JPS60197967A - 光学的記録媒体 - Google Patents
光学的記録媒体Info
- Publication number
- JPS60197967A JPS60197967A JP5348184A JP5348184A JPS60197967A JP S60197967 A JPS60197967 A JP S60197967A JP 5348184 A JP5348184 A JP 5348184A JP 5348184 A JP5348184 A JP 5348184A JP S60197967 A JPS60197967 A JP S60197967A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical recording
- layer
- recording medium
- manufacturing
- film
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光ビームにより記録・再生を行うことが可能
な光学的記録媒体の製造方法に関するものである。
な光学的記録媒体の製造方法に関するものである。
従来より、光ディスクに用いられる光学的記録媒体とし
ては、希土類−遷移金属の合金薄膜、非晶質から結晶質
への相転移を利用したカルコゲン化合物等の還元性酸化
物薄膜、ヒートモード記録媒体、サーモグラスチック記
録媒体等が知られている。例・えは、希土類−遷移金属
の合金薄膜で形成される光磁気記録媒体としては、Ｍｎ
Ｂ１ ＋ ＭｎＣｕＢ＋などの多結晶薄膜、ＧｄＣｏ
＋ ＧｄＦｅ ＋ ＴｂＦｅ ＋ ＤｙＦｅ ｒＧｄＴ
ｂＦｅ 、 ＴｂＤｙＦｅなどの非晶質薄膜、ＧｄＩＧ
などの単結晶薄膜などが知られている。
ては、希土類−遷移金属の合金薄膜、非晶質から結晶質
への相転移を利用したカルコゲン化合物等の還元性酸化
物薄膜、ヒートモード記録媒体、サーモグラスチック記
録媒体等が知られている。例・えは、希土類−遷移金属
の合金薄膜で形成される光磁気記録媒体としては、Ｍｎ
Ｂ１ ＋ ＭｎＣｕＢ＋などの多結晶薄膜、ＧｄＣｏ
＋ ＧｄＦｅ ＋ ＴｂＦｅ ＋ ＤｙＦｅ ｒＧｄＴ
ｂＦｅ 、 ＴｂＤｙＦｅなどの非晶質薄膜、ＧｄＩＧ
などの単結晶薄膜などが知られている。
これらの薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近傍の温度で
製作する際の成膜性、信号を小さな光熱エネルギーで書
き込むための書き込み効率、および書き込まれた信号を
Ｓ／Ｎ比よく読み出すための読み出し効率等な勘案して
、最近では前記非晶質薄膜が光熱記録媒体として優れて
いると考えられている。ＧｄＴｂＦｅはカー回転角も大
きく、１５０℃前後のキューリ一点を持つので光熱磁気
記録媒体として適している。更に発明者等はカー回転角
を７向上させる目的で研究した結果、ＧｄＴｂＦｅＣｏ
がカー回転角が充分に大きく、Ｓ／Ｎ比の良い読み出し
が可能な光磁気記録媒体であることを見い出した。
製作する際の成膜性、信号を小さな光熱エネルギーで書
き込むための書き込み効率、および書き込まれた信号を
Ｓ／Ｎ比よく読み出すための読み出し効率等な勘案して
、最近では前記非晶質薄膜が光熱記録媒体として優れて
いると考えられている。ＧｄＴｂＦｅはカー回転角も大
きく、１５０℃前後のキューリ一点を持つので光熱磁気
記録媒体として適している。更に発明者等はカー回転角
を７向上させる目的で研究した結果、ＧｄＴｂＦｅＣｏ
がカー回転角が充分に大きく、Ｓ／Ｎ比の良い読み出し
が可能な光磁気記録媒体であることを見い出した。
しかしながら、一般に前記ＧｄＴｂＦｅ等の光磁気記録
媒体に用いられる非晶質磁性体は、耐食性が悪いという
欠点を持っている。すなわち、大気、水蒸気に触れると
磁気特性が低下し、最終的には完全に酸化されて透明化
するに至る。また、このような光学的記録層の酸化によ
る記録・再生特性の劣化は、光磁気記録媒体に共通の問
題点であった。
媒体に用いられる非晶質磁性体は、耐食性が悪いという
欠点を持っている。すなわち、大気、水蒸気に触れると
磁気特性が低下し、最終的には完全に酸化されて透明化
するに至る。また、このような光学的記録層の酸化によ
る記録・再生特性の劣化は、光磁気記録媒体に共通の問
題点であった。
このような欠点を除くために、従来から、光学的記録層
の上に、透明物質の保護カバー、例えば５１０２、Ｓｉ
Ｏの保護層を設けたりする事が提案されている。
の上に、透明物質の保護カバー、例えば５１０２、Ｓｉ
Ｏの保護層を設けたりする事が提案されている。
しかしながら、従来の光学的記録媒体の製造方法におい
ては、通常、光学的記録層を形成した後、一度大気にさ
らして、ある時間が経過してから、保護膜或いは反射防
止膜等の補助層を形成していた。その為、大気にさらし
た光学的記録層と補助層との界面から酸化が進行し、十
分な耐腐食性が得られなかった。特に、光学的記録層が
厚さ数百又と非常に薄い磁性層から成る場合には、長時
間放置されると、磁気特性、透過率等が著しく劣化して
しまった。また、光学的記録層の記録・再生特性が、補
助層を形成するまでの履歴によって異なり、出来上がっ
た光学的記録媒体間でバラツキが生じるという欠点があ
った。
ては、通常、光学的記録層を形成した後、一度大気にさ
らして、ある時間が経過してから、保護膜或いは反射防
止膜等の補助層を形成していた。その為、大気にさらし
た光学的記録層と補助層との界面から酸化が進行し、十
分な耐腐食性が得られなかった。特に、光学的記録層が
厚さ数百又と非常に薄い磁性層から成る場合には、長時
間放置されると、磁気特性、透過率等が著しく劣化して
しまった。また、光学的記録層の記録・再生特性が、補
助層を形成するまでの履歴によって異なり、出来上がっ
た光学的記録媒体間でバラツキが生じるという欠点があ
った。
本発明の目的は、耐腐食性に優れ、均一な特性の光学的
記録媒体が得られる光学的記録媒体の製造方法を提供す
る事にある。
記録媒体が得られる光学的記録媒体の製造方法を提供す
る事にある。
本発明の上記目的は、基板上に所望により下引き層を設
けた後、光学的記録層および補助層を順次積層していく
光学的記録媒体の製造方法において、前記光学的記録層
の表面をプラズマエツチングした後、続けて補助層を形
成する事によって達成される。
けた後、光学的記録層および補助層を順次積層していく
光学的記録媒体の製造方法において、前記光学的記録層
の表面をプラズマエツチングした後、続けて補助層を形
成する事によって達成される。
本発明の光゛学的記録媒体の製造方法によれば、例えば
゛光学的記録層が数百又の厚さの磁性層であっても、十
分な耐ｔｔＸ食性、再現性および媒体間の均一性を得る
事が出来た。
゛光学的記録層が数百又の厚さの磁性層であっても、十
分な耐ｔｔＸ食性、再現性および媒体間の均一性を得る
事が出来た。
本発明における記録磁性層のプラズマエツチングは、不
活性ガスにより行なわれるが、好ましくはＨｅ 、 Ａ
ｒもしくはＮｅ、またはこれらの２種以上の混合ガスを
用いて行なう。エツチングの程度は５０Ｘ乃至３００Ｘ
の範囲が好ましく、従って本発明のためには、あらかじ
め光学的記録層を所定の厚さよりも上記範囲の厚さだけ
厚く形成しておいて、所定の厚さになるまでエツチング
するのが好ましい。尚、エツチングの後、補助層を形成
するまでは、エツチング表面を大気にさらすことなく層
を形成する。
活性ガスにより行なわれるが、好ましくはＨｅ 、 Ａ
ｒもしくはＮｅ、またはこれらの２種以上の混合ガスを
用いて行なう。エツチングの程度は５０Ｘ乃至３００Ｘ
の範囲が好ましく、従って本発明のためには、あらかじ
め光学的記録層を所定の厚さよりも上記範囲の厚さだけ
厚く形成しておいて、所定の厚さになるまでエツチング
するのが好ましい。尚、エツチングの後、補助層を形成
するまでは、エツチング表面を大気にさらすことなく層
を形成する。
補助層としては、通常ＭｇＦｔ ＋ ＡＡ’２０８ ｒ
ＺｒＯ２。
ＺｒＯ２。
Ｓｉ、Ｎ、 ｌ ＡＩＮ 、 Ｓｉｎ、 、 ＳｉＯ等
の材料が用いられるが、特にＳｉＯ膜が好ましい。
の材料が用いられるが、特にＳｉＯ膜が好ましい。
以下実施例により本発明をさらに説明する。
実施例１
第１図において、書き込み側プラスチック基板１ａとし
て、アクリル樹脂板を用い、下引き層２として、約１Ｏ
ＯＯＸのＳｉＯ膜を形成し、記録磁性層として、２５０
Ｘの４元系非晶質磁性膜を形成した。
て、アクリル樹脂板を用い、下引き層２として、約１Ｏ
ＯＯＸのＳｉＯ膜を形成し、記録磁性層として、２５０
Ｘの４元系非晶質磁性膜を形成した。
これを一度、′大気にさらしてから、再び保護層４とし
て、ＳｉＯ膜を形成する前に５ Ｘ １Ｏ−３Ｔｏｒｒ
のアルゴンガス雰囲気で、プラズマエツチングにより記
録磁性層６を２５０Ｘから２０ＯＡまでエツチングした
。その後、大気にさらさない状態で、保護層としてのＳ
ｉＯ膜を形成した。その後、順次、反射膜５としてＡＩ
膜、接着層６としてシリコン系接着剤を用い、該接着層
６を介して外部プラスチック基板１ｂと貼り合わせるこ
とによって光磁気記録媒体を得た。
て、ＳｉＯ膜を形成する前に５ Ｘ １Ｏ−３Ｔｏｒｒ
のアルゴンガス雰囲気で、プラズマエツチングにより記
録磁性層６を２５０Ｘから２０ＯＡまでエツチングした
。その後、大気にさらさない状態で、保護層としてのＳ
ｉＯ膜を形成した。その後、順次、反射膜５としてＡＩ
膜、接着層６としてシリコン系接着剤を用い、該接着層
６を介して外部プラスチック基板１ｂと貼り合わせるこ
とによって光磁気記録媒体を得た。
５枚作成した光磁気記録媒体は、回転角θＫ、保磁力Ｈ
ｅともに同じ値で、しかも、４５℃、相対湿度９５％お
よび放置時間２００時間の条件での耐湿テストの結果、
磁気特性の劣化は認められず、耐久性は向上した。
ｅともに同じ値で、しかも、４５℃、相対湿度９５％お
よび放置時間２００時間の条件での耐湿テストの結果、
磁気特性の劣化は認められず、耐久性は向上した。
前述の実施例では、光磁気記録媒体を製造する場合を説
明したが、本発明はこれに限らず、酸化され易い光学的
記録層を有するどのような記録媒体にも適用が可能であ
る。また補助層としては、前記保護層の他、断熱層等、
種々のものが考えられる。
明したが、本発明はこれに限らず、酸化され易い光学的
記録層を有するどのような記録媒体にも適用が可能であ
る。また補助層としては、前記保護層の他、断熱層等、
種々のものが考えられる。
また、本発明は、光学的記録層を形成した後、大気にさ
らしてもかまわないので、特に、光学的記録層を形成す
る。真空槽と、補助層を形成する真空槽とが異なる場合
に有効である。
らしてもかまわないので、特に、光学的記録層を形成す
る。真空槽と、補助層を形成する真空槽とが異なる場合
に有効である。
第１図は、本発明によって製造される光学的記録媒体の
構成の一例を説明するための模式図である。 １ａ・・・書き込み側プラスチック基板１ｂ・・・外部
プラスチック基板 ２・・・・・・下引き層 ６・・・・・・記録磁性層 ４・・・・・・保護層 ５・・・・・・反射層 ６・・・・・・接着層 特−許用願人 キャノン株式、会社 第１図
構成の一例を説明するための模式図である。 １ａ・・・書き込み側プラスチック基板１ｂ・・・外部
プラスチック基板 ２・・・・・・下引き層 ６・・・・・・記録磁性層 ４・・・・・・保護層 ５・・・・・・反射層 ６・・・・・・接着層 特−許用願人 キャノン株式、会社 第１図
Claims (3)
- （１） 基板上に所望により下引き層を設けた後、光学
的記録層および補助層を順次積層していく光学的記録媒
体の製造方法において、前記光学的記録層の表面をプラ
ズマエツチングした後、続けて補助層を形成する事を特
徴とする光学的記録媒体の製造方法。 - （２） 前記プラズマエツチングがＨｅ＋ＡｒおよびＮ
ｅガスの１種又は前記ガスの２種以上の混合ガスを用い
て行なわれる特許請求の範囲第１項記載の光学的記録媒
体の製造方法。 - （３）前記光学的記録層を形成する真空槽と、補助層を
形成する真空槽とが異なる特許請求の範囲第１項記載の
光学的記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5348184A JPS60197967A (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 光学的記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5348184A JPS60197967A (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 光学的記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60197967A true JPS60197967A (ja) | 1985-10-07 |
Family
ID=12944032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5348184A Pending JPS60197967A (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 光学的記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60197967A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2675615A1 (fr) * | 1991-04-17 | 1992-10-23 | Broussaud Georges | Disques optiques obtenus par gravure directe et globale d'un substrat metallique. |
| WO1994003892A1 (fr) * | 1992-07-29 | 1994-02-17 | Seiko Epson Corporation | Support d'enregistrement magneto-optique et procede de fabrication |
-
1984
- 1984-03-22 JP JP5348184A patent/JPS60197967A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2675615A1 (fr) * | 1991-04-17 | 1992-10-23 | Broussaud Georges | Disques optiques obtenus par gravure directe et globale d'un substrat metallique. |
| WO1994003892A1 (fr) * | 1992-07-29 | 1994-02-17 | Seiko Epson Corporation | Support d'enregistrement magneto-optique et procede de fabrication |
| US5772856A (en) * | 1992-07-29 | 1998-06-30 | Seiko Epson Corporation | Magneto-optical recording medium and method of manufacturing the same |
| US5976688A (en) * | 1992-07-29 | 1999-11-02 | Seiko Epson Corporation | Magneto-optical recording medium and method of manufacturing the same |
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