を採用すると、第二鉄塩エツチング液を効
率よくしかも高濃度で安定して再生することが可能であ
ると共に、エツチング液に混在する異種金属イオンをも
移動除去出来る。
率よくしかも高濃度で安定して再生することが可能であ
ると共に、エツチング液に混在する異種金属イオンをも
移動除去出来る。
特にＩＣ基板のエツチング液の様に精密なエツチングを
要求される用途ならびに鉄合金系基板のエツチングｌ夜
等の用途に有用である。
要求される用途ならびに鉄合金系基板のエツチングｌ夜
等の用途に有用である。
［実施例］
実施例１
劣化したエツチング液（５８０ｇ／ ４２ ＦｅＣ１ａ
、 ３４ｇ＃！ ＦｅＣ１□、８８ ｇ＃！ＮｉＣ１□
、３６ｇ＃２８Ｃ１１を第１図に示す装置を用いてバッ
チで再生した。エッチシダ液循環用タンク１０に上記劣
化したエツチング液を１０１２．仕込み、ポンプにて液
供給口５から陽極室に供給し、循環した。
、 ３４ｇ＃！ ＦｅＣ１□、８８ ｇ＃！ＮｉＣ１□
、３６ｇ＃２８Ｃ１１を第１図に示す装置を用いてバッ
チで再生した。エッチシダ液循環用タンク１０に上記劣
化したエツチング液を１０１２．仕込み、ポンプにて液
供給口５から陽極室に供給し、循環した。
一方、陰極液循環用タンク１１には７％ＭＣＩ溶液を２
℃仕込み、ポンプにて液供給口６から陰極室に供給し、
循環した。
℃仕込み、ポンプにて液供給口６から陰極室に供給し、
循環した。
陽イオン交換膜としては、スルフォン酸基をイオン交換
とする含弗素膜（旭硝子社製フレミオンＣＭＦ）を使用
し、陽極はＴｉ基材にｐｔメツキした平板陰極としては
Ｔｉで通電面積１．８ｄｍ２の電解槽（旭硝子社製Ｅ−
０型）を使用した。
とする含弗素膜（旭硝子社製フレミオンＣＭＦ）を使用
し、陽極はＴｉ基材にｐｔメツキした平板陰極としては
Ｔｉで通電面積１．８ｄｍ２の電解槽（旭硝子社製Ｅ−
０型）を使用した。
１０Ａ／ｄｍ”の直流電流を電解槽に流し、約４時間通
電を行なった。得られた再生エツチング液は、 ６１９
ｇ／ｌ２ＦｅＣ１，、Ｏｇ／ｆｆ ＦｅＣ１ｚ、８４
ｇ＃２ＮｉＣ１□、３３ｇ／ｐＨＣｌであった。
電を行なった。得られた再生エツチング液は、 ６１９
ｇ／ｌ２ＦｅＣ１，、Ｏｇ／ｆｆ ＦｅＣ１ｚ、８４
ｇ＃２ＮｉＣ１□、３３ｇ／ｐＨＣｌであった。
又Ｆｅ２＋−１Ｆｅ３＋の酸化効率はほぼ１００％であ
った。又、電解中に陰極室側に移動した鉄量は２０ｇ、
又ニッケル量は１６ｇであった。
った。又、電解中に陰極室側に移動した鉄量は２０ｇ、
又ニッケル量は１６ｇであった。
電解後、陽イオン交換膜を点検した処、電解前と外観的
にも性能的にも変化がなかった。
にも性能的にも変化がなかった。
実施例２
劣化したエツチング？？Ｉ （５８０ｇ＃！ ＦｅＣｌ
３，３４ｇ＃！ＦｅＣ１ｚ、 ８８ｇ／ （２ＮＩＣ１
２，５ｇ／ （２ＨＣＩ）を第１図に示す装置を用いて
バッチで処理した。処理液量は１０ρであり、ＩＯＡ／
ｄｍ２で約４時間電解を行なった。得られた再生エツチ
ング液は、６１０ ｇ／βＦｅＣ１，、Ｏｇ／ｌ Ｆｅ
Ｃ１□、７９ｇ／ｎ ＮｉＣｌ２．４ ｇ／（！、 Ｈ
ＣＩであり、Ｆｅ”−Ｆｅ３“の酸化効率はほぼ１００
％であった。
３，３４ｇ＃！ＦｅＣ１ｚ、 ８８ｇ／ （２ＮＩＣ１
２，５ｇ／ （２ＨＣＩ）を第１図に示す装置を用いて
バッチで処理した。処理液量は１０ρであり、ＩＯＡ／
ｄｍ２で約４時間電解を行なった。得られた再生エツチ
ング液は、６１０ ｇ／βＦｅＣ１，、Ｏｇ／ｌ Ｆｅ
Ｃ１□、７９ｇ／ｎ ＮｉＣｌ２．４ ｇ／（！、 Ｈ
ＣＩであり、Ｆｅ”−Ｆｅ３“の酸化効率はほぼ１００
％であった。
又電解中に陰極室側に移動した鉄量は５５ｇ、ニッケル
量は４０ｇであった。
量は４０ｇであった。
電解後、陽イオン交換膜を点検した処、電解前と外観的
にも性能的にも変化がなかった。
にも性能的にも変化がなかった。
第１図は本発明の一実施態様を説明する為の図である。
１・・・電解槽、２・・・陽イオン交換膜、３・・・陽
極、 ４ ・・・陰極、 ５ 、 ６ ・・・７夜イ
共給口、 ８ 、 ９ ・・・ｌ皮取り８し口、７・・
・ガス取り出し口、１０・・・エツチング液循環タンク
、１１・・・陰極液循環タンク。
極、 ４ ・・・陰極、 ５ 、 ６ ・・・７夜イ
共給口、 ８ 、 ９ ・・・ｌ皮取り８し口、７・・
・ガス取り出し口、１０・・・エツチング液循環タンク
、１１・・・陰極液循環タンク。
Claims (2)
- １．陽イオン交換膜で区画された陽極室と陰極室とを有
し、陽極室に第一鉄塩を含む第二鉄塩を、陰極室に第二
鉄塩と共通の陰イオンを供給し、電解することにより、
第一鉄イオンを第二鉄イオンに転化することを特徴とす
る塩化鉄塩エッチング液の電解再生方法。 - ２．陽イオン交換膜で区画された陽極室と陰極室とを有
し、陽極室に第一鉄塩とニッケルイオンを含む第二鉄塩
を、陰極室に第二鉄塩と共通の陰イオンを供給し、電解
することにより、第一鉄イオンを第二鉄イオンに転化す
ると共に、ニッケルイオンを陰極室に移行せしめること
を特徴とする第二鉄塩エッチング液の電解再生方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12294090A JPH0421792A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 第二鉄塩エッチング液の電解再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12294090A JPH0421792A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 第二鉄塩エッチング液の電解再生方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0421792A true JPH0421792A (ja) | 1992-01-24 |
Family
ID=14848378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12294090A Pending JPH0421792A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | 第二鉄塩エッチング液の電解再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0421792A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995024518A1 (de) * | 1994-03-07 | 1995-09-14 | Mib Metallurgie Und Oberflächentechnik Und Innovation In Berlin Gmbh & Co. | Elektrolyseverfahren zum regenerieren einer eisen-iii-chlorid oder eisen-iii-sulfatlösung, insbesondere zum sprühätzen von stahl |
-
1990
- 1990-05-15 JP JP12294090A patent/JPH0421792A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995024518A1 (de) * | 1994-03-07 | 1995-09-14 | Mib Metallurgie Und Oberflächentechnik Und Innovation In Berlin Gmbh & Co. | Elektrolyseverfahren zum regenerieren einer eisen-iii-chlorid oder eisen-iii-sulfatlösung, insbesondere zum sprühätzen von stahl |
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