JPH04223886A - 研磨方法および研磨装置 - Google Patents
研磨方法および研磨装置Info
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- JPH04223886A JPH04223886A JP8581591A JP8581591A JPH04223886A JP H04223886 A JPH04223886 A JP H04223886A JP 8581591 A JP8581591 A JP 8581591A JP 8581591 A JP8581591 A JP 8581591A JP H04223886 A JPH04223886 A JP H04223886A
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Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワークの主表面を研磨
する研磨装置等に使用して好適なロボットハンドに関す
るものである。
する研磨装置等に使用して好適なロボットハンドに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、フォトマスクブランク用ガラス基
板やセラミックス等の板状物を研磨加工する加工機に使
用されるロボットハンドとしては図８（ａ）〜（ｄ）に
示すように構成されたものが知られている。すなわち、
このロボットハンド１は、開閉自在な２つの把持部材２
、３で定盤５上の基板４を把持するもので、各把持部材
２、３はフレーム６の両側に接近離間自在に対向して配
置され、その基部に設けた支軸７、８がフレームに内蔵
された、例えば特開平１−２２２８２号公報等に開示さ
れた駆動装置によって動作されるように構成されており
、接近時に各把持部材２、３の先端部内側面に対設され
たつかみ爪９、１０が定盤５の表面に密接した状態で基
板４の互いに対向する１組の側面近傍の周縁部を把持す
る。各つかみ爪９、１０の内側面にはワーク把持部とし
てのＶ字状の凹部１１、１２がそれぞれ水平方向に形成
され、基板４の把持動作は該凹部１１、１２の下側斜面
１１ａ、１２ａにより基板４を定盤５からすくい上げる
形で行なわれる。なお、１４はフレーム６を作業範囲内
の任意の位置に移動させるロボットハンド１のアームで
ある。
板やセラミックス等の板状物を研磨加工する加工機に使
用されるロボットハンドとしては図８（ａ）〜（ｄ）に
示すように構成されたものが知られている。すなわち、
このロボットハンド１は、開閉自在な２つの把持部材２
、３で定盤５上の基板４を把持するもので、各把持部材
２、３はフレーム６の両側に接近離間自在に対向して配
置され、その基部に設けた支軸７、８がフレームに内蔵
された、例えば特開平１−２２２８２号公報等に開示さ
れた駆動装置によって動作されるように構成されており
、接近時に各把持部材２、３の先端部内側面に対設され
たつかみ爪９、１０が定盤５の表面に密接した状態で基
板４の互いに対向する１組の側面近傍の周縁部を把持す
る。各つかみ爪９、１０の内側面にはワーク把持部とし
てのＶ字状の凹部１１、１２がそれぞれ水平方向に形成
され、基板４の把持動作は該凹部１１、１２の下側斜面
１１ａ、１２ａにより基板４を定盤５からすくい上げる
形で行なわれる。なお、１４はフレーム６を作業範囲内
の任意の位置に移動させるロボットハンド１のアームで
ある。
【０００３】以上の構成により不図示の制御装置に指令
をインプットしておくことにより、ロボットハンド１は
この指令に基づいて動作し、つかみ爪９、１０により基
板４の周縁部を把持し、該基板４を定盤５から上方に離
間搬送したり、または基板４を定盤５上に載置すること
ができる。
をインプットしておくことにより、ロボットハンド１は
この指令に基づいて動作し、つかみ爪９、１０により基
板４の周縁部を把持し、該基板４を定盤５から上方に離
間搬送したり、または基板４を定盤５上に載置すること
ができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、基板４を特
に高精度に研磨した後は、基板４における研磨済面との
間に、研磨の際供給される研磨液が流入し、この研磨液
の表面張力の影響により基板４と定盤５とが強固に密着
している。このような状態で定盤５上に載置された基板
４をつかみ爪９、１０で把持しようとすると、つかみ爪
９、１０の各々の先端部が基板４と定盤５との間に挿入
され難くなり、結果としてロボットハンド１により基板
４の把持をし損じる回数が多くなるという問題があった
。また、基板４と定盤５との密着力に抗して把持力を、
支軸７、８の駆動装置のパワーアップにより得ようとす
ると、基板４を損傷させるという新たな問題を生じる。
に高精度に研磨した後は、基板４における研磨済面との
間に、研磨の際供給される研磨液が流入し、この研磨液
の表面張力の影響により基板４と定盤５とが強固に密着
している。このような状態で定盤５上に載置された基板
４をつかみ爪９、１０で把持しようとすると、つかみ爪
９、１０の各々の先端部が基板４と定盤５との間に挿入
され難くなり、結果としてロボットハンド１により基板
４の把持をし損じる回数が多くなるという問題があった
。また、基板４と定盤５との密着力に抗して把持力を、
支軸７、８の駆動装置のパワーアップにより得ようとす
ると、基板４を損傷させるという新たな問題を生じる。
【０００５】したがって、本発明は上記したような従来
の問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするとこ
ろは、比較的簡単な構成で定盤上のワークを損傷するこ
となく適確に把持することができるようにしたロボット
ハンドを提供することにある。
の問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするとこ
ろは、比較的簡単な構成で定盤上のワークを損傷するこ
となく適確に把持することができるようにしたロボット
ハンドを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するためになされたもので、その第１の発明は、ワーク
を把持して定盤上に載置または定盤から離間させるロボ
ットハンドにおいて、前記ワークを把持して定盤から離
間させる時、前記ワークと定盤との密着力を低減すべく
、前記定盤表面に流体をワーク側面の下端部近傍に向か
って進行するよう噴出する噴出手段を設けたものである
。また、第２の発明は、上記第１の発明において、ワー
クの上下側端縁を把持するつかみ爪のワーク把持部が略
Ｖ字状の凹部からなり、この凹部はワークの下側端縁に
設けられた面取り面と実質的に平行な第１傾斜面と、ワ
ークの上側端縁に設けられた面取り面と実質的に平行な
第２傾斜面と、つかみ爪の下面のワーク側端と前記第１
傾斜面とを直接または間接的に接続し前記下面に対する
傾斜角が前記１傾斜面より鋭角である第３傾斜面とを備
えているものである。
するためになされたもので、その第１の発明は、ワーク
を把持して定盤上に載置または定盤から離間させるロボ
ットハンドにおいて、前記ワークを把持して定盤から離
間させる時、前記ワークと定盤との密着力を低減すべく
、前記定盤表面に流体をワーク側面の下端部近傍に向か
って進行するよう噴出する噴出手段を設けたものである
。また、第２の発明は、上記第１の発明において、ワー
クの上下側端縁を把持するつかみ爪のワーク把持部が略
Ｖ字状の凹部からなり、この凹部はワークの下側端縁に
設けられた面取り面と実質的に平行な第１傾斜面と、ワ
ークの上側端縁に設けられた面取り面と実質的に平行な
第２傾斜面と、つかみ爪の下面のワーク側端と前記第１
傾斜面とを直接または間接的に接続し前記下面に対する
傾斜角が前記１傾斜面より鋭角である第３傾斜面とを備
えているものである。
【０００７】
【作用】本発明において、噴出手段は定盤表面にワーク
側面の下端部近傍に向かって進行する流体を噴出するこ
とで、ワークと定盤との密着力を低減することができる
。例えば、流体として気体を用いた場合、ワークと定盤
との間に介在する研磨液を部分的に除去し、この結果、
表面張力が低減するので、ワークと定盤との密着力が低
減する。また、流体として液体を用いた場合、ワークに
定盤から離間する方向に力を付与することができ、ワー
クと定盤との密着力が低減する。第１および第２の傾斜
面は、ワークの上下側端縁に設けられた面取り面に密接
し把持する。第３傾斜面はつかみ爪の下面に対する傾斜
角が第１傾斜面より鋭角で、下面と共にエッジを形成し
、ワークと定盤との間に容易に挿入される。
側面の下端部近傍に向かって進行する流体を噴出するこ
とで、ワークと定盤との密着力を低減することができる
。例えば、流体として気体を用いた場合、ワークと定盤
との間に介在する研磨液を部分的に除去し、この結果、
表面張力が低減するので、ワークと定盤との密着力が低
減する。また、流体として液体を用いた場合、ワークに
定盤から離間する方向に力を付与することができ、ワー
クと定盤との密着力が低減する。第１および第２の傾斜
面は、ワークの上下側端縁に設けられた面取り面に密接
し把持する。第３傾斜面はつかみ爪の下面に対する傾斜
角が第１傾斜面より鋭角で、下面と共にエッジを形成し
、ワークと定盤との間に容易に挿入される。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて
詳細に説明する。図１（ａ）、（ｂ）は本発明に係るロ
ボットハンドの一実施例を示す非把持時の正面図および
一部破断側面図、図２は把持直前の正面図、図３は把持
した状態の正面図、図４は要部拡大図、図５はノズルの
斜視図である。なお、図中図８と同一構成部品のものに
対しては同一符号を以て示し、その説明を省略する。こ
れらの図において、本発明の特徴は、基板４の裏面と定
盤５の表面との間につかみ爪９、１０を挿入し易くする
ため、基板４の互いに対向する側面４ａ、４ｂの下端部
と定盤５の表面とのなす角部２１（図４参照）に向けて
圧縮空気（圧力３〜４Ｋｇ／ｃｍ２ ）２２を噴出する
噴出手段２３、２４を各つかみ爪９、１０に対応して配
設したことにある。
詳細に説明する。図１（ａ）、（ｂ）は本発明に係るロ
ボットハンドの一実施例を示す非把持時の正面図および
一部破断側面図、図２は把持直前の正面図、図３は把持
した状態の正面図、図４は要部拡大図、図５はノズルの
斜視図である。なお、図中図８と同一構成部品のものに
対しては同一符号を以て示し、その説明を省略する。こ
れらの図において、本発明の特徴は、基板４の裏面と定
盤５の表面との間につかみ爪９、１０を挿入し易くする
ため、基板４の互いに対向する側面４ａ、４ｂの下端部
と定盤５の表面とのなす角部２１（図４参照）に向けて
圧縮空気（圧力３〜４Ｋｇ／ｃｍ２ ）２２を噴出する
噴出手段２３、２４を各つかみ爪９、１０に対応して配
設したことにある。
【０００９】前記各噴出手段２３、２４は、先端に基板
４の下端部と定盤５の表面とのなす角部２１に向けて圧
縮空気２２を噴出する扁平なノズル２５が設けられたパ
イプ２６、一端が不図示のコンプレッサに接続されたチ
ューブ２７、チューブ２７と前記パイプ２６を接続する
中継部材２８、エルボ２９およびニップル３０、３１等
で構成されている。パイプ２６は銅製で、直径５ｍｍ程
度とされる。パイプ２６の基端部はエルボ２９にニップ
ル３１を介して接続されている。エルボ２９は水平面内
においてＬ字状に屈曲しており、基端部を把持部材２、
３の上面に配設された中継部材２８の外側面に接続され
ている。中継部材２８の上面には、一端を不図示のコン
プレッサに接続されたチューブ２７の他端がニップル３
０を介して接続されている。そして、中継部材２８の内
部にはチューブ２７から送られてきた圧縮空気２２をエ
ルボ２９に導く流路が形成されている。
４の下端部と定盤５の表面とのなす角部２１に向けて圧
縮空気２２を噴出する扁平なノズル２５が設けられたパ
イプ２６、一端が不図示のコンプレッサに接続されたチ
ューブ２７、チューブ２７と前記パイプ２６を接続する
中継部材２８、エルボ２９およびニップル３０、３１等
で構成されている。パイプ２６は銅製で、直径５ｍｍ程
度とされる。パイプ２６の基端部はエルボ２９にニップ
ル３１を介して接続されている。エルボ２９は水平面内
においてＬ字状に屈曲しており、基端部を把持部材２、
３の上面に配設された中継部材２８の外側面に接続され
ている。中継部材２８の上面には、一端を不図示のコン
プレッサに接続されたチューブ２７の他端がニップル３
０を介して接続されている。そして、中継部材２８の内
部にはチューブ２７から送られてきた圧縮空気２２をエ
ルボ２９に導く流路が形成されている。
【００１０】フレーム６は図１（ｂ）に示すようにアー
ム１４の下端部に設けたスプライン軸３５に上下動自在
に連結され、またこのスプライン軸３５には前記フレー
ム６を下方に付勢する反力吸収手段としての圧縮コイル
バネ３６が弾装されている。スプライン軸３５は前記フ
レーム６の一端部に配設されたＴ字型部材の軸受孔３７
に相対摺動自在に嵌合され、下端には抜け防止用の鍔３
８が一体に設けられている。その他の構成は図８に示し
た従来構造と略同様である。
ム１４の下端部に設けたスプライン軸３５に上下動自在
に連結され、またこのスプライン軸３５には前記フレー
ム６を下方に付勢する反力吸収手段としての圧縮コイル
バネ３６が弾装されている。スプライン軸３５は前記フ
レーム６の一端部に配設されたＴ字型部材の軸受孔３７
に相対摺動自在に嵌合され、下端には抜け防止用の鍔３
８が一体に設けられている。その他の構成は図８に示し
た従来構造と略同様である。
【００１１】本実施例はワークとしてガラス、石英等に
よって方形の板状体に形成されたフォトマスクブランク
用の基板４に適用した場合を示す。基板４は外形が１２
．７ｃｍ角、厚みが２．２ｍｍで、すべての稜線には０
．６ｍｍ程度の面取り面（図４参照）３９ａ、３９ｂが
４５°の傾斜角度をもって施されている。
よって方形の板状体に形成されたフォトマスクブランク
用の基板４に適用した場合を示す。基板４は外形が１２
．７ｃｍ角、厚みが２．２ｍｍで、すべての稜線には０
．６ｍｍ程度の面取り面（図４参照）３９ａ、３９ｂが
４５°の傾斜角度をもって施されている。
【００１２】次に、上記構成からなるロボットハンドの
把持動作を説明する。基板４の研磨は定盤５の表面上に
基板４を配置し、酸化アルミナ等の粉末を溶質とする研
磨液を供給しながら基板裏面を研磨し、最大粗さ２ミク
ロン程度の鏡面に仕上げる。したがって、研磨後の状態
においては基板４の裏面と定盤５の表面との間には研磨
液が入り込んでいるため、表面張力の影響により基板４
と定盤５とは密着している。
把持動作を説明する。基板４の研磨は定盤５の表面上に
基板４を配置し、酸化アルミナ等の粉末を溶質とする研
磨液を供給しながら基板裏面を研磨し、最大粗さ２ミク
ロン程度の鏡面に仕上げる。したがって、研磨後の状態
においては基板４の裏面と定盤５の表面との間には研磨
液が入り込んでいるため、表面張力の影響により基板４
と定盤５とは密着している。
【００１３】次に、基板４をロボットハンドで把持する
ため、アーム１４を図１の状態から下降させてつかみ爪
９、１０の下面を定盤５の表面に当接させる。図２はこ
の当接した状態を示す。この時、つかみ爪９、１０から
基板４の端部までの距離ｄは５ｍｍ程度である。具体的
に述べると、アーム１４の下降量は把持部材２、３の初
期位置から定盤５までの距離Ｌより若干（２〜３ｍｍ程
度）大きく設定されているので、アーム１４が所定スト
ローク下降すると、つかみ爪９、１０は定盤５の表面に
押し付けられ、この時の反力はフレーム６がスプライン
３５に沿って上昇し圧縮コイルバネ３６を圧縮すること
で吸収される。
ため、アーム１４を図１の状態から下降させてつかみ爪
９、１０の下面を定盤５の表面に当接させる。図２はこ
の当接した状態を示す。この時、つかみ爪９、１０から
基板４の端部までの距離ｄは５ｍｍ程度である。具体的
に述べると、アーム１４の下降量は把持部材２、３の初
期位置から定盤５までの距離Ｌより若干（２〜３ｍｍ程
度）大きく設定されているので、アーム１４が所定スト
ローク下降すると、つかみ爪９、１０は定盤５の表面に
押し付けられ、この時の反力はフレーム６がスプライン
３５に沿って上昇し圧縮コイルバネ３６を圧縮すること
で吸収される。
【００１４】次に、この押圧状態で把持部材２、３をフ
レーム内蔵のエアシリンダ等の駆動装置によって内側に
移動させると共に、図４に示すようにコンプレッサから
供給される圧縮空気２２を各噴出手段２３、２４のノズ
ル２５から基板４の側面４ａ、４ｂと定盤５とのなす角
部２１に向けて噴出させる。すると、基板４の周縁部と
定盤５との間の一部研磨液が部分的に除去されて表面張
力が低減する。この結果、基板４と定盤５との密着力が
低減するので、つかみ爪９、１０の先端部を基板４の裏
面と定盤５の表面との間に容易に挿入することができ、
所定ストローク内側に移動することで、図３に示すよう
につかみ爪９、１０のＶ字状凹部１１、１２が基板４を
把持する。しかる後、ロボットハンドは制御部からの指
令に基づき把持した基板４を定盤５から所定の位置へ移
動させる。
レーム内蔵のエアシリンダ等の駆動装置によって内側に
移動させると共に、図４に示すようにコンプレッサから
供給される圧縮空気２２を各噴出手段２３、２４のノズ
ル２５から基板４の側面４ａ、４ｂと定盤５とのなす角
部２１に向けて噴出させる。すると、基板４の周縁部と
定盤５との間の一部研磨液が部分的に除去されて表面張
力が低減する。この結果、基板４と定盤５との密着力が
低減するので、つかみ爪９、１０の先端部を基板４の裏
面と定盤５の表面との間に容易に挿入することができ、
所定ストローク内側に移動することで、図３に示すよう
につかみ爪９、１０のＶ字状凹部１１、１２が基板４を
把持する。しかる後、ロボットハンドは制御部からの指
令に基づき把持した基板４を定盤５から所定の位置へ移
動させる。
【００１５】なお、上記実施例は噴出手段２３、２４か
ら噴出する流体として圧縮空気２２を用いたが、これに
限らず水などの液体あるいは気体と液体との混合流体で
あってもよい。また、本実施例は噴出手段２３、２４の
パイプ２６をつかみ爪９、１０の前方にその先端、すな
わちノズル２５部が位置するように配置したが、つかみ
爪９、１０の後方でもよいし、更につかみ爪９、１０の
内部に流路を形成し、ノズルをつかみ爪９、１０のＶ字
状凹部１１、１２に開口させてもよい。更にまた、本実
施例はつかみ爪９、１０が定盤５に当接した時に噴出手
段２３、２４から圧縮空気２２が噴出するように空気を
制御したが、例えばつかみ爪９、１０が定盤５の表面上
を摺動して基板４に接するすこし前または接した時に圧
縮空気が噴出するようにしてもよい。また、噴出する流
体は基板４と定盤５とのなす角部２１に必ずしも向かう
必要はなく、例えば流体と定盤５の表面に当たってしか
る後、前記角部２１に向かうようにしてワークと定盤と
の密着力を低減させるようにしてもよい。
ら噴出する流体として圧縮空気２２を用いたが、これに
限らず水などの液体あるいは気体と液体との混合流体で
あってもよい。また、本実施例は噴出手段２３、２４の
パイプ２６をつかみ爪９、１０の前方にその先端、すな
わちノズル２５部が位置するように配置したが、つかみ
爪９、１０の後方でもよいし、更につかみ爪９、１０の
内部に流路を形成し、ノズルをつかみ爪９、１０のＶ字
状凹部１１、１２に開口させてもよい。更にまた、本実
施例はつかみ爪９、１０が定盤５に当接した時に噴出手
段２３、２４から圧縮空気２２が噴出するように空気を
制御したが、例えばつかみ爪９、１０が定盤５の表面上
を摺動して基板４に接するすこし前または接した時に圧
縮空気が噴出するようにしてもよい。また、噴出する流
体は基板４と定盤５とのなす角部２１に必ずしも向かう
必要はなく、例えば流体と定盤５の表面に当たってしか
る後、前記角部２１に向かうようにしてワークと定盤と
の密着力を低減させるようにしてもよい。
【００１６】図６はつかみ爪の他の実施例を示す斜視図
である。この実施例は基板４の裏面と定盤表面との間に
つかみ爪９（爪１０も同様）を挿入し易くするため、つ
かみ爪９に４つの斜面、すなわち基板４の下側端縁に設
けられた面取り面３９ａと平行な第１下側斜面（第１傾
斜面）５０と、基板４の上側端縁に設けられた面取り面
３９ｂと平行で前記第１下側斜面５０と直交する第１上
側斜面（第２傾斜面）５１と、つかみ爪９の下面５２の
基板側端縁５２ａと前記第１下側斜面５０とを接続し前
記下面５１に対する傾斜角Θが前記第１下側斜面５０の
傾斜角度α（４５°）より鋭角（例：３０°）で、前記
下面５２と共にエッジ５３を形成する第２下側斜面（第
３傾斜面）５４と、つかみ爪９の上面５５の基板側端縁
５６ａと前記第１上側斜面５１とを接続し前記上面５５
に対する傾斜角βが前記第１上側斜面５１の傾斜角度γ
（４５°）より鋭角（３０°）で、前記上面５５と共に
エッジ５７を形成する第２上側斜面（第４傾斜面）５８
とからなる略Ｖ字状の凹部１１を設けたものである。な
お、つかみ爪９の材質としては、ポリエステル・エーテ
ル・ケトン等の樹脂が使用される。
である。この実施例は基板４の裏面と定盤表面との間に
つかみ爪９（爪１０も同様）を挿入し易くするため、つ
かみ爪９に４つの斜面、すなわち基板４の下側端縁に設
けられた面取り面３９ａと平行な第１下側斜面（第１傾
斜面）５０と、基板４の上側端縁に設けられた面取り面
３９ｂと平行で前記第１下側斜面５０と直交する第１上
側斜面（第２傾斜面）５１と、つかみ爪９の下面５２の
基板側端縁５２ａと前記第１下側斜面５０とを接続し前
記下面５１に対する傾斜角Θが前記第１下側斜面５０の
傾斜角度α（４５°）より鋭角（例：３０°）で、前記
下面５２と共にエッジ５３を形成する第２下側斜面（第
３傾斜面）５４と、つかみ爪９の上面５５の基板側端縁
５６ａと前記第１上側斜面５１とを接続し前記上面５５
に対する傾斜角βが前記第１上側斜面５１の傾斜角度γ
（４５°）より鋭角（３０°）で、前記上面５５と共に
エッジ５７を形成する第２上側斜面（第４傾斜面）５８
とからなる略Ｖ字状の凹部１１を設けたものである。な
お、つかみ爪９の材質としては、ポリエステル・エーテ
ル・ケトン等の樹脂が使用される。
【００１７】このような構成においては、つかみ爪９の
下側エッジ部５３を基板４と定盤の間により一層容易に
進入させることができ、基板４の保持が確実である。
下側エッジ部５３を基板４と定盤の間により一層容易に
進入させることができ、基板４の保持が確実である。
【００１８】図７はつかみ爪のさらに他の実施例を示す
側面図である。この実施例は図６に示した第２上側斜面
５８を省略し、第１下側斜面（第１傾斜面）５０、第２
下側斜面（第３傾斜面）５４および第１上側斜面（第２
傾斜面）５１とで略Ｖ字状の凹部１１を形成し、下側エ
ッジ部５３を上側エッジ部５７より前方へ延在させたも
のである。
側面図である。この実施例は図６に示した第２上側斜面
５８を省略し、第１下側斜面（第１傾斜面）５０、第２
下側斜面（第３傾斜面）５４および第１上側斜面（第２
傾斜面）５１とで略Ｖ字状の凹部１１を形成し、下側エ
ッジ部５３を上側エッジ部５７より前方へ延在させたも
のである。
【００１９】このような構成においても上記実施例と同
様、つかみ爪９の下側エッジ部５３を基板４と定盤の間
に容易に進入させることができ、基板４を確実に把持す
ることができるものである。
様、つかみ爪９の下側エッジ部５３を基板４と定盤の間
に容易に進入させることができ、基板４を確実に把持す
ることができるものである。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るロボッ
トハンドは、つかみ爪によって定盤上のワークを把持す
る際、噴出出段によって流体をワークに向けて噴出し、
ワークと定盤との密着力を低減させるように構成したの
で、つかみ爪によってワークを容易に且つ確実に把持す
ることができ、また把持するための力を大きくする必要
がないため、ワークの損傷を防止することができる。ま
た、つかみ爪のワーク把持部を、ワークの上下側端縁に
設けられた面取り面に密接する第１および第２傾斜面と
、つかみ爪の下面に対する傾斜角が第１傾斜面より鋭角
で、下面と共にエッジを形成する第３傾斜面とからなる
略Ｖ字状の凹部で構成したので、ワークと定盤との間に
つかみ爪を容易に挿入することができ、ワークの把持が
確実である。
トハンドは、つかみ爪によって定盤上のワークを把持す
る際、噴出出段によって流体をワークに向けて噴出し、
ワークと定盤との密着力を低減させるように構成したの
で、つかみ爪によってワークを容易に且つ確実に把持す
ることができ、また把持するための力を大きくする必要
がないため、ワークの損傷を防止することができる。ま
た、つかみ爪のワーク把持部を、ワークの上下側端縁に
設けられた面取り面に密接する第１および第２傾斜面と
、つかみ爪の下面に対する傾斜角が第１傾斜面より鋭角
で、下面と共にエッジを形成する第３傾斜面とからなる
略Ｖ字状の凹部で構成したので、ワークと定盤との間に
つかみ爪を容易に挿入することができ、ワークの把持が
確実である。
【図１】（ａ）、（ｂ）は本発明に係るロボットハンド
の一実施例を示す非把持時の正面図および一部破断側面
図である。
の一実施例を示す非把持時の正面図および一部破断側面
図である。
【図２】把持直前の正面図である。
【図３】把持した状態の正面図である。
【図４】要部拡大図である。
【図５】ノズルの斜視図である。
【図６】つかみ爪の他の実施例を示す斜視図である。
【図７】つかみ爪のさらに他の実施例を示す斜視図であ
る。
る。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は従来のロボットハンドを示す
平面図、側面図、把持状態の正面図および把持直前の正
面図である。
平面図、側面図、把持状態の正面図および把持直前の正
面図である。
１ ロボットハンド
２、３ 把持部材
４ 基板
４ａ、４ｂ 側面
５ 定盤
６ フレーム
９、１０ つかみ爪
１１、１２ 凹部
２２ 圧縮空気
２３、２４ 噴出手段
２５ ノズル
３９ａ、３９ｂ 面取り面
５０ 第１下側斜面（第１傾斜面）
５１ 第１上側斜面（第２傾斜面）
５２ 下面
５３ エッジ
５４ 第２下側斜面（第３傾斜面）
５７ エッジ
５８ 第２上側斜面（第４傾斜面）
Claims (2)
- 【請求項１】 ワークを把持して定盤上に載置または
定盤から離間させるロボットハンドにおいて、前記ワー
クを把持して定盤から離間させる時、前記ワークと定盤
との密着力を低減すべく、前記定盤表面に流体をワーク
側面の下端部近傍に向かって進行するよう噴出する噴出
手段を設けたことを特徴とするロボットハンド。 - 【請求項２】 請求項１記載のロボットハンドにおい
て、ワークの上下側端縁を把持するつかみ爪のワーク把
持部が略Ｖ字状の凹部からなり、この凹部はワークの下
側端縁に設けられた面取り面と実質的に平行な第１傾斜
面と、ワークの上側端縁に設けられた面取り面と実質的
に平行な第２傾斜面と、つかみ爪の下面のワーク側端と
前記第１傾斜面とを直接また間接的に接続し前記下面に
対する傾斜角が前記第１傾斜面より鋭角である第３傾斜
面とを備えていることを特徴とするロボットハンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8581591A JP3338937B2 (ja) | 1990-03-29 | 1991-03-27 | 研磨方法および研磨装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7888690 | 1990-03-29 | ||
| JP2-78886 | 1990-03-29 | ||
| JP8581591A JP3338937B2 (ja) | 1990-03-29 | 1991-03-27 | 研磨方法および研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04223886A true JPH04223886A (ja) | 1992-08-13 |
| JP3338937B2 JP3338937B2 (ja) | 2002-10-28 |
Family
ID=26419948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8581591A Expired - Lifetime JP3338937B2 (ja) | 1990-03-29 | 1991-03-27 | 研磨方法および研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3338937B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013010150A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Yaskawa Electric Corp | ロボット及びロボットハンド |
| JP2013193130A (ja) * | 2012-03-15 | 2013-09-30 | Seiko Epson Corp | ロボットハンド、ロボット装置及びロボットハンドの駆動方法 |
| WO2018186134A1 (ja) * | 2017-04-03 | 2018-10-11 | ソニー株式会社 | ロボット装置、電子機器の製造装置及び製造方法 |
-
1991
- 1991-03-27 JP JP8581591A patent/JP3338937B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013010150A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Yaskawa Electric Corp | ロボット及びロボットハンド |
| US8857875B2 (en) | 2011-06-28 | 2014-10-14 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Robot and robot hand |
| JP2013193130A (ja) * | 2012-03-15 | 2013-09-30 | Seiko Epson Corp | ロボットハンド、ロボット装置及びロボットハンドの駆動方法 |
| WO2018186134A1 (ja) * | 2017-04-03 | 2018-10-11 | ソニー株式会社 | ロボット装置、電子機器の製造装置及び製造方法 |
| US11413765B2 (en) | 2017-04-03 | 2022-08-16 | Sony Corporation | Robotic device, production device for electronic apparatus, and production method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3338937B2 (ja) | 2002-10-28 |
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