JPH0422208B2 - - Google Patents
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- JPH0422208B2 JPH0422208B2 JP59152194A JP15219484A JPH0422208B2 JP H0422208 B2 JPH0422208 B2 JP H0422208B2 JP 59152194 A JP59152194 A JP 59152194A JP 15219484 A JP15219484 A JP 15219484A JP H0422208 B2 JPH0422208 B2 JP H0422208B2
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- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 abstract description 3
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 abstract 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
- G01F1/692—Thin-film arrangements
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Details Of Flowmeters (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
- Transformers For Measuring Instruments (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、流動媒体の量を測定する装置であつ
て、媒体流中に配置されて薄層として設けられて
いる少なくとも１つの温度感応型の抵抗体を備
え、この抵抗体は支持体上に支承されていて少な
くとも２つの電気的な接続片に導電結合されてお
り、これらの接続片はそれぞれ前記支持体の両方
の端面に接触している形式のものに関する。
て、媒体流中に配置されて薄層として設けられて
いる少なくとも１つの温度感応型の抵抗体を備
え、この抵抗体は支持体上に支承されていて少な
くとも２つの電気的な接続片に導電結合されてお
り、これらの接続片はそれぞれ前記支持体の両方
の端面に接触している形式のものに関する。
従来の技術
流動する媒体の量を測定する装置として、支持
体上に温度感応型の抵抗層を有しているものが既
に知られている。この公知例の場合、温度感応型
の抵抗層の電気的接点接続の点および流動速度の
変動に対する装置の応動速度の点で常にトラブル
を生ずる。
体上に温度感応型の抵抗層を有しているものが既
に知られている。この公知例の場合、温度感応型
の抵抗層の電気的接点接続の点および流動速度の
変動に対する装置の応動速度の点で常にトラブル
を生ずる。
発明が解決しようとする問題点
本発明は公知例にみられる前記トラブルを解消
することを目的とする。
することを目的とする。
問題点を解決するための手段
この目的を本発明は冒頭に述べた形式のものに
おいて次のようにして達成した。即ち、温度感応
型の抵抗層の両方の端部側に接して支持体上に設
けられた電気抵抗の小さい結合層が、支持体上に
設けられた温度感応型の抵抗層に部分的にオーバ
ラツプしてこの抵抗層と導電結合されており、温
度感応型の抵抗層およびその両側の結合層は、各
結合層の抵抗層側とは反対側の端部における各１
つの接点区分を除いて薄いガラス層で覆われてお
り、これらの両方の接点区分は各１つの電気的接
続片のつめ状に屈折した固定区分によつてつかま
れてこの固定部分に導電結合されているのであ
る。
おいて次のようにして達成した。即ち、温度感応
型の抵抗層の両方の端部側に接して支持体上に設
けられた電気抵抗の小さい結合層が、支持体上に
設けられた温度感応型の抵抗層に部分的にオーバ
ラツプしてこの抵抗層と導電結合されており、温
度感応型の抵抗層およびその両側の結合層は、各
結合層の抵抗層側とは反対側の端部における各１
つの接点区分を除いて薄いガラス層で覆われてお
り、これらの両方の接点区分は各１つの電気的接
続片のつめ状に屈折した固定区分によつてつかま
れてこの固定部分に導電結合されているのであ
る。
このような構成によれば、媒体の流動速度の変
動への装置の可能な限り高い応動速度および可能
な限り大きな耐腐食性にもかかわらず温度感応型
の抵抗層の確実な接点接続という利点が得られ、
装置の長期にわたる機能安全性が保証される。
動への装置の可能な限り高い応動速度および可能
な限り大きな耐腐食性にもかかわらず温度感応型
の抵抗層の確実な接点接続という利点が得られ、
装置の長期にわたる機能安全性が保証される。
支持体上へ設けられる結合層を長くすると特に
有利である。結合層の範囲内の支持体の横断面を
温度感応型の抵抗層の範囲内におけるよりも少な
くとも部分的に減少させることも有利である。
有利である。結合層の範囲内の支持体の横断面を
温度感応型の抵抗層の範囲内におけるよりも少な
くとも部分的に減少させることも有利である。
実施例
次に図面に示した実施例に従つて本発明を説明
する： 第１図に示されている流動媒体の量を測定する
装置において媒体の流動方向は図平面に対して垂
直である。この測定装置は、例えば内燃機関の吸
気管（図示せず）内に配置されていて、プレート
状の支持体２上にフイルム又は薄層の形で施され
た少なくとも１つの温度感応型の抵抗体１を介し
て、内燃機関によつて吸い込まれる空気の量を測
定する。このため、抵抗体１は図示してない電子
的な制御回路によつて公知の形式で電流を供給さ
れて、一定した温度を呈する。内燃機関の吸入空
気量を測定するためにこのような装置を使用した
場合、測定速度、測定精度および機能持続性に関
して極めて高度の要求が課される。というのは、
一面において、吸入空気量が急速に変動した際こ
の空気量の変化を可能な限り迅速に検出して供給
燃料量を相応に適合させる必要があり、他面にお
いては装置の機能の持続性が少なくとも内燃機関
の燃料供給装置の耐用寿命に匹敵する必要がある
からである。支持体２は例えばセラミツク板であ
つて、このセラミツク板は厚さが約250μｍ、流
動方向での幅が２mm、流動方向に対して直角な方
向での長さが約15mmのものである。測定速度およ
び測定精度に関する高度な要求に適うようにする
ために、支持体２および温度感応型の抵抗体１の
熱吸収能力が可能な限り小さく保たれており、さ
らに、支持体２および抵抗体１を介して可能な限
りわずかな熱が放出されることによつて媒体流の
量の変化への可能な限り短かな応動時間が得られ
るように考慮されている。温度感応型の抵抗層１
は支持体２の両側に流動方向に延びているように
配置することができ、本発明によれば、支持体２
上に部分的に施されて抵抗層１の向き合う両端側
に配置された結合層３によつて個所４においてオ
ーバラツプされて導電結合部が形成される。この
導電性の結合層３は小さな電気抵抗を有してお
り、従つて媒体の流動中に熱を帯びることはな
い。温度に関連して働く抵抗層１および両方の結
合層３は薄いガラス層５によつて結合層３の抵抗
層側とは反対側の端部における接点区分６を除い
て覆われている。接点区分６は各１つの電気的な
接続片８のつめ形に屈折した固定区分７によつて
つかまれて例えばろう接又は溶接によつてこの固
定区分７と導電的に結合されている。両方の電気
的な接続片８は互いに同列に位置を合わされてい
て、その支持区分９を介して支持体２の各端面１
０に接触している。これらの電気的な接続片８は
独立した部材としてつくつてろう接又は溶接によ
つてホルダ１２に結合することができ、或いは図
示してない形式でホルダ１２自体の一部分であつ
てもよい。ホルダの一部分である場合電気的な接
続片は例えばホルダ１２の変形によつて接点区分
６をつかんで支持体２の端面１０に接触し、これ
によつて固定区分７を介して接点区分６へせん断
力が及ぶようなことはない。
する： 第１図に示されている流動媒体の量を測定する
装置において媒体の流動方向は図平面に対して垂
直である。この測定装置は、例えば内燃機関の吸
気管（図示せず）内に配置されていて、プレート
状の支持体２上にフイルム又は薄層の形で施され
た少なくとも１つの温度感応型の抵抗体１を介し
て、内燃機関によつて吸い込まれる空気の量を測
定する。このため、抵抗体１は図示してない電子
的な制御回路によつて公知の形式で電流を供給さ
れて、一定した温度を呈する。内燃機関の吸入空
気量を測定するためにこのような装置を使用した
場合、測定速度、測定精度および機能持続性に関
して極めて高度の要求が課される。というのは、
一面において、吸入空気量が急速に変動した際こ
の空気量の変化を可能な限り迅速に検出して供給
燃料量を相応に適合させる必要があり、他面にお
いては装置の機能の持続性が少なくとも内燃機関
の燃料供給装置の耐用寿命に匹敵する必要がある
からである。支持体２は例えばセラミツク板であ
つて、このセラミツク板は厚さが約250μｍ、流
動方向での幅が２mm、流動方向に対して直角な方
向での長さが約15mmのものである。測定速度およ
び測定精度に関する高度な要求に適うようにする
ために、支持体２および温度感応型の抵抗体１の
熱吸収能力が可能な限り小さく保たれており、さ
らに、支持体２および抵抗体１を介して可能な限
りわずかな熱が放出されることによつて媒体流の
量の変化への可能な限り短かな応動時間が得られ
るように考慮されている。温度感応型の抵抗層１
は支持体２の両側に流動方向に延びているように
配置することができ、本発明によれば、支持体２
上に部分的に施されて抵抗層１の向き合う両端側
に配置された結合層３によつて個所４においてオ
ーバラツプされて導電結合部が形成される。この
導電性の結合層３は小さな電気抵抗を有してお
り、従つて媒体の流動中に熱を帯びることはな
い。温度に関連して働く抵抗層１および両方の結
合層３は薄いガラス層５によつて結合層３の抵抗
層側とは反対側の端部における接点区分６を除い
て覆われている。接点区分６は各１つの電気的な
接続片８のつめ形に屈折した固定区分７によつて
つかまれて例えばろう接又は溶接によつてこの固
定区分７と導電的に結合されている。両方の電気
的な接続片８は互いに同列に位置を合わされてい
て、その支持区分９を介して支持体２の各端面１
０に接触している。これらの電気的な接続片８は
独立した部材としてつくつてろう接又は溶接によ
つてホルダ１２に結合することができ、或いは図
示してない形式でホルダ１２自体の一部分であつ
てもよい。ホルダの一部分である場合電気的な接
続片は例えばホルダ１２の変形によつて接点区分
６をつかんで支持体２の端面１０に接触し、これ
によつて固定区分７を介して接点区分６へせん断
力が及ぶようなことはない。
第２図中にも示されているように、媒体流方向
１３に対して直交方向での抵抗層１の長さは両端
に接する結合層３の長さの合計の約半分又はそれ
よりも小さい。セラミツク製の支持体２は不良熱
伝導体なので、支持体２の内の結合層３を保持し
ている比較的長い範囲を介してたんに限定された
熱しか放出されず、従つて装置の応動速度は媒体
の流動速度の変化に伴つて上昇することになる。
媒体の流動量の変化に合わせた装置の応動速度の
上昇も次のようにして達成される。即ち、例えば
開口１５によつて支持体２および各結合層３の横
断面が少なくとも部分的に抵抗層１の範囲内の支
持体２の横断面に比較して減少されており、これ
によつてやはり支持体２の端面１０への熱伝導の
減少が生ずる。
１３に対して直交方向での抵抗層１の長さは両端
に接する結合層３の長さの合計の約半分又はそれ
よりも小さい。セラミツク製の支持体２は不良熱
伝導体なので、支持体２の内の結合層３を保持し
ている比較的長い範囲を介してたんに限定された
熱しか放出されず、従つて装置の応動速度は媒体
の流動速度の変化に伴つて上昇することになる。
媒体の流動量の変化に合わせた装置の応動速度の
上昇も次のようにして達成される。即ち、例えば
開口１５によつて支持体２および各結合層３の横
断面が少なくとも部分的に抵抗層１の範囲内の支
持体２の横断面に比較して減少されており、これ
によつてやはり支持体２の端面１０への熱伝導の
減少が生ずる。
電気的接続片８の接点区分６と固定区分７との
間の導電接続部は支持体の比較的低温の両端部に
位置するので、腐食作用を受けにくくなり、比較
的大きな公差を選定できる。
間の導電接続部は支持体の比較的低温の両端部に
位置するので、腐食作用を受けにくくなり、比較
的大きな公差を選定できる。
第３図に示されている実施例の場合第１図およ
び第２図の実施例を同じ作用をする部分について
は同一の符号で示されている。相違する点とし
て、支持体２と温度感応型の抵抗層１との間に薄
いガラス層１６が配置されており、このガラス層
１６は媒体の流動方向に対して直交方向で抵抗層
１よりも短かい。結合層３は個所４において抵抗
層１にオーバーラツプしていて、接点区分６にお
いてろう接又は溶接１７によつて電気的接続片８
のつめ状の固定区分７と結合されている。温度感
応型の抵抗層１および結合層３および少なくとも
部分的に電気的接続片８が共通の薄いガラス層５
によつて覆われており、このガラス層５は耐腐食
性の増大と共に、抵抗層１への流動媒体の温度の
一層一様な伝達を可能にする。電気的接続片８は
いずれも保持ウエブ１８を有していて、この保持
ウエブ１８は図示してないホルダ１２（第１図参
照）に導電結合されている。
び第２図の実施例を同じ作用をする部分について
は同一の符号で示されている。相違する点とし
て、支持体２と温度感応型の抵抗層１との間に薄
いガラス層１６が配置されており、このガラス層
１６は媒体の流動方向に対して直交方向で抵抗層
１よりも短かい。結合層３は個所４において抵抗
層１にオーバーラツプしていて、接点区分６にお
いてろう接又は溶接１７によつて電気的接続片８
のつめ状の固定区分７と結合されている。温度感
応型の抵抗層１および結合層３および少なくとも
部分的に電気的接続片８が共通の薄いガラス層５
によつて覆われており、このガラス層５は耐腐食
性の増大と共に、抵抗層１への流動媒体の温度の
一層一様な伝達を可能にする。電気的接続片８は
いずれも保持ウエブ１８を有していて、この保持
ウエブ１８は図示してないホルダ１２（第１図参
照）に導電結合されている。
発明の効果
支持体上の温度感応型の抵抗層を電気抵抗の小
さな結合層を介して支持体両端において接点接続
し、この抵抗層並びに結合層を薄いガラス層で覆
つたことにより、接点接続が確実となり、腐食作
用に対して強く、流動媒体の速度変化への高い応
動速度にもかかわらず耐用寿命の長い機能の安全
確実性が得られる。
さな結合層を介して支持体両端において接点接続
し、この抵抗層並びに結合層を薄いガラス層で覆
つたことにより、接点接続が確実となり、腐食作
用に対して強く、流動媒体の速度変化への高い応
動速度にもかかわらず耐用寿命の長い機能の安全
確実性が得られる。
第１図は本発明の装置の第１の実施例の断面
図、第２図は第２の実施例の平面図、第３図は第
３の実施例の部分断面図である。 １……抵抗層、２……支持体、３……結合層、
５……ガラス層、６……接点区分、７……固定区
分、８……電気的接続片、９……支持区分、１０
……端面、１２……ホルダ、１５……開口部、１
６……ガラス層、１７……ろう接又は溶接部、１
８……保持ウエブ。
図、第２図は第２の実施例の平面図、第３図は第
３の実施例の部分断面図である。 １……抵抗層、２……支持体、３……結合層、
５……ガラス層、６……接点区分、７……固定区
分、８……電気的接続片、９……支持区分、１０
……端面、１２……ホルダ、１５……開口部、１
６……ガラス層、１７……ろう接又は溶接部、１
８……保持ウエブ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 流動媒体の量を測定する装置であつて、媒体
流中に配置されて薄層として設けられている少な
くとも１つの温度感応型の抵抗体を備え、この抵
抗体は支持体上に支承されていて少なくとも２つ
の電気的な接続片に導電結合されており、これら
の接続片はそれぞれ前記支持体の両方の端面に接
触している形式のものにおいて、温度感応型の抵
抗層１の両方の端部側に接して支持体２上に設け
られた電気抵抗の小さい結合層３が、支持体２上
に設けられた温度感応型の抵抗層１に部分的にオ
ーバラツプしてこの抵抗層１と導電結合されてお
り、温度感応型の抵抗層１およびその両側の結合
層３は、各結合層３の抵抗層１側とは反対側の端
部における各１つの接点区分６を除いて薄いガラ
ス層５で覆われており、これら両方の接点区分６
は各１つの電気的接続片８のつめ状に屈折した固
定区分７によつてつかまれてこの固定部分７に導
電結合されていることを特徴とする、流動する媒
体の量を測定する装置。 ２ 媒体流動方向１３に対して直交方向の温度感
応型の抵抗層１の長さがこの抵抗層１の両端側に
接する結合層３の長さの合計の約半分又はそれよ
りも小さい特許請求の範囲第１項に記載の流動す
る媒体の量を測定する装置。 ３ 支持体２および各結合層３の横断面が結合層
３の範囲内において少なくとも部分的に温度感応
型の抵抗層１の範囲の支持体２の横断面に比して
減少されている特許請求の範囲第２項に記載の流
動する媒体の量を測定する装置。 ４ 支持体２と温度感応型の抵抗層１との間に薄
いガラス層１６が設けられており、このガラス層
１６は媒体流動方向に対して直交方向で抵抗層１
よりも短かい特許請求の範囲第１項に記載の流動
する媒体の量を測定する装置。 ５ 温度感応型の抵抗層１および結合層３を覆う
ガラス層５が少なくとも部分的に電気的接続片８
をも覆つている特許請求の範囲第１項に記載の流
動する媒体の量を測定する装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3328852.6 | 1983-08-10 | ||
| DE19833328852 DE3328852A1 (de) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6044829A JPS6044829A (ja) | 1985-03-11 |
| JPH0422208B2 true JPH0422208B2 (ja) | 1992-04-16 |
Family
ID=6206222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59152194A Granted JPS6044829A (ja) | 1983-08-10 | 1984-07-24 | 流動媒体の量を測定する装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4554829A (ja) |
| EP (1) | EP0133479B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6044829A (ja) |
| AT (1) | ATE33188T1 (ja) |
| AU (1) | AU565471B2 (ja) |
| BR (1) | BR8403979A (ja) |
| DE (2) | DE3328852A1 (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60236024A (ja) * | 1984-05-09 | 1985-11-22 | Nippon Soken Inc | 直熱型空気流量センサ |
| JPS61178614A (ja) * | 1985-02-02 | 1986-08-11 | Nippon Soken Inc | 直熱型流量センサ |
| DE3604202C2 (de) * | 1985-02-14 | 1997-01-09 | Nippon Denso Co | Direkt beheizte Strömungsmeßvorrichtung |
| DE3606850A1 (de) * | 1986-03-03 | 1987-09-10 | Vdo Schindling | Anordnung zur messung der stroemungsgeschwindigkeit |
| GB2196433B (en) * | 1986-10-08 | 1990-10-24 | Hitachi Ltd | Hot element air flow meter |
| DE8903370U1 (de) * | 1989-03-17 | 1990-07-19 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Sensorteil zum Erfassen der Temperatur von strömenden Gasen |
| JP2564415B2 (ja) * | 1990-04-18 | 1996-12-18 | 株式会社日立製作所 | 空気流量検出器 |
| JPH0416323U (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-10 | ||
| US5094105A (en) * | 1990-08-20 | 1992-03-10 | General Motors Corporation | Optimized convection based mass airflow sensor |
| JPH05215583A (ja) * | 1992-02-04 | 1993-08-24 | Mitsubishi Electric Corp | 感熱式流量センサ |
| JPH0674804A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-18 | Mitsubishi Electric Corp | 感熱式流量センサ |
| JP3701139B2 (ja) * | 1999-05-17 | 2005-09-28 | アルプス電気株式会社 | プリント配線基板とそれを用いたスイッチ |
| JP3461469B2 (ja) * | 1999-07-27 | 2003-10-27 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量センサ及び内燃機関制御装置 |
| US20050226779A1 (en) | 2003-09-19 | 2005-10-13 | Oldham Mark F | Vacuum assist for a microplate |
| US20050221358A1 (en) * | 2003-09-19 | 2005-10-06 | Carrillo Albert L | Pressure chamber clamp mechanism |
| JP2008071991A (ja) | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
| CN111693101B (zh) * | 2020-07-31 | 2021-08-13 | 中国科学技术大学 | 基于形变弯曲接触的流速传感器 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2003625A (en) * | 1932-03-04 | 1935-06-04 | Globar Corp | Terminal connection for electric heating elements |
| US3044901A (en) * | 1958-10-27 | 1962-07-17 | Welwyn Electric Ltd | Process for the production of electrical resistors and resulting article |
| US3244559A (en) * | 1961-03-07 | 1966-04-05 | Texas Instruments Inc | Modified carbon film resistor and method of making |
| US3293587A (en) * | 1965-10-20 | 1966-12-20 | Sprague Electric Co | Electrical resistor and the like |
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