JPH04219650A - 光学的記録媒体 - Google Patents

光学的記録媒体

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JPH04219650A
JPH04219650A JP3086023A JP8602391A JPH04219650A JP H04219650 A JPH04219650 A JP H04219650A JP 3086023 A JP3086023 A JP 3086023A JP 8602391 A JP8602391 A JP 8602391A JP H04219650 A JPH04219650 A JP H04219650A
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JP
Japan
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layer
recording medium
film
optical recording
recording
Prior art date
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Pending
Application number
JP3086023A
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English (en)
Inventor
Kazuoki Motomiya
一興 本宮
Mitsuharu Sawamura
光治 沢村
Kazuhiko Kikuchi
一彦 菊池
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ビームにより記録・
再生を行うことが可能な光学的記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、光ディスクに用いられる光学
的記録媒体としては、希土類−遷移金属の合金薄膜、非
晶質から結晶質への相転移を利用したカルコゲン化合物
等の還元性酸化物薄膜、ヒートモード記録媒体、サーモ
プラスチック記録媒体等が知られている。例えば、希土
類−遷移金属の合金薄膜で形成される光磁気記録媒体と
しては、 MnBi, MnCuBi などの多結晶薄
膜、GdCo, GdFe, TbFe, DyFe,
 GdTbFe,TbDyFeなどの非晶質薄膜、 T
bFeO3 などの単結晶薄膜などが知られている。
【0003】これらの薄膜のうち、大面積の薄膜を室温
近傍の温度で製作する際の成膜性、信号を小さな光熱エ
ネルギーで書き込むための書き込み効率、および書き込
まれた信号をS/N比よく読み出すための読み出し効率
等を勘案すると、最近では前記非晶質薄膜が光熱記録媒
体として優れていると考えられている。GdTbFe 
はカー回転角も大きく、150℃前後のキューリー点を
持つので光熱磁気記録媒体として適している。更に発明
者等はカー回転角を向上させる目的で研究した結果、G
dTbFeCoがカー回転角が充分に大きく、S/N比
の良い読み出しが可能な光磁気記録媒体であることを見
い出した。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一般に
前記 GdTbFe 等の光磁気記録媒体をはじめとす
る磁気記録媒体に用いられる非晶質磁性体は、耐食性が
悪いという欠点を持っている。すなわち、大気、水蒸気
に触れると磁気特性が低下し、最終的には完全に酸化さ
れて透明化するに至る。
【0005】このような欠点を除くために、従来から、
記録媒体となる磁気記録層の両側に記録光、再生光をほ
ぼ透過する例えば、SiO2, SiO,Si3N4,
 AlN の保護層を設けたり、更には、不活性ガスに
より磁気記録層を封じ込めたディスク状記録媒体が提案
されている。
【0006】このような従来の磁気記録媒体の一例とし
て、例えば図2に示すように書き込み側基板1a上に保
護層2を形成し、磁気記録層3、スペーサー層4、およ
び反射層5を順次設け、更に接着層6を介して外部プラ
スチック基板1bと貼り合わせたものが知られている。 しかし、プラスチック基板の吸水性が大きいために磁気
記録層3が数百オングストロームと薄い場合には、保護
層2、スペーサー層4が存在するにもかかわらず湿度の
高い状態に長時間置かれると磁気特性が劣化するという
欠点が生じやすかった。また、保護層としての窒化物の
膜は、プラスチックなどの基板に対して密着力が弱く、
はく離やクラックが生じやすいという欠点があった。さ
らに窒化物として Si3N4, AlN, BN な
どの熱伝導のよい材料を用い記録媒体の耐久性を向上さ
せるために、その膜厚を厚くすると光ビームによる記録
層の温度上昇が十分でなく記録感度が低下するという欠
点もあった。
【0007】本発明は、以上の問題点に鑑みなされたも
のであり、磁気記録層の磁気特性を損なうことなく、水
分や酸素等に対する耐食性に優れまた耐久性に優れた磁
気記録媒体を提供し、かつその記録感度を向上させるこ
とを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、プ
ラスチック基板上に、光学的記録層が設けられて成る光
学的記録媒体において、基板と記録層との間に、基板に
相接して酸化ケイ素から成る下引き層を設け、更に下引
き層と記録層との間に炭化物と窒化物との混合物から成
る保護層を設けることによって達成される。
【0009】上記炭化物としては、例えばTi−C系,
Zr−C系,Hf−C系,V−C 系,Ta−C系,M
o−C系,W−C 系,Si−C系,B−C 系,Cr
−C系,Al−C系,Ba−C系,Be−C系,Ce−
C系が用いられる。また、窒化物としては、例えばSn
−N系,In−N系,Zr−N系,Cr−N系,Al−
N系,Si−N系,Ta−N系,V−N 系,Nb−N
系,Mo−N系,W−N 系が用いられる。
【0010】
【実施例】まず、本発明を光磁気記録媒体に適用した場
合につき、該記録媒体の各層の構成例を、その断面を示
す略図を参照しながら説明する。
【0011】図1の構成の記録媒体において、書き込み
側基板1a、下引き層2及び磁気記録層3は図2で示し
た従来の磁気記録媒体に使用したと同じものによって形
成することができる。例えば基板1aとして、アクリル
樹脂、ポリカーボネート等のプラスチック板またはガラ
ス板、下引き層2として、SiO または SiO2 
からなる薄膜、磁気記録層3として各種の非晶質薄膜を
使用できる。この非晶質磁性薄膜として、GdCo, 
GdFe, TbFe, DyFe, GdTbFe,
 TbDyFe等の非晶質磁性薄膜が好ましい。なかで
も、 GdTbFe, GdTbFeCo はカー回転
角が大きいので特に好ましい。
【0012】下引き層2の層厚は一般に500〜300
0オングストロームで、磁気記録層3の層厚,炭化物と
窒化物との混合物から成る膜7の層厚に応じて異なるが
、耐久性,記録感度の面から1000オングストローム
程度が好ましい。下引き層として設けるSiO または
 SiO2 は、その上に設ける膜の基板との融合性向
上の目的で設けるものである。
【0013】磁気記録層3の層厚は記録層としての機能
を果す範囲内の所望の層厚に形成するが通常160〜1
000オングストローム程度である。しかし、記録再生
の性能向上の面から160オングストローム程度が好ま
しい。
【0014】炭化物と窒化物との混合物から成る膜7,
8は記録層3の両側または片側に形成する。片側の場合
は下引き層2と磁気記録層3との間に形成する。炭化物
と窒化物との混合物から成る膜は膜自体に酸素を含まな
いので下引き層2からの酸素や基板を通しての水分によ
り、磁気記録層3が腐食されるのを防ぐ機能を果す。炭
化物と窒化物との混合物から成る膜の膜厚は100〜2
000オングストロームの範囲が好ましい。100オン
グストロームより薄いと耐湿効果が不充分であり、一方
2000オングストロームより厚いと磁気記録媒体の記
録感度が低下し好ましくない。
【0015】SiO, SiO2 などのスペーサー層
4, Cu,Al, Au などの反射層5,シリコン
系接着剤などの接着層6およびガラス,プラスチックま
たはアルミニウムなどの金属よりなる保護基板1bのそ
れぞれが果す機能は従来の記録媒体の場合と同様である
【0016】図1の例では、炭化物と窒化物との混合物
から成る膜は記録層に相接して設けてあり、耐食性はこ
の場合がより効果的ではあるが相接して設けることは本
発明において必須ではなく、炭化物と窒化物との混合物
から成る膜と記録層との間に他の補助層が介在していて
も発明の目的は達成出来る。また、図3に他の例を示す
ようにスペーサー層4,反射層5などの補助層を欠いて
いる構成の記録媒体もまた本発明に属するものである。
【0017】本発明の記録媒体の作製方法は、図1の例
について述べれば、書き込み側基板1a上に下引き層2
を蒸着法などにより形成し、次いで炭化物と窒化物との
混合物から成る膜7,記録層3、再び炭化物と窒化物と
の混合物から成る膜8を順次スパッタリングなどにより
形成する。更にその上にスペーサー層4,反射層5を蒸
着法などにより積層したのち、保護基板1bを接着層6
を介して貼り合わせることにより図1の構成の記録媒体
が完成する。尚、図1には示していないが、耐久性向上
の目的で反射層5の上に更に窒化物膜などの保護層をス
パッタリングなどにより介在させることも出来る。
【0018】以下に本発明を光磁気記録媒体に適用した
場合につき実施例を示して更に具体的に説明する。
【0019】実施例1 ポリアクリレート樹脂基板1aの上に下引き層2として
約1000オングストロームの SiO2 膜を蒸着に
より形成し、反応性スパッタリングにより約700オン
グストロームの Si3N4と SiCとの混合膜7、
スパッタリングにより約1000オングストロームの 
GdTbFeCo 4元系非晶質薄膜3、再び反応性ス
パッタリングにより約2000オングストロームの S
i3N4と SiCとの混合膜8を次々にその上に成膜
した。更にシリコン接着剤からなる接着層6を介してポ
リアクリレート樹脂基板1bを貼り合わせることにより
図3に示す構成の光磁気記録媒体を得た。窒化物と炭化
物の混合膜7,8は Si ターゲットを用い、 Ar
 とCH4 と N2 のガス導入比を90:5:5と
した混合ガス中での反応性スパッタリングにより得た。
【0020】得られた記録媒体に関し、そのカー回転角
θk ,保磁力Hc の測定とともに45℃、相対湿度
95%の恒温恒湿槽にて1000時間の耐湿テストを行
なった。
【0021】比較のため、炭化物と窒化物との混合物か
ら成る膜7,8を設けない他は上記と同様の構成を有す
る記録媒体についても試験を行なった。結果は表1に示
すとおりで、本発明の光磁気記録媒体は磁性特性の劣化
も認められず、耐久性が向上した。また磁気特性,記録
感度,読み出し効率の劣化も認められなかった。尚、表
1の耐湿テスト後の数値は、初期値を1.0 とした場
合の比率で示してある。
【0022】実施例2 実施例1の SiCと Si3N4との混合膜の代りに
 SiCと AlNとの混合膜を保護層として設けた外
は実施例1と同様の膜構成の光磁気記録媒体を作成した
。SiC とAlN の混合膜は5インチφの SiC
化合物ターゲットの上にほぼ10mm角の Al 片を
4つ均一に並べて Ar と N2 の比を1:1とし
た混合ガス中でスパッタリングにより成膜した。
【0023】この記録媒体についても実施例1と同様の
テストを行なったが実施例1と同様耐久性は向上した。 この実施例2の耐久結果を表1に示す。
【0024】
【表1】                          
   表1        ┌────┬─────┬
───────────┐        │    
    │初期特性  │  耐湿テスト1000H後
  │        │        ├──┬─
─┼─────┬─────┤        │  
      │Hc │θk │    Hc   │
    θk   │        ├────┼─
─┼──┼─────┼─────┤        
│実施例1│1.0 │1.0 │    0.9  
 │ 0.9〜1.0 │        │実施例2
│1.0 │1.0 │    0.9   │ 0.
9〜1.0 │        │比較例  │1.0
 │1.0 │ 0.2〜0.3 │ 0.2〜0.3
 │        └────┴──┴──┴───
──┴─────┘
【0025】
【発明の効果】本発明の光学的記録媒体によれば、記録
層が例えば約数百オングストロームの厚さの磁性層であ
ってもその書き込み側基板側またはその両側に膜自体に
酸素を含まない耐湿性のすぐれた炭化物と窒化物との混
合物より成る膜を設けることにより記録媒体の耐食性を
顕著に改善出来る。その効果は、上記炭化物と窒化物と
の混合物より成る膜を記録層に相接して設けた場合特に
すぐれている。またSiO または SiO2 の膜を
下引き層として書き込み側基板上に設けることによりそ
の上に設ける膜の基板との融合性を向上することが出来
る。
【0026】尚、本発明は光磁気記録媒体に限定される
ものでなく、たとえばカルコゲン化合物の薄膜等、酸化
され易い記録層を有する他の光学的記録媒体の耐食性向
上に関しても同様に効果的である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の記録媒体の各層の構成例の断面略図で
ある。
【図2】従来の記録媒体の各層の構成例の断面略図であ
る。
【図3】本発明の記録媒体の各層の構成例の断面略図で
ある。
【符号の説明】
1a      書き込み側基板 1b      保護用基板 2        下引き層 3        記録層 4        スペーサー層 5        反射層 6        接着層

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  プラスチック基板上に、光学的記録層
    が設けられて成る光学的記録媒体において、前記基板と
    記録層との間に、基板に相接して酸化ケイ素から成る下
    引き層を設け、更に該下引き層と記録層との間に炭化物
    と窒化物との混合物から成る保護層を設けたことを特徴
    とする光学的記録媒体。
JP3086023A 1991-03-27 1991-03-27 光学的記録媒体 Pending JPH04219650A (ja)

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JP3086023A JPH04219650A (ja) 1991-03-27 1991-03-27 光学的記録媒体

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6153063A (en) * 1996-03-11 2000-11-28 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical information recording medium, producing method thereof and method of recording/erasing/reproducing information
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US6343062B1 (en) 1997-09-26 2002-01-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd Optical disk device and optical disk for recording and reproducing high-density signals
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