JPH0423218Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、正立像を眼視可能な顕微鏡の三眼鏡
筒の改良に係り、三眼鏡筒を備えた顕微鏡に関す
る。

［背景技術とその問題点］ 近年のミクロン単位の高精度を要求される時代
にあつては、顕微鏡の利用面もさらに拡大し、特
にIC表面の検査等を行なう電子産業界に目覚し
いものがある。

ところで、従来一般の顕微鏡における三眼鏡筒
内のプリズムは、第４図に示されるように、60°
−30°の直角プリズム９１，９２を２個用いて構
成され、これらの直角プリズム９１、９２によ
り、被検査物９３の映像をカメラ、ビデオカメラ
による写真撮影用としての機器系映像９４と、眼
視系映像９５とに分離するようにされていた。

しかし、このようなプリズム構成では、機器系
映像９４のみならず眼視系映像９５もレンズ等に
よる倒立像のままとされ、被検査物９３の移動方
向すなわちテーブル送り方向と眼視像内の移動方
向とが上下方向また左右方向にも逆方向となり、
操作性を悪化させている。特にIC表面検査等に
あつては、被検査物９３の形状、模様等が四方に
繰返されることが多いため、送り方向との相違に
基づく支障が重大であり、検査能率を大幅に低下
させるという欠点があつた。

このような問題に対し、本出願人は実開昭60−
110817号公報に示されたような正立像を眼視可能
な三眼鏡筒を考案し、第５図に示すように光軸方
向を反転させる２個の45°−45°の直角プリズム９
６，９７と、２回の反射により上下左右方向を反
転させるダハプリズム９８とからなるプリズム構
成により、眼視系映像９９を正立像として前記欠
点を解決するに至つている。

ところが、このような顕微鏡においては正立像
を眼視可能とするための三眼鏡筒が大型となり、
全体の重量が増加したり、特にカメラ等を取り付
けた際の重心位置の上昇により姿勢が不安定にな
るといつた操作や取り扱いの上での問題があつ
た。

［考案の目的］ 本考案の目的は、正立像を眼視可能、かつ小型
で操作や取り扱いが容易な三眼鏡筒を備えた顕微
鏡を提供することにある。

［問題点を解決するための手段および作用］ 本考案においては、観察光軸を、眼視するため
の眼視系と写真撮影等のための機器系とに分光す
る三眼鏡筒を備えた顕微鏡の三眼鏡筒内に、観察
光軸を眼視系と機器系とに分光する部分、観察光
軸を眼視系に送る部分、観察光軸を機器系に送る
部分を有し、各部分の何れかを選択的に観察光軸
上に配置可能な接合直角プリズムと、入射面が前
記接合直角プリズムの眼視系側射出面に接合され
て眼視系に正立像の眼視観察を可能にするダハプ
リズムと、入射面が前記ダハプリズムの射出面に
接合されて眼視系の光軸の方向変換を行う直角プ
リズムとを配置する。

このような構成によれば、実開昭60−110817号
公報に示されたものに比べて、眼視系の像を正立
像としたまま、ダハプリズムの配列位置を変える
ことによりプリズム構成全体を小型化でき、眼視
系と機械系とを接近配置させて三眼鏡筒を小型化
できる。さらに、眼視系を高い位置に、機械系を
低い位置として、比較的重量物であるカメラ等の
取り付け位置を低くして重心を下げて姿勢の安定
を計るとともに、眼視系と機器系との光路切り換
えを接合直角プリズムの移動操作で行えるように
して、操作あるいは取り扱いを容易とし、以上に
より前記目的を達成しようとするものである。

［実施例］ 以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。

全体構成を示す第１図において、基板１０上に
固定された側面コ字形の本体１１は、上部フレー
ム１２と下部フレーム１３とを備えている。

前記上部フレーム１２の先端上面には、その外
縁が上部フレーム１２の両側面から突出して露出
され、上部フレーム１２の外部から操作可能な締
付部材１４により着脱可能とされた三眼鏡筒１５
が取付けられている。

前記上部フレーム１２の先端部内には、ハーフ
ミラー２０が垂直方向に対し45度の角度で取付け
られ、このハーフミラー２０により上部フレーム
１２の基端に設けられた反射光用の光源２１から
の光２２が90度方向に反射され、この反射光が通
る光軸により検査光軸即ち本体光軸２３が構成さ
れている。この本体光軸２３は、前記基板１０内
に設けられた透過光用の光源２４からの光２５の
軸線とも一致するようになつている。

前記上部フレーム１２の先端下面には、円板２
６が回転自在に支持され、この円板２６の回転中
心軸２７は前記本体光軸２３と平行にされてい
る。また、円板２６には複数の対物レンズ鏡筒２
８が取付けられ、これらの対物レンズ鏡筒２８は
前記円板２６の回転中心軸２７を中心とした仮想
円周上に配置され、かつ各対物レンズ鏡筒２８の
中心軸線（図面が錯綜するため図示しない）は
各々前記本体光軸２３と平行にされている。さら
に、前記円板２６の周面の少なくとも一部は、前
記上部フレーム１２の側面から突出して露出さ
れ、これにより円板２６は少なくとも本体１１の
側方から回動できるようにされている。

前記下部フレーム１３の先端には、Ｌ形フレー
ム３０が上下動可能に取付けられ、このＬ形フレ
ーム３０上には載物台としてのＸ・Ｙテーブル３
１が設けられている。このＸ・Ｙテーブル３１
は、操作つまみユニツト３２を操作することによ
りＸ・Ｙテーブル３１の最上面が前後および左右
方向に移動できるようになつている。また、前記
Ｌ形フレーム３０は、下部フレーム１３に設けら
れら粗動ダイヤル３３および微動ダイヤル３４か
らなる操作ダイヤル３５により上下方向に駆動さ
れるようになつており、この操作ダイヤル３５の
操作によりＬ形フレーム３０を上下動させて、
Ｘ・Ｙテーブル３１上に載置された図示しない被
検査物を前記対物レンズ鏡筒２８の焦点位置に合
わせる調整、いわゆるピント合わせが可能とされ
ている。

前記三眼鏡筒１５には、接眼レンズ鏡筒１６
と、カメラ、テレビカメラ或いはプロジエクタ等
を取付けるための機器鏡筒１７とが一体に設けら
れている。さらに、この三眼鏡筒１５内には、前
記本体光軸２３と同一軸線上である観察光軸５０
上に配置されたレンズ筒５１と、このレンズ筒５
１を通過して送られる観察光軸５０と接眼レンズ
鏡筒１６側に送る眼視系６０と、機器鏡筒１７側
に送る機器系７０とに分光するプリズム機構５２
とが設けられている。

第２図に示すように、前記プリズム機構５２は
接合直角プリズム６１と、この接合直角プリズム
６１の眼視系６０の射出面に入射面を接合された
屋根形のダハプリズム６２と、このダハプリズム
６２の射出面にその入射面を接合された直角プリ
ズム６３とからなり、眼視系６０の映像を正立さ
せて上下、左右方向ともに被検査物と同一方向で
Ｘ・Ｙテーブル３１の送りがそのままの方向で視
認可能とされている。

第３図に示すように、接合直角プリズム６１は
三角柱状の上、下部の直角プリズム６４，６５を
その傾斜面で貼り合わせて構成されている。これ
らの上、下部の直角プリズム６４，６５は、それ
ぞれ３個の単位プリズム６４Ａ，６４Ｂ，６４
Ｃ，６５Ａ，６５Ｂ，６５Ｃから構成され、各対
応した符号の単位プリズム同志が貼着されるよう
になつている。また、上部の直角プリズム６４の
図中左方の単位プリズム６４Ａの傾斜面には半透
明膜が蒸着され、この半透明膜の作用により観察
光軸５０からの光は、眼視系６０と機器系７０と
に分光できるようにされている。中央の単位プリ
ズム６４Ｂの傾斜面には全反射膜が蒸着され、こ
の全反射膜の作用により観察光軸５０からの光は
全て眼視系６０に反射されるようにされている。
右方の単位プリズム６４Ｃの傾斜面には何ら蒸着
膜は形成されず、観察光軸５０からの光は全て機
器系７０に透過されるようになつている。

これらの接合直角プリズム６１は、三眼鏡筒１
５内に摺動自在に支持され、三眼鏡筒１５外に突
出された操作軸６６に一体とされ、これを紙面直
交方向に進退させることにより、前記接合直角プ
リズム６１の上、下部の直角プリズム６４，６５
の各単位プリズム６４Ａ〜Ｃ、６５Ａ〜Ｃを切換
え、観察光軸５０の分光経路の切換えが行なえる
ようになつている。

このような構成において、三眼鏡筒１５の接眼
レンズ鏡筒１６からの肉眼による眼視検査を行な
うともに、必要に応じて機器鏡筒１７にカメラ、
ビデオカメラ等を取付けて撮影等することにより
機器検査を行なう。ここで、接合直角プリズム６
１は、顕微鏡の使用目的に応じて切換えられる。
すなわち眼視検査と機器検査とが必要な場合は、
第３図中左方の単位プリズム６４Ａ，６５Ａが観
察光軸５０に一致するように移動し、眼視検査の
みあるいは機器検査のみの場合は、それぞれ中央
の単位プリズム６４Ｂ，６５Ｂあるいは左方の単
位プリズム６４Ｃ，６５Ｃが観察光軸５０に一致
するように移動すればよい。さらに、被検査物の
検査は、円板２６を回転させて目的に応じた倍率
の対物レンズ鏡筒２８を選択するとともに、被検
査物をＸ・Ｙテーブル３１の上面に載せ、操作ダ
イヤル２９を操作してＬ形フレーム３０を介して
Ｘ・Ｙテーブル３１を上下させ、前記対物レンズ
鏡筒２８のピント合わせを行なう。このとき、接
眼レンズ鏡筒１６から視認される眼視系６０の映
像は、対物レンズ鏡筒２８およびレンズ筒５１を
通して倒立像とされているが、ダハプリズム６２
における２回の反射により上下、左右の方向が実
際の被検査物と同じ正立像として視認できる。

このような本実施例によれば、プリズム機構５
２を接合直角プリズム６１と、屋根形のダハプリ
ズム６２と直角プリズム６３とで構成することに
より、眼視系６０の像を正立像として視認でき、
従つてＸ・Ｙテーブル３１の送り方向と像の移動
方向が上下、左右ともに全く一致するから、検査
能率を著しく向上できる。また、接合直角プリズ
ム６１は、光路を切換可能に設けられているか
ら、必要に応じて最適の光路系統で視認して検査
ができるという効果がある。

さらに、従来のものに比べ、ダハプリズム６２
の配列位置を変えることによりプリズム機構５２
を小型化でき、三眼鏡筒１５を小型化することが
可能となり、重量も軽くできる。また、機器鏡筒
１７に取付けられる付属機器の位置を低くするこ
とで全体の重心を下げて姿勢の安定が得られるた
め、操作や取り扱いが容易となる。さらに、三眼
鏡筒１５に取付ける付属機器としては、安定を計
るために当該顕微鏡用に特別に設計する必要がな
くなり、一般の標準品を使用できるという効果も
ある。

なお、前記実施例におけるプリズム機構５２の
構成を除く各部分は、前記実施例の構造に限ら
ず、その目的を達成し得る範囲での変形は、本考
案に含まれるものであり、細部形状や寸法、各プ
リズム６２，６３等の支持や接合の手段、接合直
角プリズム６１を移動自在とする手段等は実施に
あたつて適宜選択すればよいものである。

［考案の効果］ 上述のように本考案によれば、正立像を眼視可
能な三眼鏡筒を備えた顕微鏡を小型化して、操作
や取り扱いを容易にすることができるという効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す顕微鏡の全体
正面図、第２図は前記実施例の三眼鏡筒のプリズ
ム構成を示す説明図、第３図は前記実施例の可動
プリズムの分解斜視図、第４図は従来の三眼鏡筒
のプリズム構成を示す説明図、第５図は従来の三
眼鏡筒のプリズム構成を示す説明図である。 １１……本体、１５……三眼鏡筒、１６……接
眼レンズ鏡筒、１７……機器鏡筒、５０……観察
光軸、６０……眼視系、６１……接合直角プリズ
ム、６２……ダハプリズム、６３……直角プリズ
ム、７０……機器系。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 観察光軸を、眼視するための眼視系と写真撮影
   等のための機器系とに分光する三眼鏡筒を備えた
   顕微鏡において、 前記三眼鏡筒内に、観察光軸を眼視系と機器系
   とに分光する部分、観察光軸を眼視系に送る部
   分、観察光軸を機器系に送る部分を有し、各部分
   の何れかを選択的に観察光軸上に配置可能な接合
   直角プリズムと、 入射面が前記接合直角プリズムの眼視系側射出
   面に接合されて眼視系に正立像の眼視観察を可能
   にするダハプリズムと、 入射面が前記ダハプリズムの射出面に接合され
   て眼視系の光軸の方向変換を行う直角プリズムと
   を備えたことを特徴とする三眼鏡筒を備えた顕微
   鏡。