JPH04232403A - 導電被覆層の厚さ測定方法及びそれに用いるセンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は被覆層の組成とは異なる
組成の金属基板上に堆積した被覆材料負荷の単位面積当
りの量、即ち被覆層の厚さを非破壊的且つ無接触な方法
で求める方法に関するものである。本発明は、前述した
ような被覆層の厚さについて正確な情報を提供でき、そ
の測定操作を製品に被覆層を被覆する処理を進めながら
被覆製品そのものの上で直接かつ連続的に行うセンサに
も関するものである。従って、斯種のセンサを用いれば
処理製品の全長にわたり被覆層を特定の厚さで均一に設
けるようにする被覆処理の進行中における種々のパラメ
ータを調整するのに当面の情報を遅延なしに得ることが
できる。

【０００２】被覆層の量及びこの量の不変性は本来被覆
製品に係わる２つの査定基準となるので、被覆製品の生
産制御方法は、それを生産リズムに合わせて直接的に、
しかも連続的に行い、且つ応答性を極めて速くし得るよ
うにする場合にしか満足のゆく結果を与えることができ
ない。これは特に自動調整が斯様な制御方式に依存して
いる場合に云え、このことは今日では大体一般的なこと
となっている。これらの諸要求は浸漬めっきのような化
学的及び電界的沈澱法によるような様々の被覆原理及び
方法に対しても同様に云えることである。製品の処理が
一旦終了してから主として化学分析によるゆっくりした
方法で被覆層の複数サンプルの重量を求めるのでは最早
十分ではない。又、他の技術分野にて規定した条件下に
て適格な結果が得られるようにする従来既知の直接兼連
続測定法の幾つかのものは、被覆層の厚さを連続的に求
めるのに適用することはできない。これは特に化学的及
び放射性測定法に対する場合である。

【０００３】

【従来の技術】強磁性基板上に堆積した被覆層の厚さを
直接且つ連続的に求めるのに電磁手段に頼るようにする
ことは既に提案されている。例えば、周波数発生器の一
部を形成するコイルに誘起される電圧の位相変化又は振
幅変化を測定することが提案されている。又、発振器の
共振回路におけるコイルを用い、このコイルをテストす
べき製品と直接電磁接触させることも勧められている。

【０００４】被覆層の厚さを測定するのに勧められてい
る上述した２つの方法の例は欧州特許出願第１７９７２
０号及びオーストラリア国特許第５８２３４０号に開示
されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前記欧州特許出願のも
のは、平坦形状の導電性支持基板上の金属層の厚さを測
定する方式に関するものである。この方式は、交流電圧
によって励起される磁路を、分析すべき金属表面の方向
に動かす場合に誘起される渦電流によるジュール効果に
相当する電力損を求めることを基本としている。しかし
、この方式による信号処理は位相を正確に測定する必要
があり、様々な問題がある。その主たる欠点は測定用の
センサと製品の表面との間の距離変動を必ず補償しなけ
ればならないことにある。

【０００６】前記オーストラリア国特許には製品と電磁
接触させるコアレスの測定コイルのインピーダンスを求
める方法について開示されている。この場合、斯るイン
ピーダンスの変化は被覆層の厚さを求めたり、又はその
厚さをモニタするのに用いられる。しかし、コイルのイ
ンピーダンスは振幅又は位相測定手段を介して求めてい
る。亜鉛めっき製品に関連してセンサは５０ＫＨｚ程度
の大きさの周波数で作動させている。この方法による被
覆層の厚さを検出する感度は不十分なため、信号を安定
化させるために多数の追加の手段を講じる必要がある。

【０００７】本発明の目的は前述した従来法の欠点を除
去し、金属基板上に堆積された被覆層の厚さを何等問題
なく、しかも人為的な手段を講じることなく自動的且つ
連続的に測定し得る方法、換言するに基板上の単位面積
当りに堆積又は沈澱した被覆材料の量を求める方法を提
供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】斯る被覆層の測定は、基
板上に堆積された被覆層の厚さと極めて特定な関係にあ
る容易に測定し得るパラメータを求めることにより簡単
に行うことができる。

【０００９】従って、被覆層の厚さは直接、且つ一様な
方法で測定できるので、本発明によれば被覆処理そのも
のの調整工程をほぼ瞬間的に介入させることができる。 これにより、被覆層の厚さを特定公差内に含まれる幾分
狭い範囲内にて一定とすることができる。広く用いられ
ている慣例の熱浸漬ワイヤ被覆法では、例えば被覆処置
が許容最小値以下で終了してしまわないようにするため
に、被覆層の堆積厚さを希望値よりも１０％高くするの
が普通である。これに対し、本発明によれば被覆材料を
非常に均一に、しかも仕用書に従って被覆できるだけで
なく、余分な原料を節約することもできる。

【００１０】本発明によれば前記目的を達成するために
、交番磁界により被覆製品に誘起される渦電流のジュー
ル効果による損失を連続的に測定するようにする。実際
上、所定の予定周波数に対するこれらの損失分は被覆層
の厚さと逆比例関係にある。寸法を十分に規定した誘導
コイルに固有の損失分は小さく、しかも一定であるが、
被覆製品に属する損失分、即ち上に被覆層が堆積された
基板に属する損失分はかなり大きく、しかもこのような
被覆製品をコイルに適して動かす場合に斯る損失分は変
化し得るので、直接有意義な単調でもある測定値を得る
ことができる。なお、この場合の測定は常温又は上昇温
度で被覆層を被着するのに用いられる浴の出口にて製品
の上方にて行う。製品の基板は強磁性材料製とし、被覆
材料は透磁率が基板のそれよりも低い小さな透磁率を有
している導電性の金属とする。

【００１１】本発明によれば、被覆材料中への渦電流の
固有浸透度が、堆積すべき被覆層に対する目標厚さに近
づくか、又はその厚さよりも小さくなるように交番磁界
の励起周波数を選択し、前記目標とする厚さを一般に数
ミクロンから最大でも１００　ミクロンの範囲内で変化
する厚さとし、測定を行う最適周波数が被覆金属層の導
電率と該金属層の公称厚さとの関数として１ＭＨｚと約
１００　ＭＨｚとの間で変化するようにする。従って、
これらの周波数は、従来の方法による起電力の位相又は
振幅の影響を測定する場合に用いられる１００　ＫＨｚ
程度の大きさの周波数に比べてほぼ１０〜１００　倍高
い周波数である。本発明による方法に用いる周波数は、
例えばスチール基板上の亜鉛被覆層の厚さを測定する場
合には１〜１０ＭＨｚとするが、極めて細いワイヤにお
ける１ミクロン以内の極めて薄い真ちゅうの層を測定す
る場合の周波数は約１００　ＭＨｚとする。さらに、高
周波範囲での消散電力又はエネルギーの測定法は極めて
特有な利点を奏し、例えば基板による相対的な損失分は
減少し、しかも製品を極めて速く送り出しながら測定を
連続的に行うことができる。

【００１２】本発明によれば、消散電力を求め、発振回
路のＱ値を求めて被覆層の厚さを測定する。本発明によ
るセンサは、ＬＣ回路から成る発振器と閉ループ接続し
た可変利得増幅器とで構成する。調整ループは発振の振
幅値を制限する。この構成の電磁回路の特徴の１つは、
テスト製品の位置の変動が補正されると云うことにある
。これは実際上、他の厚さ検知装置の場合にはそのよう
になっておらず、又これらの検知装置は、コイルと被覆
表面との間の大きさが消散電力に及ぼす影響が、周波数
が高くなるにつれて大きくなることからして被覆層の厚
さを求めるのにはあまり適していない。

【００１３】ＬＣ共振回路は、利得がコイルの損失分の
関数となる装置を構成することにより、測定計器は極め
て簡単なものとすることができ、このような測定計器に
よりコイルの損失分、従って被覆製品の存在による損失
分を含めて損失分はほぼ直接的に測定することができる
。寸法を十分に規定したコイルに固有の損失分は極めて
小さいため、得られる損失分は主としてコイルの磁界を
通る被覆製品によって生じ、これらの損失分の変動は殆
ど被覆層の厚さのバラツキによるものである。

【００１４】発振振幅値が一定の場合、増幅器の利得と
ＬＣ回路の利得との積が１となることがわかり、増幅器
の特性がわかっていれば、調整電圧からＬＣ回路の利得
を推定することができる。このＬＣ回路の利得は損失分
に直接関係し、従って基板上に堆積された被覆層の厚さ
と密接な関係にある。

【００１５】発振振幅値の調整は実際上同一で、しかも
テストすべき製品の寸法及び性質に無関係な測定条件下
にて常に行うことができる。従って、可変利得増幅器付
きの発振器及び振幅調整ループがあるために、製品の広
範囲にわたる様々な個所における被覆層の種々の公称厚
さを測定するのに、設定値を変更することなく同じセン
サを用いることができる。

【００１６】コイルの損失分は他の方法で求めることが
でき、この方法は電圧、電流及び位相変位量を求めるよ
うにするものである。しかし、このような方法は一般に
幾分経費が嵩み、しかも９０°付近の移相量を測定する
のは困難である。又、ＬＣ回路のパス−レンジはコイル
のＱ、従ってコイルの損失分の関数となる。このパス−
レンジを十分正確に測定するには、さらに高価なインテ
リジェント回路を必要とする。さらに、上述した２つの
方法は損失分を間接的に測定するものであるが、前記本
発明の好適例では消費エネルギーを直接電気的に測定す
る。又、前記本発明によるセンサはかなり廉価なもので
ある。これがため、個々の亜鉛のめっきラインが数１０
０　に及ぶことのあるワイヤ表層装置にこれらのセンサ
を用いることが可能となる。

【００１７】本発明により獲られる信号は、これと同時
にこの信号を被覆層の厚さを特徴付ける単位に変換して
直接表示及び／又は記録することができる。斯る信号は
基板に被覆層をめっきするのに必要とされる作業工程を
調整するのに用いるように処理することもできる。

【００１８】本発明には繰り出される被覆製品と電磁接
触する様々なタイプの構造のコイルを用いることができ
る。単一コイルを用いる場合（図５参照）には、テスト
すべき製品の走行通路がコイルの軸線と一致し、磁界が
製品と同心的となる。２つのコイルをＣ字状磁石の空隙
の両側に配置し、これらのコイルを直列に接続して用い
る場合（図６参照）には、交番磁界が２つの磁極間を通
る製品の軸線に対して直交する。３つのコイルを用いる
場合には、これらのコイルを同一平面内に三角形状に配
置する（図７参照）。発生交番磁界は垂直方向に動く製
品の軸線に対して垂直となり、この磁界は移動製品に対
する軸線及びこれと共通のコイル配置の軸線のまわりを
回転する。従って、コイル配置は被覆層の特性並びにテ
ストすべき製品の形状に応じて様々な配置とすることが
できる。いずれの場合にも、選択周波数で磁界を案内し
、且つ外部との遮蔽をするのに好都合な強磁性材料を用
いることにより、コイルそのものでの電力消散を減らし
、テストすべき製品に磁界の影響を集中させ、コイルと
製品との間の容量結合を最小にすることができる。

【００１９】本発明は断面形状が任意の製品に適用し得
るが、主としてワイヤ、丸い又は多角形の棒又は管の如
き長い製品に堆積した被覆層を無接触の非破壊法にて連
続的にチェックするのに用いられる。

【００２０】

【実施例】以下図面を参照して本発明を説明するに、図
１に示すように交番磁界中にて誘起される渦電流のジュ
ール効果による電力損又はエネルギー損（ｍＷの単位）
と、強磁性基板上に金属被覆材料層を堆積したものを前
記磁界を経て動かした場合の前記被覆層の重要な事柄と
の間には反比例の関係がある。消散電力の測定値は適当
に較正又は変換することにより、図１に示すように「被
覆層のミクロン（μｍ　）単位での厚さ」としてか、又
は「１平方センチメートル当り何ミリグラム」又は「１
センチメートル当り何ミリグラム」にて表される基板の
単位面積当り、又は基板の単位長さ当りに堆積される被
覆材料の量として表現し、且つ表示することができる。

【００２１】基板にそれとは異なる性質の層を被覆する
場合、前述した関係は周波数が良好に規定される範囲に
対して与えられる。原則として励起周波数は、被覆材料
層への渦電流の固有透過度が被覆層の目標厚さに近づく
か、又はそれよりも低くなるように選定する。これらの
周波数は通常の被覆層に対しては１〜１００　ＭＨｚの
範囲内のものとするのが普通である。図２にはスチール
基板上に熱浸漬亜鉛めっきにより被着した亜鉛被覆層の
特殊な場合を示してある。これから明らかなように、ス
チール基板上の亜鉛被覆層での消散電力は被覆層の厚さ
に依存し、１〜２ＭＨｚの最小周波数から１０ＭＨｚ以
上の周波数まで、３０，　５０又は７０ミクロンの所定
厚さの被覆層にて消散される電力はほぼ不変である。

【００２２】本発明により提案するような高周波を用い
れば、基板での相対的な電力損が減少する。これがため
、この場合に予期される電磁応答は基板によっては殆ど
影響されない。図４に示すように、１ＭＨｚの測定周波
数に対する電力損（厚さ５０μｍ　の亜鉛被覆層の場合
）　は一定（７１ｍＷ）であるが、基板の相対透磁率は
極めて相違する。さらに、図３から容易に想到し得るよ
うに、電磁特性が変化する間にジュール効果により基板
にて消散される電力はごく僅かであり、これは僅か３〜
６％に過ぎない。

【００２３】渦電流に基づく既知の方法の殆どのものは
コイルのインピーダンスの変化を被覆層の厚さの関数と
して使用するものである。コイルのインピーダンスの変
化は位相及び振幅の仲介により測定するのが普通であり
、これらの変化は１％〜１０％程度の大きさである。こ
の測定には、信号の小さな変化を抽出するために測定ブ
リッジと微分回路を組み合わせたものを用いている。こ
れに対し、消散電力は被覆層の代表的な厚さの範囲にお
ける最小値と比べると通常１００　％以上変化する。

【００２４】従って、本発明により選択した測定パラメ
ータによれば規定の高周波にて、強磁性基板上に被着さ
れた任意の導電被覆層の厚さを測定することができるこ
とは明らかである。この測定は連続的に行うことができ
、しかも毎秒１００　メートル以上までもの極めて速い
走行速度に対しても実施することができる。

【００２５】消散電力と被覆層の厚さとの間に有利な基
本的な関係を得るためには、放射による損失及びテスト
すべき製品に属さない導電物質での渦電流による損失を
なくすのが重要である。金属遮蔽体は適切でないので、
高周波に対し導電性の極めて低いフェライト製の強磁性
材料又は強磁性ガラスを用いて、テストすべき製品に対
する損失を小さくする必要がある。

【００２６】図５は可動製品５５の軸線に対して同軸の
磁界を発生させる本発明に基づく誘導コイルの第１配置
例を示す断面図である。製品５５の被覆層の厚さを測定
する必要があり、この製品５５をソレノイドコイル５１
により包囲する。コイル５１は外側遮蔽体としてのフェ
ライト包囲体５４内に位置させる。この構成のコイル配
置は被覆層が幾分一定であり、この被覆層が化学的な方
法又は電解法により形成されるような場合に好都合であ
る。

【００２７】図６は本発明に基づく誘導コイルの他の配
置例を示すものであり、このコイル配置の目的は可動製
品６５の軸線に対して垂直方向の磁界を発生し得るよう
にすることにある。この場合には、テストすべき製品６
５をフェライト６４と、直列に接続した２つのコイル６
１及び６２とによって構成されるＣ状磁石の空隙を経て
走行させる。このような構成とする主コイル系を組立て
る前及び／又はその組立後に、少なくとも１個以上の同
一構成の測定コイル系を製品の軸線上に前記主コイル系
に対して９０°だけ回転させて前記軸線に沿って変位さ
せて配置することにより一層完全な制御をすることがで
きる。このような構成の測定コイル系は、主として被覆
層が幾分不均一な場合に極めて適切であり、これは製品
に被覆層を化学的な方法又は電解沈澱法により形成する
と云うよりもむしろ熱浸漬亜鉛めっきにより形成する場
合に適切である。これらの測定コイル系は可動製品の２
つの反対側に沿う被覆層の面に沿って、即ちｎ×２個の
面（ｎは測定コイル系の数）に沿って被覆層の厚さを測
定する。

【００２８】図７は本発明に基づく誘導コイルによる測
定コイル系の第３の配置例を示し、この場合には可動製
品７５の軸線に対して垂直方向の回転磁界を発生させる
。 製品７５は互いに１２０　°ずらした３つのコイル７１
，　７２及び７３によって包囲され、これらのコイルは
１２０　°づつ位相をずらした電圧を供給する。この測
定コイル系もコイルを囲むフェライトの包囲体７４を具
えている。この測定コイル系によれば、所定個所及び全
周に沿う被覆層の不均一製を完全に制御することができ
る。即ち製品の角度位置に無関係に被覆層の不均一性を
制御することができる。３つのコイル７１，　７２及び
７３を用いる代わりに、輪郭を定めた磁極付きのフェラ
イトコアを用いることができる。

【００２９】磁界が可動製品の軸線に対して同軸的とな
る図５の円筒状コイルは製品の横方向の動きに対しては
感度が極めて低い。しかし、磁界が可動製品の軸線に対
して垂直となる既知の慣例のセンサの場合には、測定値
がセンサと製品の表面との間の実際の距離に大いに左右
される。このような問題点は、本発明の場合には製品が
空隙を通りしかも製品が常にほぼ均一の磁界中に置かれ
るような特殊な形状をした強磁性材料を用いるこめに解
決される。磁極を最適な形状とすることにより、製品が
正規の中心から外れていても、この偏心量が製品の半径
の倍数に相当する場合には依然正しい測定値を得ること
ができる。

【００３０】図８は単位面積当りの被覆材料の負荷に比
例する測定値、即ち被覆層の厚さを直接表示させること
のできる極めて簡単な電気回路を示す。この回路の主要
部は発振器であり、この発振器のＬＣ回路のコイル８１
を被覆製品と電磁接触させる。このコイル８１は図５の
ように単一の円形コイル構造のものとすることができる
。このコイルは図６に示すような２個直列に接続するコ
イルで構成することもできる。コイル８１はコンデンサ
８２及び８３と共に発振周波数を決定する。コンデンサ
８４の容量値はコンデンサ８２及び８３の容量値に較べ
て高くする。電解効果トランジスタ８６のソースを抵抗
８５を介して設置し、このトランジスタのドレインを定
電圧源８７に接続する。 抵抗８８とコンデンサ８９は低域通過フィルタを形成す
るため、表示装置８０には高周波は流れない。上述した
回路は発振振幅の規則性に基づいて作動する。電解効果
トランジスタ８６は、利得がゲートに供給される平均電
圧に従って変化する増幅器である。このトランジスタの
ゲートのダイオードは整流器の役目を果たし、且つコン
デンサ８４の両端に電圧を発生し、この電圧は発振振幅
が大きくなるにつれて一層負となる。トランジスタ８６
としては、コンデンサ８４の電圧が常に大地電位に対し
て負となり、この電圧の絶対値が被覆層の厚さに正比例
するようなものを選択する。

【００３１】図９は図７のコイル配置に基づく本発明に
よる測定回路の他の例を示す回路図である。コイル９１
，　９２及び９３には図８のものと同様な３個の発振器
９４，　９５及び９６からの発振信号を供給する。発振
器９４及び９６には可変コンデンサを設ける。これらの
コンデンサは供給される電圧（ＶＣＯ）により発振信号
の周波数並びにその位相を変えることができる。この電
圧は位相比較回路９７及び９８により供給され、これら
の位相比較回路は発振器９５と比較して、発振器９４に
対しては相対移相量を−１２０　°に、又発振器９６に
対しては＋１２０　°にそれぞれ発振信号を調整する（
ＰＬＬ）。移相量の絶対値は臨界的でなく、コイル９１
，　９２及び９３の全体で回転磁界を発生させるように
する。３つの発振器の発振振幅値を調整することにより
得られた電圧を加算回路９９にて加算して、基板上に被
着された被覆層の総電荷量に比例する電圧を得る。 この電圧を表示装置９０にて表示させたり、又は適当な
記憶装置に記録させることができる。しかし、斯る電圧
は、製品処理工程を制御し、且つ調整するコンピュータ
のアナログ入力に供給することもできる。

【００３２】上記測定法によれば、堆積される被覆材料
の量に係わる重要な事柄がオンラインで測定されるので
、一方では製品処理工程を左程目立つような時間的な遅
れなしで進めることができ、且つめっき浴槽の温度、基
板の移動速度、堆積層の冷却度等の如き被覆工程の重要
なパラメータをモニタしている計器の調整をリセットさ
せることができる。他方では、被覆層の外形の全て又は
一部について書き取ったテスト報告書か、又は要求され
た公差の厳守を立証する証明書を依頼人に追加的に確認
させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】誘起された渦電流のジュール効果による電力損
と、金属（亜鉛）被覆層の厚さとの関係を示す特性図で
ある。

【図２】測定周波数の低い範囲での３つの所定厚さの亜
鉛被覆層に対する電力損を示す特性図である。

【図３】最小の測定周波数を越えると、基板そのものに
よる消散電力が小さくなり、基板での総消散電力が基板
の特性にほぼ無関係となることを示している特性図であ
る。

【図４】図３に関連し、本発明により選択した測定周波
数の範囲内では測定結果が基板の電磁特性によっては殆
ど影響されず、縦軸に示す電力と横軸に示す基板の相対
透磁率との関係が横軸に平行な直線となり、測定信号と
測定すべき被覆層の厚さとの間には比例関係があること
を示している特性図である。

【図５】本発明に基づく誘導コイルの配置例を製品の移
動軸線に対して垂直方向に見た断面図である。

【図６】本発明に基づく誘導コイルの第２の配置例を製
品の移動軸線に対して垂直方向に見た断面図である。

【図７】本発明に基づく誘導コイルの第３の配置例を製
品の移動軸線に対して垂直方向に見た断面図である。

【図８】被覆層の厚さを測定する回路の一例を示す回路
図である。

【図９】被覆層の厚さを測定する測定回路の他の例を示
す回路図である。

【符号の説明】

５１，　６１，　６２，　７１，　７２，　７３，　８
１，　９１，　９２，９３　　コイル５４，　６４，　
７４　　フェライト ５５，　６５，　７５　　可動被覆製品８０，　９０　
　表示装置 ８２，　８３，　８４，　８９　　コンデンサ８５，　
８８　　抵抗 ８６　　電界効果トランジスタ ８７　　定電圧源 ９４，　９５，　９６　　発振器 ９７，　９８　　位相比較回路 ９９　　加算回路

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　細長形の可動強磁性基板上に堆積され
   た導電被覆層の厚さを、交番磁界により被覆製品に誘起
   された渦電流のジュール効果に起因し、被覆層の厚さと
   直接単調な関係を表す損失分を求めることにより直接且
   つ連続的並びに非破壊的且つ無接触の方法で測定する方
   法において、被覆材料中への渦電流の固有透過度が、堆
   積すべき被覆層に対する目標厚さに近づくか、又はその
   厚さを下まわるように前記交番磁界の励起周波数を選択
   し、且つ測定周波数が、被覆すべき基板の導電率とは無
   関係に被覆金属の導電率の関数として変化するようにし
   たことを特徴とする導電被覆層の厚さ測定方法。
2. 【請求項２】　　前記励起周波数を１ＭＨｚ〜１００　
   ＭＨｚの範囲内の値とすることを特徴とする請求項１に
   記載の方法。
3. 【請求項３】　　前記交番磁界を遮蔽し、且つ案内する
   のに強磁性材料を用いることを特徴とする請求項１又は
   ２に記載の方法。
4. 【請求項４】　　前記強磁性材料を、輪郭を定めた磁極
   付きの形状のものとすることを特徴とする請求項３に記
   載の方法。
5. 【請求項５】　　前記交番磁界をコイルによって誘起さ
   せ、且つこの磁界を可動製品に対して同軸的とすること
   を特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の方法。
6. 【請求項６】　　前記磁界を２つ直列に接続したコイル
   によって誘起させ、この磁界の方向を可動製品の軸線に
   対して垂直とすることを特徴とする請求項１〜４のいず
   れかに記載の方法。
7. 【請求項７】　　前記交番磁界を誘起する前か、又は後
   に少なくとも１つの第２の磁界を誘起させ、この第２磁
   界を前記第１の交番磁界に対して角度的に変位させるこ
   とを特徴とする請求項５に記載の方法。
8. 【請求項８】　　前記磁界を３つのコイルによって誘起
   させ、この磁界の方位を可動製品の軸線に対して垂直の
   方向とし、且つ該磁界が前記軸線のまわりを回転するよ
   うにしたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記
   載の方法。
9. 【請求項９】　　細長形の可動強磁性基板上の導電被覆
   層の厚さを直接且つ連続的に測定するセンサにおいて、
   該センサがＬＣ回路と、閉ループ接続した可変利得増幅
   器とから成る発振器を具えていることを特徴とする導電
   被覆層の厚さ測定用センサ。
10. 【請求項１０】　　前記閉ループを調整することによっ
    て発振信号の振幅値を制限するようにしたことを特徴と
    する請求項９に記載のセンサ。
11. 【請求項１１】　　相対移相量を調整した３つの発振器
    を用いることを特徴とする請求項９のセンサ。