JPH04229691A - 多層配線基板 - Google Patents
多層配線基板Info
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- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばLSI及び部
品などを高密度・高集積に実装するための配線基板とそ
の製造方法に関するものである。
品などを高密度・高集積に実装するための配線基板とそ
の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図9は、「機能回路用セラミック基板」
、第57頁(工業調査会発行,1985年8月10日)
や、「ハイブリッドマイクロエレクトロニクスハンドブ
ック」、第56頁(工業調査会発行,1989年8月2
0日)などに記載されている従来の配線基板を示す断面
図である。 図において、31は支持基板、32は配線層、33は第
1の導体、34は絶縁体、35はスルホール、36はピ
ン、37は第2の導体である。配線層32は第1の導体
33と絶縁体34を有する構成になっている。
、第57頁(工業調査会発行,1985年8月10日)
や、「ハイブリッドマイクロエレクトロニクスハンドブ
ック」、第56頁(工業調査会発行,1989年8月2
0日)などに記載されている従来の配線基板を示す断面
図である。 図において、31は支持基板、32は配線層、33は第
1の導体、34は絶縁体、35はスルホール、36はピ
ン、37は第2の導体である。配線層32は第1の導体
33と絶縁体34を有する構成になっている。
【0003】従来の配線基板は上記のように構成され、
その製造方法は基板31上にスルホール35と第2の導
体37が形成される。この基板31上に第1の導体33
がめっきあるいはスパッタ等の成膜技術により、また、
絶縁体34が写真製版技術とエッチング技術によりそれ
ぞれ形成され、配線層32を構成する。第1の導体33
には例えば銅、絶縁体34には例えばポリイミドが通常
用いられる。第1の導体33と第2の導体37は電気的
に接続されている。次に、支持基板31にピン36を接
合する。第2の導体37はピン36と電気的に接続され
ている。入出力信号はピン36を通して配線基板に入出
力される。
その製造方法は基板31上にスルホール35と第2の導
体37が形成される。この基板31上に第1の導体33
がめっきあるいはスパッタ等の成膜技術により、また、
絶縁体34が写真製版技術とエッチング技術によりそれ
ぞれ形成され、配線層32を構成する。第1の導体33
には例えば銅、絶縁体34には例えばポリイミドが通常
用いられる。第1の導体33と第2の導体37は電気的
に接続されている。次に、支持基板31にピン36を接
合する。第2の導体37はピン36と電気的に接続され
ている。入出力信号はピン36を通して配線基板に入出
力される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の配
線基板及びその製造方法では、ピン36は直径約0.5
mm 程度以上あり、支持基板31面上に多数並べるこ
とは困難であるため、配線基板上に搭載される部品数が
制限されることと、ピン36を一括して支持基板31に
接合する上で治具が必要なため、それぞれの配線パター
ンごとに治具を用意しなければならないという問題点が
あった。
線基板及びその製造方法では、ピン36は直径約0.5
mm 程度以上あり、支持基板31面上に多数並べるこ
とは困難であるため、配線基板上に搭載される部品数が
制限されることと、ピン36を一括して支持基板31に
接合する上で治具が必要なため、それぞれの配線パター
ンごとに治具を用意しなければならないという問題点が
あった。
【0005】この発明は、かかる問題点を解決するため
になされたものであり、生産性良く多数の入出力端子を
有して高密度実装できる配線基板を得ることを目的とし
ており、さらにこの配線基板の製造方法を提供すること
を目的とする。
になされたものであり、生産性良く多数の入出力端子を
有して高密度実装できる配線基板を得ることを目的とし
ており、さらにこの配線基板の製造方法を提供すること
を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係る配線板に
おいては、支持基板、及び導体と絶縁体とを有し、支持
基板からその周辺部がはみ出るように設けた配線層を備
え、配線層のはみ出し部に入出力端子として導体が露出
するように構成したものである。
おいては、支持基板、及び導体と絶縁体とを有し、支持
基板からその周辺部がはみ出るように設けた配線層を備
え、配線層のはみ出し部に入出力端子として導体が露出
するように構成したものである。
【0007】また、略断面U字状に形成された支持基板
、導体と絶縁体を有し、支持基板からその周辺部がはみ
出るように支持基板に沿って設けられた配線層を備え、
配線層の周辺部に入出力端子として導体が露出するよう
に構成したものである。
、導体と絶縁体を有し、支持基板からその周辺部がはみ
出るように支持基板に沿って設けられた配線層を備え、
配線層の周辺部に入出力端子として導体が露出するよう
に構成したものである。
【0008】また、略断面U字状に形成された支持基板
、導体と絶縁体を有し、支持基板からその周辺部がはみ
出るように支持基板に沿って設けられた配線層を備え、
配線層の周辺部に入出力端子として導体が露出するよう
に構成した配線基板を複数個多段積みし、且つ一方の配
線基板に形成された入出力端子を他方の配線基板の配線
層上面に露出して形成された導体に接続したものである
。
、導体と絶縁体を有し、支持基板からその周辺部がはみ
出るように支持基板に沿って設けられた配線層を備え、
配線層の周辺部に入出力端子として導体が露出するよう
に構成した配線基板を複数個多段積みし、且つ一方の配
線基板に形成された入出力端子を他方の配線基板の配線
層上面に露出して形成された導体に接続したものである
。
【0009】また、この発明に係る配線基板の製造方法
においては、支持基板上に、導体と絶縁体とを有する配
線層を形成し、配線層が形成された支持基板の周辺部を
除去し、配線層の導体を支持基板の周辺部で露出して入
出力端子として用いるようにしたものである。
においては、支持基板上に、導体と絶縁体とを有する配
線層を形成し、配線層が形成された支持基板の周辺部を
除去し、配線層の導体を支持基板の周辺部で露出して入
出力端子として用いるようにしたものである。
【0010】また、支持基板上に、導体と絶縁体とを有
する配線層を形成し、上記配線層が形成された支持基板
の周辺部を除去し、上記配線層の導体を上記支持基板の
周辺部で露出すると共に、上記支持基板を略断面U字状
に変形するようにしたものである。
する配線層を形成し、上記配線層が形成された支持基板
の周辺部を除去し、上記配線層の導体を上記支持基板の
周辺部で露出すると共に、上記支持基板を略断面U字状
に変形するようにしたものである。
【0011】
【作用】上記のように構成された配線基板の中央部では
配線層は支持基板に接合しており、配線基板の周辺部で
は配線層のみであり、かつ導体が露出している。従来の
ピンのかわりにこの露出している導体を配線基板の入出
力端子として用いる。
配線層は支持基板に接合しており、配線基板の周辺部で
は配線層のみであり、かつ導体が露出している。従来の
ピンのかわりにこの露出している導体を配線基板の入出
力端子として用いる。
【0012】また、支持基板を略断面U字状に形成した
ことにより、その内部空間を利用して部品を実装する。
ことにより、その内部空間を利用して部品を実装する。
【0013】また、略断面U字状の支持基板を有する配
線基板を複数個多段積みすることにより、配線基板の入
出力端子が下方の配線基板の配線層上面に露出した導体
に接続され、配線基板の配線層上面に露出した導体が上
方の配線基板の入出力端子にそれぞれ接続される。
線基板を複数個多段積みすることにより、配線基板の入
出力端子が下方の配線基板の配線層上面に露出した導体
に接続され、配線基板の配線層上面に露出した導体が上
方の配線基板の入出力端子にそれぞれ接続される。
【0014】また、上記のように構成された配線基板の
製造方法において、入出力端子を含めてすべて写真製版
技術とエッチング技術並びにめっき又はスパッタ等によ
り形成されるため、数十ミクロンまでの微細なサイズが
実現できる。従って、多数の入出力端子を有する配線基
板が形成される。
製造方法において、入出力端子を含めてすべて写真製版
技術とエッチング技術並びにめっき又はスパッタ等によ
り形成されるため、数十ミクロンまでの微細なサイズが
実現できる。従って、多数の入出力端子を有する配線基
板が形成される。
【0015】
【実施例】実施例1.
図1はこの発明の一実施例による配線基板の製造方法を
工程順に示す断面図である。図において、11は支持基
板、12は支持基板11上に形成された配線層、13は
配線層12を形成している導体、14は同じく配線層1
2を形成している絶縁体、15は入出力端子となる導体
である。
工程順に示す断面図である。図において、11は支持基
板、12は支持基板11上に形成された配線層、13は
配線層12を形成している導体、14は同じく配線層1
2を形成している絶縁体、15は入出力端子となる導体
である。
【0016】次に製造方法について説明する。図1(a
)に示すように、支持基板11上に配線層12を形成す
る。配線層12は導体13と絶縁体14からなり、導体
13は例えばめっき又はスパッタ等により形成され、絶
縁体14は写真製版技術とエッチング技術により形成さ
れる。この実施例においては、導体13はめっきで形成
した銅を用い、絶縁体14はポリイミドを用いた。
)に示すように、支持基板11上に配線層12を形成す
る。配線層12は導体13と絶縁体14からなり、導体
13は例えばめっき又はスパッタ等により形成され、絶
縁体14は写真製版技術とエッチング技術により形成さ
れる。この実施例においては、導体13はめっきで形成
した銅を用い、絶縁体14はポリイミドを用いた。
【0017】次に、支持基板11の周辺部以外即ち中央
部をレジスト等で保護した後、支持基板11の周辺部を
例えばエッチングで除去する。この後、基板11の周辺
部以外のレジストを除去する。この状態の配線基板を図
1(b)に示す。このエッチングにおいて、支持基板1
1にステンレス鋼を用いた場合は塩化第二鉄と塩酸、ア
ルミナを用いた場合はリン酸、シリコンを用いた場合は
硝酸とフッ化水素酸の混酸を用いればよい。図1(b)
の支持基板11aは除去した部分を点線で示したもので
ある。
部をレジスト等で保護した後、支持基板11の周辺部を
例えばエッチングで除去する。この後、基板11の周辺
部以外のレジストを除去する。この状態の配線基板を図
1(b)に示す。このエッチングにおいて、支持基板1
1にステンレス鋼を用いた場合は塩化第二鉄と塩酸、ア
ルミナを用いた場合はリン酸、シリコンを用いた場合は
硝酸とフッ化水素酸の混酸を用いればよい。図1(b)
の支持基板11aは除去した部分を点線で示したもので
ある。
【0018】次にこの支持基板除去部11aに対応する
部分の絶縁体14を除去し、入出力端子となる導体15
を露出する。この状態の配線基板を図1(c)に示す。 絶縁体14aは除去した部分を点線で示したものである
。絶縁体14の露出方法としては、例えばエキシマレー
ザを用いることができる。エキシマレーザはポリイミド
等の高分子材料のみを除去するため、銅等の金属からな
る導体15を容易に露出することができる。また、プラ
ズマアッシャーを用いても容易に導体15を露出するこ
とができる。
部分の絶縁体14を除去し、入出力端子となる導体15
を露出する。この状態の配線基板を図1(c)に示す。 絶縁体14aは除去した部分を点線で示したものである
。絶縁体14の露出方法としては、例えばエキシマレー
ザを用いることができる。エキシマレーザはポリイミド
等の高分子材料のみを除去するため、銅等の金属からな
る導体15を容易に露出することができる。また、プラ
ズマアッシャーを用いても容易に導体15を露出するこ
とができる。
【0019】このように、導体15はめっき又はスパッ
タ等により形成されるので、数十ミクロンまでの微細な
大きさのものを実現でき、さらに導体15を容易に露出
して多数の入出力端子を有する配線基板が形成できる。
タ等により形成されるので、数十ミクロンまでの微細な
大きさのものを実現でき、さらに導体15を容易に露出
して多数の入出力端子を有する配線基板が形成できる。
【0020】さらに、配線層12を支持基板11からそ
の周辺部がはみ出るように設け、このはみ出し部に入出
力端子として導体15が露出するような構成でありピン
を必要としないため、周辺部で高精度な結線ができ、配
線基板が薄くできる。
の周辺部がはみ出るように設け、このはみ出し部に入出
力端子として導体15が露出するような構成でありピン
を必要としないため、周辺部で高精度な結線ができ、配
線基板が薄くできる。
【0021】実施例2.
図2はこの発明の第2実施例による配線基板の製造方法
を工程順に示す断面図、図3は本実施例による配線基板
の使用状態を示す斜視図である。図において、11〜1
5は図1に示す実施例1と同様のものである。
を工程順に示す断面図、図3は本実施例による配線基板
の使用状態を示す斜視図である。図において、11〜1
5は図1に示す実施例1と同様のものである。
【0022】次に製造方法について説明する。図2(a
)〜(c)に示すように、支持基板11上に配線層12
を形成後、入出力端子となる導体15を露出するまでの
工程は図1に示す実施例1と同様である。本実施例にお
いては更に図2(c)に示す状態から支持基板11を略
断面U字状になるように成形する。この状態の配線基板
を図(d)に示す。
)〜(c)に示すように、支持基板11上に配線層12
を形成後、入出力端子となる導体15を露出するまでの
工程は図1に示す実施例1と同様である。本実施例にお
いては更に図2(c)に示す状態から支持基板11を略
断面U字状になるように成形する。この状態の配線基板
を図(d)に示す。
【0023】上記のように構成された配線基板は配線層
12のはみ出し部が可撓性を有しており、図3に示すよ
うに折曲した状態で例えばプリント基板16上に搭載さ
れる。この場合、図のように配線層12の上面中央部に
露出した導体には部品17たとえばLSIが実装されて
いる。 また、配線基板の内部空間を利用してプリント基板上に
部品18たとえば抵抗、コンデンサ等が実装されている
。
12のはみ出し部が可撓性を有しており、図3に示すよ
うに折曲した状態で例えばプリント基板16上に搭載さ
れる。この場合、図のように配線層12の上面中央部に
露出した導体には部品17たとえばLSIが実装されて
いる。 また、配線基板の内部空間を利用してプリント基板上に
部品18たとえば抵抗、コンデンサ等が実装されている
。
【0024】実施例3.
図4はこの発明の第3実施例による配線基板の製造方法
を工程順に示す断面図である。図において、支持基板1
1の周辺部をエッチングで除去する際に、図4に示すよ
うに曲げ成形される部分を除去して薄肉部11bを形成
することにより支持基板の成形が容易となる。
を工程順に示す断面図である。図において、支持基板1
1の周辺部をエッチングで除去する際に、図4に示すよ
うに曲げ成形される部分を除去して薄肉部11bを形成
することにより支持基板の成形が容易となる。
【0025】実施例4.
図5はこの発明の第4実施例による配線基板の製造方法
を工程順に示す平面図および断面図、図6は本実施例に
よる配線基板の使用状態の一例を示す斜視図、図7は本
実施例による使用状態の他例を示す斜視図である。図に
おいて、19は図5(a)に示すように四隅が切欠かれ
た支持基板、20は支持基板19上に形成された配線層
、21は配線層20を形成している導体、22は同じく
配線層20を形成している絶縁体、23は入出力端子と
なる導体である。
を工程順に示す平面図および断面図、図6は本実施例に
よる配線基板の使用状態の一例を示す斜視図、図7は本
実施例による使用状態の他例を示す斜視図である。図に
おいて、19は図5(a)に示すように四隅が切欠かれ
た支持基板、20は支持基板19上に形成された配線層
、21は配線層20を形成している導体、22は同じく
配線層20を形成している絶縁体、23は入出力端子と
なる導体である。
【0026】次に製造方法について説明する。まず、図
5(a)に示すように形成された支持基板19上に配線
層20を形成する。この状態を図5(b)に示す。配線
層20は導体21と絶縁体22からなり、導体21は例
えばめっき又はスパッタ等により形成され、その配線層
20の上面の中央部及び両端部には図6に示すように導
体21a及び21bが露出している。絶縁体22は写真
製版技術とエッチング技術により形成される。本実施例
においては、導体21はめっきで形成した銅を用い、絶
縁体22はポリイミドを用いた。
5(a)に示すように形成された支持基板19上に配線
層20を形成する。この状態を図5(b)に示す。配線
層20は導体21と絶縁体22からなり、導体21は例
えばめっき又はスパッタ等により形成され、その配線層
20の上面の中央部及び両端部には図6に示すように導
体21a及び21bが露出している。絶縁体22は写真
製版技術とエッチング技術により形成される。本実施例
においては、導体21はめっきで形成した銅を用い、絶
縁体22はポリイミドを用いた。
【0027】次に図5(c)に示すように支持基板19
の周辺部を除去した後、図5(d)に示すようにこの支
持基板除去部19aに対応する部分の絶縁体22を除去
し、配線層20の周辺部に導体21を露出して一対の入
出力端子23を形成する。その後、図5(e)に示すよ
うに支持基板19を略断面U字状に成形するもので、こ
れらの工程は図2に示す実施例2と同様である。
の周辺部を除去した後、図5(d)に示すようにこの支
持基板除去部19aに対応する部分の絶縁体22を除去
し、配線層20の周辺部に導体21を露出して一対の入
出力端子23を形成する。その後、図5(e)に示すよ
うに支持基板19を略断面U字状に成形するもので、こ
れらの工程は図2に示す実施例2と同様である。
【0028】上記のように構成された配線基板は一例と
して図6に示すように中央部の上面に部品18を実装す
ると共に、側片部の外面にも他の部品18を実装して使
用できるものである。
して図6に示すように中央部の上面に部品18を実装す
ると共に、側片部の外面にも他の部品18を実装して使
用できるものである。
【0029】また、上記配線基板を例えば図7に示すよ
うに2個多段積みし、これをプリント基板等のマザーボ
ード24上に搭載して使用できるものである。この場合
、上方の配線基板に形成された一対の入出力端子23が
下方の配線基板の配線層上面に露出した導体21bにそ
れぞれ電気的に接続されている。また、上方の配線基板
の上面中央部に露出した導体21aには部品17たとえ
ばLSIが接続されている。そしてまた、各配線基板の
内部空間を利用して下方の配線基板上の導体21aやプ
リント基板24上の導体25に部品18たとえば抵抗、
コンデンサ等が接続されている。
うに2個多段積みし、これをプリント基板等のマザーボ
ード24上に搭載して使用できるものである。この場合
、上方の配線基板に形成された一対の入出力端子23が
下方の配線基板の配線層上面に露出した導体21bにそ
れぞれ電気的に接続されている。また、上方の配線基板
の上面中央部に露出した導体21aには部品17たとえ
ばLSIが接続されている。そしてまた、各配線基板の
内部空間を利用して下方の配線基板上の導体21aやプ
リント基板24上の導体25に部品18たとえば抵抗、
コンデンサ等が接続されている。
【0030】実施例5.
上記実施例2及び実施例4によれば部品を配線基板の片
面に実装しているが、図8に示すように支持基板26の
中央部及び側片部に孔26aを形成し、この孔に部品1
8を挿入することにより支持基板に部品を両面実装がで
きるものである。
面に実装しているが、図8に示すように支持基板26の
中央部及び側片部に孔26aを形成し、この孔に部品1
8を挿入することにより支持基板に部品を両面実装がで
きるものである。
【0031】なお、上記各実施例では、導体として銅、
絶縁体としてポリイミドを用いたが、導体としてアルミ
ニウム、金等でもよいし、絶縁体としてベンゾシクロブ
テン等を用いてよい。さらに、配線層の製造方法は一般
にさまざまな方法があり、上記実施例に限定されるもの
ではない。
絶縁体としてポリイミドを用いたが、導体としてアルミ
ニウム、金等でもよいし、絶縁体としてベンゾシクロブ
テン等を用いてよい。さらに、配線層の製造方法は一般
にさまざまな方法があり、上記実施例に限定されるもの
ではない。
【0032】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば支持基
板、及び導体と絶縁体とを有し、支持基板からその周辺
部がはみ出るように設けた配線層を備え、配線層のはみ
出し部に入出力端子として導体が露出するように構成し
たことにより、生産性良く多数の入出力端子を有して高
密度実装できる配線基板を得ることができる効果がある
。
板、及び導体と絶縁体とを有し、支持基板からその周辺
部がはみ出るように設けた配線層を備え、配線層のはみ
出し部に入出力端子として導体が露出するように構成し
たことにより、生産性良く多数の入出力端子を有して高
密度実装できる配線基板を得ることができる効果がある
。
【0033】また、支持基板を略断面U字状に形成した
ことにより、その内部空間を利用して部品を実装できる
ので、より高密度実装できる。
ことにより、その内部空間を利用して部品を実装できる
ので、より高密度実装できる。
【0034】また、略断面U字状の支持基板を有する配
線基板を複数個多段積みすることにより、部品の立体実
装が可能となり高密度実装できると共に、放熱効果の優
れた配線基板を得ることができる。
線基板を複数個多段積みすることにより、部品の立体実
装が可能となり高密度実装できると共に、放熱効果の優
れた配線基板を得ることができる。
【0035】また、この発明によれば、支持基板上に、
導体と絶縁体とを有する配線層を形成し、配線層が形成
された支持基板の周辺部を除去して、配線層の導体を支
持基板の周辺部で露出して入出力端子として用いるよう
にしたことにより、生産性良く微細な入出力端子を多数
形成できる配線基板の製造方法を得ることができる効果
がある。
導体と絶縁体とを有する配線層を形成し、配線層が形成
された支持基板の周辺部を除去して、配線層の導体を支
持基板の周辺部で露出して入出力端子として用いるよう
にしたことにより、生産性良く微細な入出力端子を多数
形成できる配線基板の製造方法を得ることができる効果
がある。
【図1】この発明の実施例1を工程順に示す断面図であ
る。
る。
【図2】この発明の実施例2を工程順に示す断面図であ
る。
る。
【図3】この発明の実施例2による配線基板の使用状態
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図4】この発明の実施例3を工程順に示す断面図であ
る。
る。
【図5】この発明の実施例4を工程順に示す断面図であ
る。
る。
【図6】この発明の実施例4による配線基板の使用状態
の一例を示す斜視図である。
の一例を示す斜視図である。
【図7】この発明の実施例4による配線基板の使用状態
の他例を示す斜視図である。
の他例を示す斜視図である。
【図8】この発明の実施例5による配線基板の使用状態
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図9】従来の配線基板を示す断面図である。
11 支持基板
12 配線層
13 導体
14 絶縁体
15 入出力端子
19 支持基板
20 配線層
21 導体
22 絶縁体
23 入出力端子
Claims (5)
- 【請求項1】 支持基板、及び導体と絶縁体とを有し
、上記支持基板からその周辺部がはみ出るように設けた
配線層を備え、上記配線層のはみ出し部に入出力端子と
して上記導体が露出するように構成したことを特徴とす
る配線基板。 - 【請求項2】 支持基板上に、導体と絶縁体とを有す
る配線層を形成し、上記配線層が形成された支持基板の
周辺部を除去し、上記配線層の導体を上記支持基板の周
辺部で露出して入出力端子として用いるようにしたこと
を特徴とする配線基板の製造方法。 - 【請求項3】 略断面U字状に形成された支持基板、
導体と絶縁体を有し、上記支持基板からその周辺部がは
み出るように上記支持基板に沿って設けられた配線層を
備え、上記配線層の周辺部に入出力端子として上記導体
が露出するように構成したことを特徴とする配線基板。 - 【請求項4】 支持基板上に、導体と絶縁体とを有す
る配線層を形成し、上記配線層が形成された支持基板の
周辺部を除去し、上記配線層の導体を上記支持基板の周
辺部で露出すると共に、上記支持基板を略断面U字状に
変形することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 【請求項5】 略断面U字状に形成された支持基板、
導体と絶縁体を有し、上記支持基板からその周辺部がは
み出るように上記支持基板に沿って設けられた配線層を
備え、上記配線層の周辺部に入出力端子として上記導体
が露出するように構成した配線基板を複数個多段積みし
、且つ一方の配線基板に形成された入出力端子を他方の
配線基板の配線層上面に露出して形成された導体に接続
することを特徴とする配線基板。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3104327A JP2913891B2 (ja) | 1990-12-04 | 1991-05-09 | 多層配線基板 |
| US07/801,384 US5290971A (en) | 1990-12-04 | 1991-12-02 | Printed circuit board provided with a higher density of terminals for hybrid integrated circuit and method of fabricating the same |
| DE4140010A DE4140010A1 (de) | 1990-12-04 | 1991-12-04 | Leiterplatte und verfahren zu ihrer herstellung |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40035390 | 1990-12-04 | ||
| JP2-400353 | 1990-12-04 | ||
| JP3104327A JP2913891B2 (ja) | 1990-12-04 | 1991-05-09 | 多層配線基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04229691A true JPH04229691A (ja) | 1992-08-19 |
| JP2913891B2 JP2913891B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=26444825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3104327A Expired - Lifetime JP2913891B2 (ja) | 1990-12-04 | 1991-05-09 | 多層配線基板 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5290971A (ja) |
| JP (1) | JP2913891B2 (ja) |
| DE (1) | DE4140010A1 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002134908A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-05-10 | Ibiden Co Ltd | プリント基板の製造方法 |
| JP2007042848A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Kyocera Corp | 配線基板、電気素子装置並びに複合基板 |
| JP2007173668A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Kyocera Corp | 電子部品搭載用絶縁基体および電子装置 |
| JP2011077218A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Nec Corp | 電磁シールド、電子機器 |
| JPWO2015151292A1 (ja) * | 2014-04-04 | 2017-04-13 | 三菱電機株式会社 | プリント配線板ユニット |
| JP2017220566A (ja) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | 本田技研工業株式会社 | 多層基板 |
| US11582861B2 (en) | 2017-02-20 | 2023-02-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Electronic device |
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| DE4416096A1 (de) * | 1994-04-19 | 1995-10-26 | Deutsche Telephonwerk Kabel | Kontaktierung von Betätigungs- und Anzeigemitteln |
| DE4422648C2 (de) | 1994-06-28 | 1998-09-03 | Rene P Schmid | Sollriß-Fugenschiene |
| US5495394A (en) * | 1994-12-19 | 1996-02-27 | At&T Global Information Solutions Company | Three dimensional die packaging in multi-chip modules |
| JPH09214097A (ja) * | 1996-02-06 | 1997-08-15 | Toshiba Corp | プリント回路基板 |
| US5936627A (en) * | 1997-02-28 | 1999-08-10 | International Business Machines Corporation | Method and system for performing perspective divide operations on three-dimensional graphical object data within a computer system |
| US6100178A (en) * | 1997-02-28 | 2000-08-08 | Ford Motor Company | Three-dimensional electronic circuit with multiple conductor layers and method for manufacturing same |
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| US6639155B1 (en) * | 1997-06-11 | 2003-10-28 | International Business Machines Corporation | High performance packaging platform and method of making same |
| DE10104413A1 (de) * | 2001-02-01 | 2002-08-29 | Hella Kg Hueck & Co | Schalter und Verfahren zur Herstellung eines Schalters |
| KR100631939B1 (ko) * | 2002-07-16 | 2006-10-04 | 주식회사 하이닉스반도체 | 비지에이 패키지와 티에스오피 패키지를 적층하여 형성한반도체 소자 |
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| JP2017157807A (ja) * | 2016-03-04 | 2017-09-07 | 富士通株式会社 | 電子装置、及び、電子装置の製造方法 |
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1991
- 1991-05-09 JP JP3104327A patent/JP2913891B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1991-12-02 US US07/801,384 patent/US5290971A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-12-04 DE DE4140010A patent/DE4140010A1/de not_active Withdrawn
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| JP2913891B2 (ja) | 1999-06-28 |
| US5290971A (en) | 1994-03-01 |
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