JPH04219978A - 複合型半導体装置 - Google Patents

複合型半導体装置

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JPH04219978A
JPH04219978A JP40410490A JP40410490A JPH04219978A JP H04219978 A JPH04219978 A JP H04219978A JP 40410490 A JP40410490 A JP 40410490A JP 40410490 A JP40410490 A JP 40410490A JP H04219978 A JPH04219978 A JP H04219978A
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JP
Japan
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thyristor
gate
voltage
cathode
mosfet
Prior art date
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Application number
JP40410490A
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English (en)
Inventor
Takayasu Kawamura
川村 貴保
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Meidensha Corp
Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Meidensha Corp
Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置に係り、特に
静電誘導サイリスタとMOSFETとを組合せた複合型
半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年電力用半導体の分野では応用装置の
高効率化、低騒音化の観点から高周波化に対応できるデ
バイスの要求が高まっている。静電誘導サイリスタ(以
下、SIサイリスタという)は他の電力用半導体に比べ
、優れた高周波特性が認められている。しかしながらS
Iサイリスタは、ターンオフ時にゲートから大電流を引
き抜く必要があり、ゲート回路が他の半導体よりも複雑
になるという欠点があった。そこでSIサイリスタのカ
ソードをnチャンネルMOSFETのドレインにSIサ
イリスタのゲートを、nチャンネルMOSFETのソー
スに接続(カスコード接続)することにより、高速のS
Iサイリスタを電圧制御型デバイスとして簡単に駆動で
きるという報告(B.J.BaligaSolid−S
t.Electron 25,No.5,PP345−
353,1982)がなされている。
【0003】図4〜図7はこの種の従来の複合型半導体
装置の等価回路を示すもので、図4において1は静電誘
導サイリスタ(SIサイリスタ)、2はMOSFETで
、SIサイリスタ1のカソード1KにはMOSFET2
のドレイン2Dが接続され、SIサイリスタ1のゲート
1GにはMOSFET2のソース2Sが接続され、SI
サイリスタ1とMOSFET2はカスコード接続(縦続
)されている。1AはSIサイリスタ1のアノード、2
GはMOSFETのゲートである。また、図5で3はS
Iサイリスタ1のゲート1GとMOSFET2のソース
2S間に接続されたダイオードである。さらに、図6で
4は同じくSIサイリスタ1のゲート1GとMOSFE
T2のソース2S間に接続されたツエナーダイオードで
ある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】図4に示すようなMO
SFET2のオン,オフによってのみSIサイリスタ1
をオン,オフさせる(SIサイリスタをオン,オフさせ
るための特別のゲート電流を流さない)構成のカスコー
ド接続方法においては、SIサイリスタ2としてゲート
逆バイアスを印加しない状態ではダイオードの順方向特
性と同様の特性を示す完全ノーマリオン型のSIサイリ
スタが要求される。
【0005】ゲートバイアスを印加しない状態である程
度の電圧をブロックするようなノーマリ・オフあるいは
ノーマリ・オンとオフの中間的な特性を示すデバイスを
使用すると、図4のようなカスコード接続では、オン特
性が著しく悪くなるか、全くオンしないようになり、オ
ンさせるためにゲート電流が必要になる。しかし、完全
にノーマリオン型のSIサイリスタは、ノーマリオフ型
のSIサイリスタに比べて、同じゲート逆電圧でブロッ
クできるアノード電圧の大きさが小さくなる。
【0006】普通、ノーマリオン型SIサイリスタでは
、1000Vのアノード電圧をブロックするのに100
V以上のゲート電圧を必要とする。このためMOSFE
Tの耐電圧も100V以上にする必要がある。MOSF
ETのオン抵抗は耐圧の2.5乗に比例するため、MO
SFETの耐電圧を増すことは、カスコード接続の際の
定常損失が上昇することになる。したがって、図4のカ
スコード接続のデバイスの耐電圧を上げるためにはMO
SFETの耐電圧も上げる必要があり、このため100
0V以上のデバイスを図4のカスコード接続により構成
することは損失面から実用上困難であった。
【0007】一方、図5に示すようにSIサイリスタ1
のゲート1GとMOSFET2のソース2S間にダイオ
ード3を順方向に接続したものや、図6に示すようにツ
エナーダイオード4を逆方向に挿入したカスコード接続
も考えられているが、これらの場合にはターンオン時に
ダイオード3のビルトイン電圧あるいはツエナーダイオ
ード4のゼナー電圧がオンゲート電圧としてSIサイリ
スタ1に加わるので、ノーマリオフに近い。したがって
、小さなゲート逆バイアスで大きなアノード電圧をブロ
ックできるSIサイリスタにもカスコード接続が適用で
きるようになった。しかしながら、この構成でも、ター
ンオン時にSIサイリスタ1のゲート・カソード間に順
バイアスを掛けることができるが、充分なゲート電流を
供給することは不可能である。このため図5,図6に示
すものでは,SIサイリスタ単体の場合に比べて著しく
ターンオン特性が悪くなったり、オン電圧が高くなると
いう問題があった。
【0008】このため、図7に示すようにSIサイリス
タ1のアノードとカソード間にさらにMOSFET5を
接続して4端子構造の複合型半導体装置が一般的に用い
られているが回路構成が複雑である。
【0009】本発明は上述の問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的はSIサイリスタとMOSFETとをカ
スコード接続したものにおいて高速スイッチング動作が
可能にして低損失の複合型半導体装置を提供することで
ある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、静電誘導サイリスタのカソードをMOS
FETのドレインに接続し、前記静電誘導サイリスタの
アノードを第1の電極とし、前記静電誘導サイリスタの
ゲートをMOSFETのソースに接続して外部へ取り出
す第2の電極とするとともに、前記MOSFETのゲー
トを第3の電極とする複合型半導体装置において、前記
静電誘導サイリスタのゲートとMOSFETのソース間
にバイアス回路を接続すると共に、前記静電誘導サイリ
スタとして、該サイリスタ単体における特性がゲート・
カソード間で短絡したときのアノード・カソード間でブ
ロックできる電圧が、アノード電流10mAのとき室温
で0.7V以上10V以下のものを用いる。
【0011】
【作用】SIサイリスタとMOSFETをカスコード接
続してなる複合型半導体装置において、オン抵抗の低い
MOSFETでSIサイリスタを電圧制御すると共に、
トータルの損失を低減する。
【0012】
【実施例】以下に本発明の実施例を図1〜図3を参照し
ながら説明する。
【0013】図1は本発明の実施例による複合型半導体
装置を示すもので、この実施例による3端子複合型半導
体装置においては、SIサイリスタ10のアノード10
Aを第1の電極5Aとし、SIサイリスタ10のカソー
ド10KをMOSFET2のドレイン2Dに接続し、上
記SIサイリスタ10のゲート10GをMOSFET2
のソース2Sに接続して外部へ取り出す第2の電極5B
とすると共に、上記MOSFET2のゲート2Gを第3
の電極5Cとするものにおいて、SIサイリスタ10の
ゲート10GとMOSFET2のソース2S間にバイア
ス手段としてダイオード3を順方向に直列に接続してバ
イアス回路6を構成すると共に、SIサイリスタ10と
して、該SIサイリスタ単体の特性ゲートとカソード間
を短絡したときのアノード・カソード間でブロックでき
る電圧が、アノード電流10mAのとき室温(25℃)
で0.7V以上10V以下であるものを用いて構成され
ている。
【0014】第1の電極5A側が正電位に、第2の電極
5B側が負電位となるように電圧が印加されている場合
、ゲート10Gとカソード10K間にゲート10Gが負
電位となる向きに電圧を印加しない時は導通状態となる
(ノーマリオン形素子で、ゲートに信号を付勢しないと
き導通状態となる)。
【0015】他方ゲート10Gとカソード10K間にゲ
ート10Gが負電位となる向きに電圧を印加するとアノ
ード電流の一部がゲート領域を通ってゲート電極から掃
き出されると共にチャンネル部に電荷の少ない高抵抗の
空乏層(空間電荷層)が形成されて阻止状態となる。
【0016】すなわち、SIサイリスタ10をターンオ
ンさせるには、ゲート10Gに印加した逆電圧を取り除
けばチャンネルにダイオード電流が流れてターンオンす
る。また、導通状態にあるアノード電流をターンオフ(
阻止状態)するには、ゲート10Gに逆電圧を印加して
、チャンネルを高抵抗の空乏層で閉塞する。
【0017】MOSFET2とSIサイリスタ10は所
定の周期でオン,オフし、第1の電極5AからSIサイ
リスタ1とMOSFET2を通して主電流が流れる。
【0018】ノーマリオン型SIサイリスタは、SIサ
イリスタのゲート・カソードをショートにした時、アノ
ード・カソード間の電圧電流特性がダイオードの順方向
特性を示す。すなわちゲート・カソードをショートした
時アノード・カソード間でブロックできる電圧(VDR
MSと略す)は、約0.6Vとなる。またノーマリオン
型SIサイリスタでは、1000Vのアノード・カソー
ド間の電圧をブロックするのに通常100V以上のゲー
トバイアスを必要とする。このアノード・カソード間の
電圧と、これを保持するために必要なゲートバイアスの
比をブロッキングゲイン(μ)と呼ぶ。(この例ではμ
は10以下となる。)SIサイリスタがノーマリオン型
からノーマリオフ型に近づくにつれて、VDRMSも上
昇し、またμも上昇する様になる。完全ノーマリオフに
なると、VDRMSはゲート・カソードに逆バイアスを
印加して得られる最大の電圧(耐圧)に等しくなる。ま
たμの値も200以上となる。
【0019】図2は本発明の他の実施例による複合型半
導体装置を示すもので、この実施例においてはSIサイ
リスタ10のゲート10GとMOSFET2のソース2
S間に、ツエナーダイオード4を逆方向に直列接続して
バイアス回路8を形成している。
【0020】ゲート間隔(チャネル幅)とゲート深さを
種々に変化させたSIサイリスタを試作し、上記VDR
MSとμとの関係及びVDRMSに対するSIサイリス
タ単体とこのSIサイリスタを用いて図2の様なカスコ
ード接続した時のターンオフ時間の比の関係を図3に示
す。図3から明らかなように、アノード電流10mAの
時のVDRMSが50Vを越えるSIサイリスタを用い
た図2の様なカスコード接続ではもはやターンオンしな
くなり、SIサイリスタ単体とカスコード接続時のター
ンオン時間の比は0になる。
【0021】アノード電流10mAの時のVDRMSが
10V以下であれば、カスコード接続時のターンオン時
間はSIサイリスタ単体の時の1.2倍以下となる。一
方ターンオフ時間の方はSIサイリスタ単体に比べ、図
2の様なカスコード接続を用いると0.5〜0.7倍程
度に速くなる。このためトータルのスイッチング損失は
上述のVDRMSが10V以下になるとカスコード接続
時の方が低くなる。
【0022】また、室温におけるVDRMSが0.7V
以上であれば、μは10以上にすることが可能であり、
1000V以上のSIサイリスタを100V以下のオン
抵抗が比較的低いMOSFETにより電圧制御すること
が可能になる。
【0023】
【発明の効果】本発明は、以上の如くであって、静電誘
導サイリスタの単体における特性を、ゲート・カソード
を短絡したときの室温におけるアノード・カソード間で
ブロックできる電圧VDRMSを0.7V以上にするこ
とにより、ブロッキングインを10以上に上げることが
可能になる。これにより1000V以上の高耐圧SIサ
イリスタを100V以下のオン抵抗の低いMOSFET
で電圧制御することが可能になる。
【0024】また、室温におけるVDRMSを10V以
下にすることにより、ターンオン時間は静電誘導サイリ
スタ単体の場合の1.2倍以下に抑えられる。一方、タ
ーンオン時間の方はカスコード接続の場合は、静電誘導
サイリスタのゲートより引き出される電流のdI/dt
が静電誘導サイリスタ単体に比べて急峻になるため、3
0〜50%近く改善される。従ってトータルの損失はカ
スコード接続の方が勝る様になり電圧制御型で20KH
z以上で動作が可能な複合デバイスが実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例による複合型半導体装置の回路
図。
【図2】本発明の他の実施例による複合型半導体装置の
複合型半導体装置の回路図。
【図3】図2の複合型半導体装置の特性図。
【図4】従来の複合型半導体装置の回路図。
【図5】従来の複合型半導体装置の回路図。
【図6】従来の複合型半導体装置の回路図。
【図7】従来の複合型半導体装置の特性図。
【符号の説明】
2…MOSFET、2D…ドレイン、2S…ソース、2
G…ゲート、3…ダイオード、4…ツエナーダイオード
、5A…第1の電極、5B…第2の電極、5C…第3の
電極、8…バイアス回路、10…静電誘導サイリスタ、
10A…アノード、10K…カソード、10G…ゲート

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  静電誘導サイリスタのカソードをMO
    SFETのドレインに接続し、前記静電誘導サイリスタ
    のアノードを第1の電極とし、前記静電誘導サイリスタ
    のゲートをMOSFETのソースに接続して外部へ取り
    出す第2の電極とするとともに、前記MOSFETのゲ
    ートを第3の電極とする複合型半導体装置において、前
    記静電誘導サイリスタのゲートとMOSFETのソース
    間にバイアス回路を接続すると共に、前記静電誘導サイ
    リスタとして、該サイリスタ単体における特性がゲート
    ・カソード間で短絡したときのアノード・カソード間で
    ブロックできる電圧が、アノード電流10mAのとき室
    温で0.7V以上10V以下のものを用いて構成したこ
    とを特徴とする複合型半導体装置。
  2. 【請求項2】  前記バイアス回路が前記静電誘導サイ
    リスタのゲートとMOSFETのソース間に順方向直列
    に接続されたダイオードを有する請求項第1項記載の複
    合型半導体装置。
  3. 【請求項3】  前記バイアス回路が前記静電誘導サイ
    リスタのゲートとMOSFETのソース間に逆方向直列
    に接続されたツエナーダイオードを有する請求項第1項
    記載の複合型半導体装置。
JP40410490A 1990-12-20 1990-12-20 複合型半導体装置 Pending JPH04219978A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5357125A (en) * 1991-09-13 1994-10-18 Fuji Electric Co., Ltd. Power switching semiconductor device including SI thyristor and MOSFET connected in cascade
US5751022A (en) * 1994-03-09 1998-05-12 Kabushiki Kaisha Toshiba Thyristor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5357125A (en) * 1991-09-13 1994-10-18 Fuji Electric Co., Ltd. Power switching semiconductor device including SI thyristor and MOSFET connected in cascade
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